JPWO2005113375A1 - 基板収納容器、基板収納体及び基板輸送装置 - Google Patents

基板収納容器、基板収納体及び基板輸送装置 Download PDF

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Abstract

複数の基板を積層させて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に、均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段を有し、前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように、前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグを有する基板収納容器。

Description

本発明は、板ガラス、ガラス基板及びその加工製品である液晶表示装置に用いられるカラーフィルター基板等を運搬、保護するための基板収納容器、基板収納体及び基板輸送装置に関するものである。
従来、板ガラス及びその加工製品であるガラス基板表面にブラックマトリックス、着色層、透明導電膜層及びスペーサ等の突起物を形成したカラーフィルター基板を、保管、移送する際は、ガラス基板表面を傷や破損から守るため、ガラス基板同士が接触しないように、箱上方の開口部から基板を立てて挿入して保持できるよう、多数の溝が形成されており、ガラス基板を所定間隔で並列収納できる発泡樹脂製の箱の収納容器を用いていた。
特開２００２−２６４９９２号公報
しかしながら、最近では、大型のガラス基板の製造が要求されており、これらを従来と同様に箱形の収納容器に所定間隔で収納すれば、より大きな、収納容器、収納スペースが必要となり、また、従来は基板の周辺だけを緩く支持するため、輸送中の振動などによりガラス基板端が溝から離脱することによる倒壊や、自重による座屈により、箱の中で隣接するガラス基板と接触して傷が付くという問題があった。
本発明の目的は、大型の板ガラス、ガラス基板およびカラーフィルター基板等その加工製品を、搬送時の傷、破損等のダメージを回避し、輸送できる基板収納容器、基板収納体及び基板輸送装置を提供するものである。
第１の発明は、複数の基板を積層させて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に、均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け、固定する押圧手段を有することを特徴とする基板収納容器である。
また、第２の発明は、離間体を介して複数の基板を積層させてなる積重体を第１の発明の基板収納容器に収納して形成された基板収納体である。
また、第３の発明は、第１の支持板と第２の支持板と、離間体を介して複数の基板を積層させてなる積重体とを具備し、前記積重体は、前記第１及び第２の支持板に挟まれ、押圧支持されてなることを特徴とする基板収納体である。
また、第４の発明は、複数の基板を積層させて構成した積重体を押圧支持して格納する架台と、前記架台を格納し、内部床面に、緩衝部材を有し、前記緩衝部材上に前記架台を保持するコンテナとを具備し、前記架台は、振動の低周波成分を吸収する特性を有し、前記コンテナは、振動の高周波成分を吸収する特性を有することを特徴とする輸送である。前記架台は、振動の低周波成分を吸収する特性、すなわち一般に大振幅となる振動の低周波成分による積重体の変形を防止する特性を有し、前記コンテナは、振動の高周波成分を吸収する特性、すなわち床面の緩衝部材が振動のエネルギーを熱に変換することにより、前記架台への高周波成分の伝播を有効に遮断する特性を有する。
また、第５の発明は、複数の基板を積層させて構成した積重体を押圧支持して格納する架台と、前記架台を格納し、内部天井面にバネ機構を有し、前記バネ機構で前記架台を吊して保持するコンテナとを具備し、前記架台は、振動の低周波成分を吸収する特性を有し、前記コンテナは、振動の高周波成分を吸収する特性を有することを特徴とする輸送装置である。前記架台は、振動の低周波成分を吸収する特性、すなわち一般に大振幅となる振動の低周波成分による積重体の変形を防止する特性を有し、前記コンテナは、振動の高周波成分を吸収する特性、すなわち床面の緩衝部材が振動のエネルギーを熱に変換することにより、前記架台への高周波成分の伝播を有効に遮断する特性を有する。
また、第６の発明は、複数の基板を積層させて構成した積重体を押圧支持して格納する架台と、前記架台を格納し、緩衝部材を有し前記架台を保持する底部と、前記底部の上側に配置したカバーとからなる箱状物とを具備し、前記架台は、振動の低周波成分を吸収する特性を有し、前記底部は、振動の高周波成分を吸収する特性を有することを特徴とする輸送装置である。
また、第７の発明は、第６の発明に記載された輸送装置の周囲を、床部材と、前記床部材の角部に立設した４本の柱と前記柱の上部をつなぐ４本の梁とを具備するラックで囲んでなる輸送装置である。
また、第８の発明は、離間体を介して複数の基板を積層させてなる積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に、均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け、固定する押圧手段を有する基板収納容器に、前記積重体を収納してなる基板収納体と、前記基板収納体を格納し、内部床面に、緩衝部材を有し、前記緩衝部材上に前記基板収納体を保持するコンテナとを具備し、前記基板収納体は、振動の低周波成分を吸収する特性を有し、前記コンテナは、振動の高周波成分を吸収する特性を有することを特徴とする輸送装置である。
また、第９の発明は、第１の支持板と第２の支持板と、離間体を介して複数の基板を積層させてなる積重体とを具備し、前記積重体が、前記第１及び第２の支持板に挟まれ、押圧支持されてなる基板収納体を、更に前記基板収納体を載置可能な支持面を備えたパレットと、前記パレット上に載置された前記基板収納体を覆うように設けられる脱着可能な蓋体とからなる箱体に収納した基板収納体と、
前記箱体に収納した基板収納体を格納し、内部床面に、緩衝部材を有し、前記緩衝部材上に前記架台を保持するコンテナとを具備し、前記基板収納体は、振動の低周波成分を吸収する特性を有し、前記コンテナは、振動の高周波成分を吸収する特性を有することを特徴とする輸送装置である。
本発明では、基板の積重体の重量と輸送中の振動に対し、十分な剛性を持つ架台や基板収納体を用いて、基板全面を押さえる押圧体により基板の積重体を固定することにより、基板個々の曲がりや、基板の積重体の変形を抑制し、基板同士又は基板と離間体との擦れを防止し、床面に緩衝機能を持つコンテナに格納して輸送する。
輸送中の振動には、低周波（４０Ｈｚ以下）成分と高周波（４０〜１００Ｈｚ）成分があり、十分な剛性を持つ架台や高剛性の支持台等に積重体を押し付けて固定した基板収納体を用いることで、低周波の振動を吸収することができ、コンテナの床面に緩衝機能を持たせたことにより、高周波の振動を吸収することができ、基板積重体の押圧力が十分でない場合の、分割振動により、個々の基板同士や基板と離間体とのぶつかりや擦れを防ぐことができる。
本発明の基板収納容器および基板収納体は、多数の大型のガラス基板又はその加工製品を搭載し、基板の全面を均一に支持して運搬することが可能であるので、横ずれせず、基板同士の擦れや基板と離間体との擦れを防ぎ、搬送効率がよく、基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。また、衝撃吸収材を更に設けることにより、耐衝撃性に優れ、基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。
また、パレット上に積重体を載置することにより、フォークリフト等を用いた運搬が容易となる効果が得られる。更に、パレットに、パレット上に載置された積重体を包囲するように蓋体を着脱可能に取り付け、その蓋体の天板を前記した荷重支持板として作用させる構成とすると、蓋体で荷重支持板を兼用することで構造を簡単としながら、蓋体によって積重体を覆って、基板に対するごみ、ほこり等の付着を防止できる。
また、パレットとそれに取り付けられる蓋体で形成される内箱を収納する第二のパレット及び第二の蓋体からなる外箱を有する構成としておくと、その外箱に収納された内箱にごみ、ほこり等が付着することがなく、この内箱を、基板を使用する工場内に搬入した際に、工場内にごみ、ほこり等を同伴することがなく、工場内を清浄に保てるという効果が得られる。
本発明の輸送装置は、多数の大型板ガラス、ガラス基板又はその加工製品を積重体として搭載し、押圧手段により押圧支持した架台または基板収納体を、床面に緩衝部材を有するコンテナ又は容器に格納することにより、低周波、高周波の振動を吸収して運搬することが可能であるので、基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。
本発明の基板収納体の一例を示す断面図である。 図１の基板収納体の内箱の斜視図である。 パレットに積重体を載せた状態の説明図である。 パレットに積重体を載せた状態の説明図である。 基板の説明図である。 積重体の説明図である。 積重体の説明図である。 本発明の基板収納体の一例を示す断面図である。 本発明の基板収納体の一例を示す断面図である。 本発明の基板収納体の一例を示す正面図である。 図１０の支持板の平面図である。 本発明の基板収納体の一例を示す正面図である。 図１２の支持板の平面図である。 本発明の基板収納体の一例を示す正面図である。 図１４の支持板の平面図である。 本発明の基板収納体の一例を示す正面図である。 図１６の基板収納体のＡ−Ａ断面図である。 本発明の基板収納体の一例を示す正面図である。 図１２の輸送体のＢ−Ｂ断面図である。 本発明の輸送装置の一例を示す斜視図である。 図２０の輸送装置のコンテナの斜視図である。 図２１のコンテナの床面の平面図である。 図２０の輸送装置の架台の斜視図である。 本発明の輸送装置の一例を示す断面図である。 本発明の輸送装置の一例を示す斜視図である。 図２５の輸送装置の断面図である。 本発明の輸送装置の一例を示す斜視図である。 本発明の輸送装置に用いる架台の他の一例を示す斜視図である。 本発明の輸送装置に用いる架台の他の一例を示す斜視図である。 本発明の輸送装置に用いる架台の他の一例を示す斜視図である。 本発明の輸送装置の一例を示す斜視図である。 本発明の輸送装置の一例を示す斜視図である。
符号の説明
１………基板収納体
３………基板
３ａ………基板本体
３ｂ………樹脂層
３ｃ………保護膜
４Ａ………離間体
４Ｂ………離間体
５………積重体
７………補強板材
９………補強板材
１１………パレット
１２………蓋体
１３………パチン錠
１５………エアバッグ
１７………パレット
１９………蓋体
２１………チューブ
２３………弁
３１………基板収納体
３３………エアバッグ
４１………基板収納体
４３………弾性板材
５１………基板収納体
５３………梱包体
５５………支持板
５６………溝部
５７………支持板
５９………バンド
６１………梱包体
６３………支持板
６４………頂部
６５………支持板
６６………ナット
６７………ボルト
６９………穴
７１………梱包体
７３………支持板
７５………支持板
７７………クランプ
７９………金属部
８１………基板収納体
８２………衝撃吸収材
８３………衝撃吸収材
８５………衝撃吸収材
８７………衝撃吸収材
８９………衝撃吸収材
９１………基板収納体
９２………衝撃吸収材
９３………衝撃吸収材
９４………衝撃吸収材
９５………衝撃吸収材
９７………衝撃吸収材
９９………衝撃吸収材
１０１………輸送装置
１０３………コンテナ
１０５………架台
１０７………床部材
１０９………緩衝部材
１１１………床面
１１３………側面板
１１５………天井板
１１７………扉
１１９………背面板
１２３………床部材
１２５………背面部材
１２７………押圧体
１３１………囲い部材
１３３………ハニカムパネル
１３５………ハニカムパネル
１３７………ネジ
１３９………正面部材
１４１………輸送装置
１４３………支持部材
１４５………レール
１４７………ガイド
１４９………コンテナ
１５１………輸送装置
１５３………床
１５５………緩衝部材
１５７………架台保持部材
１５８………突部
１５９………カバー
１６１………輸送装置
１６３………床部材
１６５………柱
１６７………梁
１７１………架台
１７３………押圧体
１７５………空気バネ
１８１………架台
１８３………上面部材
１８５………支持部材
１８７………アーム
１９１………架台
１９３………空気バネ
２０１………輸送装置
２１１………輸送装置
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態を説明する。
図１は、本発明の基板収納容器に基板の積重体を収納して形成した第１の実施形態に係る基板収納体の概略断面図、図２は図１の基板収納体の一部の概略斜視図、図３はパレットに基板の積重体を乗せた状態を示す概略側面図、図４はパレットに基板の積重体を乗せた状態を示す概略側面図である。基板収納体１は、多数の基板を積み重ねて形成した積重体５を基板収納容器（以下、単に収納容器という）１０内に収納したものである。以下、各部を詳細に説明する。
本実施形態において収納の対象とする基板３は、板ガラス、ガラス基板及びその加工製品であり、液晶ディスプレイのカラーフィルターや薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等に用いるガラス基板などである。その代表的な構造を図５に概略的に示している。
図５において、基板３は、ガラス板等の基板本体３ａの片面に、機能層３ｂ（例えば、カラーフィルター用の基板の場合には、ブラックマトリックス、着色画素、ＩＴＯ電極などを備えた層）を備え、更にその上に、保管、運搬中等における損傷を防止するための保護膜３ｃを形成している。この保護膜３ｃは容易に形成でき且つ容易に除去可能な材料で作られるものであり、水溶性の樹脂（たとえば、ポリビニルアルコール）が用いられることが多い。膜厚としては、１０〜２０μｍ程度が用いられる。通常、機能層３ｂ、保護膜３ｃは、基板本体３ａの周縁の数ｍｍを除いた全領域に形成されている。本明細書では、機能層３ｂ及びその上に保護膜３ｃを形成した領域を有効領域という。
基板３は、大きさを特に限定するものではなく、幅１８００ｍｍ×長さ２０００ｍｍ程度の大きいサイズとすることも可能である。また、基板の厚さも制限されるものではないが、０．３〜１．０ｍｍ程度が多い。また、収納枚数は１〜３００枚程度が好適である。
収納容器１０は、積重体５を収納する内箱と、その内箱を収納する外箱を備えた二重構造となっている。内箱は、積重体５を支持する支持面１１ａを備えた支持台を構成するパレット１１と、パレット１１上に載置された積重体５を包囲するように、前記パレット１１に着脱可能に取り付けられる蓋体１２を備えている。
パレット１１の支持面１１ａは、積重体５を、基板３が支持面１１ａに対して平行となる状態で支持可能なよう、基板３の面積よりも大きい面積に作られている。蓋体１２は、パレット１１に取り付けた状態で支持面１１ａに平行となる天板１２ａと、支持面１１ａに垂直となる４面の側板１２ｂを備えた箱状のものである。
蓋体１２をパレット１１に対する所定位置に位置決めするため、パレット１１の上面の複数箇所に、蓋体１２の側板１２ｂの内面に嵌合する突起１１ｂが形成されている。なお、パレット１１に対して蓋体１２を位置決めする手段は突起１１ｂを用いたものに限らず、適宜変更可能である。
蓋体１２の天板１２ａは、後述するように、エアバッグ１５によって積重体５
の上面に押圧力を作用させた際の反力を支持する荷重支持板として作用するものであり、蓋体１２はその反力に耐える剛性を備えた構造としている。また、蓋体１２は、パレット１１に対してその反力を支えうる強度を備えた連結手段で連結されるようになっている。本実施形態では、蓋体１２をパレット１１に対して必要な強度で連結するため、複数のパチン錠１３を用いている。パチン錠１３はワンタッチで開閉できるので、作業性が良いと共に大きい引張力に耐えることができる。なお、蓋体１２をパレット１１に連結する連結手段はパチン錠に限らず、ボルト、ナットを用いたもの、連結ピンを用いたもの等任意である。
パレット１１の支持面１１ａ上には、平面精度の高い補強板材７が置かれ、その上に積重体５が載置されている。そして、積重体５の上には平面精度の高い補強板材９が置かれ、その上にエアバッグ１５が配置されている。基板３をその平坦な補強部材で支持或いは押圧することにより、基板３の損傷を一層防止できる。
エアバッグ１５は、その内部に加圧エアを供給することにより膨らみ、上面位置が蓋体１２の天板（荷重支持板）１２ａで拘束されることにより、積重体５の上面全域を補強板材９を介して均一に押圧できるように配置されている。従って、エアバッグ１５とそれを支える天板１２ａ等は、積重体５の上面全域に、均一な押圧力を作用させ、前記積重体を支持台に押し付け、固定する押圧手段を構成する。
また、エアバッグ１５には、蓋体１２をパレット１１に取り付けた状態で、エアバッグ１５内に加圧エアを供給できるよう、蓋体１２の外側に延び出すようにエア供給用チューブ２１が連結されており、その先端には弁２３が取り付けられている。
積重体５の上下に配置される補強板材７、９は積重体５の基板を極力、平坦な状態で支持或いは押圧することができるよう設けたものである。補強部材７、９としては、平面精度に優れた軽量な板材が用いられ、具体的には、ハニカムパネル、あるいは発泡体をコアとしＦＲＰ板をスキンとした積層板等を用いることが好ましい。補強部材７、９は積重体５の全面を支持或いは押圧できるよう、基板３と同一若しくはそれよりも大きい面積のものが用いられる。補強部材７、９の平面精度としては、表面粗さは、１００μｍＲｍａｘ程度以下、平面度は、最小曲率半径が７００ｍ程度以上とすることが好ましい。
パレット１１及び蓋体１２で構成される内箱を収納する外箱は、第二のパレット１７とそれに着脱可能な蓋体１９で形成されている。蓋体１９も、内箱の蓋体１２と同様な形状で、パチン錠１３によってパレット１７に着脱可能となっている。なお、図示は省略しているが、外箱のパレット１７には、内箱のパレット１１を所定位置に位置決めして固定するための手段が設けられている。
基板３を多数枚積み重ね、積重体５を構成するに当たっては、各基板３の機能層３ｂ、保護膜３ｃを保護することができるよう、各基板３間に離間体４をはさむことが好ましい。離間体４を挟み込む形態は特に限定されず、少なくとも基板３の有効領域を覆う位置に離間体４が存在するようにすればよいが、好ましい形態としては、図６に示すように、基板３よりも長い離間体４Ａを、その両端が基板３よりも外に延び出すように配置する形態、或いは図７に示すように、二つ折りした状態で基板３とほぼ同一サイズとなる離間体４Ｂを、二つ折りした状態で基板３の間にはさみ込む形態を挙げることができる。図６に示す形態では、離間体４Ａの端部が基板３の外側に延び出しているので、離間体を剥がす際にはこの延び出している部分をつかめばよく、離間体をつかむための機構を簡単とすることができると共に確実につかむことが可能となる。また、図７に示す形態では、離間体４Ｂが二つ折りとなっているので、輸送中に基板３の保護膜３ｃ（図５参照）が吸湿してそれに接している離間体の片４Ｂａに接着してしまったとしても、上側の片４Ｂｂは接着しておらず、このため、離間体４Ｂを剥がす際に上側の片４Ｂｂを吸着パッド等で容易に吸着保持して持ち上げることができ、その一片を、離間体４を確実に剥がすことの可能な手段（例えば、ニップロール等）にくわえさせることで、離間体４を基板から確実に剥がすことができる。
離間体４に用いる材料は、基板３を保護しうるものであれば任意であり、紙、樹脂シート等が用いられる。離間体４に好ましい材料としては、独立気泡を有する樹脂の発泡シート、例えば、株式会社ＪＳＰ製の商品名「ミラマット」を挙げることができる。独立気泡を有する樹脂の発泡シートは、適度なやわらかさを有するので、基板表面の機能層３ｂの保護が確実であり、且つ通気性がないので保護膜３ｃが吸湿することを防止できる。離間体４の厚さとしては、あまり薄いと保護効果が低下し、一方あまり厚いとコスト高となると共に嵩張るという欠点を生じるので、これらを考慮して、０．２５〜１ｍｍ程度に選定することが好ましい。
次に、収納容器１０に積重体２を収納する方法を説明する。図３、図４に示すように、パレット１１上に補強板材７を乗せ、次いでその上に基板３と離間体とを交互に積み重ねて積重体５を形成する。なお、別の場所で積重体５を形成しておき、それをパレット１１上に載置するように変更してもよい。パレット１１上に積重体５を載置した後は、その上に補強部材９及びエアバッグ１５を乗せ、その上から蓋体１２をかぶせ、蓋体１２をパレット１１に固定する。その後、エアバッグ１５に連結しているエア供給用チューブ２３にコンプレッサ等の加圧エア供給装置（図示せず）を連結して、エアバッグ１５に加圧エアを供給する。これにより、エアバッグ１５が膨らんで、積重体５の上面を補強板材９を介して押圧し、積重体５をパレット１１に押し付けて固定する。
エアバッグ１５による押圧力は、そのエアバッグ１５に供給するエア圧力を調整することで、所望の値に調整できる。なお、積重体５の高さが不足し、エアバッグ１５で積重体５に押圧力を付与できない場合には、補強板材９とエアバッグ１５との間に適当なスペーサを挿入しておけばよい。
エアバッグ１５に所望圧力の加圧エアを供給した後は、弁２３を閉じ、加圧エア供給装置を取り外す。その後、全体を第二のパレット１７と蓋体１９で形成される外箱内に収納し、その状態で所望の場所に運搬し、また保管する。これらの運搬、保管の際にも、エアバッグ１５は加圧エアが封入された状態に保たれるため、エアバッグ１５が積重体５の上面に均等な押圧力を作用させ続けており、基板３がずれて損傷を生じるということがない。
なお、収納容器１０に基板を収納する際には、パレット１１を水平状態とし、基板を水平にした状態で積み重ねてゆくが、形成した基板収納体１を運搬する際には、パレット１１を水平状態に保つ場合に限らず、必要に応じ、パレット１１を傾斜させるとか、垂直に立ててもよい。この場合でも、基板３が全面に渡って均一な圧力で締め付けられ、パレット１１に押し付けられているので、基板３が動くことはなく、基板３に損傷を生じることなく安全に運搬することができる。
開梱に当たっては、外箱の蓋体１９を外し、その中に収納されていた内箱（パレット１１、蓋体１２等）を取り出し、所望の場所に搬入する。この際、内箱は外箱で覆われていたため、ごみ、ほこり等が付着しておらず、このため、基板を使用する工場内等の清浄さを要求される場所に内箱を搬入してもトラブルを生じることがない。次に、エアバッグ１５の空気を抜いた後、蓋体１２をパレット１１から取り外し、エアバッグ１５、補強板材９を取り外した後、積重体５の上面側から基板３、離間体４を交互に取り出せばよい。
このように、基板３を水平とした状態で載置し、エアバッグ１５が積重体５の上面全域に均一な押圧力を作用させるので、基板サイズが大きい場合でも、また収納枚数が多い場合でも、各基板３をその全域において均一な圧力で締め付けて固定することができ、運搬中などに基板が動いて損傷を生じるということがない。また、エアバッグ１５は基板全面に均一な押圧力を作用させているので、単位面積当りの押圧力を小さく設定しても、基板が動かないように拘束でき、この点からも基板の損傷を防止できる。また、エアバッグに供給する空気圧の調整で容易に押圧力を調整できる。
なお、本発明において、押圧手段が積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させる構成としているが、「上面全域」とは、必ずしも厳密な意味での上面全域に限らず、多少は全域より少ない領域であっても、その領域に均一な荷重を加えることによって基板を動かないように拘束できる領域であればよく、具体的には、上面全域の８０％程度以上の領域を意味するものとする。
なお、上記第１の実施形態では、基板３の固定に、積重体５の上面に配置したエアバッグ１５による押圧力のみを利用しているが、必要に応じ、積重体５の側面と蓋体１２の側板１２ｂの間に適当なクッション材を配置することも可能である。図８はその場合の実施形態に係る基板収納体３１を示すものであり、この実施形態では、積重体５の側面と蓋体１２の側板１２ｂの間にクッション材としてエアバッグ３３を挿入し、且つ加圧エアを封入して積重体５の側面を拘束している。この構成により、運搬中における基板３のずれを一層確実に防止できる。
また、上記第１の実施形態では、積重体５の上面に均一な押圧力を付与する押圧手段としてエアバッグ１５を用いたものを用いているが、押圧手段はこれに限らず、他の構造としてもよい。
図９は他の構造の押圧手段を用いた基板収納体４１を示すものである。この実施形態では、パレット１１に載置された積重体５と蓋体１２の天板１２ａの間に、ゴム、スポンジ、樹脂発泡体等で形成された弾性板材４３を圧縮した状態で配置している。すなわち、この弾性板材４３は、圧縮しない状態では、天板１２ａと補強板材９の間隔よりも厚い厚さを有しており、補強板材９の上に弾性板材４３を乗せ、その上から蓋体１２の天板１２ａを押し当て、適当な押圧手段で蓋体１２をパレット１１に向かって押し付け、その状態で蓋体１２をパレット１１に連結することにより、天板１２ａが弾性板材４３を加圧して弾性変形させ、それにより、弾性変形した弾性板材４３が積重体５の上面全域に均一な押圧力を作用させることができる。
また、上記した実施形態ではいずれも、蓋体１２の天板１２ａを、エアバッグ１５や弾性板材４３を支える荷重支持板としているが、エアバッグ１５や弾性板材４３を支える荷重支持板は、必ずしも蓋体１２の天板１２ａの形態とする必要はなく、単に平板状の荷重支持板を用い、この荷重支持板を連結用の棒、パイプ、平板等を用いてパレット１１に連結する構造としてもよい。
次に、本発明の第２の実施形態に係る基板収納体について説明する。
図１０は、本発明の第２の実施形態に係る基板収納体５１の正面図（図手前の蓋体側面は図示せず）であり、基板収納体である梱包体５３を更に二重の箱体に収納してなる。図１１は、図１０で用いた支持板５５の平面図である。
基板収納体５１において、基板収納体１の構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
本発明の基板収納体５１は、積重体５を押圧支持した基板収納体である梱包体５３と、梱包体５３を収納する内箱と、その内箱を収納する外箱を備えた二重構造とからなる。内箱は、梱包体５３を支持する支持面１１ａを備えた支持台を構成するパレット１１と、パレット１１上に載置された積重体５を包囲するように、前記パレット１１に着脱可能に取り付けられる蓋体１２を備えている。
梱包体５３は、図１０に示すように、支持板５７上に基板３の積重体５を載せ、積重体５上に更に支持板５５を載せ、その後、押圧手段としてのバンド５９を用いて、支持板５５と支持板５７との外周を囲い、バンド５９を締め付けることにより所定の押さえ圧まで加圧を行い、支持板を積重体５に押圧し固定してなる。バンド５９は、直列にバネを入れた構成とすることが特に好ましく、バンド５９としてゴムバンドを用いることができる。ゴムバンドを用いることにより、輸送時における積重体の厚さ減少によるゆるみが生じない。
支持板５５、５７は、図１１に示すように、四角形の板状であり、バンドを掛ける部分にあらかじめ、溝部５６を設けておくことが好ましい。溝部５６により、バンド５９のズレを防ぎ、加圧作業が容易になる。
支持板５５、５７は、基板全面を片寄りなく押圧するため、曲げ剛性の高いものが好ましく、また取り扱いを考慮するとより軽いものが好ましく、例えば、ハニカムパネル、サンドイッチパネルが上げられる。また、支持板のサイズは基板よりも大きいことが好ましい。
基板３を支持板５７上に搭載し、積重体５とする際、基板同士の接触を避けるため、隣接する基板３の間に離間体４として紙、樹脂フィルム又はクッション性を有するシートを挟み込む。クッション性を有するシートは、発泡ポリエチレン、発泡ポリプロピレン又は発泡ポリウレタンからなるスポンジシートが好適に使用可能である。
基板３の収納枚数は１〜５００枚程度で好適に使用でき、特に好ましくは１００〜２００枚程度である。
バンド７は、図示しないが、締め付け部を有し、固定できる構造である。
梱包体５３は、輸送の際、横積み（基板を寝かせた状態）又は縦積み（基板を立てた状態）のどちらで輸送することも可能であるが、梱包体５３の形成、即ち、支持板５５、５７で基板の積重体５を挟み、押圧手段としてバンド５９を用いて支持板５５、５７と基板の積重体５とを一体化させる工程は、横積みで行うことが好適である。縦積みで輸送する場合は、横積みで梱包体５３を形成した後、立てて輸送することが好ましい。
押圧手段であるバンド５９による支持板の押さえ圧の好適な範囲は、横積みと縦積みとで異なり、横積みの場合は、自重がかかるため少ない圧力でよく、３０〜１００ｇ／ｃｍ２が好ましく、縦積みの場合は１００〜５００ｇ／ｃｍ２が好ましく、特に好ましくは３００〜５００ｇ／ｃｍ２である。
内箱に梱包体５３を収納する際、図示しない固定手段で、梱包体５３をパレット１１に固定する。
第２の実施形態においては、梱包体５３を二重の箱体に収納した形態について説明したが、梱包体５３を単に箱体に収納してもよく、またストレッチフィルム等のフィルムで覆って輸送することもできる。
このように、第２の実施形態によれば、バンド５９により積重体を押圧支持して運搬することが可能であるので、搬送効率がよく、基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。
また、前記第２の実施形態において、梱包体５３は、押圧支持手段にバンド５９を用いたが、他の押圧支持手段を用いることもできる。図１２、１３及び図１４，１５に、押圧支持手段を用いた梱包体６１、梱包体７１を示す。
梱包体６１について説明する。
図１２及び図１３は、梱包体６１の説明図であり、図１２は、梱包体６１の正面図であり、図１３は、図１２で用いた支持板６３の平面図である。梱包体６１において、梱包体５３の構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
梱包体６１は、図１２に示すように、支持板６５上に積重体５を積載し、積重体５上に更に支持板６３を載せ、その後、支持板６３、６５の端部に押圧手段として締め付けボルト６７を通し、ボルト６７と支持板６５の底部に設けたナット６６を嵌合させ、頂部６４を回して締め付けることにより所定の押さえ圧まで加圧を行い、支持板６３を積重体５に押圧し固定してなる。
支持板６３、６５は、図１３に示すように、四角形の板状であり、支持板６３、６５の四隅にボルトを通す穴６９を有する。
支持板６３、６５は、支持板５５、５７と同様に、基板全面を片寄りなく押圧するため、曲げ剛性の高いものが好ましく、また取り扱いを考慮するとより軽いものが好ましく、例えば、ハニカムパネル、サンドイッチパネルが上げられる。また、支持板のサイズは基板よりも大きいことが好ましい。
ボルト６７の配置は、図１３に示す位置に限定するものではなく、基板の全面を均一に支持して運搬できる位置に、複数箇所設ける。
梱包体６１は、梱包体１と同様に、輸送の際、横積み又は縦積みのどちらで輸送することも可能であるが、梱包体６１の形成、即ち、支持板６３、６５で基板の積重体５を挟み、押圧手段としてボルト６７を用いて支持板６３、６５と基板の積重体５とを一体化させる工程は、横積みで行うことが好適である。縦積みで輸送する場合は、横積みで梱包体６１を形成した後、立てて輸送することが好ましい。
押圧手段であるボルト６７による支持板の押さえ圧の好適な範囲は、横積みと縦積みとで異なり、横積みの場合は、自重がかかるため少ない圧力でよく、３０〜１００ｇ／ｃｍ２が好ましく、縦積みの場合は１００〜５００ｇ／ｃｍ２が好ましく、特に好ましくは３００〜５００ｇ／ｃｍ２である。
このように、本実施の形態によれば、ボルト６７により積重体を押圧支持して運搬することが可能であるので、搬送効率がよく、基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。
梱包体７１について説明する。
図１４及び図１５は、梱包体７１の説明図であり、図１４は、梱包体７１の正面図であり、図１５は、図１４で用いた支持板７３の平面図である。梱包体７１において、梱包体５３の構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
梱包体７１は、支持板７５上に積重体５を載せ、積重体５上に更に支持板７３を載せ、その後、支持板の端部にコの字型のクランプ７７を複数設け、クランプ７７により支持板７３を積重体５に押圧して、所定の押さえ圧まで加圧し固定してなる。
支持板７３、７５は、図１５に示すように、四角形の板状であり、クランプ取り付け箇所は、あらかじめ金属を埋め込んで補強しておくことが好ましく（金属部７９）、凹部とすることも好ましい。
支持板７３、７５は、支持板５５、５７と同様に、基板全面を片寄りなく押圧するため、曲げ剛性の高いものが好ましく、また取り扱いを考慮するとより軽いものが好ましく、例えば、ハニカムパネル、サンドイッチパネルが上げられる。また、支持板のサイズは基板よりも大きいことが好ましい。
クランプ７７は、図１４、１５に示す位置に限定するものではなく、基板の全面を均一に支持して運搬できる位置に、複数箇所設ける。
梱包体７１は、梱包体５３と同様に、輸送の際、横積み又は縦積みのどちらで輸送することも可能であるが、梱包体７１の形成、即ち、支持板７３、７５で基板の積重体５を挟み、押圧手段としてクランプ７７を用いて支持板７３、７５と基板の積重体５とを一体化させる工程は、横積みで行うことが好適である。縦積みで輸送する場合は、横積みで梱包体７１を形成した後、立てて輸送することが好ましい。
押圧手段であるクランプ７７による支持板の押さえ圧の好適な範囲は、横積みと縦積みとで異なり、横積みの場合は、自重がかかるため少ない圧力でよく、３０〜１００ｇ／ｃｍ２が好ましく、縦積みの場合は１００〜５００ｇ／ｃｍ２が好ましく、特に好ましくは３００〜５００ｇ／ｃｍ２である。
このように、本実施の形態によれば、クランプ７７により積重体を押圧支持して運搬することが可能であるので、搬送効率がよく、基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。
また、第２の実施形態における梱包体５３は、図１６〜１９に示すように衝撃吸収材と組み合わせることも好適である。図１６〜１９に示す状態で、前記二重構造の箱又は他の形状の箱に収納するか、またストレッチフィルム等のフィルムで覆って輸送することができる。
図１６、１７に、本第２の実施の形態における梱包体５３と衝撃吸収材を組み合わせた梱包体８１の説明図を示す。図１６は、正面図（手前の衝撃吸収材は図示しない）であり、図１７は、図１６のＡ−Ａ断面図である。図１８は、梱包体９１の正面図（手前の衝撃吸収材は図示しない）であり、図１９は、図１８に示す輸送体９１のＢ−Ｂ断面図である。前記説明における構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
梱包体８１は、図１６に示すように、横積みの梱包体５３の底部、上部及び側部に衝撃吸収材を配置する。梱包体５３の底部に衝撃吸収材８２を配し、梱包体５３の上部に衝撃吸収材８３を設ける。衝撃吸収材８２、８３は、梱包体５３の支持板よりやや大きい四角形状である。
側部の衝撃吸収材として、積重体５の基板端部に衝撃吸収材８７、８９を設け、更に衝撃吸収材８７、８９の外側に衝撃吸収材８５を設ける。衝撃吸収材８７と外側の衝撃吸収材８５とは、一体成形したものでも良い。
衝撃吸収材の形状は、特に限定するものではないが、梱包体の形状に合わせて、くぼみを成形しておけば、輸送時の横ずれ防止に有効である。また、底部、側部及び上部の衝撃吸収材８２、８５、８３が箱状に組み合わさるよう成形することも有効である。
衝撃吸収材８２の材質は、特に限定するものではないが、本発明の輸送体において落下衝撃試験を行い、外部衝撃力２０Ｇを加えた場合、積重体における衝撃力を３Ｇ以下程度とするクッション性があることが望ましく、発泡ポリプロピレンが好適に使用可能である。また、衝撃吸収材８３、８５、８７、８９の材質は、衝撃吸収材８２と同様に、発泡ポリプロピレンが好適に使用可能である
ここでは、衝撃吸収材を梱包体５３の全面に配置した例を挙げて説明したが、底部の衝撃吸収材８２のみを用いてもよく、衝撃吸収材の配置は適宜選択する。
梱包体９１は、図１８に示すように、縦積みの梱包体５３の底部、上部及び側部に衝撃吸収材を配置する。梱包体５３の底部に衝撃吸収材９２、９３を配し、梱包体５３の上部に衝撃吸収材９４、９５を設ける。
衝撃吸収材９２、９４は、梱包体５３の底部よりやや大きい四角形状である。また、衝撃吸収材９２と衝撃吸収材９３、衝撃吸収材９４と衝撃吸収材９５は、一体成形したものでも良い。
更に、側部の衝撃吸収材９７を設け、衝撃吸収材９７と梱包体５３の積重体５の基板端部との間に衝撃吸収材９９を設ける。
衝撃吸収材の形状は、特に限定するものではないが、梱包体の形状に合わせて、くぼみを成形しておけば、輸送時の横ずれ防止に有効である。また、全体を箱形に形成すれば、輸送時の作業性が向上する。
衝撃吸収材９２、９３、９４、９５、９７、９９の材質は、前記と同様に、発泡ポリプロピレンが好適に使用可能である。
ここでは、衝撃吸収材を梱包体５３の全面に配置した例を挙げて説明したが、底部の衝撃吸収材９２、９３のみを用いてもよく、衝撃吸収材の配置は適宜選択する。
このように、支持板を積重体に押圧した梱包体とすることにより、基板の全面を支持して運搬することが可能であり、底部に衝撃吸収材を設けることにより、輸送時の振動を吸収することができ、更に梱包体の基板端部に衝撃吸収材を設けることにより、基板端部を保護することができ、全体を衝撃吸収材で囲むことにより、外部からの衝撃を緩和することができ、搬送効率がよく、運搬時の基板のズレを防止し、基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。
次に、本発明の第３の実施形態に係る基板輸送装置について説明する。
図２０〜２３は、本発明の第３の実施形態に係る基板輸送装置１０１の説明図であり、図２０は、基板輸送装置１０１の斜視図であり、図２１は、図２０の基板輸送装置１０１のコンテナ１０３の斜視図であり、図２２は、図２１のコンテナの床面１１１の平面図である。図２３は、図２０の基板輸送装置１０１における架台１０５の斜視図である。
基板輸送装置１０１は、図２０に示す様に、図２１に示すコンテナ１０３に、基板収納体として、図２３に示す架台１０５を格納してなる。
図２０の基板輸送装置１０１のコンテナ１０３は、床部材１０７と側面板１１３、背面板１１９、天井板１１５及び扉１１７で囲まれた箱状であり、床面１１１に緩衝部材１０９を固定して設ける。
床部材１０７は、剛性の高い材質であり、鋼材又は金属製の角パイプを枠状に形成したものや、面状に成型したものが好適に使用でき、フォークリフト等での作業に有用な形状の脚部を有し、側面板１１３、背面板１１９，天井板１１５及び扉１１７は、材質を特に限定するものではないが、アルミ枠に樹脂製段ボールを固定したパネルが、好適に使用でき、側面板１１３、背面板１１９，天井板１１５及び扉１１７を一体に成型した発泡ポリプロピレン等の発泡樹脂成型品の両面にアルミ板を接着したサンドイッチパネルも好適に使用可能である。
緩衝部材１０９は、図２２に示すようにブロック状に数カ所設けても良いが、シート状にして用いても良い。緩衝部材１０９は、オイルダンパ又は、粘弾性ゴム等の粘弾性体が好適に使用できる。
コンテナ１０３に格納する架台１０５は、基板３を搭載し、金属材料等で構成された十分に剛性が高い架台である。
図２３に示すように、架台１０５は、床部材１２３と、床部材１２３上に立設された背面部材１２５を備え、床部材１２３と背面部材１２５とは溶接等により固定される。床部材１２３、背面部材１２５は、それぞれ四角形の枠に複数の支柱を備えた形状であり、床部材１２３は、フォークリフト等での作業に有用な形状の脚部を有する。床部材１２３上に背面部材１２５に対向して加圧体１２７が備えられ、背面部材１２５と加圧体１２７とで積重体５を挟み押圧支持する。その際、背面部材１２５は床部材１２３に対して垂直に設けられる。
架台本体に基板３を複数枚搭載し、基板３の端部に接して囲い部材１３１が設けられる。囲い部材１３１は、背面部材１２５及び加圧体１２７に連結される。また、囲い部材１３１は、基板３の角部分は、避けて設ける。囲い部材１３１は、四角形の枠状である。
床部材１２３及び囲い部材１３１の基板３の端部に接する面は、図示していないが、ゴムを設けることが好ましい。これにより、輸送時の衝撃や基板３の不揃いを吸収することができる。前記ゴムは、厚さは３ｍｍ以上１０ｍｍ以下が好ましく、硬度は３０ＨＳ以上７０ＨＳ以下であることが好ましい。
背面部材１２５及び加圧体１２７の基板３支持面にそれぞれハニカムパネル１３３、１３５を配置する。基板３を曲がりにくい面で挟むことが特に重要であり、ハニカムパネルは、捻れや曲がりが生じにくく、基板３を全面で支持し、一部に偏って加圧されるのを防ぐことができる。ハニカムパネルの厚みは、特に限定するものではないが、５０ｍｍ以下が好ましい。
基板輸送用架台１０５においては、加圧体１２７は、複数のネジ１３７と正面部材１３９からなる。ネジ１３７は、床部材１２３又は囲い部材１３１に固定されている。
架台本体にハニカムパネル１３３を配置し、基板３を複数枚搭載し、ハニカムパネル１３５、加圧体１２７及び囲い部材１３１を配置した後、複数のネジ１３７を一括して回転させることにより正面部材１３９を背面部材１２５の方向に移動させ、基板３を加圧支持する。複数のネジ１３７を一括して回転させることにより、基板３の全面を偏りなく加圧する。ネジの数や配置は、特に限定するものではないが、基板３全面を均等に加圧するように設定する。
基板３を加圧支持する際の面圧は、５００ｇ／ｃｍ２以下が好ましく、特に好ましくは２００〜３００ｇ／ｃｍ２である。
床部材１２３、背面部材１２５、正面部材１３９、囲い部材１３１は、剛性が十分であれば特に材質を限定するものではないが、強度及び重さの面から、断面がＬ型の鋼材又は金属製の角パイプを枠状に形成させて用いることが特に好ましい。本実施の形態では枠状の部材を用いたが、枠の間に薄板を設けてもよく、また、面状の部材を用いても良い。
基板３は、大きさは特に限定するものではないが各辺の長さが約０．５ｍ〜２．５ｍのもので好適に使用できる。また、基板の厚さも制限されるものではないが、０．３〜１．０ｍｍ程度が多い。また、収納枚数は２００〜５００程度が好適である。基板３を架台本体に搭載する際、基板３同士の接触を避けるため、隣接する基板３の間に紙、樹脂フィルム、スポンジシート等からなる離間体４を用いた積重体とすることが好ましい。
基板輸送装置１０１は、コンテナ１０３の緩衝部材１０９上に、基板収納体である架台１０５を格納してなる。緩衝部材１０９上にアルミニウム板（図示しない）を固定し、固定したアルミニウム板上に架台１０５を格納する。架台１０５の床部材１２３を取り外し自在な保持部材であるクランプ等で固定する。尚、架台５は、床部分でのみ固定され、側部等は固定しない。
このように、本実施の形態によれば、複数のネジ１３７を用いてハニカムパネル１３５を基板３に押しつけることにより基板を支持した架台１０５を、床面１１１に緩衝部材１０９を固定したコンテナ１０３に格納し、床部材１２３部分を緩衝部材１０９上に固定して運搬することにより、架台が、振動の低周波成分を吸収し、コンテナ１０３の緩衝部材１０９が、振動の高周波成分を吸収するので、種々の輸送中の衝撃に対応することが可能であり、基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。
次に、本発明の第４の実施形態に係る基板輸送装置１４１について説明する。
図２４は、本発明の第４の実施形態に係る基板輸送装置１４１の正面図（扉１１７は図示しない）である。基板輸送装置１４１は、コンテナ１４９に第１の実施の形態で説明した架台１０５を格納してなる。
基板輸送装置１４１において、基板輸送装置１０１の構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
コンテナ１４９は、天井板１１５に架台１０５をつり下げ可能なバネ構造の支持部材１４３を複数設け、側面板１１３の内側にレール１４５をほぼ水平に設け、架台１０５の側面にガイド１４７を設ける。
床部材１０７は、剛性の高い材質と構造であり、フォークリフト等での作業に有用な形状の脚部を有し、側面板１１３、背面板１１９，天井板１１５及び扉１１７は、材質を特に限定するものではないが、天井板１１５に架台１０５をつり下げることが可能な剛性の高い骨組みが必要である。
基板輸送装置１４１は、コンテナ１４９に設けた支持部材１４３に、架台１０５をつり下げ、架台に設けたガイド１４７をレール１４５に合わせ、格納する。
このように、第４の実施の形態によれば、複数のネジ１３７を用いてハニカムパネル１３５を基板３に押しつけることにより基板３を支持した剛性の高い架台１０５を、コンテナ１４９の中にバネ構造の支持部材１４３を用いて天井からつり下げて格納し、運搬することにより、架台が、振動の低周波成分を吸収し、コンテナ１４９のバネ構造の支持部材１４３が、振動の高周波成分を吸収するので、種々の輸送中の衝撃に対応することが可能であり、基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。
次に、本発明の第５の実施形態に係る基板輸送装置１５１について説明する。
図２５は、本発明の第５の実施形態に係る基板輸送装置１５１の斜視図である。図２６は、図２５の基板輸送装置１５１の断面図である。
基板輸送装置は、床１５３上に緩衝部材１５５を介して架台保持部材１５７を設けた底部に、保持機構として設けた突部１５８の内側に架台１０５を載せ、箱状のカバー１５９で蓋をする。
床１５３及び架台保持部材１５７は、剛性の高い材質であり、鋼材又は金属製の角パイプを枠状に形成したものや、面状に成型したものが好適に使用できる。
緩衝部材１５５は、粘弾性の樹脂シートが好適に使用できる。また、粘弾性の樹脂シートに限らず、オイルダンパ又は粘弾性ゴム等の粘弾性体が使用可能である。
カバー１５９は、底部がない箱状であり、汚れを防止することが目的であることから、特に材質を限定するものではなく、樹脂製段ボール、アルミ枠にフィルムを張った箱、発泡ポリプロピレン等の発泡樹脂の一体成型品が好適に使用できる。
このように、第５の実施の形態によれば、複数のネジ１３７を用いてハニカムパネル１３５を基板３に押しつけることにより、基板を支持した剛性の高い架台１０５を、緩衝部材１５５を有する底部に載せ、カバー１５９で覆って、運搬することにより、架台１０５が、振動の低周波成分を吸収し、緩衝部材１５５が、振動の高周波成分を吸収するので、種々の輸送中の衝撃に対応することが可能であり、基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。
次に、本発明の第６の実施形態に係る基板輸送装置１６１について説明する。
図２７は、本発明の第６の実施形態に係る基板輸送装置１６１の斜視図であり、基板輸送装置１５１を、床部材１６３以外は骨組みのみのラックに、更に格納してなる。
ラックは、床部材１６３の角部に立設した４本の柱１６５を有し、柱１６５の上部を４本の梁１６７で連結した構造である。床部材１６３、柱１６５及び梁１６７は、剛性が高い材質とし、それぞれの連結は、強固に固定する。
このように、第６の実施の形態によれば、架台１０５が、振動の低周波成分を吸収し、輸送装置１５１の緩衝部材１５５が、振動の高周波成分を吸収し、更に基板輸送装置１５１を強固なラックで囲んで、運搬することにより、種々の輸送中の衝撃に対応することが可能であり、更に基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。
尚、前記基板輸送装置１０１、１４１、１５１、１６１の架台は、架台５を例に挙げ、説明したが、架台５の構造に限定するものではなく、例えば、図２８〜３０に示すような基板を押圧支持した剛性の高い架台であれば、好適に使用できる。図２８は、架台１０５と加圧体の構造において異なる架台１７１を示し、図２９、図３０は、基板を寝かせて積層し、押圧支持する架台１８１、１９１を示す。架台１７１、１８１、１９１は、前記の構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
図２８に示すように、架台１７１は、基板３を押圧支持する機構に空気バネを用い、加圧体１７３は、複数の空気バネ１７５が設けられた正面部材１３９からなる。正面部材１３９は、四角形の枠に複数の支柱を備えた形状であり、正面部材１３９は、背面部材１２５に連結された囲い部材１３１と付け外しが容易な連結具で連結される。
複数の空気バネ１７５に一括して空気を入れることにより、基板３の全面を偏りなく加圧する。空気バネ１７５に替えて、エアーシリンダーを用いることもできる。空気バネの数や配置は、特に限定するものではないが、基板３全面を均等に押圧するように設定する。
架台本体にハニカムパネル１３３を配置し、基板３を搭載し、ハニカムパネル１３５、加圧体１７３及び囲い部材１３１を配置した後、複数の空気バネ１７５に一括して空気を入れ、ハニカムパネル１３５を押すことにより、基板３を押圧支持することができる。
架台１８１は、図２９に示すように、床部材１２３と、床部材１２３に垂直に設けられた支持部材１８５を備え、床部材１２３と支持部材１８５とは溶接等により固定される。床部材１２３、支持部材１８５は、それぞれ四角形の枠に複数の支柱を備えた形状であり、床部材１２３は、フォークリフト等での作業に有用な形状の脚部を有する。床部材１２３上に基板３を積載し、上面部材１８３を有する加圧体が備えられ、床部材１２３と加圧体とで基板３を挟み押圧支持する。床部材１２３上にハニカムパネル１３３を配置し、基板３を積載し、ハニカムパネル１３５及び囲い部材１３１を配置した後、ハニカムパネル１３５上に上面部材１８３を載せ、上面部材１８３の自重または、更に上面部材１８３を床部材１２３側に押す押圧機構（図示しない）により、基板３全面を均等に押圧支持する。
架台１９１は、図３０に示すように、基板３を押圧支持する加圧体は、複数の空気バネ１９３が設けられた上面部材１８３からなる。上面部材１８３は、床部材１２３に連結された囲い部材１３１と連結具で連結される。床部材１２３上にハニカムパネル１３３を配置し、基板３を積載し、ハニカムパネル１３５及び囲い部材１３１を配置した後、上面部材１８３を囲い部材１３１に連結し、複数の空気バネ１９３に一括して空気を入れ、ハニカムパネル１３５を押すことにより、基板３を押圧支持する。
次に、本発明の第７の実施形態に係る基板輸送装置２０１について説明する。
図３１は、本発明の第７の実施形態に係る基板輸送装置２０１の概略斜視図である。基板輸送装置２０１は、コンテナ１０３に図１に示す基板収納体１を格納してなる。
基板輸送装置２０１において、前記基板輸送装置１及び基板収納体１の構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
本発明においては、基板３を基板収納容器１０に収納して基板収納体１とし、基板収納体１をコンテナ１０３に格納する。
本実施形態によれば、基板収納体１により基板３の全面を支持して運搬することが可能であり、コンテナ１０１に格納することにより、輸送時の振動を緩和または遮断することができる。基板収納体１で積重体を全面支持することにより、振動の低周波成分を吸収して振動の低周波成分による変形を防止し、コンテナ１０３の緩衝部材１０９が、振動の高周波成分を吸収し、高周波成分の伝播を防止するので、種々の輸送中の衝撃に対応することが可能であり、基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。
次に、本発明の第８の実施形態に係る基板輸送装置２１１について説明する。
図３２は、本発明の第８の実施形態に係る基板輸送装置２１１の概略斜視図である。基板輸送装置２１１は、コンテナ１０３に図１０に示す基板収納体５１を格納してなる。
基板輸送装置２１１において、前記基板輸送装置１及び基板収納体５１の構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
本発明においては、基板３の梱包体５３を箱に収納して基板収納体５１とし、基板収納体５１をコンテナ１０３に格納する。
本実施形態によれば、基板収納体５１により基板の全面を支持して運搬することが可能であり、コンテナ１０１に格納することにより、輸送時の振動を緩和または遮断することができる。基板収納体５１で積重体を全面支持することにより、振動の低周波成分を吸収して振動の低周波成分による変形を防止し、コンテナ１０３の緩衝部材１０９が、振動の高周波成分を吸収し高周波成分の伝播を防止するので、種々の輸送中の衝撃に対応することが可能であり、基板表面の傷や欠損等のダメージを回避することができる。
以上、本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明は実施の形態に示す構造に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載範囲内で適宜変更可能であることは言うまでもない。

Claims (28)

  1. 複数の基板を積層させて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に、均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け、固定する押圧手段を有することを特徴とする基板収納容器。
  2. 前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように、前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグを有することを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
  3. 前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように、前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグを有し、
    前記支持台がパレットであり、前記パレットに、前記パレット上に載置された積重体を包囲するように着脱可能に取り付けられた蓋体が設けられており、その蓋体の天板が前記荷重支持板として作用することを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
  4. 前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように、前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグを有し、
    前記支持台がパレットであり、前記パレットに、前記パレット上に載置された積重体を包囲するように着脱可能に取り付けられた蓋体が設けられており、前記蓋体の天板が前記荷重支持板として作用し、
    前記パレットと前記蓋体で形成される内箱を収納する第二のパレット及び第二の蓋体からなる外箱を有することを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
  5. 前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に配置される弾性板材と、前記弾性板材の上面に配置される荷重支持板と、前記荷重支持板が前記弾性板材を加圧して弾性変形させ、前記弾性板材を介して積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるように、前記荷重支持板を前記支持台に連結する連結手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
  6. 離間体を介して複数の基板を積層させてなる積重体を、請求項１記載の基板収納容器に収納して形成された基板収納体。
  7. 第１の支持板と第２の支持板と、
    離間体を介して複数の基板を積層させてなる積重体とを具備し、
    前記積重体は、前記第１及び第２の支持板に挟まれ、押圧支持されてなることを特徴とする基板収納体。
  8. 前記押圧支持が、前記第１の支持板と前記第２の支持板との外周をバンドで締め付けたものである請求項７記載の基板収納体。
  9. 前記押圧支持が、前記第１の支持板と前記第２の支持板との外周をバンドで締め付けたものであり、前記バンドが直列にバネ構造を具備するバンドである請求項７記載の基板収納体。
  10. 前記押圧支持が、前記第１の支持板と前記第２の支持板とをクランプで締め付けたものである請求項７記載の基板収納体。
  11. 前記押圧支持が、前記第１の支持板と前記第２の支持板とをボルトで締め付けたものである請求項７記載の基板収納体。
  12. 前記基板収納体を更に箱体に収納した基板収納体であって、前記箱体は前記基板収納体を載置可能な支持面を備えたパレットと、前記パレット上に載置された基板収納体を覆うように設けられる脱着可能な蓋体とからなることを特徴とする請求項７記載の基板収納体。
  13. 前記基板収納体を更に箱体に収納した基板収納体であって、前記箱体は前記基板収納体を載置可能な支持面を備えたパレットと、前記支持台上に載置された基板収納体を覆うように設けられる脱着可能な蓋体とで形成される内箱と、前記内箱を収納する第二のパレット及び第二の蓋体とからなる外箱を有することを特徴とする請求項７記載の基板収納体。
  14. 複数の基板を積層させて構成した積重体を押圧支持して格納する架台と、
    前記架台を格納し、内部床面に、緩衝部材を有し、前記緩衝部材上に前記架台を保持するコンテナとを具備し、
    前記架台は、振動の低周波成分を吸収する特性を有し、前記コンテナは、振動の高周波成分を吸収する特性を有することを特徴とする輸送装置。
  15. 前記緩衝部材がオイルダンパである請求項１４記載の輸送装置。
  16. 前記緩衝部材が粘弾性体である請求項１４記載の輸送装置。
  17. 前記架台が、床部材と、前記床部材に立設固定された背面部材とからなり、前記基板を立てて支持する架台本体と、前記床部材上に前記背面部材に対向して配置され、前記積重体を前記背面部材側に押圧可能な加圧体と、前記背面部材と前記加圧体とに取り付け可能な囲い部材とを具備する請求項１４記載の輸送装置。
  18. 前記架台が、床部材と、前記床部材上に積載される前記積重体を前記床部材側に押圧可能な加圧体と、前記床部材に取り付け可能な囲い部材とを具備する請求項１４記載の輸送装置。
  19. 前記積重体が、複数の基板を離間体を介して積み重ねて構成された積重体である請求項１４記載の輸送装置。
  20. 複数の基板を積層させて構成した積重体を押圧支持して格納する架台と、
    前記架台を格納し、内部天井面にバネ機構を有し、前記バネ機構で前記架台を吊して保持するコンテナとを具備し、
    前記架台は、振動の低周波成分を吸収する特性を有し、前記コンテナは、振動の高周波成分を吸収する特性を有することを特徴とする輸送装置。
  21. 前記積重体が、複数の基板を離間体を介して積み重ねて構成された積重体である請求項２０記載の輸送装置。
  22. 複数の基板を積層させて構成した積重体を押圧支持して格納する架台と、
    前記架台を格納し、緩衝部材を有し前記架台を保持する底部と、前記底部の上側に配置したカバーとからなる箱状物とを具備し、
    前記架台は、振動の低周波成分を吸収する特性を有し、前記底部は、振動の高周波成分を吸収する特性を有することを特徴とする輸送装置。
  23. 前記積重体が、複数の基板を離間体を介して積み重ねて構成された積重体である請求項２２記載の輸送装置。
  24. 請求項２２記載の輸送装置の周囲を、床部材と、前記床部材の角部に立設した４本の柱と前記柱の上部をつなぐ４本の梁とを具備するラックで囲んでなる輸送装置。
  25. 離間体を介して複数の基板を積層させてなる積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に、均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け、固定する押圧手段を有する基板収納容器に、前記積重体を収納してなる基板収納体と、
    前記基板収納体を格納し、内部床面に、緩衝部材を有し、前記緩衝部材上に前記基板収納体を保持するコンテナとを具備し、
    前記基板収納体は、振動の低周波成分を吸収する特性を有し、前記コンテナは、振動の高周波成分を吸収する特性を有することを特徴とする輸送装置。
  26. 前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように、前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグを有することを特徴とする請求項２５記載の輸送装置。
  27. 第１の支持板と第２の支持板と、離間体を介して複数の基板を積層させてなる積重体とを具備し、前記積重体が、前記第１及び第２の支持板に挟まれ、押圧支持されてなる基板収納体を、更に前記基板収納体を載置可能な支持面を備えたパレットと、前記パレット上に載置された前記基板収納体を覆うように設けられる脱着可能な蓋体とからなる箱体に収納した基板収納体と、
    前記箱体に収納した基板収納体を格納し、内部床面に、緩衝部材を有し、前記緩衝部材上に前記架台を保持するコンテナとを具備し、
    前記基板収納体は、振動の低周波成分を吸収する特性を有し、前記コンテナは、振動の高周波成分を吸収する特性を有することを特徴とする輸送装置。
  28. 前記押圧支持が、前記第１の支持板と前記第２の支持板との外周をバンドで締め付けたものである請求項２７記載の輸送装置。
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