JPWO2006033272A1 - 接着性の改良された新規なポリイミドフィルム - Google Patents
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Abstract
Description
ポリイミドフィルムは一般的に、ジアミンと酸二無水物を反応させて得られるポリアミド酸を支持体上に溶液キャストした後、溶媒をある程度揮発して得られるゲルフィルムを熱的、化学的にイミド化して得られる。原料モノマーであるジアミン、酸二無水物の構造やイミド化の条件は種々検討がなされているが、いずれにしても得られるポリイミドフィルムは、プラスチックフィルムの中でも接着性が極めて低い部類に入る。そのため、フィルムを得た後、接着層を設ける前に、コロナ処理、プラズマ処理、火炎処理、UV処理等の各種表面処理がなされているのが実状である。
ポリイミドフィルムの接着性が低い原因については諸説あるが、製膜の過程において、フィルム表面に表面脆弱層(WBL:Weak Boundary Layer)が形成されることが一因であると言われている。即ち、表面脆弱層の部分から界面剥離してしまうため、接着性が低くなるというのである。PCT(Pressure Cooker Test)や長期加熱試験を行うと、この表面脆弱層の分解が促進され、更に接着性が低下する。これに対し、上記表面処理を施すことによってフィルム表面が荒らされ、この表面脆弱層が除去されるため、接着性が向上すると言われている。
一方、ポリイミドフィルムと金属箔を貼り合わせるための接着材料としては、エポキシ系、アクリル系等の熱硬化性接着剤が一般的に用いられている。しかしながら、今後、耐熱性、屈曲性、電気的信頼性といった要求特性が厳しくなるに従い、熱硬化性接着剤では対応が困難になるため、熱可塑性ポリイミドを接着材料に使用することが提案されている。しかし、熱可塑性ポリイミドは熱硬化性樹脂に対して流れ性に劣るため、材料へのかみ込みが悪く、接着性に劣る。そのため、接着性の低いポリイミドフィルムに、接着性に劣る熱可塑性ポリイミド接着層を介して金属箔を貼り合わせても、十分な接着強度が得られないという問題がある。
この問題を解決するため、様々な取り組みがなされている。例えば、上記表面処理を施したフィルムを使用する方法、接着層の熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度を下げ、流れ性を向上させる方法、コア層と接着層を同時形成することによって、表面脆弱層が生じないようにする方法(特許文献1参照)等である。
即ち本発明は、以下の新規なポリイミドフィルムによって上記課題を解決しうる。
1)芳香族ジアミンと芳香族酸二無水物を反応させて得られるポリアミド酸を含む溶液をイミド化して得られる非熱可塑性ポリイミドフィルムであって、前記芳香族ジアミンは、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルおよび2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパンを含むとともに、前記ポリアミド酸を含む溶液は、下記の工程(A)および工程(B)を含む、ポリアミド酸溶液の製造方法により得られることを特徴とする非熱可塑性ポリイミドフィルム。
(A)芳香族酸二無水物成分と、これに対し、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルを含む芳香族ジアミン成分とを、どちらか一方が過剰モル量の状態で有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基または酸二無水物基を有する屈曲性プレポリマーを得る工程、
(B)(A)工程で得られたプレポリマーと、芳香族酸二無水物成分と芳香族ジアミン成分を、全工程において実質的に等モルとなるように用いてポリイミド前駆体溶液を合成する工程
2)前記(A)工程で用いるジアミンは、柔構造のジアミンであることを特徴とする1)記載の非熱可塑性ポリイミドフィルム。
3)前記(B)工程で用いるジアミンは、剛直性のジアミンであることを特徴とする2)記載の非熱可塑性ポリイミドフィルム。
4)前記柔構造のジアミンとして、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルおよび/または2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパンを含むことを特徴とする2)または3)記載の非熱可塑性ポリイミドフィルム。
5)前記3,4’−ジアミノジフェニルエーテルを、全ジアミン成分の10モル%以上使用することを特徴とする、4)記載のポリイミドフィルム。
6)前記2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパンを、全ジアミン成分の10モル%以上使用することを特徴とする、4)または5)に記載のポリイミドフィルム。
7)前記(A)工程においてベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物を用いることを特徴とする1)〜4)のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム。
8)前記ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物を、全酸二無水物成分の5モル%以上使用することを特徴とする、7)記載のポリイミドフィルム。
9)(A)工程で得られるプレポリマーが、熱可塑性ポリイミド由来のブロック成分であることを特徴とする1乃至8)に記載のポリイミドフィルム。
10)前記ポリイミドフィルムに表面処理を施さずに、熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を介して、前記ポリイミドフィルムに金属箔を積層した際に、得られる積層体の金属箔引き剥がし強度が、90度方向剥離で15N/cm以上、かつ180度方向剥離で10N/cm以上であることを特徴とする、1)乃至9)記載のポリイミドフィルム。
11)前記ポリイミドフィルムに表面処理を施さずに、熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を介して、前記ポリイミドフィルムに金属箔を積層して得られる積層体を、121℃、100%R.H.の条件下で96時間処理した後、積層体の金属箔引き剥がし強度を測定した際に、90度方向剥離、180度方向剥離のいずれも、処理前の引き剥がし強度の85%以上となることを特徴とする、10)記載のポリイミドフィルム。
12)前記ポリイミドフィルムに表面処理を施さずに、熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を介して、前記ポリイミドフィルムに金属箔を積層して得られる積層体を、150℃で500時間処理した後、積層体の金属箔引き剥がし強度を測定した際に、90度方向剥離、180度方向剥離のいずれも、処理前の引き剥がし強度の85%以上となることを特徴とする、10)または11)記載のポリイミドフィルム。
本発明に用いられるポリイミドの前駆体であるポリアミド酸は、通常、芳香族ジアミンと芳香族酸二無水物とを、実質的に等モル量となるように有機溶媒中に溶解させて、得られたポリアミド酸有機溶媒溶液を、制御された温度条件下で、上記酸二無水物とジアミンの重合が完了するまで攪拌することによって製造される。これらのポリアミド酸溶液は通常5〜35wt%、好ましくは10〜30wt%の濃度で得られる。この範囲の濃度である場合に適当な分子量と溶液粘度を得る。
(A)芳香族酸二無水物成分と、芳香族ジアミン成分とを、どちらか一方が過剰モル量の状態で有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基または酸二無水物基を有するプレポリマーを得る工程
(B)(A)工程で得られたプレポリマーと、芳香族酸無水物成分と芳香族ジアミン成分を、全工程において実質的に等モルとなるように用いてポリイミド前駆体溶液を合成する工程
さらに、上記芳香族ジアミン成分として、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルおよび2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパンを用いることが重要である。
上記工程を経ることによって得られたポリイミドフィルムが、何故無処理でも高接着性を発現するのか、詳しいことはまだ明らかになっていない。分子鎖中に点在する屈曲部位が表面脆弱層の形成を阻害するか、接着層との接着に何らかの関与をしていると考えられる。
で表されるものをいう。
ポリアミド酸を合成するための好ましい溶媒は、ポリアミド酸を溶解する溶媒であればいかなるものも用いることができるが、アミド系溶媒すなわちN,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどがあり、その中でもN,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドが特に好ましく用い得る。
また、摺動性、熱伝導性、導電性、耐コロナ性、ループスティフネス等のフィルムの諸特性を改善する目的でフィラーを添加することもできる。フィラーとしてはいかなるものを用いても良いが、好ましい例としてはシリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化珪素、窒化ホウ素、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、雲母などが挙げられる。
1.重合前または途中に重合反応液に添加する方法
2.重合完了後、3本ロールなどを用いてフィラーを混錬する方法
3.フィラーを含む分散液を用意し、これをポリアミド酸有機溶媒溶液に混合する方法
などいかなる方法を用いてもよいが、フィラーを含む分散液をポリアミド酸溶液に混合する方法、特に製膜直前に混合する方法が製造ラインのフィラーによる汚染が最も少なくすむため、好ましい。フィラーを含む分散液を用意する場合、ポリアミド酸の重合溶媒と同じ溶媒を用いるのが好ましい。また、フィラーを良好に分散させ、また分散状態を安定化させるために分散剤、増粘剤等をフィルム物性に影響を及ぼさない範囲内で用いることもできる。
これらポリアミド酸溶液からポリイミドフィルムを製造する方法については従来公知の方法を用いることができる。この方法には熱イミド化法と化学イミド化法が挙げられる。熱イミド化法は、脱水剤等を作用させずに加熱だけでイミド化反応を進行させる方法であり、化学イミド化法は、ポリアミド酸溶液に、脱水剤及び/又はイミド化触媒とを作用させてイミド化を促進する方法である。
また、イミド化触媒とはポリアミド酸に対する脱水閉環作用を促進する効果を有する成分を意味し、例えば、脂肪族第三級アミン、芳香族第三級アミン、複素環式第三級アミン等が用いられる。中でも触媒としての反応性の点から、複素環式第三級アミンから選択されるものが特に好ましく用いられる。具体的にはキノリン、イソキノリン、β−ピコリン、ピリジン等が好ましく用いられる。
どちらの方法を用いてフィルムを製造してもかまわないが、化学イミド化法によるイミド化の方が本発明に好適に用いられる諸特性を有したポリイミドフィルムを得やすい傾向にある。
また、本発明において特に好ましいポリイミドフィルムの製造工程は、
a) 有機溶剤中で芳香族ジアミンと芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させてポリアミド酸溶液を得る工程、
b)上記ポリアミド酸溶液を含む製膜ドープを支持体上に流延する工程、
c)支持体上で加熱した後、支持体からゲルフィルムを引き剥がす工程、
d)更に加熱して、残ったアミック酸をイミド化し、かつ乾燥させる工程、
を含むことが好ましい。
以下本発明の好ましい一形態、化学イミド化法を一例にとり、ポリイミドフィルムの製造工程を説明する。ただし、本発明は以下の例により限定されるものではない。製膜条件や加熱条件は、ポリアミド酸の種類、フィルムの厚さ等により、変動し得る。
脱水剤及びイミド化触媒を低温でポリアミド酸溶液中に混合して製膜ドープを得る。引き続いてこの製膜ドープをガラス板、アルミ箔、エンドレスステンレスベルト、ステンレスドラムなどの支持体上にフィルム状にキャストし、支持体上で80℃〜200℃、好ましくは100℃〜180℃の温度領域で加熱することで脱水剤及びイミド化触媒を活性化することによって部分的に硬化及び/または乾燥した後支持体から剥離してポリアミド酸フィルム(以下、ゲルフィルムという)を得る。
ゲルフィルムは、ポリアミド酸からポリイミドへの硬化の中間段階にあり、自己支持性を有し、式(2)
(A−B)×100/B・・・・(2)
(式(2)中
A,Bは以下のものを表す。
A:ゲルフィルムの重量
B:ゲルフィルムを450℃で20分間加熱した後の重量)
から算出される揮発分含量は5〜500重量%の範囲、好ましくは5〜200重量%、より好ましくは5〜150重量%の範囲にあることが好ましい。この範囲外では、焼成過程でフィルム破断、乾燥ムラによるフィルムの色調ムラ、特性ばらつき等の不具合が起こることがある。
脱水剤の好ましい量は、ポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して、0.5〜5モル、好ましくは1.0〜4モルである。
また、イミド化触媒の好ましい量はポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して、0.05〜3モル、好ましくは0.2〜2モルである。
脱水剤及びイミド化触媒が上記範囲を下回ると化学的イミド化が不十分で、焼成途中で破断したり、機械的強度が低下したりすることがある。また、これらの量が上記範囲を上回ると、イミド化の進行が早くなりすぎ、フィルム状にキャストすることが困難となる場合がある。
この時、最終的に400〜650℃の温度で5〜400秒加熱するのが好ましい。この温度より高い及び/または時間が長いと、フィルムの熱劣化が起こり問題が生じることがある。逆にこの温度より低い及び/または時間が短いと所定の効果が発現しないことがある。
また、フィルム中に残留している内部応力を緩和させるためにフィルムを搬送するに必要最低限の張力下において加熱処理をすることもできる。この加熱処理はフィルム製造工程において行ってもよいし、また、別途この工程を設けても良い。加熱条件はフィルムの特性や用いる装置に応じて変動するため一概に決定することはできないが、一般的には200℃以上500℃以下、好ましくは250℃以上500℃以下、特に好ましくは300℃以上450℃以下の温度で、1〜300秒、好ましくは2〜250秒、特に好ましくは5〜200秒程度の熱処理により内部応力を緩和することができる。
接着層に含有される熱可塑性ポリイミドとしては、熱可塑性ポリイミド、熱可塑性ポリアミドイミド、熱可塑性ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリエステルイミド等を好適に用いることができ、特に限定されない。いずれの熱可塑性ポリイミドを用いた場合でも、本発明のポリイミドフィルムは高い接着性を示す。また、ガラス転移温度(Tg)が250℃以上の高Tg型熱可塑性ポリイミドを使用しても、高い接着性を示す。ポリイミドフィルムに接着層を設ける方法、ならびに金属箔と貼り合わせる方法については、従来公知の方法が使用可能であり、特に限定されない。本発明の非熱可塑性ポリイミドフィルムは、本上述のように接着層を介して金属層と張り合わせた場合に、特に顕著な効果を奏するが、もちろん、発明の接着剤を介さないで、スパッタリングなどの方法により直接金属層を形成してもかまわない。
ガラス転移温度は、SIIナノテクノロジー社製 DMS6100により測定し、貯蔵弾性率の変曲点をガラス転移温度とした。
サンプル測定範囲;幅9mm、つかみ具間距離20mm
測定温度範囲;0〜400℃
昇温速度;3℃/分
歪み振幅;10μm
測定周波数;1,5,10Hz
最小張力/圧縮力;100mN
張力/圧縮ゲイン;1.5
力振幅初期値;100mN
(ポリイミドフィルムの線膨張係数)
ポリイミドフィルムの線膨張係数は、SIIナノテクノロジー社製熱機械的分析装置、商品名:TMA/SS6100により0℃〜460℃まで一旦昇温させた後、10℃まで冷却し、さらに10℃/minで昇温させて、2回目の昇温時の、100〜200℃の範囲内の平均値を求めた。なお、測定はコアフィルムのMD方向及びTD方向に対して行った。
サンプル形状;幅3mm、長さ10mm
荷重;29.4mN
測定温度範囲;0〜460℃
昇温速度;10℃/min
(可塑性の判定)
可塑性の判定は、得られたフィルム20×20cmを正方形のSUS製枠(外径20×20cm、内径18×18cm)に固定し、450℃3分間熱処理して判定し、形態を保持しているものを非熱可塑性、シワが入ったり、のびたりしたものを熱可塑性とした。
JIS C6471の「6.5 引きはがし強さ」に従って、サンプルを作製し、5mm幅の金属箔部分を、180度の剥離角度、50mm/分の条件で剥離し、その荷重を測定した。同様に、1mm幅の金属箔部分を、90度の剥離角度、50mm/分の条件で剥離し、その荷重を測定した。
平山製作所製のプレッシャークッカ−試験機、商品名:PC−422RIIIの中に、上記
の初期接着強度と同様にして作製したサンプルを投入し、121℃、100%R.H.の条件下で96時間放置した。取り出したサンプルの接着強度を、上記の初期接着強度と同様にして測定した。
150℃に設定したオーブン中に、上記の初期接着強度と同様にして作製したサンプルを投入し、500時間放置した。取り出したサンプルの接着強度を、上記の初期接着強度と同様にして測定した。
容量2000mlのガラス製フラスコにN,N−ジメチルホルムアミド(以下、DMFともいう)を780g、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン(以下、BAPSともいう。)を117.2g加え、窒素雰囲気下で攪拌しながら、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(以下、BPDAともいう。)を71.7g徐々に添加した。続いて、3,3’,4,4’−エチレングリコールジベンゾエートテトラカルボン酸二無水物(以下、TMEGともいう。)を5.6g添加し、氷浴下で30分間撹拌した。5.5gのTMEGを20gのDMFに溶解させた溶液を別途調製し、これを上記反応溶液に、粘度に注意しながら徐々に添加、撹拌を行った。粘度が3000poiseに達したところで添加、撹拌をやめ、ポリアミド酸溶液を得た。
得られたポリアミド酸溶液を25μmPETフィルム(セラピールHP,東洋メタライジング社製)上に最終厚みが20μmとなるように流延し、120℃で5分間乾燥を行った。乾燥後の自己支持性フィルムをPETから剥離した後、金属製のピン枠に固定し、150℃で5分間、200℃で5分間、250℃で5分間、350℃で5分間乾燥を行った。得られた単層シートのガラス転移温度を測定したところ、270℃であった。
反応系内を5℃に保った状態で、DMFに、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル(以下、3,4’−ODAともいう)ならびに2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパン(以下、BAPPともいう)を表1に示すモル比で添加し、撹拌を行った。溶解したことを目視確認した後、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(以下、BTDAともいう)を表1に示すモル比で添加し、30分間撹拌を行った。
続いて、ピロメリット酸二無水物(以下、PMDAともいう)を表1に示すモル比で添加し、30分間撹拌を行った。続いて、p−フェニレンジアミン(以下、p−PDAともいう)を表1に示すモル比で添加し、50分間撹拌を行った。続いて、PMDAを再度、表1に示すモル比で添加し、30分間撹拌を行った。
最後に、3モル%分のPMDAを固形分濃度7%となるようにDMFに溶解した溶液を調製し、この溶液を粘度上昇に気をつけながら上記反応溶液に徐々に添加し、20℃での粘度が4000ポイズに達した時点で重合を終了した。
このポリアミド酸溶液に、無水酢酸/イソキノリン/DMF(重量比2.0/0.3/4.0)からなるイミド化促進剤をポリアミド酸溶液に対して重量比45%で添加し、連続的にミキサーで攪拌しTダイから押出してダイの下20mmを走行しているステンレス製のエンドレスベルト上に流延した。この樹脂膜を130℃×100秒で加熱した後エンドレスベルトから自己支持性のゲル膜を引き剥がして(揮発分含量30重量%)テンタークリップに固定し加熱炉に搬送し、300℃の熱風乾燥炉で30秒、400℃の熱風乾燥炉で30秒、500℃のIR炉で30秒、連続的に乾燥・イミド化させ、厚み18μmのポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムは非熱可塑性であった。得られたポリイミドフィルムの片面に、合成例1で得られたポリアミド酸を、熱可塑性ポリイミド層(接着層)の最終片面厚みが3.5μmとなるように、コンマコーターで塗布し、140℃に設定した乾燥炉内を1分間通して加熱を行った。続いて、雰囲気温度390℃の遠赤外線ヒーター炉の中を20秒間通して加熱イミド化を行って、接着フィルムを得た。
得られた接着フィルムの接着層側に18μm圧延銅箔(BHY−22B−T,ジャパンエナジー社製)を配し、それを125μm厚のポリイミドフィルム(アピカル125NPI;株式会社カネカ製)で挟んだ状態で、温度380℃、圧力196N/cm(20kgf/cm)、速度1.5m/分に設定した熱ロールラミネート機を通し、銅箔を貼り合わせた。
(実施例7)
反応系内を5℃に保った状態で、DMFに、BTDAならびにPMDAを表1に示すモル比で添加し、撹拌を行った。溶解したことを目視確認した後、3,4’−ODAならびにBAPPを表1に示すモル比で添加し、30分間撹拌を行った。
続いて、PMDAを表1に示すモル比で添加し、溶解後さらに、p−PDAを表1に示すモル比で添加し、50分間撹拌を行った。
最後に、3モル%分のp−PDAを固形分濃度5%となるようにDMFに溶解した溶液を調製し、この溶液を粘度上昇に気をつけながら上記反応溶液に徐々に添加し、20℃での粘度が4000ポイズに達した時点で重合を終了した。
得られたポリアミド酸溶液を用いて実施例1と同様の操作を行い、厚み18μmのポリイミドフィルム、ならびにそれを用いた接着フィルム、銅張積層板を得た。
18μm厚の無処理のポリイミドフィルム(アピカル18HP GF,株式会社カネカ製)に実施例と同様にして接着層を設け、銅箔を貼り合わせた。
20μm厚の無処理のポリイミドフィルム(アピカル20NPI GF,株式会社カネカ製)に実施例と同様にして接着層を設け、銅箔を貼り合わせた。
表面をプラズマ処理した18μm厚のポリイミドフィルム(アピカル18HPP,株式会社カネカ製)に実施例と同様にして接着層を設け、銅箔を貼り合わせた。
表面をプラズマ処理した20μm厚のポリイミドフィルム(アピカル20NPP,株式会社カネカ製)に実施例と同様にして接着層を設け、銅箔を貼り合わせた。
Claims (12)
- 芳香族ジアミンと芳香族酸二無水物を反応させて得られるポリアミド酸を含む溶液をイミド化して得られる非熱可塑性ポリイミドフィルムであって、前記芳香族ジアミンは、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルおよび2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパンを含むとともに、前記ポリアミド酸を含む溶液は、下記の工程(A)および工程(B)を含む、ポリアミド酸溶液の製造方法により得られることを特徴とする非熱可塑性ポリイミドフィルム。
(A)芳香族酸二無水物成分と、これに対し、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルを含む芳香族ジアミン成分とを、どちらか一方が過剰モル量の状態で有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基または酸二無水物基を有する屈曲性プレポリマーを得る工程、
(B)(A)工程で得られたプレポリマーと、芳香族酸二無水物成分と芳香族ジアミン成分を、全工程において実質的に等モルとなるように用いてポリイミド前駆体溶液を合成する工程 - 前記(A)工程で用いるジアミンは、柔構造のジアミンであることを特徴とする請求項1記載の非熱可塑性ポリイミドフィルム。
- 前記(B)工程で用いるジアミンは、剛構造のジアミンであることを特徴とする請求項2記載の非熱可塑性ポリイミドフィルム。
- 前記柔構造のジアミンとして、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルおよび/または2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパンを含むことを特徴とする請求項2または3記載の非熱可塑性ポリイミドフィルム。
- 前記3,4’−ジアミノジフェニルエーテルを、全ジアミン成分の10モル%以上使用することを特徴とする、請求項4記載のポリイミドフィルム。
- 前記2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパンを、全ジアミン成分の10モル%以上使用することを特徴とする、請求項4または5に記載のポリイミドフィルム。
- 前記(A)工程においてベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物を用いることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のポリイミドフィルム。
- 前記ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物を、全酸二無水物成分の5モル%以上使用することを特徴とする、請求項7記載のポリイミドフィルム。
- (A)工程で得られるプレポリマーが、熱可塑性ポリイミド由来のブロック成分であることを特徴とする請求項1乃至8に記載のポリイミドフィルム。
- 前記ポリイミドフィルムに表面処理を施さずに、熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を介して、前記ポリイミドフィルムに金属箔を積層した際に、得られる積層体の金属箔引き剥がし強度が、90度方向剥離で15N/cm以上、かつ180度方向剥離で10N/cm以上であることを特徴とする、請求項1乃至9記載のポリイミドフィルム。
- 前記ポリイミドフィルムに表面処理を施さずに、熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を介して、前記ポリイミドフィルムに金属箔を積層して得られる積層体を、121℃、100%R.H.の条件下で96時間処理した後、積層体の金属箔引き剥がし強度を測定した際に、90度方向剥離、180度方向剥離のいずれも、処理前の引き剥がし強度の85%以上となることを特徴とする、請求項10記載のポリイミドフィルム。
- 前記ポリイミドフィルムに表面処理を施さずに、熱可塑性ポリイミドを含有する接着層を介して、前記ポリイミドフィルムに金属箔を積層して得られる積層体を、150℃で500時間処理した後、積層体の金属箔引き剥がし強度を測定した際に、90度方向剥離、180度方向剥離のいずれも、処理前の引き剥がし強度の85%以上となることを特徴とする、請求項10または11記載のポリイミドフィルム。
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