JP5104903B2 - 基板収納体 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る基板収納体の概略断面図であり、図2は、本発明の積重体の説明図であり、また、図3は、図1に示す基板収納体の斜視図である。図1は、本発明の積重体9を、収納容器に収納した基板収納体1である。
図4は、第2の実施形態に係る基板収納体31の概略断面図を示す。図4において、第1の実施の形態で説明した構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
上記実施形態では、積重体の上面に均一な押圧力を付与する押圧手段としてエアバッグ15を用いたものを用いているが、押圧手段はこれに限らず、他の構造としてもよい。図5は他の構造の押圧手段を用いた基板収納体41の概略断面図を示す。図5において、第1及び第2の実施形態で説明した構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
これによれば、積重体9の自重により離間体5の周縁部が側部クッション材を形成し、基板3を離間体5が包囲することにより、新たに側部クッション材を充填しなくても、基板が動いて損傷を生じることがなく運搬中することができる。
3………基板
3a………基板本体
3b………機能層
3c………保護膜
5………離間体
7………側部クッション材
9………積重体
11………パレット
11b………突起
13………蓋体
13a………天板
13b………側板
15………エアバッグ
17………エア供給用チューブ
19………弁
21………補強板材
23………補強板材
25………パチン錠
31………基板収納体
33………パレット
35………蓋体
41………基板収納体
43………弾性板材
Claims (8)
- 基板と離間体とを交互に積み重ねた積重体を基板収納容器に収納した収納体であって、
前記基板収納容器は、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段とを有し、
前記離間体はクッション性を有する材質であり、前記離間体の周縁部は前記基板より延び出しており、
前記離間体が前記基板と接触している領域では、前記離間体は前記押圧手段により押圧されて圧縮され、前記基板が上下の離間体に埋没し、
前記離間体が前記基板と接触しない領域では、前記離間体は前記離間体の前記基板との非接触部が圧縮されずに、前記基板の側部クッション材として作用することを特徴とする基板収納体。 - 前記基板の厚みは0.5mm〜1.1mmであり、前記離間体の厚みは0.5mm〜3mmであり、前記離間体の大きさは、長短辺が前記基板のそれぞれより10mm〜80mm長く、前記離間体は、樹脂の発泡シートであり、前記押圧手段による押圧力が1平方cmあたり30gf〜300gfで、前記基板が上下の離間体に埋没する程度の硬さを有する離間体であることを特徴とする請求項1記載の基板収納体。
- 前記樹脂の発泡シートは、発泡ポリプロピレンのシートであることを特徴とする請求項2記載の基板収納体。
- 前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグを有することを特徴とする請求項1記載の基板収納体。
- 前記エアバッグと前記積重体との間、及び前記積重体と前記支持台との間のいずれか一方又は双方に、平坦な補強板材を配置したことを特徴とする請求項4記載の基板収納体。
- 前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に配置される弾性板材と、前記弾性板材の上面に配置される荷重支持板と、前記荷重支持板が前記弾性板材を加圧して弾性変形させ、前記弾性板材を介して積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるように荷重支持板を前記支持台に連結する連結手段を有することを特徴とする請求項1記載の基板収納体。
- 前記支持台に、前記支持台に載置された積重体を包囲するように脱着可能に取り付けられた蓋体が設けられ、前記蓋体の天板が前記荷重支持板として作用することを特徴とする請求項1記載の基板収納体。
- 前記基板が、機能層を備えたガラス基板であることを特徴とする請求項1記載の基板収納体。
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