JPWO2007020835A1 - 脆性材料の割断加工システム及びその方法 - Google Patents

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Abstract

被加工基板の大きさにかかわらず、脆性材料からなる被加工基板の高品位でかつ高速な割断加工を実現することができる、脆性材料の割断加工システムを提供する。基板ホルダ51は、定盤53と、この定盤53上に設けられ被加工基板61の割断予定線71に沿って略平行に延びる複数の保持バー54A,54B,54C,54Dとを含んでいる。基板ホルダ51に含まれる各保持バー54A,54B,54C,54Dは、当該各保持バー54A,54B,54C,54Dの平行状態を維持したまま、割断予定線71に垂直でかつ被加工基板61の面内方向(X方向)、割断予定線71に垂直でかつ被加工基板61の鉛直方向(Z方向)及び割断予定線の周り方向(θ方向)に関して位置δx、高さδz及びチルト角δθだけ調整(任意設定)可能に構成されている。

Description

本発明は、脆性材料(硬く脆い材料)からなる被加工基板を局部的に加熱し、その熱応力によって当該被加工基板に亀裂を生じさせて割断加工を行う割断加工システムに係り、とりわけ、脆性材料からなる被加工基板の高品位でかつ高速な割断加工を実現することができる、脆性材料の割断加工システム及びその方法に関する。なお、本明細書において「被加工基板」とは、脆性材料からなる基板一般をいい、ガラス基板に限らず、セラミック材やシリコン、ガリュウム砒素、サファイヤ等からなる各種の板状の基板をも含むものとする。
従来から、脆性材料からなる被加工基板に対して割断加工を行う方法として、レーザビームを用いて脆性材料からなる被加工基板を局部的に加熱するとともに水等により局部的に冷却し、その熱応力によって当該被加工基板に亀裂を生じさせて割断する方法が提案されている(特許文献1参照)。
この方法では、被加工基板に損傷(溶融や変形、変質等)を与えずに投入することが可能なレーザビームのエネルギーに制約があり、脆性材料からなる被加工基板の割断加工を高速に実現することが困難であった。
そこで、このような問題点を解消するための従来の代表的な方法として、レーザビームが照射される被加工基板の割断予定線に機械的な応力を印加し、レーザビームの照射により発生する局部的な熱応力(引張応力)に機械的な応力(引張応力)を重畳させた状態で被加工基板に亀裂を生じさせることで、被加工基板の割断加工をより高速に行う方法が提案されている(特許文献2〜4参照)。
しかしながら、上述した従来の方法ではいずれも、被加工基板の割断予定線に機械的な応力を印加した状態で当該割断予定線にレーザビームを照射して割断加工を行っているので、機械的な応力が印加された分だけ被加工基板の割断速度が高速化するものの、亀裂の形成時に機械的な応力が与えられることによる影響により被加工基板の割断面の品位が悪くなるという問題がある。特に、被加工基板が数百mmサイズと小さい場合には割断加工は比較的に容易に行われるが、被加工基板のサイズが大きくなると、被加工基板の変形状態が問題になり、被加工基板を精度よく割断することが困難になり、その結果、被加工基板の割断面の品位を良好に維持することができなくなる。
ここで、このような被加工基板の割断方法において、被加工基板の割断面の品位の良否は実用上非常に重要である。一般的に、液晶パネル等で用いられる長方形のガラス基板等において、その割断面の品位は、直線性とソゲ量とによって評価される。図12に示すように、「直線性」とは、被加工基板61の表面における割断線68の直線性(割断予定線71からの割断線68のずれδw)をいい、「ソゲ量」とは、被加工基板61の表面に対する割断面68aの厚さ方向の直角度(割断予定線71に対応する垂直な面からの割断面68aのずれδw)をいう。なお、実際の製品では、これらの直線性及びソゲ量に関して上限値が決められており、具体的には、直線性に関して±数十μm以下(±数百μm以下)、ソゲ量に関して±数十μm以下(±数百μm以下)程度である。これらの数値は、メーカーや製品に応じて異なるものであるが、例えば、直線性に関して±50μm以下、ソゲ量に関して±70μm以下程度であることが好ましい。
特表平8−509947号公報 特開平7−323384号公報 特開平10−71483号公報 特開平10−116801号公報
しかしながら、このような直線性及びソゲ量により評価される被加工基板の割断面の品位を向上させることは比較的難しく、現状の被加工基板の割断方法にとっての実用化の大きな障壁になっている。特に、割断対象となる被加工基板は理想的な平面形状をなしておらず、うねり等の要因により波打っている場合が多いので、このような被加工基板を適切に支持しながら高品位な割断加工を実現することが困難であるという問題がある。
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、被加工基板の大きさにかかわらず、脆性材料からなる被加工基板の高品位でかつ高速な割断加工を実現することができる、脆性材料の割断加工システム及びその方法を提供することを目的とする。
本発明は、その第1の解決手段として、脆性材料からなる被加工基板を局部的に加熱し、その熱応力によって当該被加工基板に亀裂を生じさせて割断加工を行う割断加工システムにおいて、被加工基板を支持する基板ホルダと、基板ホルダにより支持された被加工基板上にレーザビームを照射して当該被加工基板を局部的に加熱することにより、当該被加工基板に亀裂を生じさせる割断ユニットと、割断ユニットにより被加工基板に生じた亀裂が当該被加工基板の割断予定線に沿って進展するように、当該被加工基板上で局部的に加熱が行われた領域を当該被加工基板に対して相対的に移動させる移動ユニットとを備え、基板ホルダは、被加工基板の割断予定線に沿って略平行に延びる複数の保持バーを含み、各保持バーは、被加工基板のうち割断予定線の近傍の部分が凸形状をなすように、その位置、高さ及び姿勢が調整されていることを特徴とする割断加工システムを提供する。
なお、上述した本発明の第1の解決手段において、割断ユニットは、基板ホルダにより支持された被加工基板に対して上方からレーザビームを照射し、基板ホルダの各保持バーは、被加工基板のうち割断予定線の近傍の部分が鉛直上方に凸形状をなすように当該被加工基板を支持することが好ましい。
また、上述した本発明の第1の解決手段において、割断ユニットは、基板ホルダにより支持された被加工基板に対して下方からレーザビームを照射し、基板ホルダの各保持バーは、被加工基板のうち割断予定線の近傍の部分が鉛直下方に凸形状をなすように当該被加工基板を支持することが好ましい。
また、上述した本発明の第1の解決手段においては、基板ホルダの複数の保持バーのうちの少なくとも一つの保持バーにより、被加工基板のうち割断予定線を挟んで一方の側に位置する基板部分が固定されるとともに、残りの保持バーのうち、少なくとも一つの保持バーにより、被加工基板のうち割断予定線を挟んで他方の側に位置する基板部分が移動可能に支持されることが好ましい。
さらに、上述した本発明の第1の解決手段において、基板ホルダの各保持バーは、被加工基板のうち割断予定線を挟んで一方の側又は他方の側に位置する基板部分の割断加工後の姿勢又は形状を規制することが好ましい。
さらに、上述した本発明の第1の解決手段において、基板ホルダの各保持バーは、当該各保持バーの平行状態を維持したまま、割断予定線に垂直でかつ被加工基板の面内方向、割断予定線に垂直でかつ被加工基板の鉛直方向及び割断予定線の周り方向のうちの少なくとも一つの方向に関して調整可能に構成されていることが好ましい。
さらに、上述した本発明の第1の解決手段において、基板ホルダの各保持バーは、割断予定線に垂直でかつ被加工基板の面内方向、割断予定線に垂直でかつ被加工基板の鉛直方向及び割断予定線の周り方向のうちの少なくとも一つの方向を、被加工基板に形成された亀裂先端の位置に応じて、割断中に随時調整可能に構成されていることが好ましい。
さらに、上述した本発明の第1の解決手段においては、割断ユニットにより被加工基板上で局部的に加熱が行われた領域を局部的に冷却する冷却ユニットをさらに備え、移動ユニットは、割断ユニット及び冷却ユニットにより被加工基板上で局部的に加熱及び冷却が行われた領域を当該被加工基板に対して相対的に移動させることが好ましい。
本発明は、その第2の解決手段として、脆性材料からなる被加工基板を局部的に加熱し、その熱応力によって当該被加工基板に亀裂を生じさせて割断加工を行う割断加工方法において、割断対象となる被加工基板を準備する準備工程と、被加工基板上にレーザビームを照射して当該被加工基板を局部的に加熱しつつ、当該被加工基板上で局部的に加熱が行われた領域を当該被加工基板の割断予定線に沿って移動させることにより、当該被加工基板に亀裂を生じさせるとともに当該亀裂を進展させる割断工程とを含み、準備工程において、被加工基板の割断予定線に沿って略平行に延びる複数の保持バーを含む基板ホルダにより被加工基板を支持するとともに、準備工程及び割断工程において、基板ホルダの各保持バーの位置、高さ及び姿勢を調整することにより、被加工基板のうち割断予定線の近傍の部分が凸形状をなすように当該被加工基板を支持することを特徴とする割断加工方法を提供する。
なお、上述した本発明の第2の解決手段においては、割断工程において、被加工基板上で局部的に加熱が行われた領域を冷却することが好ましい。
本発明によれば、被加工基板を支持する基板ホルダが、被加工基板の割断予定線に沿って略平行に延びる複数の保持バーを含み、これらの各保持バーにより被加工基板が支持されているので、被加工基板にて割断予定線の方向に関して均一な割断応力が生成される。このため、被加工基板の変形が割断予定線の方向に沿って均一に生じることとなり、被加工基板を平坦面上に単純に載置した場合に比べて、被加工基板の割断加工が割断予定線に沿って直線的に行われ、その割断面の品位(直線性及びソゲ量)を向上させることができる。
また、本発明によれば、基板ホルダの各保持バーは、被加工基板のうち割断予定線の近傍の部分が鉛直上方に凸形状をなすように、その位置、高さ及び姿勢が調整されているので、割断加工が行われる被加工基板の割断予定線の近傍の部分に対して効果的な機械的な応力を印加して、高品位でかつ高速な割断加工をより容易に実現することができる。
本発明の一実施形態に係る割断加工システムの全体構成を示す図。 図1に示す割断加工システムで用いられる基板ホルダの詳細を示す斜視図。 図1及び図2に示す割断加工システムの基板ホルダにより支持される被加工基板の支持態様の一例を示す図。 図1及び図2に示す割断加工システムの基板ホルダにより支持される被加工基板の支持態様の他の例を示す図。 図1及び図2に示す割断加工システムの基板ホルダにより支持される被加工基板の支持態様を説明するための斜視図。 図1及び図2に示す割断加工システムにより割断加工が行われる被加工基板の変形状態を説明するための図。 図1及び図2に示す割断加工システムで行われる被加工基板の割断態様の一例を説明するための図。 図1及び図2に示す割断加工システムで行われる被加工基板の割断態様を説明するための平面図。 図1及び図2に示す割断加工システムで行われる被加工基板の割断態様の他の例を説明するための図。 図1及び図2に示す割断加工システムで行われる被加工基板の割断態様のさらに他の例を説明するための図。 図1及び図2に示す割断加工システムで用いられる基板ホルダに含まれる固定保持バーの変形例を示す図。 図1及び図2に示す割断加工システムで用いられる基板ホルダに含まれる可動保持バーの変形例を示す図。 割断加工システムにおいて実用上要求される被加工基板の割断面の品位(直線性及びソゲ量)を説明するための図。
発明を実施するための形態
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
まず、図1により、本発明の一実施形態に係る割断加工システムの全体構成について説明する。
図1に示すように、本実施形態に係る割断加工システム1は、脆性材料からなる被加工基板61を局部的に加熱し、その熱応力によって被加工基板61に亀裂を生じさせて割断加工を行うものであり、被加工基板61を支持する基板ホルダ51と、基板ホルダ51により支持された被加工基板61に対して割断加工を行うための加熱冷却ユニット10と、加熱冷却ユニット10に対して被加工基板61を相対的に移動させる移動ユニット52とを備えている。なおここでは、割断対象となる被加工基板61として、液晶工程で取り扱われる素ガラス基板や膜付き基板(カラーフィルタ基板やTFT基板等)のほか、液晶などを注入した貼合基板が用いられるものとする。
このうち、加熱冷却ユニット10は、予熱ユニット20、割断ユニット30及び冷却ユニット40を含み、これらの各ユニットが被加工基板61上で割断予定線71に沿って相対的に移動するように構成されている。なお、加熱冷却ユニット10に含まれる予熱ユニット20、割断ユニット30及び冷却ユニット40は、被加工基板61上での移動方向に関して先頭側から後尾側へ向かってこの順番で一直線状に配置されている。
以下、加熱冷却ユニット10に含まれる予熱ユニット20、割断ユニット30及び冷却ユニット40の詳細について説明する。
予熱ユニット20は、被加工基板61上にレーザビームLB1を照射して被加工基板61を局部的に予熱するためのものであり、200W程度のCOレーザ光を出射するレーザ発振器21と、レーザ発振器21により出射されたレーザ光を反射する反射ミラー22と、反射ミラー22により反射されたレーザ光を被加工基板61上で走査するポリゴンミラー23とを有している。これにより、レーザ発振器21により出射されたレーザ光が反射ミラー22を経てポリゴンミラー23で反射され、被加工基板61上で割断予定線71に沿って繰り返し走査されることにより、線状のレーザビームLB1が生成される。
割断ユニット30は、被加工基板61上にレーザビームLB2を照射して被加工基板61を局部的に加熱することにより、被加工基板61に亀裂を生じさせるためのものであり、数十W〜百数十W程度のCOレーザ光を出射するレーザ発振器31と、レーザ発振器31により出射されたレーザ光を反射する反射ミラー32と、反射ミラー32により反射されたレーザ光を被加工基板61上で走査するポリゴンミラー33とを有している。これにより、レーザ発振器31により出射されたレーザ光が反射ミラー32を経てポリゴンミラー33で反射され、被加工基板61上で割断予定線71に沿って繰り返し走査されることにより、線状のレーザビームLB2が生成される。
冷却ユニット40は、被加工基板61に冷却剤Cを吹き付けて被加工基板61上で局部的に加熱が行われた領域を局部的に冷却するためのものであり、水や霧(水と気体との混合物)、窒素、ヘリウム等の気体、二酸化炭素粒子(ドライアイス)等の微粒子固体、アルコール等の液体、霧状のアルコール、雪状のドライアイス等の冷却剤Cを被加工基板61の表面に噴射する冷却ノズル41を有している。
以上において、加熱冷却ユニット10に含まれる予熱ユニット20、割断ユニット30及び冷却ユニット40はいずれも被加工基板61に沿う方向(X方向及びY方向)に移動することができるようになっており、予熱ユニット20、割断ユニット30及び冷却ユニット40がいずれも被加工基板61上で割断予定線71に沿って適切な間隔で一直線状に配置されるようにアライメント調整を行うことができるようになっている。
一方、移動ユニット52は、加熱冷却ユニット10に含まれる予熱ユニット20、割断ユニット30及び冷却ユニット40に対して被加工基板61を相対的に移動させるためのものであり、被加工基板61を支持する基板ホルダ51を加熱冷却ユニット10に対してXY平面内で相対的に移動させる移動ステージ(図示せず)を有している。
次に、図2により、移動ユニット52によりXY平面内で移動する基板ホルダ51の詳細について説明する。
図2に示すように、基板ホルダ51は、定盤53と、この定盤53上に設けられ被加工基板61の割断予定線71に沿って略平行に延びる複数の保持バー54A,54B,54C,54Dとを含んでいる。
ここで、基板ホルダ51に含まれる各保持バー54A,54B,54C,54Dは、当該各保持バー54A,54B,54C,54Dの平行状態を維持したまま、割断予定線71に垂直でかつ被加工基板61の面内方向(X方向)、割断予定線71に垂直でかつ被加工基板61の鉛直方向(Z方向)及び割断予定線の周り方向(θ方向)に関して位置δx、高さδz及びチルト角δθだけ調整(任意設定)可能に構成されている。なお、各保持バー54A,54B,54C,54Dによる位置δx、高さδz及びチルト角δθの調整は、モータ等の駆動機構により自動的に行う他、各保持バー54A,54B,54C,54Dと定盤53との間に薄板を入れること等により手動で行ってもよい。
また、基板ホルダ51に含まれる複数の保持バー54A,54B,54C,54Dのうちの少なくとも一つの保持バー54Aは、その表面に、真空吸着機構(図示せず)に連通した吸着部55が設けられており、被加工基板61のうち割断予定線71を挟んで一方の側に位置する基板部分の裏面を吸着して当該基板部分を固定することにより、被加工基板61が保持バー54A上を滑らないように構成されている。また、このような保持バー54Aとしては、金属やゴム等からなる構成部材に吸着部55に対応する穴を開けた構造をとる他、その構成部材として、吸着部55として機能する複数の孔を有する多孔質セラミックを用いてもよい。一方、残りの保持バー54B,54C,54Dは、被加工基板61のうち割断予定線71を挟んで他方の側に位置する基板部分を摩擦滑り等の態様で移動可能に支持することにより、被加工基板61が保持バー54B,54C,54D上を滑るように構成されている。なお、被加工基板61のうち移動可能に支持された基板部分は、複数の保持バー54B,54C,54Dにより支持されるように構成されているので、割断加工後の基板部分が不安定にならない。
そして、以上のような構成からなる基板ホルダ51の各保持バー54A,54B,54C,54Dは、被加工基板61のうち割断予定線71の近傍の部分が鉛直上方に凸形状をなすように、その位置、高さ及び姿勢が調整されている。より具体的には、図3Aに示すように、基板ホルダ51の各保持バー54A,54B,54Cの位置及び高さを調整することにより、被加工基板61のうち割断予定線71の近傍の部分が鉛直上方に凸形状をなすようにすることができる。また、図3Bに示すように、吸着部55が設けられた保持バー54Aをチルト角δθだけ回転させることにより、被加工基板61のうち割断予定線71の近傍の部分が鉛直上方に凸形状をなすようにすることもできる。
なお、基板ホルダ51の各保持バー54A,54B,54C,54Dにより支持される被加工基板61は、図4に示すように、XZ平面内で波打っている場合がある。これは、被加工基板61の理想的な形状は図5(a)に示す符号61′のような平面形状であるが、実際の被加工基板61では、製造工程での加工の問題や、製造後の熱処理の問題から、図5(a)に示す符号61″のように、XZ平面内及びYZ平面内のいずれにおいても波打っている(うねりや反り等がある)のが一般的である。なお、このような被加工基板61″のうねりは、例えば約0.1μm/10mm(測定長)等である。
ここで、このような被加工基板61″を基板ホルダ51の各保持バー54A,54B,54C,54Dにより支持すると、図4及び図5(b)に示すような被加工基板61として支持される。すなわち、基板ホルダ51の各保持バー54A,54B,54C,54Dにより支持される被加工基板61は、XZ平面内でのみ波打っており、被加工基板61の一方の端部の位置P1、他方の端部の位置P3及び任意の部分の位置P2のいずれの位置においても、XZ平面内の被加工基板61の断面形状はほぼ同一となっている。このため、被加工基板61が元々持つ初期応力が均質になり、被加工基板61にて割断予定線71の方向に関して均一な割断応力が生成される。このため、被加工基板61の割断加工は割断予定線71に沿って直線的に行われることとなり、その割断面の品位(直線性及びソゲ量)も向上する。なおここで、「均一な割断応力」という場合の「割断応力」とは、割断加工がY軸方向に行われる場合を想定すると、主にX軸方向に発生する応力のことをいう。
なお、基板ホルダ51に含まれる複数の保持バー54A,54B,54C,54Dは、被加工基板61のうち割断予定線71を挟んで一方の側又は他方の側に位置する基板部分の割断加工後の姿勢/形状を規制する部材としても機能する。
次に、このような構成からなる本実施形態の作用について説明する。
図1及び図2に示す割断加工システム1において、割断対象となる被加工基板61を移動ユニット52上に設けられた基板ホルダ51の各保持バー54A,54B,54C,54D上に位置決めする。
そして、移動ユニット52により基板ホルダ51を移動させ、基板ホルダ51の各保持バー54A,54B,54C,54D上に位置決めされた被加工基板61の割断予定線71上に加熱冷却ユニット10を位置付ける。なお、加熱冷却ユニット10に含まれる予熱ユニット20、割断ユニット30及び冷却ユニット40は、被加工基板61の割断予定線71上に位置付けられたときに当該割断予定線71に沿って適切な間隔で一直線状に配置されるように予めアライメント調整が行われている。
この状態で、移動ユニット52により、基板ホルダ51の各保持バー54A,54B,54C,54D上に位置決めされた被加工基板61を加熱冷却ユニット10に対して相対的に移動させ、加熱冷却ユニット10に含まれる予熱ユニット20、割断ユニット30及び冷却ユニット40を被加工基板61上で割断予定線71に沿ってこの順番で相対的に移動させる。
これにより、図1及び図2に示すように、まず、被加工基板61上で割断予定線71に沿って加熱冷却ユニット10の予熱ユニット20が相対的に移動し、被加工基板61上に線状のレーザビームLB1を照射することにより、被加工基板61を所定の温度(30℃〜200℃程度)で局部的に予熱する。なおこのとき、予熱ユニット20においては、レーザ発振器21により出射されたレーザ光が反射ミラー22を経てポリゴンミラー23で反射され、被加工基板61上で割断予定線71に沿って繰り返し走査されることにより、照射パターン62を有する線状のレーザビームLB1が生成される。
そして、このようにして予熱ユニット20により局部的に予熱された被加工基板61上で割断予定線71に沿って割断ユニット30が相対的に移動し、予熱ユニット20により被加工基板61上で局部的に予熱が行われた領域よりも幅の狭い線状の領域に線状のレーザビームLB2を照射することにより、被加工基板61を所定の温度(100℃〜400℃程度)で局部的に加熱する。なおこのとき、割断ユニット30においては、レーザ発振器31により出射されたレーザ光が反射ミラー32を経てポリゴンミラー33で反射され、被加工基板61上で割断予定線71に沿って繰り返し走査されることにより、照射パターン63を有する線状のレーザビームLB2が生成される。
その後、このようにして割断ユニット30により局部的に加熱された被加工基板61上で割断予定線71に沿って冷却ユニット40が相対的に移動し、割断ユニット30により被加工基板61上で局部的に加熱が行われた領域よりも幅の広い円形状の領域に冷却剤Cを吹き付けることにより、被加工基板61を局部的に冷却する。なおこのとき、冷却ユニット40においては、冷却ノズル41から噴射された冷却剤Cが被加工基板61の表面に所定の吹付パターン64で吹き付けられる。
以上のようにして、被加工基板61上で割断予定線71に沿って加熱冷却ユニット10による処理(予熱ユニット20による予熱、割断ユニット30による加熱及び冷却ユニット40による冷却)が順次行われると、主として被加工基板61の加熱により発生した熱応力(引張応力)と被加工基板61の冷却により発生した引張応力とによって亀裂68が形成され、かつ、加熱冷却ユニット10に含まれる予熱ユニット20、割断ユニット30及び冷却ユニット40が被加工基板61上で割断予定線71に沿って相対的に移動することに伴って割断予定線71に沿って亀裂68が進展する。
ところで、以上のような割断加工の過程で、被加工基板61は、基板ホルダ51の各保持バー54A,54B,54C,54Dにより支持されており、これらの各保持バー54A,54B,54C,54Dの位置、高さ及び姿勢が調整されることにより被加工基板61の姿勢/形状が調整されている。
ここで、基板ホルダ51の各保持バー54A,54B,54C,54Dの位置、高さ及び姿勢についての具体的な調整の仕方を説明するため、第1の例として、被加工基板61が図6(a)に示すような態様で支持されている場合について説明する。この場合、被加工基板61は、保持バー54A,54C,54Dにより支持されており、保持バー54A,54C,54Dとの接触部分以外は、被加工基板61の自重によるたわみにより、その姿勢/形状が変化している。なお、保持バー54Bは被加工基板61に接触していない。また、各保持バー54A,54B,54Cは、被加工基板61のうち割断予定線71の近傍の部分が鉛直上方に凸形状をなすように、その位置及び高さが調整されている。
この状態で、被加工基板61が割断予定線71(割断予定位置71′)で割断されると、被加工基板61は、基板部分61Aと基板部分61Bとに分断される(図6(b))。
このとき、割断加工後の基板部分61Aは、吸着部55が設けられた保持バー54Aにより支持された状態で、自重によるたわみにより、その姿勢/形状が変化し、新たな姿勢/形状になる。一方、割断加工後の基板部分61Bは、保持バー54C,54Dにより支持された状態で、やはり、その自重によるたわみにより、その姿勢/形状が変化し、新たな姿勢/形状になる。このとき、図6(b)に示すように、割断加工後の被加工基板61の割断線(割断面68a)の位置は、基板部分61Aと基板部分61Bとで大きく異なる。これは、被加工基板61の割断予定線71の近傍に位置する保持バー54Bの高さが低いので、被加工基板61の自重によるたわみにより引き起こされる基板部分61Bの姿勢/形状の変化を何ら規制していないためである。
これに対し、図6(c)に示すように、被加工基板61の割断予定線71の近傍に位置する保持バー54Bの高さを適切に調整すれば、割断加工後の被加工基板61の割断線(割断面68a)の位置を、基板部分61Aと基板部分61Bとで同等することができる。すなわち、保持バー54Bが割断加工後の被加工基板61の基板部分61Bの支持に寄与するように保持バー54Bの高さを調整すれば、被加工基板61の自重によるたわみにより引き起こされる基板部分61Bの姿勢/形状の変化を適切に規制することができる。
より具体的には、図7に示すように、被加工基板61をその端部(基板位置P3)から割断加工していく場合、被加工基板61のうち既に割断された基板部分(図7の符号70)は、その自重により垂れ下がり又は跳ね上がり、そのバランスの違いにより発生したねじれ応力(亀裂先端Tに発生したねじれモーメント)や引張応力(図7の符号69)がクラックに作用し、割断面の精度又は品位の劣化を発生させることになる。このため、基板ホルダ51の保持バー54B及びその他の保持バー54A,54C,54Dを調整する際には、割断加工後(被加工基板61が途中まで切れている時点(亀裂先端Tが被加工基板61中にある時点)を含む)の被加工基板61の姿勢/形状の変化を考慮し、クラックに作用するねじれ応力と引張応力とのアンバランス量とが最小となるように、その位置(δx)や高さ(δz)、チルト角(δθ)等を調整する。
これにより、被加工基板61に発生するねじれ応力(亀裂先端Tに発生したねじれモーメント)や引張応力(図7の符号69)を適切に制御して、割断面の品位(直線性及びソゲ量)を向上させることができる。
なお、これらの位置(δx)、高さ(δz)、チルト角(δθ)等が、割断加工中のクラックの位置、すなわち被加工基板に形成された亀裂先端Tの位置に応じて割断中に随時変化するよう、基板ホルダ51の保持バー54B及びその他の保持バー54A,54C,54Dを制御することもできる。
次に、第2の例として、被加工基板61が図8(a)に示すような態様で支持されている場合について説明する。この場合、被加工基板61は、保持バー54A,54C,54Dにより支持されており、保持バー54A,54C,54Dとの接触部分以外は、被加工基板61の自重によるたわみにより、その姿勢/形状が変化している。なお、保持バー54Bは被加工基板61に接触していない。また、吸着部55が設けられた保持バー54Aは、被加工基板61のうち割断予定線71の近傍の部分が鉛直上方に凸形状をなすように、チルト角δθだけ回転している。
この状態で、被加工基板61が割断予定線71(割断予定位置71′)で割断されると、被加工基板61は、基板部分61Aと基板部分61Bとに分断される(図8(b))。
このとき、割断加工後の基板部分61Aは、吸着部55が設けられた保持バー54Aにより支持された状態で跳ね上がり、新たな姿勢/形状になる。一方、割断加工後の基板部分61Bは、保持バー54C,54Dにより支持された状態で、その自重によるたわみにより、その姿勢/形状が変化し、新たな姿勢/形状になる。このとき、被加工基板61の割断予定線71の近傍に位置する保持バー54Bの高さが十分に低いか又は存在しない場合には、図8(b)に示すように、基板部分61Bの割断線(割断面68a)の位置は、大きく垂れ下がることになる(変位δz′)。なお、図8(b)において、符号61は割断加工後の被加工基板、符号61′は割断加工前の被加工基板を示す。
これに対し、被加工基板61の割断予定線71の近傍に位置する保持バー54Bの高さが適切に調整されている場合には、図8(c)に示すように、基板部分61Bの割断線(割断面68a)の位置の垂れ下がり量(変位δz″)は、図8(b)の場合よりも小さくなる(δz″<δz′)。なお、図8(b)において、符号61は割断加工後の被加工基板、符号61′は割断加工前の被加工基板、符号61″は図8(b)に示す態様で割断された被加工基板を示す。
これにより、被加工基板61に発生するねじれ応力や引張応力を適切に制御して、割断面の品位(直線性及びソゲ量)を向上させることができる。
次に、第3の例として、被加工基板61が図9(a)に示すような態様で支持されている場合について説明する。この場合、被加工基板61は、保持バー54A,54B,54Cにより支持されており、保持バー54A,54B,54Cとの接触部分以外は、被加工基板61の自重によるたわみにより、その姿勢/形状が変化している。なお、各保持バー54A,54B,54Cは、被加工基板61のうち割断予定線71の近傍の部分が鉛直上方に凸形状をなすように、その位置及び高さが調整されている。
この状態で、被加工基板61が割断予定線71(割断予定位置71′)で割断されると、被加工基板61は、基板部分61Aと基板部分61Bとに分断される(図9(b))。
このとき、割断加工後の基板部分61Aは、吸着部55が設けられた保持バー54Aにより支持された状態で、自重によるたわみにより、その姿勢/形状が変化し、新たな姿勢/形状になる。一方、割断加工後の基板部分61Bは、自重により、その姿勢/形状が変化し、新たな姿勢/形状になる。このとき、被加工基板61の割断予定線71から遠い側の部分を支持する保持バーがない場合には、図9(b)に示すように、保持バー54B,54Cにより支持された状態で被加工基板61の割断予定線71側の部分が跳ね上がるとともに割断予定線71から遠い側の部分が垂れ下がることになる。なお、図9(b)において、符号61は割断加工後の被加工基板、符号61′は割断加工前の被加工基板を示す。
これに対し、被加工基板61の割断予定線71から遠い側の部分を支持する保持バー54Dが設けられている場合には、図9(c)に示すように、被加工基板61の割断予定線71側の部分が跳ね上がりが最小限に抑えられる。なお、図9(c)において、符号61は割断加工後の被加工基板、符号61′は割断加工前の被加工基板を示す。
これにより、被加工基板61に発生するねじれ応力や引張応力を適切に制御して、割断面の品位(直線性及びソゲ量)を向上させることができる。
このように本実施形態によれば、被加工基板61を支持する基板ホルダ51が、被加工基板61の割断予定線71に沿って略平行に延びる複数の保持バー54A,54B,54C,54Dを含み、これらの各保持バー54A,54B,54C,54Dにより被加工基板61が支持されているので、被加工基板61にて割断予定線71の方向に関して均一な割断応力が生成される。このため、被加工基板61の変形が割断予定線71の方向に沿って均一に生じることとなり、被加工基板61を平坦面上に単純に載置した場合に比べて、被加工基板61の割断加工が割断予定線71に沿って直線的に行われ、その割断面の品位(直線性及びソゲ量)を向上させることができる。
また、本実施形態によれば、基板ホルダ51の各保持バー54A,54B,54C,54Dは、被加工基板61のうち割断予定線71の近傍の部分が鉛直上方に凸形状をなすように、その位置、高さ及び姿勢が調整されているので、割断加工が行われる被加工基板61の割断予定線71の近傍の部分に対して効果的な機械的な応力を印加して、高品位でかつ高速な割断加工をより容易に実現することができる。
なお、上述した実施形態においては、加熱冷却ユニット10に含まれる予熱ユニット20及び割断ユニット30により被加工基板61に亀裂68を直接生じさせているが、加熱冷却ユニット10の予熱ユニット20に先行して移動する割断線リードユニットをさらに設け、被加工基板61の表面に円盤等が接触した状態で割断予定線71に沿って相対的に移動させることにより、被加工基板61の表面に百分の数μm〜数十μm程度の深さの圧痕(微細な初期クラック)を形成するようにしてもよい。これにより、加熱冷却ユニット10の予熱ユニット20及び割断ユニット30により形成される亀裂68の真直性等をさらに向上させることができる。
また、上述した実施形態においては、移動ユニット52により加熱冷却ユニット10に対して被加工基板61側(基板ホルダ51側)を移動させることにより加熱冷却ユニット10と被加工基板61との相対的な移動を実現するようにしているが、これに限らず、加熱冷却ユニット10側を移動させることにより加熱冷却ユニット10と被加工基板61との相対的な移動を実現するようにしてもよい。
さらに、上述した実施形態においては、基板ホルダ51により支持された被加工基板61に対して上方からレーザビームLB1,LB2を照射しているが、これに限らず、基板ホルダ51により支持された被加工基板61に対して下方からレーザビームLB1,LB2を照射する場合にも同様にして本発明を適用することができる。ただし、この場合には、被加工基板61を支持する基板ホルダ51の保持バー54A,54B,54C,54Dは、被加工基板61のうち割断予定線71の近傍の部分が鉛直下方に凸形状をなすように当該被加工基板61を支持する必要がある。
さらに、上述した実施形態において、基板ホルダ51の保持バー54Aは、その表面に設けられた吸着部55により被加工基板61の裏面を吸着して当該被加工基板61を固定するように構成されているが、これに限らず、図10に示す固定保持バー57のように、下部クランプ部57a及び上部クランプ部57bにより被加工基板61をその表裏両側から機械的に挟んで固定するように構成されていてもよい。なお、被加工基板61を固定する方法としては、これらに限らず、静電吸着等の他の任意の方法を用いることができる。また、被加工基板61の自重のために保持バー54A上で被加工基板61が移動しない場合には、保持バー54Aにより被加工基板51を強制的に固定する必要は必ずしもなく、保持バー54A上に被加工基板61を単純に載置するだけでもよい。
さらに、上述した実施形態においては、基板ホルダ51の保持バー54B,54C,54Dは、被加工基板61を摩擦滑り等の態様で移動可能に支持しているが、これに限らず、図11に示す可動保持バー58のように、その表面に設けられた吹出部58aから空気等を吹き出すことによりエアー浮上方式で移動可能に支持してもよい。この場合には、割断加工後の被加工基板61は非常に移動しやすくなるので、被加工基板61の割断速度の高速化に寄与することができる。なお、このような可動保持バー58としては、金属やゴム等からなる構成部材に吹出部58aに対応する穴を開けた構造をとる他、その構成部材として、吹出部58aとして機能する複数の孔を有する多孔質セラミックを用いてもよい。
さらに、上述した実施形態においては、基板ホルダ51の保持バー54B,54C,54Dは、被加工基板61を摩擦滑り等の態様で移動可能に支持しているが、保持バー54B,54C,54Dの一部に吸着孔を設け、弱い吸引等を行って被加工基板61を可動の状態ではなく半可動の状態で支持することも可能である。

Claims (10)

  1. 脆性材料からなる被加工基板を局部的に加熱し、その熱応力によって当該被加工基板に亀裂を生じさせて割断加工を行う割断加工システムにおいて、
    被加工基板を支持する基板ホルダと、
    前記基板ホルダにより支持された前記被加工基板上にレーザビームを照射して当該被加工基板を局部的に加熱することにより、当該被加工基板に亀裂を生じさせる割断ユニットと、
    前記割断ユニットにより前記被加工基板に生じた亀裂が当該被加工基板の割断予定線に沿って進展するように、当該被加工基板上で局部的に加熱が行われた領域を当該被加工基板に対して相対的に移動させる移動ユニットとを備え、
    前記基板ホルダは、前記被加工基板の前記割断予定線に沿って略平行に延びる複数の保持バーを含み、前記各保持バーは、前記被加工基板のうち前記割断予定線の近傍の部分が凸形状をなすように、その位置、高さ及び姿勢が調整されていることを特徴とする割断加工システム。
  2. 前記割断ユニットは、前記基板ホルダにより支持された前記被加工基板に対して上方からレーザビームを照射し、前記基板ホルダの前記各保持バーは、前記被加工基板のうち前記割断予定線の近傍の部分が鉛直上方に凸形状をなすように当該被加工基板を支持することを特徴とする、請求項1に記載の割断加工システム。
  3. 前記割断ユニットは、前記基板ホルダにより支持された前記被加工基板に対して下方からレーザビームを照射し、前記基板ホルダの前記各保持バーは、前記被加工基板のうち前記割断予定線の近傍の部分が鉛直下方に凸形状をなすように当該被加工基板を支持することを特徴とする、請求項1又は2に記載の割断加工システム。
  4. 前記基板ホルダの前記複数の保持バーのうちの少なくとも一つの保持バーにより、前記被加工基板のうち前記割断予定線を挟んで一方の側に位置する基板部分が固定されるとともに、残りの保持バーのうち、少なくとも一つの保持バーにより、前記被加工基板のうち前記割断予定線を挟んで他方の側に位置する基板部分が移動可能に支持されることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の割断加工システム。
  5. 前記基板ホルダの前記各保持バーは、前記被加工基板のうち前記割断予定線を挟んで一方の側又は他方の側に位置する基板部分の割断加工後の姿勢又は形状を規制することを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の割断加工システム。
  6. 前記基板ホルダの前記各保持バーは、当該各保持バーの平行状態を維持したまま、前記割断予定線に垂直でかつ前記被加工基板の面内方向、前記割断予定線に垂直でかつ前記被加工基板の鉛直方向及び前記割断予定線の周り方向のうちの少なくとも一つの方向に関して調整可能に構成されていることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の割断加工システム。
  7. 前記基板ホルダの前記各保持バーは、前記割断予定線に垂直でかつ前記被加工基板の面内方向、前記割断予定線に垂直でかつ前記被加工基板の鉛直方向及び前記割断予定線の周り方向のうちの少なくとも一つの方向を、被加工基板に形成された亀裂先端の位置に応じて、割断中に随時調整可能に構成されていることを特徴とする、請求項6記載の割断加工システム。
  8. 前記割断ユニットにより前記被加工基板上で局部的に加熱が行われた領域を局部的に冷却する冷却ユニットをさらに備え、
    前記移動ユニットは、前記割断ユニット及び前記冷却ユニットにより前記被加工基板上で局部的に加熱及び冷却が行われた領域を当該被加工基板に対して相対的に移動させることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の割断加工システム。
  9. 脆性材料からなる被加工基板を局部的に加熱し、その熱応力によって当該被加工基板に亀裂を生じさせて割断加工を行う割断加工方法において、
    割断対象となる被加工基板を準備する準備工程と、
    前記被加工基板上にレーザビームを照射して当該被加工基板を局部的に加熱しつつ、当該被加工基板上で局部的に加熱が行われた領域を当該被加工基板の割断予定線に沿って移動させることにより、当該被加工基板に亀裂を生じさせるとともに当該亀裂を進展させる割断工程とを含み、
    前記準備工程において、前記被加工基板の前記割断予定線に沿って略平行に延びる複数の保持バーを含む基板ホルダにより前記被加工基板を支持するとともに、前記準備工程及び前記割断工程において、前記基板ホルダの前記各保持バーの位置、高さ及び姿勢を調整することにより、前記被加工基板のうち前記割断予定線の近傍の部分が凸形状をなすように当該被加工基板を支持することを特徴とする割断加工方法。
  10. 前記割断工程において、前記被加工基板上で局部的に加熱が行われた領域を冷却することを特徴とする、請求項9に記載の割断加工方法。
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