JPWO2007043535A1 - 光学特性計測方法、露光方法及びデバイス製造方法、並びに検査装置及び計測方法 - Google Patents
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Abstract
Description
次に、本発明の第2の実施形態を図11及び図12に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については同一の符号を用いるとともに、その説明を簡略にする、若しくは省略する。
図13には、上述したコントラスト情報を用いた計測方法が適用される、第3の実施形態に係る検査装置の一例としてウエハ検査装置2000の概略構成が示されている。この検査装置2000は、チャンバ200内に収容され、不図示の駆動装置に駆動され、水平面(XY面)内で移動するステージSTと、該ステージST上に不図示のバキュームチャックなどを介して保持されたウエハWT’上のパターン(例えばレジストパターン)を撮像する撮像装置300と、該撮像装置300による撮像データDS’が供給されるマイクロコンピュータなどを含む演算処理装置400とを備えている。演算処理装置400は、前述の駆動装置の制御も行う。
a.まず、ウエハWT’となる基板(ウエハWとする)に対して、前述の露光装置100において主制御装置28により前述のステップ402〜420と同様の処理が行われる。これにより、図6と同様の配置で、ウエハW表面のレジスト層に評価点対応領域DB1〜DB5の潜像が形成される。但し、この場合の各区画領域には、図10の計測用のパターンMP’の像が形成されている。
b.次に、そのウエハWが、不図示のコータ・デベロッパ(C/D)によって現像される。これにより、ウエハWT’の作製が終了する。
Claims (28)
- 所定の面上にパターン像を生成する光学系の光学特性を計測する光学特性計測方法であって、
光学系の前記所定の面側に配置された物体の前記光学系の光軸方向に関する位置を変更しながら、光学系の露光エリア内に計測用のパターン像を生成することで前記物体上の複数の区画領域を順次露光する第1工程と;
前記物体上の複数の区画領域を撮像する第2工程と;
前記撮像により得られた撮像データを処理して、各区画領域について各画素の輝度値に関する所定の統計量を算出するとともに、算出された前記各区画領域についての統計量に基づいて前記光学系の光学特性を求める第3工程と;を含む光学特性計測方法。 - 請求項1に記載の光学特性計測方法において、
前記統計量は、各区画領域について各画素の輝度値の所定の基準値に対する偏差を含む統計量である光学特性計測方法。 - 請求項2に記載の光学特性計測方法において、
前記所定の基準値は、前記物体上の少なくとも1つの区画領域内部における前記パターン像が存在しない領域の単一画素の輝度値及び複数画素の輝度値の平均値のいずれかである光学特性計測方法。 - 請求項1に記載の光学特性計測方法において、
前記所定の統計量は、前記各区画領域についての各画素の輝度値の分散及び標準偏差の少なくとも一方である光学特性計測方法。 - 請求項1に記載の光学特性計測方法において、
前記第1工程では、前記第2工程で少なくとも前記光軸方向と直交する所定方向に関して前記物体上の複数の区画領域が同時に撮像可能となるように、前記物体を前記所定方向に順次移動することにより、隣接する複数の区画領域から成る全体として矩形の領域を少なくとも1つ前記物体上に形成する光学特性計測方法。 - 請求項1に記載の光学特性計測方法において、
前記第1工程では、少なくとも前記光軸方向と直交する所定方向に関して、前記露光エリア内で前記パターン像が生成される前記区画領域のサイズに対応する距離以下のステップピッチで前記物体を移動する光学特性計測方法。 - 請求項6に記載の光学特性計測方法において、
前記物体には、その表面にポジ型のフォトレジストで感光層が形成されるとともに、前記第1工程の後に現像処理を経て前記物体上の各区画領域に撮像対象となる像が形成され、
前記ステップピッチは、前記物体上で隣接する像間の感光層が前記現像処理により除去されるように設定される光学特性計測方法。 - 請求項1に記載の光学特性計測方法において、
前記光学特性は、前記光学系の露光エリア内の計測点における最良フォーカス位置を含む光学特性計測方法。 - 請求項1に記載の光学特性計測方法において、
前記第1工程では、前記物体の前記光学系の光軸方向に関する位置を変更しながら、光学系の露光エリア内の複数位置に計測用のパターン像を生成することにより、前記物体上の複数の区画領域を順次露光する光学特性計測方法。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載の光学特性計測方法を用いて光学系の光学特性を計測する工程と;
該光学特性の計測結果を考慮して前記光学系の露光エリア内に所定のパターン像を生成することで物体を露光する工程と;を含む露光方法。 - 請求項10に記載の露光方法により物体を露光するリソグラフィ工程を含むデバイス製造方法。
- 光学系及び液体を介して物体上にパターン像を生成する露光装置で用いられる前記光学系の光学特性を計測する光学特性計測方法であって、
少なくとも1つの露光条件を変更しながら、前記物体を前ショット領域の露光に起因する前記液体の温度変動が次ショット領域の露光に影響を与えない程度の所定のステップピッチで順次移動して前記光学系の露光エリア内に計測用のパターン像を生成することで前記物体上の複数の区画領域を順次露光する第1工程と;
前記物体上の複数の区画領域における前記計測用のパターン像の形成状態を検出する第2工程と;
前記検出結果に基づいて前記光学系の光学特性を求める第3工程と;を含む光学特性計測方法。 - 請求項12に記載の光学特性計測方法を用いて前記光学系の光学特性を計測する工程と;
該光学特性の計測結果を考慮して前記光学系及び液体を介して形成される所定のパターン像で前記物体を露光する工程と;を含む露光方法。 - 請求項13に記載の露光方法により物体を露光するリソグラフィ工程を含むデバイス製造方法。
- 光学系を介して異なる露光条件下で基板上にそれぞれ形成された複数のパターン像を検出する検査装置であって、
前記複数のパターン像を同時に撮像可能な視野を有する撮像装置と;
前記撮像装置による前記複数のパターン像の撮像データを用いて前記パターン像のコントラスト情報を算出するとともに、そのコントラスト情報に基づいて前記露光条件の適正値を求める処理装置と、を備える検査装置。 - 請求項15に記載の検査装置において、
前記露光条件は、前記光学系の光学特性を含む検査装置。 - 請求項15に記載の検査装置において、
前記処理装置は、前記コントラスト情報の算出に際し、前記撮像装置の画素の出力を規格化する検査装置。 - 請求項17に記載の検査装置において、
前記処理装置は、前記撮像装置の画素の出力を所定の基準値を使って規格化する検査装置。 - 請求項18に記載の検査装置において、
前記基準値は、前記基板上の前記パターン像が存在しない領域の単一画素の輝度値及び複数画素の輝度値の平均値のいずれかである検査装置。 - 請求項15〜19のいずれか一項に記載の検査装置において、
前記処理装置は、前記基板上のパターン像が形成された領域についての各画素の輝度値に関する所定の統計量を前記コントラスト情報として算出する検査装置。 - 請求項20に記載の検査装置において、
前記統計量は、分散及び標準偏差の少なくとも一方である検査装置。 - 光学系を介して異なる露光条件下で基板上にそれぞれ形成された複数のパターン像を検出することで所定の計測を行う計測方法であって、
前記複数のパターン像を同時に撮像可能な視野を有する撮像装置を用いて前記複数のパターン像を撮像する工程と;
撮像された前記複数のパターン像の撮像データを用いて前記パターン像のコントラスト情報を算出するとともに、そのコントラスト情報に基づいて前記露光条件の適正値を求める工程と;を含む計測方法。 - 投影露光装置のベストフォーカス計測方法であって、
前記投影露光装置の解像限界の4倍程度以下の線幅のパターンを含むパターン領域の像を、フォーカス位置を変化させつつ、物体上の異なる位置に複数形成する工程と;
解像限界が前記投影露光装置の解像限界の1/4よりも大きい検査光学系を用いて、前記物体上に形成された複数の前記パターン領域の像の明暗情報を検出する工程と;
前記検出した明暗情報に基づいてベストフォーカス位置を算出する工程と;を含むベストフォーカス計測方法。 - 請求項23に記載のベストフォーカス計測方法において、
前記パターンの線幅は、前記投影露光装置の解像限界の3倍程度以下であるベストフォーカス計測方法。 - 請求項23又は24に記載のベストフォーカス計測方法において、
前記パターンは、前記線幅の複数のパターン要素からなるベストフォーカス計測方法。 - パターン情報判定方法であって、
検査光学系により、前記検査光学系の解像限界以下の周期パターンを含むパターン領域が複数形成されたパターン群の明暗情報を検出する工程と;
前記パターン群の中から、前記検出した明暗情報の変化が最大となるパターン領域を判定する工程と;を含むパターン情報判定方法。 - 請求項26に記載のパターン情報判定方法において、
前記パターン群は前記検査光学系により同時に検出可能であるパターン情報判定方法。 - パターン情報判定装置であって、
周期パターンを含むパターン領域が複数形成されたパターン群の明暗情報を検出する検査光学系と;
前記パターン群の中から、前記検出した明暗情報の変化が最大となるパターン領域を判定する処理装置と;を備え、前記周期パターンは、前記検査光学系の解像限界以下であるパターン情報判定装置。
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