JPWO2006080099A1 - 半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とシリコンとのヘテロ接合を有する光ダイオード - Google Patents
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Abstract
Description
〜50V程度の順方向を印加することで、絶縁性をこわし強制的に順方向を導通させた後のカーブトレーサー11により測定された特性例である。図6Aから解るように、絶縁性をこわして半絶縁性ZnO薄膜3を導通させているにも関わらず、通常のドーピング型pn接合と同様の良好な整流特性を示す。これはp型反転層4が外部電界や分極などによらず、価電子帯のバンド不連続により、前記p型反転層4が定常的に安定して存在するためである。又、受光部領域となるp型反転層4に光照射することで、接触抵抗などにより若干の特性変形は認められるものの、光に対し良好に反応する光ダイオードが得られていることが解る。この第1の実施例からなる光ダイオードにおいて、分光感度特性例を図7に示す。
(1)p型シリコン、n型シリコンに対し、受光部は全く不純物をドープすることなしに形成することができるので、光により発生したキャリアはアクセプターイオンやドナーイオンによる散乱を受けず、ブルー光に対して100%近い量子効率が得られる。
(2)紫外光に対しては酸化亜鉛半導体薄膜が紫外光を吸収するので、紫外光に対しても高い感度が得られる。
(3)ブルー光以上の波長に対しては、酸化亜鉛は透明であり100%の量子直線に沿った特性が得られる。
(4)(1)〜(3)のように紫外から赤外まで広範な波長に高い感度を有することが出来る。
(5)受光部は全く不純物をドープすることなしに形成することが可能なので、キャリアがアクセプターイオンやドナーイオンによる散乱を受けない2次元的キャリアになり、不純物ドーピング型に較べ青紫から赤外の波長域まで、極めて高い周波数特性が得られる。特にブルーレーザーに対しては、その感度と周波数特性を両立することは非常に困難とされて来たが、本発明により解決され、今後ブルーレーザーの各種応用展開に際し、幅広く貢献するものである。
(6)p型シリコン、n型シリコンに対し、全く同一の半絶縁性酸化亜鉛を形成するだけの極めて単純な工程で受光部が形成でき、バイポーラ、CMOSを問わず、IC内に高性能な光ダイオードを集積する場合の自由度が非常に高くなる。
(7)酸化亜鉛が安価で環境負荷のない材料であることと相俟って、非常に工業化に適するものである。
た、高濃度ドーピングの結果生じるアクセプターイオンによる散乱の影響を受け、キャリアの移動度が低下し応答性も悪くなる。従って、従来の不純物をドープする光ダイオードにおいては、その深さとドープする濃度などにおいて、どこかで妥協点を探っているのが実情である。さらに、赤外光に対しても、不純物ドーピングによるキャリアの移動度低下は避けられないものであり、周波数応答特性に限界を与えているものである。以上のことは、p型シリコンを用いn型不純物をドーピングした場合も同様である。
[0006]
特許文献1:特開2004−087979号公報
特許文献2:特開平9−237912号公報
[発明の開示]
[0007]
そこで、この発明は、上記するような不純物をドープすることを基本とした従来の光ダイオードにおいて、ドープすることによる避けられない問題点である、ブルーなどの短波長域での感度低下をなくすものである。さらには、不純物をドープすることによって生じるイオンによる散乱の影響をなくして、応答性の低下をも同時に解決し、紫外から赤外まで極めて高い感度と高速応答性を兼ね備えた光ダイオードを提供しようとするものである。
[0008]
この発明は、上記する目的を達成するにあたって、請求項1に記載の発明は、n型シリコンの場合において、n型シリコンと前記n型シリコン上に形成される半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とを有するものからなり、n型シリコンがカソード領域であり、前記半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜の成膜によって、前記半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜に接するn型シリコンの上部にp型反転層を生じせしめ、前記p型反転層が受光部領域であって、且つ、アノード領域であることを特徴とする半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とシリコンとのヘテロ接合を有する光ダイオードを構成するものである。
[0009]
さらに、この発明において請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とシリコンとのヘテロ接合を有する光ダイオードであって、前記受光部領域が、前記受光部領域に対するオーミック領域として前記p型反転層と共有部分を有するようにp型不純物ドーピング領域を兼ね備えてなることを特徴とするものである。
[0010]
さらにまた、この発明において請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とシリコンとのヘテロ接合を有する光ダイオードにおいて、前記半絶縁性酸化亜鉛の一部が低抵抗酸化亜鉛であって、前記低抵抗酸化亜鉛に対し電極形成されるものであって、前記電極がp型不純物ドーピング領域に接続されることを特徴とするものでもある。
[0011]
さらにまた、この発明において請求項4に記載の発明は、p型シリコンと前記p型シリコン上に形成される半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とを有し、前記半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜と前記p型シリコンとのヘテロ接合部を受光部領域とし、前記受光部領域と共有部分を有するように光電流を取り出すための前記p型シリコン上に形成されたn型不純物ドーピング領域を兼ね備えたものからなることを特徴とする半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とシリコンとのヘテロ接合を有する光ダイオードを構成するものである。
[0012]
この発明では、以上のように構成することによって、次に示すような効果をもたらすことができる。この発明になるn型シリコンを使用する場合の半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜によるp型反転層を有する光ダイオードは、一般的な不純物をドープすることで形成した光ダイオードの、特にブルー以下の波長に対する感度と応答性の問題を同時に見事に解決する。即ち、シリコン基板の光ダイオードにおいては、光は光の波長が短くなればなるほど表面近傍で吸収される。例えば400nmの青紫レーザーにおいては表面から400nmに対する吸収長、約1,300Åの深さに至るまでに光の63%が吸収される。このため、赤色などの比較的長波長の光ダイオードにおいては、その接合深さは1ミクロン程度でよいが、青色では1,000オングストローム以下の深さにする必要が生じる。
[0013]
従来のドーピング型の光ダイオードにおいて、ブルー以下の短波長に対し感度を上げるには、浅く接合形成し、又、キャリアの再結合による感度低下をなくすため、あまり濃く不純物をドープせず、キャリアのライフタイムを伸ばす必要が生じる。しかしながら、浅くて濃くドープしない接合は抵抗値の上昇を招き、C・R時定数の増加のため応答性が悪くなる。従って、高速応答性を得るには、p型領域を高濃度にドープする必要が生じる。しかしながら、これは表面付近の高濃度領域で発生したキャリアのライフタイムを著しく短くするため、短波長域での感度低下に繋がる。また、高濃度の不純
Claims (4)
- n型シリコンと前記n型シリコン上に形成される半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とを有し、前記n型シリコンがカソード領域であり、前記半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜の成膜によって、前記半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜に接するn型シリコンの上部にp型反転層を生じせしめ、前記p型反転層が受光部領域であって、且つ、アノード領域であることを特徴とする半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とシリコンとのヘテロ接合を有する光ダイオード。
- 前記受光部領域が、前記受光部領域に対するオーミック領域として前記p型反転層と共有部分を有するようにp型不純物ドーピング領域を兼ね備えたものからなることを特徴とする請求項1に記載の半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とシリコンとのヘテロ接合を有する光ダイオード。
- 前記半絶縁性酸化亜鉛の一部が低抵抗酸化亜鉛であって、前記低抵抗酸化亜鉛に対し電極形成されるものであって、前記電極がp型不純物ドーピング領域に接続されるものからなることを特徴とする請求項2に記載の半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とシリコンとのヘテロ接合を有する光ダイオード。
- p型シリコンと前記p型シリコン上に形成される半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とを有し、前記半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜と前記p型シリコンとのヘテロ接合部を受光部領域とし、前記受光部領域と共有部分を有するように光電流を取り出すための前記p型シリコン上に形成されたn型不純物ドーピング領域を兼ね備えたものからなることを特徴とする半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とシリコンとのヘテロ接合を有する光ダイオード。
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