KR101217758B1

KR101217758B1 - 기판 수납 용기, 기판 수납체 및 기판 수송 장치

Info

Publication number: KR101217758B1
Application number: KR1020067019010A
Authority: KR
Inventors: 다케시 마쓰모토; 다케유키 도코; 유스케 나카무라; 도루 다케하라; 게이스케 유모토; 도요히코 다나카; 겐사쿠 스즈키; 노리히코 나카하라
Original assignee: 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
Priority date: 2004-05-21
Filing date: 2006-09-15
Publication date: 2013-01-02
Also published as: KR20070012370A; CN1956899B; TWI375643B; JPWO2005113375A1; CN1956899A; JP4924033B2; TW200604069A; WO2005113375A1

Abstract

복수개의 기판을 적층시켜 구성한 적중체를 수납하기 위한 수납 용기로서, 기판을 수평으로 한 상태에서 상기 적중체를 탑재할 수 있는 지지면을 가지는 지지대와, 상기 지지대에 탑재된 적중체의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시켜, 상기 적중체를 상기 지지대에 가압하여 고정시키는 가압 수단을 구비하고, 상기 가압 수단이 상기 지지대에 탑재된 적중체의 상면을 마주 보도록 상기 지지대에 연결되어 설치되는 하중 지지판과, 상기 하중 지지판과 상기 적중체 사이에 배치되고, 상기 하중 지지판에 지지되어 상기 적중체의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시키는 에어 백을 가지는 기판 수납 용기이다.

기판, 적중체, 수납 용기, 지지대, 에어 백.

Description

기판 수납 용기, 기판 수납체 및 기판 수송 장치{SUBSTRATE RECEPTION CONTAINER, SUBSTRATE RECEPTION BODY, AND SUBSTRATE CONVEYANCE DEVICE}

본 발명은 판유리, 유리 기판 및 그 가공 제품인 액정 표시 장치에 사용되는 컬러 필터 기판 등을 운반, 보호하기 위한 기판 수납 용기, 기판 수납체 및 기판 수송 장치에 관한 것이다.

종래, 판유리 및 그 가공 제품인 유리 기판 표면에 블랙 매트릭스, 착색층, 투명 도전막층 및 스페이서 등의 돌기물을 형성한 컬러 필터 기판을 보관, 이송할 때는 유리 기판 표면을 손상이나 파손으로부터 보호하기 위해, 유리 기판끼리 접촉되지 않도록, 상자 윗쪽의 개구부로부터 기판을 세워 삽입하여 지지할 수 있게, 다수의 홈이 형성되어 있고, 유리 기판을 소정 간격으로 병렬 수납할 수 있는 발포 수지제 상자의 수납 용기를 사용하고 있었다(일본국 특개 2002-264992호 공보 참조).

그러나, 최근에는, 대형 유리 기판의 제조가 요구되고 있어, 이들을 종래와 동일하게 상자형 수납 용기에 소정 간격으로 수납하면, 보다 큰 수납 용기, 수납 스페이스가 필요하게 되며, 또, 종래는 기판의 주변만을 느슨하게 지지하기 때문에, 수송 중의 진동 등에 의해 유리 기판단(基板端)이 홈으로부터 이탈하는 것에 의한 도괴(倒壞)나, 자중(自重)에 의한 좌굴(座屈)에 의해, 상자 안에서 인접하는 유리 기판과 접촉하여 손상이 생긴다고 하는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 대형 판유리, 유리 기판 및 컬러 필터 기판 등 그 가공 제품을, 반송 시의 손상, 파손 등의 대미지를 회피하여, 수송할 수 있는 기판 수납 용기, 기판 수납체 및 기판 수송 장치를 제공하는 것이다.

제1 발명은 복수개의 기판을 적층시켜 구성한 적중체(積重體)를 수납하기 위한 수납 용기로서, 기판을 수평으로 한 상태에서 상기 적중체를 탑재할 수 있는 지지면을 가지는 지지대와, 상기 지지대에 탑재된 적중체의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시켜, 상기 적중체를 상기 지지대에 가압하여 고정시키는 가압 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기이다.

또, 제2 발명은 이격체를 개재시켜 복수개의 기판을 적층시켜 이루어지는 적중체를 제1 발명의 기판 수납 용기에 수납하여 형성된 기판 수납체이다.

또, 제3 발명은 제1 지지판 및 제2 지지판과, 이격체를 개재시켜 복수개의 기판을 적층시켜 이루어지는 적중체를 구비하고, 상기 적중체는 상기 제1 지지판 및 제2 지지판에 끼워지고, 가압 지지되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 수납체이다.

또, 제4 발명은 복수개의 기판을 적층시켜 구성한 적중체를 가압 지지하여 격납하는 가대(架臺)와, 상기 가대를 격납하고, 내부 바닥면에 완충 부재를 가지며, 상기 완충 부재 상에 상기 가대를 지지하는 컨테이너를 구비하고, 상기 가대는 진동의 저주파 성분을 흡수하는 특성을 가지며, 상기 컨테이너는 진동의 고주파 성분을 흡수하는 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 수송이다. 상기 가대는 진동의 저주파 성분을 흡수하는 특성, 즉 일반적으로 큰 진폭으로 되는 진동의 저주파 성분에 의한 적중체의 변형을 방지하는 특성을 가지며, 상기 컨테이너는 진동의 고주파 성분을 흡수하는 특성, 즉 바닥면의 완충 부재가 진동의 에너지를 열로 변환함으로써, 상기 가대로의 고주파 성분의 전파를 유효하게 차단하는 특성을 가진다.

또, 제5 발명은 복수개의 기판을 적층시켜 구성한 적중체를 가압 지지하여 격납하는 가대와, 상기 가대를 격납하고, 내부 천정면에 스프링 기구를 가지고, 상기 스프링 기구로 상기 가대를 매달아 지지하는 컨테이너를 구비하고, 상기 가대는 진동의 저주파 성분을 흡수하는 특성을 가지며, 상기 컨테이너는 진동의 고주파 성분을 흡수하는 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 수송 장치이다. 상기 가대는 진동의 저주파 성분을 흡수하는 특성, 즉 일반적으로 큰 진폭으로 되는 진동의 저주파 성분에 의한 적중체의 변형을 방지하는 특성을 가지며, 상기 컨테이너는 진동의 고주파 성분을 흡수하는 특성, 즉 바닥면의 완충 부재가 진동의 에너지를 열로 변환함으로써, 상기 가대로의 고주파 성분의 전파를 유효하게 차단하는 특성을 가진다.

또, 제6 발명은 복수개의 기판을 적층시켜 구성한 적중체를 가압 지지하여 격납하는 가대와, 상기 가대를 격납하며, 완충 부재를 가지고 상기 가대를 지지하는 저부(底部)와, 상기 저부의 위쪽에 배치한 커버로 이루어지는 상자형체를 구비하고, 상기 가대는 진동의 저주파 성분을 흡수하는 특성을 가지며, 상기 저부는 진동의 고주파 성분을 흡수하는 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 수송 장치이다.

또, 제7 발명은 제6 발명에 기재된 수송 장치의 주위를 바닥 부재와, 상기 바닥 부재의 코너부에 세워설치된 4개의 포스트와 상기 포스트의 상부를 잇는 4개의 빔을 구비하는 랙으로 포위하여 이루어지는 수송 장치이다.

또, 제8 발명은 기판을 수평으로 한 상태에서 이격체를 개재시켜 복수개의 기판을 적층시켜 이루어지는 적중체를 탑재할 수 있는 지지면을 가지는 지지대와, 상기 지지대에 탑재된 적중체의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시켜, 상기 적중체를 상기 지지대에 가압하여 고정시키는 가압 수단을 구비한 기판 수납 용기에, 상기 적중체를 수납하여 이루어지는 기판 수납체와, 상기 기판 수납체를 격납하고, 내부 바닥면에 완충 부재를 가지며, 상기 완충 부재 상에 상기 기판 수납체를 지지하는 컨테이너를 구비하고, 상기 기판 수납체는 진동의 저주파 성분을 흡수하는 특성을 가지며, 상기 컨테이너는 진동의 고주파 성분을 흡수하는 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 수송 장치이다.

또, 제9 발명은 제1 지지판 및 제2 지지판과, 이격체를 개재시켜 복수개의 기판을 적층시켜 이루어지는 적중체를 구비하며, 상기 적중체가 상기 제1 지지판 및 제2 지지판에 끼워지고, 가압 지지되어 이루어지는 기판 수납체를, 다시 상기 기판 수납체를 탑재할 수 있는 지지면을 구비한 팰릿과, 상기 팰릿 상에 탑재된 상기 기판 수납체를 덮도록 설치되는 착탈 가능한 덮개체로 이루어지는 상자형체에 수납된 기판 수납체와,

상기 상자형체에 수납된 기판 수납체를 격납하고, 내부 바닥면에 완충 부재를 가지며, 상기 완충 부재 상에 상기 가대를 지지하는 컨테이너를 구비하고, 상기 기판 수납체는 진동의 저주파 성분을 흡수하는 특성을 가지며, 상기 컨테이너는 진동의 고주파 성분을 흡수하는 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 수송 장치이다.

본 발명에서는, 기판 적중체의 중량과 수송 중의 진동에 대하여, 충분한 강성(剛性)을 가지는 가대나 기판 수납체를 사용하여, 기판 전체면을 가압하는 가압체에 의해 기판의 적중체를 고정함으로써, 기판 개개의 벤딩이나, 기판 적중체의 변형을 억제하고, 기판끼리 또는 기판 이격체와의 마찰을 방지하고, 바닥면에 완충 기능을 가지는 컨테이너에 격납하여 수송한다.

수송 중의 진동에는, 저주파(40Hz 이하) 성분과 고주파(40～100Hz) 성분이 있어, 충분한 강성을 가지는 가대나 고강성의 지지대 등에 적중체를 가압하여 고정한 기판 수납체를 사용함으로써, 저주파의 진동을 흡수할 수 있고, 컨테이너의 바닥면에 완충 기능을 갖게 함으로써, 고주파의 진동을 흡수할 수 있고, 기판 적중체의 가압력이 충분하지 않은 경우의 분할 진동에 의해, 개개의 기판끼리나 기판과 이격체와의 충돌이나 마찰을 방지할 수 있다.

본 발명의 기판 수납 용기 및 기판 수납체는 다수의 대형 유리 기판 또는 그 가공 제품을 탑재하고, 기판의 전체면을 균일하게 지지하여 운반하는 것이 가능하므로, 옆으로 어긋나지 않고, 기판끼리의 마찰이나 기판과 이격체와의 마찰을 막아, 반송 효율이 양호하여, 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다. 또, 충격 흡수재를 추가로 설치함으로써, 내(耐)충격성이 우수하여 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다.

또, 팰릿 상에 적중체를 탑재함으로써, 포크리프트 등을 사용한 운반이 용이해지는 효과가 얻어진다. 또한, 팰릿에, 팰릿 상에 탑재된 적중체를 포위하도록 덮개체를 착탈 가능하게 장착하고, 그 덮개체의 천정판을 상기한 하중 지지판으로서 작용시키는 구성으로 하면, 덮개체로 하중 지지판을 겸용함으로써 구조를 간단하게 하면서, 덮개체에 의해 적중체를 덮어, 기판에 대한 티끌, 먼지 등의 부착을 방지할 수 있다.

또, 팰릿과 그것에 장착되는 덮개체로 형성되는 내부 상자를 수납하는 제2 팰릿 및 제2 덮개체로 이루어지는 외부 상자를 가지는 구성으로 해 두면, 그 외부 상자에 수납된 내부 상자에 티끌, 먼지 등이 부착되지 않고, 이 내부 상자를, 기판을 사용하는 공장 내에 반입했을 때, 공장 내에 티끌, 먼지 등을 동반하지 않아, 공장 내를 청정(淸淨)하게 유지할 수 있다고 하는 효과가 얻어진다.

본 발명의 수송 장치는 다수의 대형 판유리, 유리 기판 또는 그 가공 제품을 적중체로서 탑재하고, 가압 수단에 의해 가압 지지한 가대 또는 기판 수납체를 바닥면에 완충 부재를 가지는 컨테이너 또는 용기에 격납함으로써, 저주파, 고주파의 진동을 흡수하여 운반하는 것이 가능하므로, 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다.

도 1은 본 발명의 기판 수납체의 일례를 나타낸 단면도이다.

도 2는 도 1의 기판 수납체 내부 상자의 사시도이다.

도 3은 팰릿에 적중체를 탑재한 상태의 설명도이다.

도 4는 팰릿에 적중체를 탑재한 상태의 설명도이다.

도 5는 기판의 설명도이다.

도 6은 적중체의 설명도이다.

도 7은 적중체의 설명도이다.

도 8은 본 발명의 기판 수납체의 일례를 나타낸 단면도이다.

도 9는 본 발명의 기판 수납체의 일례를 나타낸 단면도이다.

도 10은 본 발명의 기판 수납체의 일례를 나타낸 정면도이다.

도 11은 도 10의 지지판의 평면도이다.

도 12는 본 발명의 기판 수납체의 일례를 나타낸 정면도이다.

도 13은 도 12의 지지판의 평면도이다.

도 14는 본 발명의 기판 수납체의 일례를 나타낸 정면도이다.

도 15는 도 14의 지지판의 평면도이다.

도 16은 본 발명의 기판 수납체의 일례를 나타낸 정면도이다.

도 17은 도 16의 기판 수납체의 A-A 단면도이다.

도 18은 본 발명의 기판 수납체의 일례를 나타낸 정면도이다.

도 19는 도 12의 수송체의 B-B 단면도이다.

도 20은 본 발명의 수송 장치의 일례를 나타낸 사시도이다.

도 21은 도 20의 수송 장치 컨테이너의 사시도이다.

도 22는 도 21의 컨테이너 바닥면의 평면도이다.

도 23은 도 20의 수송 장치 가대(架臺)의 사시도이다.

도 24는 본 발명의 수송 장치의 일례를 나타낸 단면도이다.

도 25는 본 발명의 수송 장치의 일례를 나타낸 사시도이다.

도 26은 도 25의 수송 장치의 단면도이다.

도 27은 본 발명의 수송 장치의 일례를 나타낸 사시도이다.

도 28은 본 발명의 수송 장치에 사용하는 가대의 다른 일례를 나타낸 사시도이다.

도 29는 본 발명의 수송 장치에 사용하는 가대의 다른 일례를 나타낸 사시도이다.

도 30은 본 발명의 수송 장치에 사용하는 가대의 다른 일례를 나타낸 사시도이다.

도 31은 본 발명의 수송 장치의 일례를 나타낸 사시도이다.

도 32는 본 발명의 수송 장치의 일례를 나타낸 사시도이다.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

1: 기판 수납체 3: 기판

3a: 기판 본체 3b: 수지층

3c: 보호막 4A: 이격체

4B: 이격체 5: 적중체

7: 보강 판재 9: 보강 판재

11: 팰릿 12: 덮개체

13: 스냅 로크 15: 에어 백

17: 팰릿 19: 덮개체

21: 튜브 23: 밸브

31: 기판 수납체 33: 에어 백

41: 기판 수납체 43: 탄성 판재

51: 기판 수납체 53: 곤포체

55: 지지판 56: 홈부

57: 지지판 59: 밴드

61: 곤포체 63: 지지판

64: 정상부 65: 지지판

66: 너트 67: 볼트

69: 구멍 71: 곤포체

73: 지지판 75: 지지판

77: 클램프 79: 금속부

81: 기판 수납체 82: 충격 흡수재

83: 충격 흡수재 85: 충격 흡수재

87: 충격 흡수재 89: 충격 흡수재

91: 기판 수납체 92: 충격 흡수재

93: 충격 흡수재 94: 충격 흡수재

95: 충격 흡수재 97: 충격 흡수재

99: 충격 흡수재 101: 수송 장치

103: 컨테이너 105: 가대

107: 바닥 부재 109: 충격 부재

111: 바닥면 113: 측면판

115: 천정판 117: 도어

119: 배면판 123: 바닥 부재

125: 배면 부재 127: 가압체

131: 포위 부재 133: 하니콤 패널

135: 하니콤 패널 137: 나사

139: 정면 부재 141: 수송 장치

143: 지지 부재 145: 레일

147: 가이드 149: 컨테이너

151: 수송 장치 153: 바닥

155: 완충 부재 157: 가대 지지 부재

153: 돌출부 159: 커버

161: 수송 장치 163: 바닥 부재

165: 포스트 167: 빔

171: 가대 173: 가압체

175: 공기 스프링 181: 가대

183: 상면 부재 185: 지지 부재

187: 암 191: 가대

193: 공기 스프링 201: 수송 장치

211: 수송 장치

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.

도 1은 본 발명의 기판 수납 용기에 기판의 적중체를 수납하여 형성한 제1 실시예에 관한 기판 수납체의 개략 단면도, 도 2는 도 1의 기판 수납체 일부의 개략 사시도, 도 3은 팰릿에 기판의 적중체를 실은 상태를 나타낸 개략 측면도, 도 4는 팰릿에 기판의 적중체를 실은 상태를 나타낸 개략 측면도이다. 기판 수납체(1)는 다수의 기판을 적층하여 구성한 적중체(5)를 기판 수납 용기(이하, 단지 수납 용기라고 함)(10) 내에 수납한 것이다. 이하, 각 부를 상세하게 설명한다.

본 실시예에서 수납의 대상으로 하는 기판(3)은 판유리, 유리 기판 및 그 가공 제품이며, 액정 디스플레이의 컬러 필터나 박막 트랜지스터(TFT) 등에 사용하는 유리 기판 등이다. 그 대표적인 구조를 도 5에 개략적으로 나타내고 있다.

도 5에서, 기판(3)은 유리판 등의 기판 본체(3a)의 한쪽 면에, 기능층(3b)(예를 들면, 컬러 필터용 기판의 경우에는, 블랙 매트릭스, 착색 화소, ITO 전극 등을 구비한 층)를 구비하고, 또한 그 위에, 보관, 운반 중 등에서의 손상을 방지하기 위한 보호막(3c)을 형성하고 있다. 이 보호막(3c)은 용이하게 형성할 수 있고, 또한 용이하게 제거 가능한 재료로 만들어지는 것이며, 수용성의 수지(예를 들면, 폴리비닐 알코올)가 사용되는 것이 많다. 막 두께로서는, 10～20㎛ 정도가 사용된다. 통상, 기능층(3b), 보호막(3c)은 기판 본체(3a) 주변의 수 mm를 제외한 전 영역에 형성되어 있다. 본 명세서에서는, 기능층(3b) 및 그 위에 보호막(3c)을 형성한 영역을 유효 영역이라고 한다.

기판(3)은 크기를 특히 한정하지 않고, 폭 1800mm×길이 2000mm 정도의 큰 사이즈로 하는 것도 가능하다. 또, 기판의 두께도 제한되지는 않지만, 0.3～1.0mm 정도가 많다. 또, 수납 매수는 1～300매 정도가 바람직하다.

수납 용기(10)는 적중체(5)를 수납하는 내부 상자와, 그 내부 상자를 수납하는 외부 상자를 구비한 이중 구조로 되어 있다. 내부 상자는 적중체(5)를 지지하는 지지면(11a)을 구비한 지지대를 구성하는 팰릿(11)과, 팰릿(11) 상에 탑재된 적중체(5)를 포위하도록, 상기 팰릿(11)에 착탈 가능하게 장착되는 덮개체(12)를 구비하고 있다.

팰릿(11)의 지지면(11a)은 적중체(5)를, 기판(3)이 지지면(11a)에 대하여 평행으로 되는 상태에서 지지 가능하도록, 기판(3)의 면적보다 큰 면적으로 만들어져 있다. 덮개체(12)는 팰릿(11)에 장착한 상태에서 지지면(11a)에 평행으로 되는 천정판(12a)과, 지지면(11a)에 수직으로 되는 4면의 측판(12b)을 구비한 상자형의 것이다.

덮개체(12)를 팰릿(11)에 대한 소정 위치에 위치 결정하기 위해, 팰릿(11) 상면의 복수 개소에, 덮개체(12)의 측판(12b) 내면에 끼워 맞추는 돌기(11b)가 형성되어 있다. 그리고, 팰릿(11)에 대하여 덮개체(12)를 위치 결정하는 수단은 돌기(11b)를 사용한 것에 한정되지 않고, 적당히 변경 가능하다.

덮개체(12)의 천정판(12a)은 후술하는 바와 같이 에어 백(15)에 의해 적중 체(5)의 상면에 가압력을 작용시켰을 때의 반력(反力)을 지지하는 하중 지지판으로서 작용하는 것이며, 덮개체(12)는 그 반력에 견디는 강성을 구비한 구조로 하고 있다. 또, 덮개체(12)는 팰릿(11)에 대하여 그 반력을 지지할 수 있는 강도를 구비한 연결 수단으로 연결되도록 되어 있다. 본 실시예에서는, 덮개체(12)를 팰릿(11)에 대하여 필요한 강도로 연결하기 위해, 복수개의 스냅 로크(snap lock)(13)를 사용하고 있다. 스냅 로크(13)는 원 터치로 개폐 가능하므로, 작업성이 양호한 동시에 큰 인장력에 견딜 수 있다. 그리고, 덮개체(12)를 팰릿(11)에 연결하는 연결 수단은 스냅 로크에 한정되지 않고, 볼트, 너트를 사용한 것, 연결핀을 사용한 것 등 임의이다.

팰릿(11)의 지지면(11a) 상에는, 평면 정밀도가 높은 보강 판재(7)가 놓여지고, 그 위에 적중체(5)가 탑재되어 있다. 그리고, 적중체(5)의 위에는, 평면 정밀도가 높은 보강 판재(9)가 놓여지고, 그 위에 에어 백(15)이 배치되어 있다. 기판(3)을 그 평탄한 보강 부재로 지지 또는 가압함으로써, 기판(3)의 손상을 한층 방지할 수 있다.

에어 백(15)은 그 내부에 가압 에어를 공급함으로써 팽창하고, 상면 위치가 덮개체(12)의 천정판(하중 지지판)(12a)으로 구속됨으로써, 적중체(5)의 상면 전역을 보강 판재(9)를 통해 균일하게 가압할 수 있도록 배치되어 있다. 따라서, 에어 백(15)과 그것을 지지하는 천정판(12a) 등은 적중체(5)의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시켜, 상기 적중체를 지지대에 가압하여 고정시키는 가압 수단을 구성한다.

또, 에어 백(15)에는, 덮개체(12)를 팰릿(11)에 장착한 상태에서, 에어 백(15) 내에 가압 에어를 공급할 수 있게, 덮개체(12)의 외측으로 연장되도록 에어 공급용 튜브(21)가 연결되어 있고, 그 선단에는 밸브(23)가 장착되어 있다.

적중체(5)의 상하에 배치되는 보강 판재(7, 9)는 적중체(5)의 기판을 매우 평탄한 상태에서 지지 또는 가압할 수 있도록 설치한 것이다. 보강 부재(7, 9)로서는, 평면 정밀도가 우수한 경량의 판재가 사용되고, 구체적으로는, 하니콤 패널(honeycomb panel), 또는 발포체를 코어로 하고 FRP판을 스킨으로 한 적층판 등을 사용하는 것이 바람직하다. 보강 부재(7, 9)는 적중체(5)의 전체면을 지지 또는 가압할 수 있도록, 기판(3)과 동일 또는 그보다 큰 면적의 것이 사용된다. 보강 부재(7, 9)의 평면 정밀도로서는, 표면 조도(粗度)는 100㎛Rmax 정도 이하, 평면도는 최소 곡률 반경이 700m 정도 이상으로 하는 것이 바람직하다.

팰릿(11) 및 덮개체(12)로 구성되는 내부 상자를 수납하는 외부 상자는 제2 팰릿(17)과 그것에 착탈 가능한 덮개체(19)로 형성되어 있다. 덮개체(19)도, 내부 상자의 덮개체(12)와 동일한 형상이며, 스냅 로크(13)에 의해 팰릿(17)에 착탈 가능하게 되어 있다. 그리고, 도시는 생략하고 있지만, 외부 상자의 팰릿(17)에는, 내부 상자의 팰릿(11)을 소정 위치에 위치 결정하여 고정하기 위한 수단이 설치되어 있다.

기판(3)을 다수 매 적층하여 적중체(5)를 구성하는 데 있어서는, 각 기판(3)의 기능층(3b), 보호막(3c)을 보호할 수 있도록, 각 기판(3) 사이에 이격체(4)를 끼우는 것이 바람직하다. 이격체(4)를 끼워 넣는 형태는 특히 한정되지 않고, 적 어도 기판(3)의 유효 영역을 덮는 위치에 이격체(4)가 존재하도록 하면 되지만, 바람직한 형태로서는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 기판(3)보다 긴 이격체(4A)를 그 양단이 기판(3)보다 밖으로 연장되도록 배치하는 형태, 또는 도 7에 나타낸 바와 같이, 둘로 접은 상태에서 기판(3)과 대략 동일 사이즈로 되는 이격체(4B)를, 둘로 접은 상태에서 기판(3) 사이에 끼우는 형태를 들 수 있다. 도 6에 나타낸 형태에서는, 이격체(4A)의 단부(端部)가 기판(3)의 외측으로 연장되어 있으므로, 이격체를 벗길 때는 이 연장되어 있는 부분을 잡으면 되어, 이격체를 잡기 위한 기구를 간단하게 할 수 있는 동시에 확실하게 잡는 것이 가능해진다. 또, 도 7에 나타낸 형태에서는, 이격체(4B)가 둘로 접은 것으로 되어 있으므로, 수송 중에 기판(3)의 보호막(3c)(도 5 참조)이 흡습(吸濕)되어 그것에 접하고 있는 이격체의 한쪽(4Ba)에 접착되어 버렸다고 해도, 위쪽의 한쪽(4Bb)은 접착되어 있지 않으며, 이 때문에, 이격체(4B)를 벗길 때 위쪽의 한쪽(4Bb)을 흡착 패드 등으로 용이하게 흡착 지지하여 들어올릴 수 있으며, 그 한 조각을, 이격체(4)를 확실하게 벗기는 것이 가능한 수단(예를 들면, 닙 롤 등)에 더하게 함으로써, 이격체(4)를 기판으로부터 확실하게 벗길 수 있다.

이격체(4)에 사용하는 재료는 기판(3)을 보호할 수 있는 것이면 임의이며, 종이, 수지 시트 등이 사용된다. 이격체(4)에 바람직한 재료로서는, 독립 기포(氣泡)를 가지는 수지의 발포 시트, 예를 들면, 주식회사 JSP제의 상품명 「미라맛토」를 들 수 있다. 독립 기포를 가지는 수지의 발포 시트는 적당한 부드러움을 가지므로, 기판 표면의 기능층(3b)의 보호가 확실하고, 또한 통기성이 없으므로 보호 막(3c)이 흡습되는 것을 방지할 수 있다. 이격체(4)의 두께로서는, 너무 얇으면 보호 효과가 저하되고, 한편 너무 두꺼우면 비용이 비싸지는 동시에 부피가 커진다고 하는 결점을 생기게 하므로, 이들을 고려하여, 0.25～1mm 정도로 선정하는 것이 바람직하다.

다음에, 수납 용기(10)에 적중체(2)를 수납하는 방법을 설명한다. 도 3, 도 4에 나타낸 바와 같이 팰릿(11) 상에 보강 판재(7)를 싣고, 이어서 그 위에 기판(3)과 이격체를 교대로 적층하여 적중체(5)를 형성한다. 그리고, 다른 장소에서 적중체(5)를 형성해 두고, 그것을 팰릿(11) 상에 탑재하도록 변경해도 된다. 팰릿(11) 상에 적중체(5)를 탑재한 후에는, 그 위에 보강 부재(9) 및 에어 백(15)을 싣고, 그 위로부터 덮개체(12)를 씌워, 덮개체(12)를 팰릿(11)에 고정한다. 그 후, 에어 백(15)에 연결하고 있는 에어 공급용 튜브(23)에 컴프레서 등의 가압 에어 공급 장치(도시하지 않음)를 연결하여, 에어 백(15)에 가압 에어를 공급한다. 이에 따라, 에어 백(15)이 팽창하여, 적중체(5)의 상면을 보강 판재(9)를 통해 가압하고, 적중체(5)를 팰릿(11)에 가압하여 고정한다.

에어 백(15)에 의한 가압력은 그 에어 백(15)에 공급하는 에어 압력을 조정함으로써, 원하는 값으로 조정할 수 있다. 그리고, 적중체(5)의 높이가 부족하여, 에어 백(15)으로 적중체(5)에 가압력을 부여할 수 없는 경우에는, 보강 판재(9)와 에어 백(15) 사이에 적당한 스페이서를 삽입해 두면 된다.

에어 백(15)에 원하는 압력의 가압 에어를 공급한 후에는, 밸브(23)를 닫고, 가압 에어 공급 장치를 분리한다. 그 후, 전체를 제2 팰릿(17)과 덮개체(19)로 형 성되는 외부 상자 내에 수납하고, 그 상태에서 원하는 장소로 운반하고, 또 보관한다. 이들 운반, 보관 시도, 에어 백(15)은 가압 에어가 밀봉된 상태로 유지되기 때문에, 에어 백(15)이 적중체(5)의 상면에 균등한 가압력을 계속해서 작용시키고 있어, 기판(3)이 어긋나 손상되는 일은 없다.

그리고, 수납 용기(10)에 기판을 수납할 때는, 팰릿(11)을 수평 상태로 하고, 기판을 수평으로 한 상태에서 적층하여 가지만, 형성한 기판 수납체(1)를 운반할 때는, 팰릿(11)을 수평 상태로 유지한 경우에 한정되지 않고, 필요에 따라 팰릿(11)을 경사지게 하거나, 수직으로 세워도 된다. 이 경우에도, 기판(3)이 전체면에 걸쳐 균일한 압력으로 체결되어, 팰릿(11)에 가압되고 있으므로, 기판(3)이 움직이는 일이 없어, 기판(3)이 손상되는 일 없이 안전하게 운반할 수 있다.

개봉에 있어서는, 외부 상자의 덮개체(19)를 떼어내고, 그 안에 수납되어 있는 내부 상자(팰릿(11), 덮개체(12)) 등을 인출하여, 원하는 장소로 반입한다. 이때, 내부 상자는 외부 상자로 덮혀 있었기 때문에, 티끌, 먼지 등이 부착되어 있지 않고, 이 때문에, 기판을 사용하는 공장 내 등의 청정이 요구되는 장소에 내부 상자를 반입해도 트러블이 생기지 않는다. 다음에, 에어 백(15)의 공기를 빼낸 후, 덮개체(12)를 팰릿(11)으로부터 분리하고, 에어 백(15), 보강 판재(9)를 분리한 후, 적중체(5)의 상면 측으로부터 기판(3), 이격체(4)를 교대로 인출하면 된다.

이와 같이 기판(3)을 수평으로 한 상태에서 탑재하고, 에어 백(15)이 적중체(5)의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시키므로, 기판 사이즈가 큰 경우에도, 또 수납 매수가 많은 경우에도, 각 기판(3)을 그 전역에서 균일한 압력으로 체결하여 고정할 수 있어, 운반 중 등에 기판이 움직여 손상되는 일이 없다. 또, 에어 백(15)은 기판 전체면에 균일한 가압력을 작용시키고 있으므로, 단위 면적당의 가압력을 작게 설정해도, 기판이 움직이지 않도록 구속할 수 있어, 이 점으로부터도 기판의 손상을 방지할 수 있다. 또, 에어 백에 공급하는 공기압의 조정으로 용이하게 가압력을 조정할 수 있다.

그리고, 본 발명에 있어서, 가압 수단이 적중체의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시키는 구성으로 하고 있지만, 「상면 전역」이란, 반드시 엄밀한 의미에서의 상면 전역에 한정되지 않고, 다소는 전역보다 적은 영역이라도, 그 영역에 균일한 하중을 가함으로써 기판을 움직이지 않도록 구속할 수 있는 영역이면 되며, 구체적으로는, 상면 전역의 80% 정도 이상의 영역을 의미하는 것으로 한다.

그리고, 상기 제1 실시예에서는, 기판(3)의 고정에, 적중체(5)의 상면에 배치한 에어 백(15)에 의한 가압력만을 이용하고 있지만, 필요에 따라 적중체(5)의 측면과 덮개체(12)의 측판(12b) 사이에 적당한 쿠션재를 배치하는 것도 가능하다. 도 8은 그 경우의 실시예에 관한 기판 수납체(31)를 나타낸 것이며, 이 실시예에서는, 적중체(5)의 측면과 덮개체(12)의 측판(12b) 사이에 쿠션재로서 에어 백(33)을 삽입하고, 또한 가압 에어를 밀봉하여 적중체(5)의 측면을 구속하고 있다. 이 구성에 의해, 운반 중에 있어서의 기판(3)의 어긋남을 한층 확실하게 방지할 수 있다.

또, 상기 제1 실시예에서는, 적중체(5)의 상면에 균일한 가압력을 부여하는 가압 수단으로서 에어 백(15)을 사용한 것을 사용하고 있지만, 가압 수단은 이에 한정되지 않고, 다른 구조로 해도 된다.

도 9는 다른 구조의 가압 수단을 사용한 기판 수납체(41)를 나타낸 것이다. 이 실시예에서는, 팰릿(11)에 탑재된 적중체(5)와 덮개체(12)의 천정판(12a) 사이에, 고무, 스펀지, 수지 발포체 등으로 형성된 탄성 판재(43)를 압축한 상태에서 배치하고 있다. 즉, 이 탄성 판재(43)는 압축하지 않은 상태에서는, 천정판(12a)과 보강 판재(9)의 간격보다 두꺼운 두께를 가지고 있으며, 보강 판재(9)의 위에 탄성 판재(43)를 싣고, 그 위로부터 덮개체(12)의 천정판(12a)을 꽉 눌러, 적당한 가압 수단으로 덮개체(12)를 팰릿(11)을 향해 가압하고, 그 상태에서 덮개체(12)를 팰릿(11)에 연결함으로써, 천정판(12a)이 탄성 판재(43)를 가압하여 탄성 변형시키고, 이에 따라, 탄성 변형된 탄성 판재(43)가 적중체(5)의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시킬 수 있다.

또, 상기한 실시예에서는, 모두, 덮개체(12)의 천정판(12a)을 에어 백(15)이나 탄성 판재(43)를 지지하는 하중 지지판으로 하고 있지만, 에어 백(15)이나 탄성 판재(43)를 지지하는 하중 지지판은 반드시 덮개체(12)의 천정판(12a)의 형태로 할 필요는 없고, 단지 평판형의 하중 지지판을 사용하고, 이 하중 지지판을 연결용의 봉(棒), 파이프, 평판 등을 사용하여 팰릿(11)에 연결하는 구조로 해도 된다.

다음에, 본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 수납체에 대하여 설명한다.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 수납체(51)의 정면도(도면 바로 앞의 덮개체 측면은 도시하지 않음)이며, 기판 수납체인 곤포체(梱包體)(53)를 다시 이중의 상자형체에 수납하여 이루어진다. 도 11은 도 10에서 사용한 지지 판(55)의 평면도이다.

기판 수납체(51)에 있어서, 기판 수납체(1)의 구성 요소와 동일한 기능의 것은 동일한 번호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.

본 발명의 기판 수납체(51)는 적중체(5)를 가압 지지한 기판 수납체인 곤포체(53)와, 곤포체(53)를 수납하는 내부 상자와, 그 내부 상자를 수납하는 외부 상자를 구비한 이중 구조로 이루어진다. 내부 상자는 곤포체(53)를 지지하는 지지면(11a)을 구비한 지지대를 구성하는 팰릿(11)과, 팰릿(11) 상에 탑재된 적중체(5)를 포위하도록, 상기 팰릿(11)에 착탈 가능하게 장착되는 덮개체(12)를 구비하고 있다.

곤포체(53)는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 지지판(57) 상에 기판(3)의 적중체(5)를 탑재하고, 적중체(5) 상에 다시 지지판(55)을 탑재하고, 그 후, 가압 수단으로서의 밴드(59)를 사용하여, 지지판(55)과 지지판(57)과의 외주를 에워싸, 밴드(59)를 체결함으로써 소정의 가압까지 가압을 행하여, 지지판을 적중체(5)에 가압하고 고정하여 이루어진다. 밴드(59)는 직렬로 스프링을 넣은 구성으로 하는 것이 특히 바람직하며, 밴드(59)로서 고무 밴드를 사용할 수 있다. 고무 밴드를 사용함으로써, 수송 시에 있어서의 적중체의 두께 감소에 의한 느슨함이 생기지 않는다.

지지판(55, 57)은 도 11에 나타낸 바와 같이 사각형의 판형이며, 밴드를 거는 부분에 미리 홈부(56)를 형성하여 두는 것이 바람직하다. 홈부(56)에 의해, 밴드(59)의 어긋남을 막아, 가압 작업이 용이하게 된다.

지지판(55, 57)은 기판 전체면을 치우침 없게 가압하기 위해, 벤딩 강성이 높은 것이 바람직하며, 또 취급을 고려하면 보다 가벼운 것이 바람직하며, 예를 들면, 하니콤 패널, 샌드위치 패널을 들 수 있다. 또, 지지판의 사이즈는 기판보다 큰 것이 바람직하다.

기판(3)을 지지판(57) 상에 탑재하여, 적중체(5)로 할 때, 기판끼리의 접촉을 피하기 위해, 인접하는 기판(3) 사이에 이격체(4)로서 종이, 수지 필름 또는 쿠션성을 가지는 시트를 끼워 넣는다. 쿠션성을 가지는 시트는 발포 폴리에틸렌, 발포 폴리프로필렌 또는 발포 폴리우레탄으로 이루어지는 스펀지 시트가 바람직하게 사용 가능하다.

기판(3)의 수납 매수는 1～500매 정도에서 바람직하게 사용할 수 있고, 특히 바람직하게는, 100～200매 정도이다.

밴드(7)는, 도시하지 않지만, 체결부를 가지고 고정할 수 있는 구조이다.

곤포체(53)는 수송 시, 가로 쌓기(기판을 누인 상태) 또는 세로 쌓기(기판을 세운 상태) 중 어느 쪽으로 수송하는 것도 가능하지만, 곤포체(53)의 형성, 즉 지지판(55, 57)에서 기판의 적중체(5)를 사이에 두고, 가압 수단으로서 밴드(59)를 사용하여 지지판(55, 57)과 기판의 적중체(5)를 일체화시키는 공정은 가로 쌓기에서 행하는 것이 바람직하다. 세로 쌓기로 수송하는 경우에는, 가로 쌓기로 곤포체(53)를 형성한 후, 세워서 수송하는 것이 바람직하다.

가압 수단인 밴드(59)에 의한 지지판 가압의 바람직한 범위는 가로 쌓기와 세로 쌓기에서 상이하며, 가로 쌓기의 경우에는, 자중이 걸리기 때문에 적은 압력 으로 되며, 30～100g/㎠가 바람직하고, 세로 쌓기의 경우에는, 10O～5OOg/㎠가 바람직하고, 특히 바람직하게는 3OO～500g/㎠이다.

내부 상자에 곤포체(53)를 수납할 때, 도시하지 않은 고정 수단으로 곤포체(53)를 팰릿(11)에 고정한다.

제2 실시예에서는, 곤포체(53)를 이중의 상자형체에 수납한 형태에 대하여 설명했지만, 곤포체(53)를 단지 상자형체에 수납해도 되고, 또 스트레치 필름 등의 필름으로 덮어 수송할 수도 있다.

이와 같이 제2 실시예에 의하면, 밴드(59)에 의해 적중체를 가압 지지하여 운반하는 것이 가능하므로, 반송 효율이 양호하여, 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다.

또, 상기 제2 실시예에서, 곤포체(53)는 가압 지지 수단에 밴드(59)를 사용하였지만, 다른 가압 지지 수단을 사용할 수도 있다. 도 12, 13 및 도 14, 15에, 가압 지지 수단을 사용한 곤포체(61), 곤포체(71)를 나타낸다.

곤포체(61)에 대하여 설명한다.

도 12 및 도 13은 곤포체(61)의 설명도이며, 도 12는 곤포체(61)의 정면도이며, 도 13은 도 12에서 사용한 지지판(63)의 평면도이다. 곤포체(61)에 있어서, 곤포체(53)의 구성 요소와 동일한 기능의 것은 동일한 번호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.

곤포체(61)는 도 12에 나타낸 바와 같이 지지판(65) 상에 적중체(5)를 적재하고, 적중체(5) 상에 다시 지지판(63)을 탑재하고, 그 후, 지지판(63, 65)의 단부 에 가압 수단으로서 체결 볼트(67)를 통해, 볼트(67)와 지지판(65)의 저부에 설치한 너트(66)를 끼워 맞추고, 정상부(64)를 회전시켜 체결함으로써 소정의 가압까지 가압을 행하고, 지지판(63)을 적중체(5)에 가압하고 고정하여 이루어진다.

지지판(63, 65)은 도 13에 나타낸 바와 같이 사각형의 판형이며, 지지판(63, 65)의 네 코너에 볼트를 통과하는 구멍(69)을 가진다.

지지판(63, 65)은 지지판(55, 57)과 동일하게, 기판 전체면을 치우침 없게 가압하기 위해, 벤딩 강성이 높은 것이 바람직하고, 또 취급을 고려하면 보다 가벼운 것이 바람직하고, 예를 들면, 하니콤 패널, 샌드위치 패널을 들 수 있다. 또, 지지판의 사이즈는 기판보다 큰 것이 바람직하다.

볼트(67)의 배치는 도 13에 나타낸 위치에 한정되지 않고, 기판의 전체면을 균일하게 지지하여 운반할 수 있는 위치에, 복수 개소 설치한다.

곤포체(61)는 곤포체(1)와 동일하게, 수송 시, 가로 쌓기 또는 세로 쌓기 중 어느 쪽으로 수송하는 것도 가능하지만, 곤포체(61)의 형성, 즉 지지판(63, 65)에서 기판의 적중체(5)를 사이에 두고, 가압 수단으로서 볼트(67)를 사용하여 지지판(63, 65)과 기판의 적중체(5)를 일체화시키는 공정은 가로 쌓기로 행하는 것이 바람직하다. 세로 쌓기로 수송하는 경우에는, 가로 쌓기로 곤포체(61)를 형성한 후, 세워서 수송하는 것이 바람직하다.

가압 수단인 볼트(67)에 의한 지지판 가압의 바람직한 범위는 가로 쌓기와 세로 쌓기에서 상이하며, 가로 쌓기의 경우에는, 자중이 걸리기 때문에 적은 압력으로 되어, 30～100g/㎠가 바람직하고, 세로 쌓기의 경우에는 100～500g/㎠가 바람 직하고, 특히 바람직하게는 300～500g/㎠이다.

이와 같이 본 실시예에 의하면, 볼트(67)에 의해 적중체를 가압 지지하여 운반하는 것이 가능하므로, 반송 효율이 양호하여, 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다.

곤포체(71)에 대하여 설명한다.

도 14 및 도 15는 곤포체(71)의 설명도이며, 도 14는 곤포체(71)의 정면도이며, 도 15는 도 14에서 사용한 지지판(73)의 평면도이다. 곤포체(71)에 있어서, 곤포체(53)의 구성 요소와 동일한 기능의 것은 동일한 번호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다. 곤포체(71)는 지지판(75) 상에 적중체(5)를 탑재하고, 적중체(5) 상에 다시 지지판(73)을 탑재하고, 그 후, 지지판의 단부에 ㄷ자형의 클램프(77)를 복수개 설치하고, 클램프(77)에 의해 지지판(73)을 적중체(5)에 가압하여, 소정의 가압까지 가압하고 고정하여 이루어진다.

지지판(73, 75)은 도 15에 나타낸 바와 같이 사각형의 판형이며, 클램프 장착 개소는 미리 금속을 매립하여 보강해 두는 것이 바람직하며(금속부(79)), 오목부로 하는 것도 바람직하다.

지지판(73, 75)은 지지판(55, 57)과 동일하게, 기판 전체면을 치우침 없게 가압하기 위해, 벤딩 강성이 높은 것이 바람직하고, 또 취급을 고려하면 보다 가벼운 것이 바람직하고, 예를 들면, 하니콤 패널, 샌드위치 패널을 들 수 있다. 또, 지지판의 사이즈는 기판보다 큰 것이 바람직하다.

클램프(77)는 도 14, 15에 나타낸 위치에 한정되지 않고, 기판의 전체면을 균일하게 지지하여 운반할 수 있는 위치에, 복수 개소 설치한다.

곤포체(71)는 곤포체(53)와 동일하게, 수송 시, 가로 쌓기 또는 세로 쌓기 중 어느 쪽으로 수송하는 것도 가능하지만, 곤포체(71)의 형성, 즉 지지판(73, 75)에서 기판의 적중체(5)를 사이에 두고, 가압 수단으로서 클램프(77)를 사용하여 지지판(73, 75)과 기판의 적중체(5)를 일체화시키는 공정은 가로 쌓기로 행하는 것이 바람직하다. 세로 쌓기로 수송하는 경우에는, 가로 쌓기로 곤포체(71)를 형성한 후, 세워서 수송하는 것이 바람직하다.

가압 수단인 클램프(77)에 의한 지지판 가압의 바람직한 범위는 가로 쌓기와 세로 쌓기에서 상이하며, 가로 쌓기의 경우에는, 자중이 걸리기 때문에 적은 압력으로 되어, 30～100g/㎠가 바람직하고, 세로 쌓기의 경우에는, 100～500g/㎠가 바람직하고, 특히 바람직하게는 300～500g/㎠이다.

이와 같이 본 실시예에 의하면, 클램프(77)에 의해 적중체를 가압 지지하여 운반하는 것이 가능하므로, 반송 효율이 양호하여, 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다.

또, 제2 실시예에서의 곤포체(53)는 도 16～19에 나타낸 바와 같이 충격 흡수재와 조합하는 것도 바람직하다. 도 16～19에 나타낸 상태에서, 상기 이중 구조의 상자 또는 다른 형상의 상자에 수납하거나, 또 스트레치 필름 등의 필름으로 덮어 수송할 수 있다.

도 16, 17에, 본 제2 실시예에 있어서의 곤포체(53)와 충격 흡수재를 조합한 곤포체(81)의 설명도를 나타냈다. 도 16은 정면도(바로 앞의 충격 흡수재는 도시 하지 않음)이며, 도 17은 도 16의 A-A 단면도이다. 도 18은 곤포체(91)의 정면도(바로 앞의 충격 흡수재는 도시하지 않음)이며, 도 19는 도 18에 나타낸 수송체(91)의 B-B 단면도이다. 상기 설명에서의 구성 요소와 동일한 기능의 것은 동일한 번호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.

곤포체(81)는 도 16에 나타낸 바와 같이 가로 쌓기의 곤포체(53)의 저부(底部), 상부 및 측부에 충격 흡수재를 배치한다. 곤포체(53)의 저부에 충격 흡수재(82)를 배치하고, 곤포체(53)의 상부에 충격 흡수재(83)를 설치한다. 충격 흡수재(82, 83)는 곤포체(53)의 지지판보다 약간 큰 4각 형상이다.

측부의 충격 흡수재로서, 적중체(5)의 기판 단부에 충격 흡수재(87, 89)를 설치하고, 또한 충격 흡수재(87, 89)의 외측에 충격 흡수재(85)를 설치한다. 충격 흡수재(87)와 외측의 충격 흡수재(85)는 일체 성형한 것이라도 된다.

충격 흡수재의 형상은 특히 한정하지 않지만, 곤포체의 형상에 맞추어, 움푹한 곳을 성형해 두면, 수송 시에 옆으로 어긋나는 것을 방지하는 데 유효하다. 또, 저부, 측부 및 상부의 충격 흡수재(82, 85, 83)가 상자형으로 조합되도록 성형하는 것도 유효하다

충격 흡수재(82)의 재질은 특히 한정하지 않지만, 본 발명의 수송체에서 낙하 충격 시험을 행하여, 외부 충격력 20G를 가한 경우, 적중체에서의 충격력을 3G 이하 정도로 하는 쿠션성이 있는 것이 바람직하며, 발포 폴리프로필렌이 바람직하게 사용 가능하다. 또, 충격 흡수재(83, 85, 87, 89)의 재질은 충격 흡수재(82)와 동일하게, 발포 폴리프로필렌이 바람직하게 사용 가능하다

여기에서는, 충격 흡수재를 곤포체(53)의 전체면에 배치한 예를 들어 설명했지만, 저부의 충격 흡수재(82)만을 사용해도 되고, 충격 흡수재의 배치는 적당히 선택한다.

곤포체(91)는 도 18에 나타낸 바와 같이 세로 쌓기의 곤포체(53)의 저부, 상부 및 측부에 충격 흡수재를 배치한다. 곤포체(53)의 저부에 충격 흡수재(92, 93)를 배치하고, 곤포체(53)의 상부에 충격 흡수재(94, 95)를 설치한다.

충격 흡수재(92, 94)는 곤포체(53)의 저부보다 약간 큰 4각 형상이다. 또, 충격 흡수재(92)와 충격 흡수재(93), 충격 흡수재(94)와 충격 흡수재(95)는 일체 성형한 것이라도 된다.

또한, 측부의 충격 흡수재(97)를 설치하고, 충격 흡수재(97)와 곤포체(53)의 적중체(5) 기판 단부 사이에 충격 흡수재(99)를 설치한다.

충격 흡수재의 형상은 특히 한정하지 않지만, 곤포체의 형상에 맞추어, 움푹한 곳을 성형해 두면, 수송 시에 옆으로 어긋나는 것을 방지하는 데 유효하다. 또, 전체를 상자형으로 형성하면, 수송 시의 작업성이 향상된다.

충격 흡수재(92, 93, 94, 95, 97, 99)의 재질은 상기와 동일하게 발포 폴리프로필렌이 바람직하게 사용 가능하다.

여기에서는, 충격 흡수재를 곤포체(53)의 전체면에 배치한 예를 들어 설명했지만, 저부의 충격 흡수재(92, 93)만을 사용해도 되고, 충격 흡수재의 배치는 적당히 선택한다.

이와 같이 지지판을 적중체에 가압한 곤포체로 함으로써, 기판의 전체면을 지지하여 운반하는 것이 가능하며, 저부에 충격 흡수재를 설치함으로써, 수송 시의 진동을 흡수할 수 있고, 또한 곤포체의 기판 단부에 충격 흡수재를 설치함으로써, 기판 단부를 보호할 수 있고, 전체를 충격 흡수재로 에워쌈으로써, 외부로부터의 충격을 완화할 수 있고, 반송 효율이 양호하고, 운반 시의 기판의 어긋남을 방지하여, 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다.

다음에, 본 발명의 제3 실시예에 관한 기판 수송 장치에 대하여 설명한다.

도 20～23은 본 발명의 제3 실시예에 관한 기판 수송 장치(101)의 설명도이며, 도 20은 기판 수송 장치(101)의 사시도이며, 도 21은 도 20의 기판 수송 장치(101)의 컨테이너(103) 사시도이며, 도 22는 도 21의 컨테이너의 바닥면(111) 평면도이다. 도 23은 도 20의 기판 수송 장치(101)에 있어서의 가대(架臺)(105)의 사시도이다.

기판 수송 장치(101)는 도 20에 나타낸 바와 같이 도 21에 나타낸 컨테이너(103)에, 기판 수납체로서 도 23에 나타낸 가대(105)를 격납하여 이루어진다.

도 20의 기판 수송 장치(101)의 컨테이너(103)는 바닥 부재(107)와 측면판(113), 배면판(119), 천정판(115) 및 도어(117)로 에워싸인 상자형이며, 바닥면(111)에 완충 부재(109)를 고정하여 설치한다.

바닥 부재(107)는 강성이 높은 재질이며, 강재 또는 금속제의 각(角) 파이프를 프레임형으로 형성한 것이나, 면형(面形)으로 성형한 것을 바람직하게 사용할 수 있고, 포크리프트 등에서의 작업에 유용한 형상의 다리부를 가지며, 측면판(113), 배면판(119), 천정판(115) 및 도어(117)는 재질을 특히 한정하지 않지만, 알루미늄 프레임에 수지제 골판지를 고정한 패널을 바람직하게 사용할 수 있고, 측면판(113), 배면판(119), 천정판(115) 및 도어(117)를 일체로 성형한 발포 폴리프로필렌 등의 발포 수지 성형품의 양면에 알루미늄판을 접착한 샌드위치 패널도 바람직하게 사용 가능하다.

완충 부재(109)는 도 22에 나타낸 바와 같이 블록형으로 수 개소 설치해도 되지만, 시트형으로 하여 사용해도 된다. 완충 부재(109)는 오일 댐퍼 또는 점탄성(粘彈性) 고무 등의 점탄성체를 바람직하게 사용할 수 있다.

컨테이너(103)에 격납하는 가대(105)는 기판(3)을 탑재하고, 금속 재료 등으로 구성된 충분히 강성이 높은 가대이다.

도 23에 나타낸 바와 같이, 가대(105)는 바닥 부재(123)와, 바닥 부재(123) 상에 세워설치된 배면 부재(125)를 구비하고, 바닥 부재(123)와 배면 부재(125)는 용접 등에 의해 고정된다. 바닥 부재(123), 배면 부재(125)는 각각 사각형의 프레임에 복수개의 지주(支柱)를 구비한 형상이며, 바닥 부재(123)는 포크리프트 등에서의 작업에 유용한 형상의 다리부를 가진다. 바닥 부재(123) 상에 배면 부재(125)에 대향하여 가압체(127)가 구비되며, 배면 부재(125)와 가압체(127)에서 적중체(5)를 사이에 두고 가압 지지한다. 그때, 배면 부재(125)는 바닥 부재(123)에 대하여 수직으로 설치된다.

가대 본체에 기판(3)을 복수개 탑재하고, 기판(3)의 단부에 접하여 포위 부재(131)가 설치된다. 포위 부재(131)는 배면 부재(125) 및 가압체(127)에 연결된다. 또, 포위 부재(131)는, 기판(3)의 코너 부분은 피해 설치한다. 포위 부 재(131)는 사각형의 프레임형이다.

바닥 부재(123) 및 포위 부재(131)의 기판(3) 단부에 접하는 면은, 도시하지 않지만, 고무를 설치하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 수송 시의 충격이나 기판(3)의 불일치를 흡수할 수 있다. 상기 고무는, 두께는 3mm 이상 10mm 이하가 바람직하고, 경도(硬度)는 30HS 이상 70HS 이하인 것이 바람직하다.

배면 부재(125) 및 가압체(127)의 기판(3) 지지면에 각각 하니콤 패널(133, 135)을 배치한다. 기판(3)을 구부러지기 어려운 면에서 끼우는 것이 특히 중요하며, 하니콤 패널은 비틀림이나 벤딩이 생기기 어렵고, 기판(3)을 전체면에서 지지하여, 일부에 치우쳐 가압되는 것을 방지할 수 있다. 하니콤 패널의 두께는 특히 한정하지 않지만, 50mm 이하가 바람직하다.

기판 수송용 가대(105)에 있어서는, 가압체(127)는 복수개의 나사(137)와 정면 부재(139)로 이루어진다. 나사(137)는 바닥 부재(123) 또는 포위 부재(131)에 고정되어 있다.

가대 본체에 하니콤 패널(133)을 배치하고, 기판(3)을 복수개 탑재하고, 하니콤 패널(135), 가압체(127) 및 포위 부재(131)를 배치한 후, 복수개의 나사(137)를 일괄하여 회전시킴으로써 정면 부재(139)를 배면 부재(125)의 방향으로 이동시켜, 기판(3)을 가압 지지한다. 복수개의 나사(137)를 일괄하여 회전시킴으로써, 기판(3)의 전체면을 치우침 없게 가압한다. 나사의 수나 배치는 특히 한정하지 않지만, 기판(3) 전체면을 균등하게 가압하도록 설정한다.

기판(3)을 가압 지지할 때의 면압(面壓)은 500g/㎠ 이하가 바람직하고, 특히 바람직하게는 200～300g/㎠이다.

바닥 부재(123), 배면 부재(125), 정면 부재(139), 포위 부재(131)는 강성이 충분하면 특히 재질을 한정하지 않지만, 강도 및 무게의 면으로부터, 단면(斷面)이 L형의 강재 또는 금속제인 각 파이프를 프레임형으로 형성시켜 사용하는 것이 특히 바람직하다. 본 실시예에서는, 프레임형의 부재를 사용했지만, 프레임 사이에 박판을 설치해도 되고, 또, 면형의 부재를 사용해도 된다.

기판(3)은 크기는 특히 한정하지 않지만, 각 변의 길이가 약 0.5m～2.5m의 것으로 바람직하게 사용할 수 있다. 또, 기판의 두께도 제한되지 않지만, 0.3～1.0mm 정도가 많다. 또, 수납 매수는 200～500 정도가 바람직하다. 기판(3)을 가대 본체에 탑재할 때, 기판(3)끼리의 접촉을 피하기 위해, 인접하는 기판(3) 사이에 종이, 수지 필름, 스펀지 시트 등으로 이루어지는 이격체(4)를 사용한 적중체로 하는 것이 바람직하다.

기판 수송 장치(101)는 컨테이너(103)의 완충 부재(109) 상에 기판 수납체인 가대(105)를 격납하여 이루어진다. 완충 부재(109) 상에 알루미늄 판(도시하지 않음)을 고정하고, 고정한 알루미늄 판 상에 가대(105)를 격납한다. 가대(105)의 바닥 부재(123)를 분리 가능한 지지 부재인 클램프 등으로 고정한다. 그리고, 가대(5)는 바닥 부분에서만 고정되고, 측부 등은 고정하지 않는다.

이와 같이 본 실시예에 의하면, 복수개의 나사(137)를 사용하여 하니콤 패널(135)을 기판(3)에 가압함으로서 기판을 지지한 가대(105)를 바닥면(111)에 완충 부재(109)를 고정한 컨테이너(103)에 격납하고, 바닥 부재(123) 부분을 완충 부 재(109) 상에 고정하여 운반함으로써, 가대가 진동의 저주파 성분을 흡수하고, 컨테이너(103)의 완충 부재(109)가 진동의 고주파 성분을 흡수하므로, 여러 가지의 수송 중의 충격에 대응하는 것이 가능하여, 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다.

다음에, 본 발명의 제4 실시예에 관한 기판 수송 장치(141)에 대하여 설명한다.

도 24는 본 발명의 제4 실시예에 관한 기판 수송 장치(141)의 정면도(도어(117)는 도시하지 않음)이다. 기판 수송 장치(141)는 컨테이너(149)에 제1 실시예 에서 설명한 가대(105)를 격납하여 이루어진다.

기판 수송 장치(141)에 있어서, 기판 수송 장치(101)의 구성 요소와 동일한 기능의 것은 동일한 번호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.

컨테이너(149)는 천정판(115)에 가대(105)를 매다는 것이 가능한 스프링 구조의 지지 부재(143)를 복수개 설치하고, 측면판(113)의 내측에 레일(145)을 대략 수평으로 설치하고, 가대(105)의 측면에 가이드(147)를 설치한다.

바닥 부재(107)는 강성이 높은 재질과 구조이며, 포크리프트 등에서의 작업에 유용한 형상의 다리부를 가지고, 측면판(113), 배면판(119), 천정판(115) 및 도어(117)는 재질을 특히 한정하지 않지만, 천정판(115)에 가대(105)를 매다는 것이 가능한 강성이 높은 뼈대가 필요하다.

기판 수송 장치(141)는 컨테이너(149)에 설치한 지지 부재(143)에 가대(105)를 매달고, 가대에 설치한 가이드(147)를 레일(145)에 맞추어 격납한다.

이와 같이 제4 실시예에 의하면, 복수개의 나사(137)를 사용하여 하니콤 패널(135)을 기판(3)에 가압함으로써 기판(3)을 지지한 강성이 높은 가대(105)를 컨테이너(149) 중에 스프링 구조의 지지 부재(143)를 사용하여 천정으로부터 매달아 격납하고, 운반함으로써, 가대가 진동의 저주파 성분을 흡수하고, 컨테이너(149)의 스프링 구조의 지지 부재(143)가 진동의 고주파 성분을 흡수하므로, 여러 가지의 수송 중의 충격에 대응하는 것이 가능하여, 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다.

다음에, 본 발명의 제5 실시예에 관한 기판 수송 장치(151)에 대하여 설명한다.

도 25는 본 발명의 제5 실시예에 관한 기판 수송 장치(151)의 사시도이다. 도 26은 도 25의 기판 수송 장치(151)의 단면도이다.

기판 수송 장치는 바닥(153) 상에 완충 부재(155)를 통해 가대 지지 부재(157)를 설치한 저부에, 지지 기구로서 형성한 돌기부(158)의 내측에 가대(105)를 탑재하고, 상자형의 커버(159)로 덮개를 한다.

바닥(153) 및 가대 지지 부재(157)는 강성이 높은 재질이며, 강재 또는 금속제의 각 파이프를 프레임형으로 형성한 것이나, 면형으로 성형한 것을 바람직하게 사용할 수 있다.

완충 부재(155)는 점탄성의 수지 시트를 바람직하게 사용할 수 있다. 또, 점탄성의 수지 시트에 한정하지 않고, 오일 댐퍼 또는 점탄성 고무 등의 점탄성체가 사용 가능하다.

커버(159)는 저부가 없는 상자형이며, 오염을 방지하는 것이 목적이기 때문에, 특히 재질을 한정하지 않고, 수지제 골판지, 알루미늄 프레임에 필름을 붙인 상자, 발포 폴리프로필렌 등 발포 수지의 일체 성형품을 바람직하게 사용할 수 있다.

이와 같이 제5 실시예에 의하면, 복수개의 나사(137)를 사용하여 하니콤 패널(135)을 기판(3)에 가압함으로써, 기판을 지지한 강성이 높은 가대(105)를, 완충 부재(155)를 가지는 저부에 탑재하고, 커버(159)로 덮어 운반함으로써, 가대(105)가 진동의 저주파 성분을 흡수하고, 완충 부재(155)가 진동의 고주파 성분을 흡수하므로, 여러 가지의 수송 중의 충격에 대응하는 것이 가능하여, 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다.

다음에, 본 발명의 제6 실시예에 관한 기판 수송 장치(161)에 대하여 설명한다.

도 27은 본 발명의 제6 실시예에 관한 기판 수송 장치(161)의 사시도이며, 기판 수송 장치(151)를 바닥 부재(163) 이외는 뼈대만의 랙에 다시 격납하여 이루어진다.

랙은 바닥 부재(163)의 코너부에 세워설치된 4개의 포스트(165)를 가지고, 포스트(165)의 상부를 4개의 빔(167)으로 연결한 구조이다. 바닥 부재(163), 포스트(165) 및 빔(167)은 강성이 높은 재질로 하고, 각각의 연결은 견고하게 고정한다.

이와 같이 제6 실시예에 의하면, 가대(105)가 진동의 저주파 성분을 흡수하 고, 수송 장치(151)의 완충 부재(155)가 진동의 고주파 성분을 흡수하고, 또한 기판 수송 장치(151)를 견고한 랙으로 에워싸 운반함으로써, 여러 가지의 수송 중의 충격에 대응하는 것이 가능하여, 더욱 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다.

그리고, 상기 기판 수송 장치(101, 141, 151, 161)의 가대는, 가대(5)를 예로 들어 설명했지만, 가대(5)의 구조에 한정하는 것이 아니고, 예를 들면, 도 28～30에 나타낸 바와 같은 기판을 가압 지지한 강성이 높은 가대이면, 바람직하게 사용할 수 있다. 도 28은 가대(105)와 가압체의 구조에서 상이한 가대(171)를 나타내고, 도 29, 도 30은 기판을 눕게 하여 적층하고, 가압 지지하는 가대(181, 191)를 나타낸다. 가대(171, 181, 191)는 상기의 구성 요소와 동일한 기능의 것은 동일한 번호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.

도 28에 나타낸 바와 같이 가대(171)는 기판(3)을 가압 지지하는 기구에 공기 스프링을 사용하고, 가압체(173)는 복수개의 공기 스프링(175)이 설치된 정면 부재(139)로 이루어진다. 정면 부재(139)는 사각형의 프레임에 복수개의 지주를 구비한 형상이며, 정면 부재(139)는 배면 부재(125)에 연결된 포위 부재(131)와 붙이고 떼는 것이 용이한 연결구로 연결된다.

복수개의 공기 스프링(175)에 일괄하여 공기를 넣음으로써, 기판(3)의 전체면을 치우침 없게 가압한다. 공기 스프링(175)과 대체하여, 에어 실린더를 사용할 수도 있다. 공기 스프링의 수나 배치는 특히 한정하지 않지만, 기판(3) 전체면을 균등하게 가압하도록 설정한다.

가대 본체에 하니콤 패널(133)을 배치하고, 기판(3)을 탑재하고, 하니콤 패널(135), 가압체(173) 및 포위 부재(131)를 배치한 후, 복수개의 공기 스프링(175)에 일괄하여 공기를 넣어 하니콤 패널(135)을 가압함으로써, 기판(3)을 가압 지지할 수 있다.

가대(181)는 도 29에 나타낸 바와 같이 바닥 부재(123)와 바닥 부재(123)에 수직으로 설치된 지지 부재(185)를 구비하고, 바닥 부재(123)와 지지 부재(185)는 용접 등에 의해 고정된다. 바닥 부재(123), 지지 부재(185)는 각각 사각형의 프레임에 복수개의 지주를 구비한 형상이며, 바닥 부재(123)는 포크리프트 등에서의 작업에 유용한 형상의 다리부를 가진다. 바닥 부재(123) 상에 기판(3)을 적재하고, 상면 부재(183)를 가지는 가압체가 구비되고, 바닥 부재(123)와 가압체에서 기판(3)을 사이에 두고 가압 지지한다. 바닥 부재(123) 상에 하니콤 패널(133)을 배치하고, 기판(3)을 적재하고, 하니콤 패널(135) 및 포위 부재(131)를 배치한 후, 하니콤 패널(135) 상에 상면 부재(183)를 탑재하고, 상면 부재(183)의 자중 또는, 다시 상면 부재(183)를 바닥 부재(123) 측으로 누르는 가압 기구(도시하지 않음)에 의해, 기판(3) 전체면을 균등하게 가압 지지한다.

가대(191)는, 도 30에 나타낸 바와 같이, 기판(3)을 가압 지지하는 가압체는 복수개의 공기 스프링(193)이 설치된 상면 부재(183)로 이루어진다. 상면 부재(183)는 바닥 부재(123)에 연결된 포위 부재(131)와 연결구로 연결된다. 바닥 부재(123) 상에 하니콤 패널(133)을 배치하고, 기판(3)을 적재하고, 하니콤 패널(135) 및 포위 부재(131)를 배치한 후, 상면 부재(183)를 포위 부재(131)에 연결 하고, 복수개의 공기 스프링(193)에 일괄하여 공기를 넣어 하니콤 패널(135)을 가압함으로써, 기판(3)을 가압 지지한다.

다음에, 본 발명의 제7 실시예에 관한 기판 수송 장치(201)에 대하여 설명한다.

도 31은 본 발명의 제7 실시예에 관한 기판 수송 장치(201)의 개략 사시도이다. 기판 수송 장치(201)는 컨테이너(103)에 도 1에 나타낸 기판 수납체(1)를 격납하여 이루어진다.

기판 수송 장치(201)에 있어서, 상기 기판 수송 장치(1) 및 기판 수납체(1)의 구성 요소와 동일한 기능의 것은 동일한 번호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.

본 발명에 있어서는, 기판(3)을 기판 수납 용기(10)에 수납하여 기판 수납체(1)로 하고, 기판 수납체(1)를 컨테이너(103)에 격납한다.

본 실시예에 의하면, 기판 수납체(1)에 의해 기판(3)의 전체면을 지지하여 운반하는 것이 가능하며, 컨테이너(101)에 격납함으로써, 수송 시의 진동을 완화 또는 차단할 수 있다. 기판 수납체(1)에서 적중체를 전체면 지지함으로써, 진동의 저주파 성분을 흡수하여 진동의 저주파 성분에 의한 변형을 방지하고, 컨테이너(103)의 완충 부재(109)가 진동의 고주파 성분을 흡수하여, 고주파 성분의 전파를 방지하므로, 여러 가지의 수송 중의 충격에 대응하는 것이 가능하여, 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다.

다음에, 본 발명의 제8 실시예에 관한 기판 수송 장치(211)에 대하여 설명한 다.

도 32는 본 발명의 제8 실시예에 관한 기판 수송 장치(211)의 개략 사시도이다. 기판 수송 장치(211)는 컨테이너(103)에 도 10에 나타낸 기판 수납체(51)를 격납하여 이루어진다.

기판 수송 장치(211)에 있어서, 상기 기판 수송 장치(1) 및 기판 수납체(51)의 구성 요소와 동일한 기능의 것은 동일한 번호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.

본 발명에 있어서는, 기판(3)의 곤포체(53)를 상자에 수납하여 기판 수납체(51)로 하고, 기판 수납체(51)를 컨테이너(103)에 격납한다.

본 실시예에 의하면, 기판 수납체(51)에 의해 기판의 전체면을 지지하여 운반하는 것이 가능하며, 컨테이너(101)에 격납함으로써, 수송 시의 진동을 완화 또는 차단할 수 있다. 기판 수납체(51)에서 적중체를 전체면 지지함으로써, 진동의 저주파 성분을 흡수하여 진동의 저주파 성분에 의한 변형을 방지하고, 컨테이너(103)의 완충 부재(109)가 진동의 고주파 성분을 흡수하여 고주파 성분의 전파를 방지하므로, 여러 가지의 수송 중의 충격에 대응하는 것이 가능하여, 기판 표면의 손상이나 결손 등의 대미지를 회피할 수 있다.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 설명했지만, 본 발명은 실시예에 나타낸 구조에 한정되는 것이 아니고, 특허 청구의 범위의 기재 범위 내에서 적당히 변경 가능한 것은 물론이다.

Claims

복수개의 기판을 적층시켜 구성한 적중체(積重體)를 수납하기 위한 수납 용기로서,

상기 적중체의 상하에 배치된 보강 판재와, 상기 보강 판재에 끼워져 있는 상기 적중체를, 기판을 수평으로 한 상태에서 탑재할 수 있는 지지면을 가지는 지지대와,

상기 지지대에 탑재된 적중체의 상면 전역(全域)에, 상기 보강 판재를 통해 균일한 가압력을 작용시켜, 상기 적중체를 상기 지지대에 가압하여 고정시키는 가압 수단

을 구비한 기판 수납 용기.
제1항에 있어서,

상기 보강 판재는 발포체를 코어로 하고 FRP판을 스킨으로 한 적층판 또는 하니콤 패널(honeycomb panel)인 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제1항에 있어서,

상기 가압 수단은, 상기 지지대에 탑재된 적중체의 상면을 마주 보도록 상기 지지대에 연결되어 설치되는 하중(荷重) 지지판과, 상기 하중 지지판과 상기 적중체 사이에 배치되고, 상기 하중 지지판에 지지되어 상기 적중체의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시키는 에어 백을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제1항에 있어서,

상기 가압 수단은, 상기 지지대에 탑재된 적중체의 상면을 마주 보도록 상기 지지대에 연결되어 설치되는 하중 지지판과, 상기 하중 지지판과 상기 적중체 사이에 배치되고, 상기 하중 지지판에 지지되어 상기 적중체의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시키는 에어 백을 가지며,

상기 지지대는 팰릿이고, 상기 팰릿에 상기 팰릿 상에 탑재된 적중체를 포위하도록 착탈(着脫) 가능하게 장착된 덮개체가 설치되어 있고, 상기 덮개체의 천정판이 상기 하중 지지판으로서 작용하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제1항에 있어서,

상기 가압 수단은, 상기 지지대에 탑재된 적중체의 상면을 마주 보도록 상기 지지대에 연결되어 설치되는 하중 지지판과, 상기 하중 지지판과 상기 적중체 사이에 배치되고, 상기 하중 지지판에 지지되어 상기 적중체의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시키는 에어 백을 가지며,

상기 지지대는 팰릿이고, 상기 팰릿에 상기 팰릿 상에 탑재된 적중체를 포위하도록 착탈 가능하게 장착된 덮개체가 설치되어 있고, 상기 덮개체의 천정판이 상기 하중 지지판으로서 작용하며,

상기 팰릿과, 상기 덮개체로 형성되는 내부 상자를 수납하는 제2 팰릿 및 제2 덮개체로 이루어지는 외부 상자를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제4항 또는 제5항에 있어서,

상기 에어백에 공급하는 에어 압력을 조정하는 조정수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제1항에 있어서,

상기 가압 수단은, 상기 지지대에 탑재된 적중체의 상면에 배치되는 탄성 판재와, 상기 탄성 판재의 상면에 배치되는 하중 지지판과, 상기 하중 지지판이 상기 탄성 판재를 가압하여 탄성 변형시키고, 상기 탄성 판재를 통해 적중체의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시키도록 상기 하중 지지판을 상기 지지대에 연결하는 연결 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
이격체를 개재시켜 복수개의 기판을 적층시켜 이루어지는 적중체를 청구항 1에 기재된 기판 수납 용기에 수납하여 형성된 기판 수납체.
제1 지지판 및 제2 지지판과,

이격체를 개재시켜 복수개의 기판을 적층시켜 이루어지는 적중체

를 구비하고,

상기 적중체는 상기 제1 지지판 및 제2 지지판에 끼워지고, 상기 제1 지지판 및 제2 지지판을 통해 균일한 가압력을 작용시켜 가압 지지되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 수납체.
제9항에 있어서,

상기 제1 지지판 및 제2 지지판은 하니콤 패널 또는 샌드위치 패널인 것을 특징으로 하는 기판 수납체.
제9항에 있어서,

상기 가압 지지는 상기 제1 지지판과 상기 제2 지지판의 외주를 밴드로 체결함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 수납체.
제9항에 있어서,

상기 가압 지지는 상기 제1 지지판과 상기 제2 지지판의 외주를 밴드로 체결함으로써 이루어지고, 상기 밴드는 직렬로 스프링 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 수납체.
제9항에 있어서,

상기 가압 지지는 상기 제1 지지판과 상기 제2 지지판을 클램프로 체결함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 수납체.
제9항에 있어서,

상기 가압 지지는 상기 제1 지지판과 상기 제2 지지판을 볼트로 체결함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 수납체.
제9항에 있어서,

상기 기판 수납체를 다시 상자형체에 수납한 기판 수납체로서, 상기 상자형체는 상기 기판 수납체를 탑재할 수 있는 지지면을 구비한 팰릿과, 상기 팰릿 상에 탑재된 기판 수납체를 덮도록 설치되는 착탈 가능한 덮개체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 수납체.
제9항에 있어서,

상기 기판 수납체를 다시 상자형체에 수납한 기판 수납체로서, 상기 상자형체는 상기 기판 수납체를 탑재할 수 있는 지지면을 구비한 팰릿과, 상기 팰릿의 지지면 상에 탑재된 기판 수납체를 덮도록 설치되는 착탈 가능한 덮개체로 형성되는 내부 상자와, 상기 내부 상자를 수납하는 제2 팰릿 및 제2 덮개체로 이루어지는 외부 상자를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 수납체.
복수개의 기판을 적층시켜 구성한 적중체를 보강 판재에 끼워, 상기 보강 판재를 통해 균일한 가압력을 작용시켜 가압 지지하여 격납하는 가대(架臺)와,

상기 가대를 격납하고, 내부 바닥면에 완충 부재를 가지며, 상기 완충 부재 상에 상기 가대를 지지하는 컨테이너

를 구비하고,

상기 가대는 진동의 저주파 성분을 흡수하는 특성을 가지며,

상기 컨테이너는 진동의 고주파 성분을 흡수하는 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제17항에 있어서,

상기 보강 판재는 하니콤 패널인 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제17항에 있어서,

상기 완충 부재는 오일 댐퍼인 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제17항에 있어서,

상기 완충 부재는 점탄성체(粘彈性體)인 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제17항에 있어서,

상기 가대는, 바닥 부재와, 상기 바닥 부재에 직립 고정된 배면 부재로 이루어지고, 상기 기판을 세워 지지하는 가대 본체와, 상기 바닥 부재 상에 상기 배면 부재에 대향하여 배치되고, 상기 적중체를 상기 배면 부재 측으로 가압할 수 있는 가압체와, 상기 배면 부재와 상기 가압체에 장착 가능한 포위 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제21항에 있어서,

상기 가압체는 복수개의 나사와 정면 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제21항에 있어서,

상기 가압체는 복수개의 공기 스프링이 설치된 정면 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제17항에 있어서,

상기 가대는, 바닥 부재와, 상기 바닥 부재 상에 적재되는 상기 적중체를 상기 바닥 부재 측으로 가압할 수 있는 가압체와, 상기 바닥 부재에 장착 가능한 포위 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제17항에 있어서,

상기 적중체는 복수개의 기판을 이격체를 개재시켜 적층시켜 구성한 적중체인 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
복수개의 기판을 적층시켜 구성한 적중체를 보강 판재에 끼워, 상기 보강 판재를 통해 균일한 가압력을 작용시켜 가압 지지하여 격납하는 가대와,

상기 가대를 격납하고, 내부 천정면에 스프링 기구를 가지고, 상기 스프링 기구로 상기 가대를 매달아 지지하는 컨테이너

를 구비하고,

상기 가대는 진동의 저주파 성분을 흡수하는 특성을 가지며,

상기 컨테이너는 진동의 고주파 성분을 흡수하는 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제26항에 있어서,

상기 보강 판재는 하니콤 패널인 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제26항에 있어서,

상기 적중체는 복수개의 기판을 이격체를 개재시켜 적층시켜 구성한 적중체인 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
복수개의 기판을 적층시켜 구성한 적중체를 보강 판재에 끼워, 상기 보강 판재를 통해 균일한 가압력을 작용시켜 가압 지지하여 격납하는 가대와,

상기 가대를 격납하며, 완충 부재를 가지고 상기 가대를 지지하는 저부(底部)와, 상기 저부의 위쪽에 배치한 커버로 이루어지는 상자형체

를 구비하고,

상기 가대는 진동의 저주파 성분을 흡수하는 특성을 가지며,

상기 저부는 진동의 고주파 성분을 흡수하는 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제29항에 있어서,

상기 보강 판재는 하니콤 패널인 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제29항에 있어서,

상기 적중체는 복수개의 기판을 이격체를 개재시켜 적층시켜 구성한 적중체인 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
청구항 29에 기재된 기판 수송 장치의 주위를 바닥 부재와, 상기 바닥 부재의 코너부에 세워설치된 4개의 포스트와 상기 포스트의 상부를 잇는 4개의 빔을 구비하는 랙으로 포위하여 이루어지는, 기판 수송 장치.
기판을 수평으로 한 상태에서 이격체를 개재시켜 복수개의 기판을 적층시켜 이루어지는 적중체를 탑재할 수 있는 지지면을 가지는 지지대와, 상기 지지대에 탑재된 적중체의 상하에 보강 판재를 배치하여, 상기 적중체의 상면 전역에, 상기 보강 판재를 통해 균일한 가압력을 작용시켜, 상기 적중체를 상기 지지대에 가압하여 고정시키는 가압 수단을 가지는 기판 수납 용기에 상기 적중체를 수납하여 이루어지는 기판 수납체와,

상기 기판 수납체를 격납하고, 내부 바닥면에 완충 부재를 가지며, 상기 완충 부재 상에 상기 기판 수납체를 지지하는 컨테이너

를 구비하고,

상기 기판 수납체는 진동의 저주파 성분을 흡수하는 특성을 가지며,

상기 컨테이너는 진동의 고주파 성분을 흡수하는 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제33항에 있어서,

상기 보강 판재는 발포체를 코어로 하고 FRP판을 스킨으로 한 적층판 또는 하니콤 패널인 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제33항에 있어서,

상기 가압 수단은, 상기 지지대에 탑재된 적중체의 상면을 마주 보도록 상기 지지대에 연결되어 설치되는 하중 지지판과, 상기 하중 지지판과 상기 적중체 사이에 배치되고, 상기 하중 지지판에 지지되어 상기 적중체의 상면 전역에 균일한 가압력을 작용시키는 에어 백을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제1 지지판 및 제2 지지판과, 이격체를 개재시켜 복수개의 기판을 적층시켜 이루어지는 적중체를 구비하고, 상기 적중체가 상기 제1 지지판 및 제2 지지판에 끼워지고, 상기 제1 지지판 및 제2 지지판을 통해서 균일한 가압력을 작용시켜져 가압 지지되어 이루어지는 기판 수납체를 다시 탑재할 수 있는 지지면을 구비한 팰릿과,

상기 팰릿 상에 탑재된 상기 기판 수납체를 덮도록 설치되는 착탈 가능한 덮개체로 이루어지는 상자형체에 수납된 기판 수납체와,

상기 상자형체에 수납된 기판 수납체를 격납하고, 내부 바닥면에 완충 부재를 가지며, 상기 완충 부재 상에 상기 상자형체를 지지하는 컨테이너

를 구비하고,

상기 기판 수납체는 진동의 저주파 성분을 흡수하는 특성을 가지며,

상기 컨테이너는 진동의 고주파 성분을 흡수하는 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제36항에 있어서,

상기 제1 지지판 및 제2 지지판은 하니콤 패널 또는 샌드위치 패널인 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.
제36항에 있어서,

상기 가압 지지는 상기 제1 지지판과 상기 제2 지지판의 외주를 밴드로 체결함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 수송 장치.