JP2009272543A - フォトダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】n型Si基板1に、p型不純物ドープ領域1aが形成され、主としてp型不純物ドープ領域1aが形成されていないn型シリコン基板1上に積層されたn型MgXZnO層2(0≦X<1)との界面が受光領域となっており、この界面でキャリアを分離している。MgXZnOは可視光に対し透明で、不純物ドーピングによるpn接合を持たない。したがって、高感度、高安定性を実現できる。また、n型Si基板1とn型MgXZnO層2との界面で光を受光すると、光電流が発生するが、光電流は、MgXZnOとSiの界面を2次元性キャリアとして流れる。これにより、高速応答性を得ることができる。
【選択図】 図1
Description
1a p型不純物ドープ領域
2 n型MgXZnO層
3 絶縁膜
Claims (12)
- 半導体の主面上に該半導体材料とは異なる材料で構成された光透過半導体層を備え、前記光透過半導体層の側から光を入射させるヘテロ接合型のフォトダイオードであって、
前記光透過半導体層のフェルミ準位は、真空準位を基準としたときに前記半導体のフェルミ準位の位置よりも深い位置に形成されていることを特徴とするフォトダイオード。 - 前記光透過半導体層が400nm以上の光波長領域において70%以上の透過率を有することを特徴とする請求項1に記載のフォトダイオード。
- 前記半導体はシリコンからなることを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれか1項に記載のフォトダイオード。
- 前記シリコンはn型不純物がドープされていることを特徴とする請求項3記載のフォトダイオード。
- 前記光透過半導体層とシリコンとの間にシリコン酸化膜が形成されていることを特徴とする請求項3又は請求項4のいずれか1項に記載のフォトダイオード。
- 前記光透過半導体層がフッ化物若しくは酸化物で構成されていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のフォトダイオード。
- 前記フッ化物又は酸化物は、CdF2、CaF2、若しくはこれらの複合化合物、又は、ZnO系材料、In2O3系材料、SnO2系材料、TiO2系材料、若しくはこれらの複合酸化物のいずれかであることを特徴とする請求項6に記載のフォトダイオード。
- 前記光透過半導体層は前記酸化物のうちZnO系材料で構成されており、シリコンのドナー不純物濃度よりもZnO系材料のドナー不純物濃度の方が大きくなるように不純物がドーピングされていることを特徴とする請求項7記載のフォトダイオード。
- 前記ZnO系材料はMgZnOであることを特徴とする請求項8に記載のフォトダイオード。
- 前記MgZnOが酸素極性を持っている部分を含むことを特徴とする請求項9に記載のフォトダイオード。
- 前記MgZnOとSiの間にマグネシウムと酸素を含む絶縁層があることを特徴とする請求項9又は請求項10のいずれか1項に記載のフォトダイオード。
- 前記シリコンで構成された半導体の主面が略(111)面であることを特徴とする請求項3〜請求項11のいずれか1項に記載のフォトダイオード。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104779308A (zh) * | 2014-01-10 | 2015-07-15 | 中国科学院物理研究所 | 提高MgXZn1-XO导电性的方法及其在光电子器件中的应用 |
CN113551783A (zh) * | 2021-09-23 | 2021-10-26 | 西安中科立德红外科技有限公司 | 一种基于半导体集成电路工艺的混合成像探测器芯片 |
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WO2006080099A1 (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-03 | Kodenshi Corporation | 半絶縁性酸化亜鉛半導体薄膜とシリコンとのヘテロ接合を有する光ダイオード |
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2008
- 2008-05-09 JP JP2008123538A patent/JP2009272543A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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Title |
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