JPWO2004023539A1 - 半導体集積回路用絶縁膜研磨剤組成物および半導体集積回路の製造方法 - Google Patents
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 85
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 113
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 88
- -1 rare earth hydroxide Chemical class 0.000 claims abstract description 85
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 77
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 63
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical class [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 63
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 40
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 30
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 13
- 239000002131 composite material Chemical class 0.000 claims abstract description 11
- 229910001404 rare earth metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910017493 Nd 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 21
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 23
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 15
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 13
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 11
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 10
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 9
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 9
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical class OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 7
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 6
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 description 3
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 description 3
- 229920003209 poly(hydridosilsesquioxane) Polymers 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N Glycine Chemical compound NCC(O)=O DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 2
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFSLWBXXFJQRDL-UHFFFAOYSA-N Peracetic acid Chemical compound CC(=O)OO KFSLWBXXFJQRDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018540 Si C Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 2
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 2
- RWZYAGGXGHYGMB-UHFFFAOYSA-N anthranilic acid Chemical compound NC1=CC=CC=C1C(O)=O RWZYAGGXGHYGMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 2
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 2
- 150000001785 cerium compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 2
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- YMAWOPBAYDPSLA-UHFFFAOYSA-N glycylglycine Chemical compound [NH3+]CC(=O)NCC([O-])=O YMAWOPBAYDPSLA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003471 inorganic composite material Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N neodymium(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Nd+3].[Nd+3] PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 229910003447 praseodymium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N succinic acid Chemical compound OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N tris Chemical compound OCC(N)(CO)CO LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DCXYFEDJOCDNAF-UHFFFAOYSA-N Asparagine Natural products OC(=O)C(N)CC(N)=O DCXYFEDJOCDNAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000132059 Carica parviflora Species 0.000 description 1
- 235000014653 Carica parviflora Nutrition 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical compound S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001157 Fourier transform infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerol Natural products OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004471 Glycine Substances 0.000 description 1
- VPZXBVLAVMBEQI-VKHMYHEASA-N Glycyl-alanine Chemical compound OC(=O)[C@H](C)NC(=O)CN VPZXBVLAVMBEQI-VKHMYHEASA-N 0.000 description 1
- 108010008488 Glycylglycine Proteins 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AVXURJPOCDRRFD-UHFFFAOYSA-N Hydroxylamine Chemical compound ON AVXURJPOCDRRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QNAYBMKLOCPYGJ-REOHCLBHSA-N L-alanine Chemical compound C[C@H](N)C(O)=O QNAYBMKLOCPYGJ-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- DCXYFEDJOCDNAF-REOHCLBHSA-N L-asparagine Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CC(N)=O DCXYFEDJOCDNAF-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- ZDXPYRJPNDTMRX-VKHMYHEASA-N L-glutamine Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CCC(N)=O ZDXPYRJPNDTMRX-VKHMYHEASA-N 0.000 description 1
- 108010079364 N-glycylalanine Proteins 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229920001214 Polysorbate 60 Polymers 0.000 description 1
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 235000004279 alanine Nutrition 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001339 alkali metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 235000001014 amino acid Nutrition 0.000 description 1
- 229940024606 amino acid Drugs 0.000 description 1
- 150000001413 amino acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N ammonium lauryl sulfate Chemical compound [NH4+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940063953 ammonium lauryl sulfate Drugs 0.000 description 1
- 230000002744 anti-aggregatory effect Effects 0.000 description 1
- 229960001230 asparagine Drugs 0.000 description 1
- 235000009582 asparagine Nutrition 0.000 description 1
- 239000005441 aurora Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GHLITDDQOMIBFS-UHFFFAOYSA-H cerium(3+);tricarbonate Chemical compound [Ce+3].[Ce+3].[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O GHLITDDQOMIBFS-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- ZDXPYRJPNDTMRX-UHFFFAOYSA-N glutamine Natural products OC(=O)C(N)CCC(N)=O ZDXPYRJPNDTMRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000004554 glutamine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- VPZXBVLAVMBEQI-UHFFFAOYSA-N glycyl-DL-alpha-alanine Natural products OC(=O)C(C)NC(=O)CN VPZXBVLAVMBEQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940043257 glycylglycine Drugs 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002483 hydrogen compounds Chemical class 0.000 description 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical compound I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000043 hydrogen iodide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000037 hydrogen sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- ICIWUVCWSCSTAQ-UHFFFAOYSA-M iodate Chemical compound [O-]I(=O)=O ICIWUVCWSCSTAQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- MVFCKEFYUDZOCX-UHFFFAOYSA-N iron(2+);dinitrate Chemical compound [Fe+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O MVFCKEFYUDZOCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 description 1
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- MMKQUGHLEMYQSG-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);praseodymium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Pr+3].[Pr+3] MMKQUGHLEMYQSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000001384 succinic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011044 succinic acid Nutrition 0.000 description 1
- 235000000346 sugar Nutrition 0.000 description 1
- 150000008163 sugars Chemical class 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- 229940073455 tetraethylammonium hydroxide Drugs 0.000 description 1
- LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M tetraethylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](CC)(CC)CC LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- AQLJVWUFPCUVLO-UHFFFAOYSA-N urea hydrogen peroxide Chemical compound OO.NC(N)=O AQLJVWUFPCUVLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004034 viscosity adjusting agent Substances 0.000 description 1
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- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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Abstract
C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜を半導体集積回路に使用し、その表面の研磨に、水と、希土類水酸化物、希土類フッ化物、希土類オキシフッ化物、酸化セリウム以外の希土類酸化物およびこれらの複合化合物からなる群から選ばれる1種以上の特定希土類化合物の粒子とを含む研磨剤組成物または、上記組成に更に酸化セリウム粒子を含む研磨剤組成物を使用する。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥のない、あるいは少ない高品質な研磨表面を与えることが可能となる。
Description
本発明は、半導体集積回路における、素子間分離領域(STI:Shallow Trench Isolation)や層間絶縁、とりわけ後者に使用される、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる絶縁膜を平坦化するための研磨に使用できる研磨技術並びにC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成される絶縁膜を研磨するステップを含む半導体集積回路の製造方法に関する。
近年、半導体集積回路は低電力化、高速化を求め、急激な高密度化、高集積化が要求されており、回路の多層化と、銅、アルミニウム等による配線のパターンの微細化とが行われている。
回路の多層化にあたっては、露光等により回路が形成された表面に凹凸があると、その上方に多層化された回路はその凹凸の影響を受ける。この影響は、上の方の層の配線パターンに行くほど大きく、フォトリソグラフィの解像度と焦点深度との両立が困難になったり、回路の断線等の不良が起こる等の要因となる。
このため、半導体基板上に形成された絶縁膜をCMP(Chemical Mechanical Polishing)により平坦化し、更にその上にフォトリソグラフィーにより新たな配線を光学露光して回路を形成し、この操作を繰り返すことにより回路が積み重ねられている。
このCMPにおいては、研磨表面の凹凸をできるだけ短時間に研磨できるとともに研磨表面の凹凸の原因となる、クラック、スクラッチ、膜剥がれなど、研磨時の半導体基板表面の不具合を極力抑制しなければならない。
一方、銅、アルミニウム等を使用した配線のパターンの微細化による加工線幅の微細化では、配線の間隔が狭くなることで配線間容量が増え、信号遅延時間が長くなり、半導体集積回路の高速化が妨げられる。そこで誘電率の低い材料でこれらの微細化された配線の層間等を隙間なく埋めて配線間隔を絶縁することが行われている。
従来から、絶縁膜の材料としては、比誘電率が約4.2のSiO2膜等の無機材料が用いられてきた(例えば、特開平06−216096号公報(段落番号0172,0173),特開平10−94955号公報(段落番号0028),特開2000−79564号公報(段落番号0011)参照。)が、近年、更なる配線の高密度化により、これまで以上に低誘電率である絶縁膜が求められている。
かかる絶縁膜としては、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料膜が提案されている。このC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料膜は、従来のSiO2膜に比べれば機械的強度が高いとは言えないものの、一般的に誘電率が低く、熱安定性も遜色なく、膜の形成時に平坦な表面を形成する性質、膜の形成時に間隙を埋める特性などの多くの点で従来のSiO2膜を超える性能を有する。
このようなC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料を、たとえば絶縁膜として使用した場合、従来のシリカ、アルミナ、セリア等の粒子を研磨砥粒とし水を主媒体とする研磨剤組成物をもって研磨した際、高い研磨速度(研磨レート)を得ようとして従来の無機材料からなる絶縁膜を研磨する場合と同様の圧力(2.8×104〜3.4×104Pa)で研磨すると、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料膜に凹凸の原因となる、クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥が生じてしまうことがあった。これは、おそらくC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料膜が無機材料の絶縁膜に比べて機械的強度が低いことに起因した現象と思われる。しかも、この欠陥を防ぐために、研磨時の圧力を低くすると、充分な研磨速度を得ることができなかった。
さらに、従来のSiO2膜に対し、砥粒としてシリカと同様頻繁に使用されるセリアの場合、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料膜では研磨速度が大幅に低下することが見出された。
このように、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜に対しては、適切な研磨剤が見出されておらず、多層化した半導体集積回路を効率的に製造するためのネックとなっている。
回路の多層化にあたっては、露光等により回路が形成された表面に凹凸があると、その上方に多層化された回路はその凹凸の影響を受ける。この影響は、上の方の層の配線パターンに行くほど大きく、フォトリソグラフィの解像度と焦点深度との両立が困難になったり、回路の断線等の不良が起こる等の要因となる。
このため、半導体基板上に形成された絶縁膜をCMP(Chemical Mechanical Polishing)により平坦化し、更にその上にフォトリソグラフィーにより新たな配線を光学露光して回路を形成し、この操作を繰り返すことにより回路が積み重ねられている。
このCMPにおいては、研磨表面の凹凸をできるだけ短時間に研磨できるとともに研磨表面の凹凸の原因となる、クラック、スクラッチ、膜剥がれなど、研磨時の半導体基板表面の不具合を極力抑制しなければならない。
一方、銅、アルミニウム等を使用した配線のパターンの微細化による加工線幅の微細化では、配線の間隔が狭くなることで配線間容量が増え、信号遅延時間が長くなり、半導体集積回路の高速化が妨げられる。そこで誘電率の低い材料でこれらの微細化された配線の層間等を隙間なく埋めて配線間隔を絶縁することが行われている。
従来から、絶縁膜の材料としては、比誘電率が約4.2のSiO2膜等の無機材料が用いられてきた(例えば、特開平06−216096号公報(段落番号0172,0173),特開平10−94955号公報(段落番号0028),特開2000−79564号公報(段落番号0011)参照。)が、近年、更なる配線の高密度化により、これまで以上に低誘電率である絶縁膜が求められている。
かかる絶縁膜としては、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料膜が提案されている。このC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料膜は、従来のSiO2膜に比べれば機械的強度が高いとは言えないものの、一般的に誘電率が低く、熱安定性も遜色なく、膜の形成時に平坦な表面を形成する性質、膜の形成時に間隙を埋める特性などの多くの点で従来のSiO2膜を超える性能を有する。
このようなC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料を、たとえば絶縁膜として使用した場合、従来のシリカ、アルミナ、セリア等の粒子を研磨砥粒とし水を主媒体とする研磨剤組成物をもって研磨した際、高い研磨速度(研磨レート)を得ようとして従来の無機材料からなる絶縁膜を研磨する場合と同様の圧力(2.8×104〜3.4×104Pa)で研磨すると、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料膜に凹凸の原因となる、クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥が生じてしまうことがあった。これは、おそらくC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料膜が無機材料の絶縁膜に比べて機械的強度が低いことに起因した現象と思われる。しかも、この欠陥を防ぐために、研磨時の圧力を低くすると、充分な研磨速度を得ることができなかった。
さらに、従来のSiO2膜に対し、砥粒としてシリカと同様頻繁に使用されるセリアの場合、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料膜では研磨速度が大幅に低下することが見出された。
このように、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜に対しては、適切な研磨剤が見出されておらず、多層化した半導体集積回路を効率的に製造するためのネックとなっている。
本発明は、上記の問題を解決し、半導体集積回路の製造工程において、半導体集積回路上に設けた、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる絶縁膜を効率よく平坦化し、クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥のない高品質な研磨表面を与える新規な研磨技術を提供することを目的としている。
また、本発明は、この技術を利用して、低い誘電率を有し、表面平坦性に優れた絶縁膜を備えた半導体集積回路を、高収率で生産性よく製造することを目的としている。
本発明の一態様によれば、半導体集積回路に使用される、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜を研磨するための研磨剤組成物であって、水と、希土類水酸化物、希土類フッ化物、希土類オキシフッ化物、酸化セリウム以外の希土類酸化物およびこれらの複合化合物からなる群から選ばれる1種以上の特定希土類化合物の粒子とを含むことを特徴とする研磨剤組成物が提供される。
さらに酸化セリウム粒子を含むこと、酸化セリウムと、酸化物換算した特定希土類化合物との質量比が99:1〜1:99の範囲にあること、特定希土類化合物が、La2O3,La(OH)3,Nd2O3,Nd(OH)3,Pr6O11,Pr(OH)3,CeLaOおよびCeLa2O3F3からなる群から選ばれる1種以上の希土類化合物であることが好ましい。
これらの発明に係る研磨剤組成物により、半導体集積回路の製造工程において、半導体集積回路上に設けた、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる絶縁膜を効率よく平坦化し、クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥のない、あるいは少ない高品質な研磨表面を与えることが可能となる。
本発明の他の一態様によれば、水と、希土類水酸化物、希土類フッ化物、希土類オキシフッ化物、酸化セリウム以外の希土類酸化物およびこれらの複合化合物からなる群から選ばれる1種以上の特定希土類化合物の粒子とを含む研磨剤組成物で、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜を研磨するステップを有することを特徴とする半導体集積回路の製造方法が提供される。
特定希土類化合物が、La2O3,La(OH)3,Nd2O3,Nd(OH)3,Pr6O11,Pr(OH)3,CeLaOおよびCeLa2O3F3からなる群から選ばれる1種以上の希土類化合物であること、研磨剤組成物が酸化セリウム粒子をさらに含むこと、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料が、Si−CH3結合を有し、その比誘電率が1.0〜3.5の範囲にあり、そのCとSiとのアトミック比が0.25〜3の範囲にあること、絶縁膜が銅配線層を被覆したものであること、酸化セリウムと、酸化物換算した特定希土類化合物との質量比が99:1〜1:99の範囲にあることが好ましい。
これらの発明に係る半導体集積回路の製造方法により、低い誘電率を有し、表面平坦性に優れた絶縁膜を備えた半導体集積回路を、高収率で生産性よく製造することが可能となる。
本発明のさらに他の目的および利点は、以下の説明から明らかになるであろう。
また、本発明は、この技術を利用して、低い誘電率を有し、表面平坦性に優れた絶縁膜を備えた半導体集積回路を、高収率で生産性よく製造することを目的としている。
本発明の一態様によれば、半導体集積回路に使用される、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜を研磨するための研磨剤組成物であって、水と、希土類水酸化物、希土類フッ化物、希土類オキシフッ化物、酸化セリウム以外の希土類酸化物およびこれらの複合化合物からなる群から選ばれる1種以上の特定希土類化合物の粒子とを含むことを特徴とする研磨剤組成物が提供される。
さらに酸化セリウム粒子を含むこと、酸化セリウムと、酸化物換算した特定希土類化合物との質量比が99:1〜1:99の範囲にあること、特定希土類化合物が、La2O3,La(OH)3,Nd2O3,Nd(OH)3,Pr6O11,Pr(OH)3,CeLaOおよびCeLa2O3F3からなる群から選ばれる1種以上の希土類化合物であることが好ましい。
これらの発明に係る研磨剤組成物により、半導体集積回路の製造工程において、半導体集積回路上に設けた、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる絶縁膜を効率よく平坦化し、クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥のない、あるいは少ない高品質な研磨表面を与えることが可能となる。
本発明の他の一態様によれば、水と、希土類水酸化物、希土類フッ化物、希土類オキシフッ化物、酸化セリウム以外の希土類酸化物およびこれらの複合化合物からなる群から選ばれる1種以上の特定希土類化合物の粒子とを含む研磨剤組成物で、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜を研磨するステップを有することを特徴とする半導体集積回路の製造方法が提供される。
特定希土類化合物が、La2O3,La(OH)3,Nd2O3,Nd(OH)3,Pr6O11,Pr(OH)3,CeLaOおよびCeLa2O3F3からなる群から選ばれる1種以上の希土類化合物であること、研磨剤組成物が酸化セリウム粒子をさらに含むこと、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料が、Si−CH3結合を有し、その比誘電率が1.0〜3.5の範囲にあり、そのCとSiとのアトミック比が0.25〜3の範囲にあること、絶縁膜が銅配線層を被覆したものであること、酸化セリウムと、酸化物換算した特定希土類化合物との質量比が99:1〜1:99の範囲にあることが好ましい。
これらの発明に係る半導体集積回路の製造方法により、低い誘電率を有し、表面平坦性に優れた絶縁膜を備えた半導体集積回路を、高収率で生産性よく製造することが可能となる。
本発明のさらに他の目的および利点は、以下の説明から明らかになるであろう。
図1は研磨前の層間絶縁膜の断面モデル図である。
図2は研磨後の層間絶縁膜の断面モデル図である。
図3はBlack Diamond膜のFT−IRスペクトル図である。
図4はBlack Diamond膜表面の含有炭素のX線光電子分光装置による測定結果である。
図5はBlack Diamond膜表面の含有ケイ素のX線光電子分光装置による測定結果である。
図6は層間絶縁膜としてBlack Diamond膜を備えた多層体の断面モデル図である。
図2は研磨後の層間絶縁膜の断面モデル図である。
図3はBlack Diamond膜のFT−IRスペクトル図である。
図4はBlack Diamond膜表面の含有炭素のX線光電子分光装置による測定結果である。
図5はBlack Diamond膜表面の含有ケイ素のX線光電子分光装置による測定結果である。
図6は層間絶縁膜としてBlack Diamond膜を備えた多層体の断面モデル図である。
以下に、本発明の実施の形態を図、表、実施例等を使用して説明する。なお、これらの図、表、実施例等及び説明は本発明を例示するものであり、本発明の範囲を制限するものではない。本発明の趣旨に合致する限り他の実施の形態も本発明の範疇に属し得ることは言うまでもない。図中、同一の要素については同一の符号を付した。
半導体集積回路に使用される絶縁材料として、比誘電率が約4.2のSiO2膜が多用されてきたが、低誘電率化へのニーズに伴い、SiO2中にSi−H結合を含む化合物(水素含有ポリシロキサン=HSQ,HydrogenSilsesQuioxane)やC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料が開発されてきた。後者は有機無機複合材料の一つである。
C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料としては、とりわけSi−CH3結合を有する化合物が注目されている。この化合物はプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)で造られる場合にはカーボン含有SiO2膜(SiOC)と呼ばれ、SOG(Spin On Glass)等の塗布法による場合はMSQ(MethylSilsesQuioxane)と呼ばれることがある。
HSQの比誘電率(以下、k値という場合もある)が3.0程度であるのに対し、SiOCではk値が2.5〜2.8と小さく、ポリイミド等の有機絶縁膜に比し遜色なく、しかも、有機無機複合材料の特徴として耐熱性等の機械的特性に優れている点が注目されるゆえんである。
具体的には、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる絶縁膜材料として、たとえば、商品名:Black Diamond(比誘電率:2.7、アプライドマテリアルズ社技術)、商品名Coral(比誘電率2.7、Novellus Systems社技術)、Aurora2.7(比誘電率2.7、日本ASM社技術)を挙げることができる。
本発明に係る研磨剤組成物はこのようなC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料を使用して作製した半導体の絶縁膜の研磨に供するものである。なお、以下、「本発明に係る研磨剤組成物」を「本研磨剤組成物」と称し、「本発明に係るC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料」を「本有機ケイ素材料」と称する場合がある。
本有機ケイ素材料の範囲としては特に制限はないが、上記SiOCに代表されるようなCVDによって膜を形成したものを被研磨物として使用すると、好ましい効果が得られる。Si−CH3結合を有する化合物が特に好ましい。
半導体集積回路に使用される絶縁膜として本発明の対象となるのは、層間絶縁やSTI形成の目的のもの等どのような絶縁目的であっても、本発明の趣旨に反しない限り適用することが可能であるが、とりわけ層間絶縁の目的のために使用される絶縁層に適用することが好ましい。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥がない、あるいは少ない平坦な研磨表面を短時間で得られるからである。以下は、主に層間絶縁膜について説明する。
図1,2に層間絶縁膜の研磨の様子を示す。図1は、バリア層4、配線パターン5、研磨前の層間絶縁膜3をこの順に積層した、製造工程中の半導体集積回路の一部断面図である。
層間絶縁膜3の断面の凹部分1と凸部分2との差はその下に配線パターン5があるか否かによって生じている。図1の場合はダマシン法による配線パターンのため、配線パターン5に対応する部分は凹になっているが、他の製法の場合には、配線パターン5に対応する部分が凸になる場合もある。この層間絶縁膜3の断面を研磨して凹部分1と凸部分2との差を無くし、図2のように平坦化された研磨表面6を実現する。そしてこのような層を積層して半導体集積回路を作製する。なお、図1,2は例であり、本発明は、銅配線やアルミニウム配線を使用する場合等、任意の場合に使用することができる。
本研磨剤組成物は、水と、砥粒としての酸化セリウム以外の希土類化合物の粒子を必須成分とする組成物である。本研磨剤組成物中に含まれる砥粒中の酸化セリウム以外の希土類化合物の割合は99質量%より多いことが好ましい。
酸化セリウム以外の希土類化合物としては、希土類水酸化物、希土類フッ化物、希土類オキシフッ化物、酸化セリウム以外の希土類酸化物およびこれらの複合化合物からなる群から選ばれる1種以上の特定希土類化合物であることが好ましい。
なお、本発明において複合化合物とは、2種以上の化合物が複合して生ずる化合物を言い、構造上酸素酸イオンが存在していてもよい。2種以上の酸化物が複合して生ずる複合酸化物や、酸化物とフッ化物とが複合して生じる複合オキシフッ化物を例示することができる。CeLaOが前者の具体例、CeLa2O3F3が後者の具体例である。
水と特定希土類化合物の粒子とを含む研磨剤組成物が上記の絶縁膜の研磨に適しており、高い研磨速度が実現でき、平坦化に際して研磨表面のクラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥が抑制でき、優れた半導体多層集積回路が得られることが判明した。従来、酸化セリウム研磨剤中の酸化セリウムの純度を下げてSiO2膜に適用した場合に、研磨速度が小さくなり、また酸化セリウム研磨剤を有機高分子絶縁膜に適用した場合にも、低い研磨速度しか得られていないことからすると意外な結果である。
本発明における特定希土類化合物について、以下具体的に説明する。酸化セリウム以外の希土類酸化物の砥粒は、例えば、水酸化物、オキシ水酸化物、炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、しゅう酸塩またはこれらの複合塩等の一種以上または複合希土類の炭酸塩、または複合希土類の炭酸塩と前記原料との混合物を焼成または過酸化水素等によって酸化することで作製することができる。焼成温度は600〜900℃が一般的である。但し、これらの方法により製造された直後の酸化物粒子は凝集しているため、機械的に粉砕することが好ましい。粉砕方法としては、ジェットミル等による乾式粉砕や遊星ビーズミル等による湿式粉砕方法が好ましい。さらに衝突粉砕処理も可能である。引き続いて、得られた酸化物粒子を水中に分散させる方法としては、通常の撹拌機による分散処理の他にホモジナイザー、超音波分散機、湿式ボールミル等を用いることができる。分散処理には、数MPa以上の加圧状態から一度に圧力を解放することによる分散も採用することができる。
特定希土類化合物の純度はばらつかせないことが重要である。純度がばらつくと、研磨速度がばらつくため、所定の研磨時間を研磨作業の終点とすることの多い絶縁膜の研磨にとっては重大な欠陥となり得るからである。純度としては、98質量%以上であることが好ましい。なお、本発明において特定希土類化合物には、酸化セリウム以外のセリウム化合物も含まれる。
特定希土類化合物は、具体的には、La2O3,La(OH)3,Nd2O3,Nd(OH)3,Pr6O11,Pr(OH)3,CeLaOおよびCeLa2O3F3からなる群から選ばれる1種以上の希土類化合物であることが好ましい。より好ましくはLa2O3,Nd2O3,CeLa2O3F3またはそれらの混合物である。入手がしやすく、品質が安定しており、再現性のよい結果が得られるからである。
なお、特定希土類化合物が酸化物である場合、特にLa2O3,Nd2O3,Pr6O11である場合には媒体である水との間で、その一部もしくは全てが水酸化物、たとえばLa(OH)3,Nd(OH)3,Pr(OH)3となることがあるが、希土類化合物の水中におけるこのような変化が本発明の効果を阻害することはない。
また、研磨剤組成物中の濃度は、0.1〜10質量%の範囲にあることが好ましく、0.5〜5質量%が特に好ましい。砥粒の含有量が0.1質量%より少ないと所望の研磨速度が得られず、一方、10質量%を越えると、研磨速度が頭打ちになり、また、クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥が発生する恐れがあり、好ましくない場合が多い。
さらに、砥粒としての酸化セリウム粒子を必須成分として共存させた研磨剤組成物も、上記の絶縁膜の研磨に適しており、高い研磨速度が実現でき、平坦化に際して研磨表面のクラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥が抑制でき、優れた半導体多層集積回路が得られることが判明した。
従来、酸化セリウム研磨剤中の酸化セリウムの純度を下げてSiO2膜に適用した場合に、研磨速度が小さくなり、また酸化セリウム研磨剤を有機高分子絶縁膜に適用した場合にも、低い研磨速度しか得られていないことからすると、これもまた意外な結果である。
すなわち、半導体集積回路に使用される、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜を研磨するための研磨剤組成物であって、水と、酸化セリウム粒子と、酸化セリウム以外の希土類化合物の粒子とを含む研磨剤組成物も本研磨剤組成物の範疇に属する。なお、本発明において「酸化セリウム以外の希土類化合物」には、酸化セリウム以外のセリウム化合物も含まれる。
本発明における酸化セリウム粒子は、酸化セリウム以外の希土類酸化物の砥粒と同様、例えば、水酸化物、オキシ水酸化物、炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、しゅう酸塩等の塩を焼成または過酸化水素等によって酸化することで作製することができる。焼成温度は600〜900℃が一般的である。但し、これらの方法により製造された直後の酸化物粒子は凝集しているため、機械的に粉砕することが好ましい。粉砕方法としては、ジェットミル等による乾式粉砕や遊星ビーズミル等による湿式粉砕方法が好ましい。さらに衝突粉砕処理も可能である。引き続いて、得られた酸化物粒子を水中に分散させる方法としては、通常の撹拌機による分散処理の他にホモジナイザー、超音波分散機、湿式ボールミル等を用いることができる。分散処理には、数MPa以上の加圧状態から一度に圧力を解放することによる分散も採用することができる。
酸化セリウム以外の希土類化合物としては、希土類酸化物、希土類水酸化物、希土類フッ化物および希土類オキシフッ化物からなる群から選ばれる1種以上の特定希土類化合物を使用することが好ましい。当該特定希土類化合物は先に述べたとおりである。
特定希土類化合物が酸化物である場合は、酸化セリウム中に不純物として存在しているものも含まれるが、酸化セリウムに対する比率をばらつかせないことが重要である。酸化セリウムに対する比率がばらつくと、研磨速度がばらつくため、所定の研磨時間を研磨作業の終点とすることの多い絶縁膜の研磨にとっては重大な欠陥となり得るからである。酸化セリウム及び特定希土類化合物の純度としては、98質量%以上であることが好ましい。
酸化セリウムと酸化物換算した特定希土類化合物との質量比は99:1〜1:99の範囲にあることが好ましい。
特定希土類化合物に酸化セリウムが配合されることで、特定希土類化合物のみで研磨するよりも更に高い研磨速度で研磨が可能になる。ただし、酸化セリウムの濃度が高すぎると研磨速度が低下してしまい、酸化セリウムの濃度が低すぎると特定希土類化合物のみで研磨した場合の研磨速度を超えることができなくなる。なお、より好ましくは99:1〜10:90、さらに好ましくは90:10〜15:85である。
また、砥粒としての酸化セリウム粒子と特定希土類化合物粒子との平均粒径(平均粒子直径)は、ともに0.01〜1μmの範囲にあることが好ましく、0.05〜0.5μmの範囲にあることがより好ましい。砥粒の平均粒径が0.01μmより小さいと所望の研磨速度を得難く、1μmより大きいとクラック、スクラッチ、膜剥がれ等の不具合を生じる恐れが大きくなる。なお、この平均粒径の測定には、前記のように、レーザー回折・散乱式、動的光散乱式、光子相関式などの粒度分布計を使用することができる。例えば実施例で使用した日機装(株)製のMICROTRAC HRA MODEL9320−X100はレーザー回折・散乱式粒度分布計の一種である。
また、砥粒としての酸化セリウム粒子と特定希土類化合物粒子との合計量は、研磨剤組成物中に0.1〜10質量%の範囲にあることが好ましく、0.5〜5質量%が特に好ましい。砥粒の含有量が0.1質量%より少ないと所望の研磨速度が得られ難く、一方、10質量%を越えると、研磨速度が頭打ちになり、また、クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥が発生する恐れがあり、好ましくない場合が多い。
なお、本発明でいう酸化セリウムとはセリアとも呼ばれる4価のセリウム酸化物を意味する。一般的呼称として、CeO2の化学式で記載されることが多いが、実際にはCeO2−xの構造においてx<0.26が普通である。上記の希土類化合物以外の化学式についても同様に一般的呼称である。上記において、「酸化物換算」とは、このような一般的呼称に従う酸化物として換算することを意味する。
砥粒として酸化セリウム粒子と特定希土類化合物とを含む本研磨剤組成物においても、特定希土類化合物のみを含む研磨剤組成物においても、水は砥粒を安定的に分散させ、研磨剤組成物として定量性よく研磨装置に供給するのに適している。水は、本発明の趣旨に反しない限りどのようなものを使用してもよい。純水、イオン交換水等を使用することができる。酸化セリウム粒子と特定希土類化合物粒子とに対する水の割合は、組成物の取扱い等の実情に応じて適宜定めることができる。たとえば、酸化セリウム粒子と特定希土類化合物粒子との高濃度スラリーとして保管し、研磨作業に使用する段階では水で希釈し、研磨機、パッド等の研磨環境に応じて研磨剤組成物の粘度を適宜選択することもできる。砥粒として酸化セリウム粒子と特定希土類化合物とを含む本研磨剤組成物はそのいずれも包含するものである。
本研磨剤組成物は、たとえば、特定希土類化合物を、または、酸化セリウム粒子と特定希土類化合物粒子とをイオン交換水中に撹拌しつつ投入し、これをホモジナイザー、超音波分散機等で分散処理し、フィルタで異物を濾過する等の公知の方法で調製することができる。他の添加剤はこの調製の途中で適宜添加することができる。
本研磨剤組成物には、砥粒として酸化セリウム粒子を含む場合も含まない場合も、本発明の趣旨に反しない限り、pH調整剤、界面活性剤、キレート化剤、酸化剤、還元剤、粘性付与剤または粘度調節剤、凝集防止剤または分散剤等を必要に応じて適宜含有させることができる。
上記pH調整剤は特に限定されず、既知の酸やアルカリが用いられる。たとえば、塩基性側へのpH調整剤としては、アンモニア、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどのアルカリ金属化合物、1級〜3級アミンやヒドロキシルアミン、水酸化テトラメチルアンモニウムや水酸化テトラエチルアンモニウムなどの4級アンモニウム塩、2−アミノ−2−ヒドロキシメチル−1,3−プロパンジオール等が挙げられる。また、酸性側へのpH調整剤としては、硝酸、硫酸、塩酸などの無機酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸、クエン酸、シュウ酸、コハク酸などの有機酸があげられる。
界面活性剤は、特に制限されず、陰イオン性界面活性剤、陽イオン性界面活性剤、非イオン性界面活性剤または両性界面活性剤の中から適宜選択される。陰イオン性界面活性剤としては、ラウリル硫酸アンモニウム、ポリアクリル酸、アルキル硫酸エステル塩、アルキルベンゼンスルフォン酸塩などが挙げられる。陽イオン性界面活性剤としては、アルキルアミン塩、第四級アンモニウム塩などが挙げられる。非イオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレン誘導体、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステルなどがあげられる。両性界面活性剤としては、アルキルベタイン、アミンオキサイドなどがあげられる。
キレート化剤も、特に制限されず、既知のものを使用できる。たとえば、酒石酸、マロン酸、2−アミノ−2−ヒドロキシメチル−1,3−プロパンジオール、グリシン、アラニン、グルタミン、アスパラギンなどのアミノ酸、グリシルグリシン、グリシルアラニンなどのペプチド、EDTAなどのポリアミノカルボン酸、クエン酸などのオキシカルボン酸、縮合リン酸などがあげられる。また、銅等の金属と錯体を形成した、アントラニル酸金属キレート、キナルジル酸金属キレートを使用することもできる。
酸化剤も、特に制限されず、既知の過酸化水素、過酸化尿素、過酢酸、硝酸鉄、ヨウ素酸塩などが使用できる。還元剤も、特に制限されず、既知のものが使用できる。たとえば、ヨウ化水素、硫化水素などの水素化合物やアルデヒド類、糖類、ギ酸、シュウ酸などの有機化合物を用いることができる。
本発明において好適に研磨される、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料は、その構造中にあるCとSiとのモル比であるアトミック比が0.25〜3の範囲にあることが好ましい。1〜2.5の範囲にあることがより好ましい。
このCとSiとのアトミック比は、絶縁膜の誘電率や機械的特性とも密接な関係を有する。一般的にいって、C分が多いほど、即ちCとSiとのアトミック比が大きいほど誘電率を低くできるが、機械的特性は低下する傾向を示す。絶縁膜の比誘電率としては、1.0〜3.5の範囲にあることが好ましい。1.0〜3.0の範囲にあることがより好ましい。
このようなSi−C結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる絶縁膜はCVDなどで半導体ウエハー上に蒸着して形成することができる。
この際、絶縁膜中に酸素含有率の高い層を設けるなどの操作によりCの含有量に濃度勾配が生じることがあるが、本発明によれば、このように濃度勾配が生じた絶縁膜においてもその効果を減じることなく、高い研磨速度が得られ、半導体集積回路の平坦化を行うことができる。
本研磨剤組成物を使用して本有機ケイ素材料から構成された絶縁膜を研磨する方法は特に限定されるものではないが、本有機ケイ素材料から構成された絶縁膜などが表面に形成された半導体集積回路の裏面を回転可能な支持台上に固定し、この半導体集積回路の表面に研磨パッドが取り付けられた研磨ヘッドを当接させ、研磨パッドを回転させる方法を採用することができる。
支持台には、研磨時の圧力を緩衝し、半導体集積回路に対して均一に圧力をかけるためのクッション材を介して半導体集積回路を取り付けてもよい。また、研磨パッドには研磨スラリーが半導体集積回路の表面に対して均一に供給可能なようにチャネルや供給孔が設けられていてもよい。
研磨パッドの材質としてはポリエステルやポリウレタンなどがあり、本発明の実施例では、IC−1400のK−Grooved(ポリウレタン材質、ロデール・ニッタ社製)を用いたが、本発明に用いることのできる研磨パッド並びにその材質はこれに限定されるものではなく、使用される研磨剤組成物、研磨装置などとの組み合わせにより適宜選択することができる。
研磨圧力は、研磨パッドの種類、クッション材の種類、研磨速度、研磨剤組成物の粘性等の特性との関連に応じて適宜設定できる。
具体的には、本発明が適用されるC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜の研磨における研磨圧力は、0.7×103〜2.5×104Paの範囲が好ましく、1×104〜1.7×104Paの範囲がより好ましい。研磨圧力が0.7×103Paより小さいと充分な研磨レートが得られない場合が多く、2.5×104Paより大きいと、研磨過程でスクラッチなどが生じ、半導体基板上に形成された回路や、回路の多層化に悪影響を与える場合が多い。
本発明の研磨方法において、研磨組成物スラリーの供給量としては、0.02〜0.3mL/(min×cm2)が好ましく、特に0.05〜0.2mL/(min×cm2)が好適である。該供給量が0.02mL/(min×cm2)より少ないと充分な研磨レートが得られない恐れがあり、逆に0.3mL/(min×cm2)を越えると研磨に必要とされる量を超えるため経済的でない。なお、「cm2」は研磨パッドの表面積を意味する。
本発明の研磨用組成物を使用して研磨された半導体集積回路は、通常、研磨後に流水により十分に洗浄し乾燥される。超音波洗浄も実施されることが多い。
上記のようにして得られる本発明の研磨用組成物を使用して研磨された半導体集積回路は、その構造中に絶縁膜に被覆された銅配線層を有する場合に特に有用である。誘電率が低く、クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の心配がなく、表面の平坦性に優れた絶縁層の存在により、銅配線に期待される高度に集積した配線構造の実現が容易になるからである。
半導体集積回路に使用される絶縁材料として、比誘電率が約4.2のSiO2膜が多用されてきたが、低誘電率化へのニーズに伴い、SiO2中にSi−H結合を含む化合物(水素含有ポリシロキサン=HSQ,HydrogenSilsesQuioxane)やC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料が開発されてきた。後者は有機無機複合材料の一つである。
C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料としては、とりわけSi−CH3結合を有する化合物が注目されている。この化合物はプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)で造られる場合にはカーボン含有SiO2膜(SiOC)と呼ばれ、SOG(Spin On Glass)等の塗布法による場合はMSQ(MethylSilsesQuioxane)と呼ばれることがある。
HSQの比誘電率(以下、k値という場合もある)が3.0程度であるのに対し、SiOCではk値が2.5〜2.8と小さく、ポリイミド等の有機絶縁膜に比し遜色なく、しかも、有機無機複合材料の特徴として耐熱性等の機械的特性に優れている点が注目されるゆえんである。
具体的には、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる絶縁膜材料として、たとえば、商品名:Black Diamond(比誘電率:2.7、アプライドマテリアルズ社技術)、商品名Coral(比誘電率2.7、Novellus Systems社技術)、Aurora2.7(比誘電率2.7、日本ASM社技術)を挙げることができる。
本発明に係る研磨剤組成物はこのようなC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料を使用して作製した半導体の絶縁膜の研磨に供するものである。なお、以下、「本発明に係る研磨剤組成物」を「本研磨剤組成物」と称し、「本発明に係るC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料」を「本有機ケイ素材料」と称する場合がある。
本有機ケイ素材料の範囲としては特に制限はないが、上記SiOCに代表されるようなCVDによって膜を形成したものを被研磨物として使用すると、好ましい効果が得られる。Si−CH3結合を有する化合物が特に好ましい。
半導体集積回路に使用される絶縁膜として本発明の対象となるのは、層間絶縁やSTI形成の目的のもの等どのような絶縁目的であっても、本発明の趣旨に反しない限り適用することが可能であるが、とりわけ層間絶縁の目的のために使用される絶縁層に適用することが好ましい。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥がない、あるいは少ない平坦な研磨表面を短時間で得られるからである。以下は、主に層間絶縁膜について説明する。
図1,2に層間絶縁膜の研磨の様子を示す。図1は、バリア層4、配線パターン5、研磨前の層間絶縁膜3をこの順に積層した、製造工程中の半導体集積回路の一部断面図である。
層間絶縁膜3の断面の凹部分1と凸部分2との差はその下に配線パターン5があるか否かによって生じている。図1の場合はダマシン法による配線パターンのため、配線パターン5に対応する部分は凹になっているが、他の製法の場合には、配線パターン5に対応する部分が凸になる場合もある。この層間絶縁膜3の断面を研磨して凹部分1と凸部分2との差を無くし、図2のように平坦化された研磨表面6を実現する。そしてこのような層を積層して半導体集積回路を作製する。なお、図1,2は例であり、本発明は、銅配線やアルミニウム配線を使用する場合等、任意の場合に使用することができる。
本研磨剤組成物は、水と、砥粒としての酸化セリウム以外の希土類化合物の粒子を必須成分とする組成物である。本研磨剤組成物中に含まれる砥粒中の酸化セリウム以外の希土類化合物の割合は99質量%より多いことが好ましい。
酸化セリウム以外の希土類化合物としては、希土類水酸化物、希土類フッ化物、希土類オキシフッ化物、酸化セリウム以外の希土類酸化物およびこれらの複合化合物からなる群から選ばれる1種以上の特定希土類化合物であることが好ましい。
なお、本発明において複合化合物とは、2種以上の化合物が複合して生ずる化合物を言い、構造上酸素酸イオンが存在していてもよい。2種以上の酸化物が複合して生ずる複合酸化物や、酸化物とフッ化物とが複合して生じる複合オキシフッ化物を例示することができる。CeLaOが前者の具体例、CeLa2O3F3が後者の具体例である。
水と特定希土類化合物の粒子とを含む研磨剤組成物が上記の絶縁膜の研磨に適しており、高い研磨速度が実現でき、平坦化に際して研磨表面のクラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥が抑制でき、優れた半導体多層集積回路が得られることが判明した。従来、酸化セリウム研磨剤中の酸化セリウムの純度を下げてSiO2膜に適用した場合に、研磨速度が小さくなり、また酸化セリウム研磨剤を有機高分子絶縁膜に適用した場合にも、低い研磨速度しか得られていないことからすると意外な結果である。
本発明における特定希土類化合物について、以下具体的に説明する。酸化セリウム以外の希土類酸化物の砥粒は、例えば、水酸化物、オキシ水酸化物、炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、しゅう酸塩またはこれらの複合塩等の一種以上または複合希土類の炭酸塩、または複合希土類の炭酸塩と前記原料との混合物を焼成または過酸化水素等によって酸化することで作製することができる。焼成温度は600〜900℃が一般的である。但し、これらの方法により製造された直後の酸化物粒子は凝集しているため、機械的に粉砕することが好ましい。粉砕方法としては、ジェットミル等による乾式粉砕や遊星ビーズミル等による湿式粉砕方法が好ましい。さらに衝突粉砕処理も可能である。引き続いて、得られた酸化物粒子を水中に分散させる方法としては、通常の撹拌機による分散処理の他にホモジナイザー、超音波分散機、湿式ボールミル等を用いることができる。分散処理には、数MPa以上の加圧状態から一度に圧力を解放することによる分散も採用することができる。
特定希土類化合物の純度はばらつかせないことが重要である。純度がばらつくと、研磨速度がばらつくため、所定の研磨時間を研磨作業の終点とすることの多い絶縁膜の研磨にとっては重大な欠陥となり得るからである。純度としては、98質量%以上であることが好ましい。なお、本発明において特定希土類化合物には、酸化セリウム以外のセリウム化合物も含まれる。
特定希土類化合物は、具体的には、La2O3,La(OH)3,Nd2O3,Nd(OH)3,Pr6O11,Pr(OH)3,CeLaOおよびCeLa2O3F3からなる群から選ばれる1種以上の希土類化合物であることが好ましい。より好ましくはLa2O3,Nd2O3,CeLa2O3F3またはそれらの混合物である。入手がしやすく、品質が安定しており、再現性のよい結果が得られるからである。
なお、特定希土類化合物が酸化物である場合、特にLa2O3,Nd2O3,Pr6O11である場合には媒体である水との間で、その一部もしくは全てが水酸化物、たとえばLa(OH)3,Nd(OH)3,Pr(OH)3となることがあるが、希土類化合物の水中におけるこのような変化が本発明の効果を阻害することはない。
また、研磨剤組成物中の濃度は、0.1〜10質量%の範囲にあることが好ましく、0.5〜5質量%が特に好ましい。砥粒の含有量が0.1質量%より少ないと所望の研磨速度が得られず、一方、10質量%を越えると、研磨速度が頭打ちになり、また、クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥が発生する恐れがあり、好ましくない場合が多い。
さらに、砥粒としての酸化セリウム粒子を必須成分として共存させた研磨剤組成物も、上記の絶縁膜の研磨に適しており、高い研磨速度が実現でき、平坦化に際して研磨表面のクラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥が抑制でき、優れた半導体多層集積回路が得られることが判明した。
従来、酸化セリウム研磨剤中の酸化セリウムの純度を下げてSiO2膜に適用した場合に、研磨速度が小さくなり、また酸化セリウム研磨剤を有機高分子絶縁膜に適用した場合にも、低い研磨速度しか得られていないことからすると、これもまた意外な結果である。
すなわち、半導体集積回路に使用される、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜を研磨するための研磨剤組成物であって、水と、酸化セリウム粒子と、酸化セリウム以外の希土類化合物の粒子とを含む研磨剤組成物も本研磨剤組成物の範疇に属する。なお、本発明において「酸化セリウム以外の希土類化合物」には、酸化セリウム以外のセリウム化合物も含まれる。
本発明における酸化セリウム粒子は、酸化セリウム以外の希土類酸化物の砥粒と同様、例えば、水酸化物、オキシ水酸化物、炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、しゅう酸塩等の塩を焼成または過酸化水素等によって酸化することで作製することができる。焼成温度は600〜900℃が一般的である。但し、これらの方法により製造された直後の酸化物粒子は凝集しているため、機械的に粉砕することが好ましい。粉砕方法としては、ジェットミル等による乾式粉砕や遊星ビーズミル等による湿式粉砕方法が好ましい。さらに衝突粉砕処理も可能である。引き続いて、得られた酸化物粒子を水中に分散させる方法としては、通常の撹拌機による分散処理の他にホモジナイザー、超音波分散機、湿式ボールミル等を用いることができる。分散処理には、数MPa以上の加圧状態から一度に圧力を解放することによる分散も採用することができる。
酸化セリウム以外の希土類化合物としては、希土類酸化物、希土類水酸化物、希土類フッ化物および希土類オキシフッ化物からなる群から選ばれる1種以上の特定希土類化合物を使用することが好ましい。当該特定希土類化合物は先に述べたとおりである。
特定希土類化合物が酸化物である場合は、酸化セリウム中に不純物として存在しているものも含まれるが、酸化セリウムに対する比率をばらつかせないことが重要である。酸化セリウムに対する比率がばらつくと、研磨速度がばらつくため、所定の研磨時間を研磨作業の終点とすることの多い絶縁膜の研磨にとっては重大な欠陥となり得るからである。酸化セリウム及び特定希土類化合物の純度としては、98質量%以上であることが好ましい。
酸化セリウムと酸化物換算した特定希土類化合物との質量比は99:1〜1:99の範囲にあることが好ましい。
特定希土類化合物に酸化セリウムが配合されることで、特定希土類化合物のみで研磨するよりも更に高い研磨速度で研磨が可能になる。ただし、酸化セリウムの濃度が高すぎると研磨速度が低下してしまい、酸化セリウムの濃度が低すぎると特定希土類化合物のみで研磨した場合の研磨速度を超えることができなくなる。なお、より好ましくは99:1〜10:90、さらに好ましくは90:10〜15:85である。
また、砥粒としての酸化セリウム粒子と特定希土類化合物粒子との平均粒径(平均粒子直径)は、ともに0.01〜1μmの範囲にあることが好ましく、0.05〜0.5μmの範囲にあることがより好ましい。砥粒の平均粒径が0.01μmより小さいと所望の研磨速度を得難く、1μmより大きいとクラック、スクラッチ、膜剥がれ等の不具合を生じる恐れが大きくなる。なお、この平均粒径の測定には、前記のように、レーザー回折・散乱式、動的光散乱式、光子相関式などの粒度分布計を使用することができる。例えば実施例で使用した日機装(株)製のMICROTRAC HRA MODEL9320−X100はレーザー回折・散乱式粒度分布計の一種である。
また、砥粒としての酸化セリウム粒子と特定希土類化合物粒子との合計量は、研磨剤組成物中に0.1〜10質量%の範囲にあることが好ましく、0.5〜5質量%が特に好ましい。砥粒の含有量が0.1質量%より少ないと所望の研磨速度が得られ難く、一方、10質量%を越えると、研磨速度が頭打ちになり、また、クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥が発生する恐れがあり、好ましくない場合が多い。
なお、本発明でいう酸化セリウムとはセリアとも呼ばれる4価のセリウム酸化物を意味する。一般的呼称として、CeO2の化学式で記載されることが多いが、実際にはCeO2−xの構造においてx<0.26が普通である。上記の希土類化合物以外の化学式についても同様に一般的呼称である。上記において、「酸化物換算」とは、このような一般的呼称に従う酸化物として換算することを意味する。
砥粒として酸化セリウム粒子と特定希土類化合物とを含む本研磨剤組成物においても、特定希土類化合物のみを含む研磨剤組成物においても、水は砥粒を安定的に分散させ、研磨剤組成物として定量性よく研磨装置に供給するのに適している。水は、本発明の趣旨に反しない限りどのようなものを使用してもよい。純水、イオン交換水等を使用することができる。酸化セリウム粒子と特定希土類化合物粒子とに対する水の割合は、組成物の取扱い等の実情に応じて適宜定めることができる。たとえば、酸化セリウム粒子と特定希土類化合物粒子との高濃度スラリーとして保管し、研磨作業に使用する段階では水で希釈し、研磨機、パッド等の研磨環境に応じて研磨剤組成物の粘度を適宜選択することもできる。砥粒として酸化セリウム粒子と特定希土類化合物とを含む本研磨剤組成物はそのいずれも包含するものである。
本研磨剤組成物は、たとえば、特定希土類化合物を、または、酸化セリウム粒子と特定希土類化合物粒子とをイオン交換水中に撹拌しつつ投入し、これをホモジナイザー、超音波分散機等で分散処理し、フィルタで異物を濾過する等の公知の方法で調製することができる。他の添加剤はこの調製の途中で適宜添加することができる。
本研磨剤組成物には、砥粒として酸化セリウム粒子を含む場合も含まない場合も、本発明の趣旨に反しない限り、pH調整剤、界面活性剤、キレート化剤、酸化剤、還元剤、粘性付与剤または粘度調節剤、凝集防止剤または分散剤等を必要に応じて適宜含有させることができる。
上記pH調整剤は特に限定されず、既知の酸やアルカリが用いられる。たとえば、塩基性側へのpH調整剤としては、アンモニア、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどのアルカリ金属化合物、1級〜3級アミンやヒドロキシルアミン、水酸化テトラメチルアンモニウムや水酸化テトラエチルアンモニウムなどの4級アンモニウム塩、2−アミノ−2−ヒドロキシメチル−1,3−プロパンジオール等が挙げられる。また、酸性側へのpH調整剤としては、硝酸、硫酸、塩酸などの無機酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸、クエン酸、シュウ酸、コハク酸などの有機酸があげられる。
界面活性剤は、特に制限されず、陰イオン性界面活性剤、陽イオン性界面活性剤、非イオン性界面活性剤または両性界面活性剤の中から適宜選択される。陰イオン性界面活性剤としては、ラウリル硫酸アンモニウム、ポリアクリル酸、アルキル硫酸エステル塩、アルキルベンゼンスルフォン酸塩などが挙げられる。陽イオン性界面活性剤としては、アルキルアミン塩、第四級アンモニウム塩などが挙げられる。非イオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレン誘導体、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステルなどがあげられる。両性界面活性剤としては、アルキルベタイン、アミンオキサイドなどがあげられる。
キレート化剤も、特に制限されず、既知のものを使用できる。たとえば、酒石酸、マロン酸、2−アミノ−2−ヒドロキシメチル−1,3−プロパンジオール、グリシン、アラニン、グルタミン、アスパラギンなどのアミノ酸、グリシルグリシン、グリシルアラニンなどのペプチド、EDTAなどのポリアミノカルボン酸、クエン酸などのオキシカルボン酸、縮合リン酸などがあげられる。また、銅等の金属と錯体を形成した、アントラニル酸金属キレート、キナルジル酸金属キレートを使用することもできる。
酸化剤も、特に制限されず、既知の過酸化水素、過酸化尿素、過酢酸、硝酸鉄、ヨウ素酸塩などが使用できる。還元剤も、特に制限されず、既知のものが使用できる。たとえば、ヨウ化水素、硫化水素などの水素化合物やアルデヒド類、糖類、ギ酸、シュウ酸などの有機化合物を用いることができる。
本発明において好適に研磨される、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料は、その構造中にあるCとSiとのモル比であるアトミック比が0.25〜3の範囲にあることが好ましい。1〜2.5の範囲にあることがより好ましい。
このCとSiとのアトミック比は、絶縁膜の誘電率や機械的特性とも密接な関係を有する。一般的にいって、C分が多いほど、即ちCとSiとのアトミック比が大きいほど誘電率を低くできるが、機械的特性は低下する傾向を示す。絶縁膜の比誘電率としては、1.0〜3.5の範囲にあることが好ましい。1.0〜3.0の範囲にあることがより好ましい。
このようなSi−C結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる絶縁膜はCVDなどで半導体ウエハー上に蒸着して形成することができる。
この際、絶縁膜中に酸素含有率の高い層を設けるなどの操作によりCの含有量に濃度勾配が生じることがあるが、本発明によれば、このように濃度勾配が生じた絶縁膜においてもその効果を減じることなく、高い研磨速度が得られ、半導体集積回路の平坦化を行うことができる。
本研磨剤組成物を使用して本有機ケイ素材料から構成された絶縁膜を研磨する方法は特に限定されるものではないが、本有機ケイ素材料から構成された絶縁膜などが表面に形成された半導体集積回路の裏面を回転可能な支持台上に固定し、この半導体集積回路の表面に研磨パッドが取り付けられた研磨ヘッドを当接させ、研磨パッドを回転させる方法を採用することができる。
支持台には、研磨時の圧力を緩衝し、半導体集積回路に対して均一に圧力をかけるためのクッション材を介して半導体集積回路を取り付けてもよい。また、研磨パッドには研磨スラリーが半導体集積回路の表面に対して均一に供給可能なようにチャネルや供給孔が設けられていてもよい。
研磨パッドの材質としてはポリエステルやポリウレタンなどがあり、本発明の実施例では、IC−1400のK−Grooved(ポリウレタン材質、ロデール・ニッタ社製)を用いたが、本発明に用いることのできる研磨パッド並びにその材質はこれに限定されるものではなく、使用される研磨剤組成物、研磨装置などとの組み合わせにより適宜選択することができる。
研磨圧力は、研磨パッドの種類、クッション材の種類、研磨速度、研磨剤組成物の粘性等の特性との関連に応じて適宜設定できる。
具体的には、本発明が適用されるC−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜の研磨における研磨圧力は、0.7×103〜2.5×104Paの範囲が好ましく、1×104〜1.7×104Paの範囲がより好ましい。研磨圧力が0.7×103Paより小さいと充分な研磨レートが得られない場合が多く、2.5×104Paより大きいと、研磨過程でスクラッチなどが生じ、半導体基板上に形成された回路や、回路の多層化に悪影響を与える場合が多い。
本発明の研磨方法において、研磨組成物スラリーの供給量としては、0.02〜0.3mL/(min×cm2)が好ましく、特に0.05〜0.2mL/(min×cm2)が好適である。該供給量が0.02mL/(min×cm2)より少ないと充分な研磨レートが得られない恐れがあり、逆に0.3mL/(min×cm2)を越えると研磨に必要とされる量を超えるため経済的でない。なお、「cm2」は研磨パッドの表面積を意味する。
本発明の研磨用組成物を使用して研磨された半導体集積回路は、通常、研磨後に流水により十分に洗浄し乾燥される。超音波洗浄も実施されることが多い。
上記のようにして得られる本発明の研磨用組成物を使用して研磨された半導体集積回路は、その構造中に絶縁膜に被覆された銅配線層を有する場合に特に有用である。誘電率が低く、クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の心配がなく、表面の平坦性に優れた絶縁層の存在により、銅配線に期待される高度に集積した配線構造の実現が容易になるからである。
以下に例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。例1〜3,8,9〜11は実施例、例4〜7,12〜15は比較例である。なお、特に断りのない限り「%」は「質量%」を表す。実施例に用いた材料や測定方法は下記の通りである。
(平均粒径の測定)
日機装(株)製のMICROTRAC HRA MODEL9320−X100で求めた。
(層間絶縁膜)
本例において検討対象として使用した、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された層間絶縁膜は、アプライドマテリアルズ社指定の製造方法に基づく商品名Black Diamond(比誘電率:2.7)膜である。
この層間絶縁膜を有する多層体は、図6に示すように、シリコン基板7に、500nm厚のSiO2膜8と500nm厚のBlack Diamond膜9とが積層された構造を有しており、半導体集積回路上に層間絶縁膜が設けられた構造を模したものである。Black Diamond膜について島津製作所製のFT−IR装置(型番:FTIR−8300)による赤外線スペクトルを測定した結果を図3に示す。
この赤外線チャートより、この層間絶縁膜は、Si−C結合とSi−O結合とSi−CH3結合とを有することがわかる。
また、このBlack Diamond膜について、島津製作所製のX線光電子分光装置(ESCA:Electron Spectroscopy for Chemical Analysis、型番:ESCA−3400)を使用して、図4,5に示すように、Arスパッタ時間毎のCとSiとの濃度を測定し、その結果を、Arスパッタ時間毎のCとSiとのカウント値(cps:Count Per Second)と、CとSiとのアトミック比として表1にまとめた。Arスパッタ時間が長いほど、層間絶縁膜の層の底部により近いことを意味する。
なお、図4,5中の1S、2Pは各原子の検出軌道を表し、アトミック比は各ピークの面積を各原子における装置の感度ファクター(C:1.000、Si:0.870)で割った値を基にして表したものである。
表1に示したとおり、この層間絶縁膜では、層の底部に向かい炭素の含有量が大きくなる濃度勾配があることが理解される。
(砥粒)
<酸化セリウム粒子>
高純度炭酸セリウムを湿式粉砕後、リアクターを用い撹拌しながら、還流下でスラリー温度100℃に加熱し、炭酸ガスの発生が終わるまで熟成し、その後乾燥した。これをガス炉を用いて700℃で焼成し、ジェットミルにて解砕後、スラリーを平均粒子径0.2μmになるように分級した。
<酸化ネオジウム粒子>
江陰加華新材料資源有限公司から購入した酸化ネオジウムを遊星ミルで処理した後、平均粒子径0.4μmになるように分級した。
<酸化ランタン粒子>
江陰加華新材料資源有限公司から購入した酸化ランタンを遊星ミルで処理した後、平均粒子径0.2μmになるように分級した。
<酸化プラセオジウム粒子>
江陰加華新材料資源有限公司から購入した酸化プラセオジウムを遊星ミルで処理した後、平均粒子径0.3μmになるように分級した。
<CeLa2O3F3粒子>
希土高科技から購入した炭酸希土精鉱を粉砕、部分フッ素化、乾燥、焼成して、CeLa2O3F3を含む希土類化合物を得、遊星ミルで処理した後、平均粒子径0.2μmになるように分級した。
使用した砥粒中の希土類化合物の純度は99.9%以上であった。
(研磨速度)
1分間の研磨の前後の層間絶縁膜の厚さの差から求めた。
[例1]
(研磨剤組成物の調製)
La2O3(平均粒径:0.2μm)とイオン交換水とを混合し、日本精機製作所(株)製の超音波発生装置、Ultrasonic Generator MODEL RUS−600Cを使用して、La2O3が2.0%の研磨剤組成物を調製した。
この研磨剤組成物を用い、以下の研磨条件で、上記多層体上に設けられたBlack Diamond膜よりなる層間絶縁膜の表面を研磨した。
研磨機:アプライドマテリアル社製研磨機 Mirra
研磨パッド:IC−1400 K−Grooved(同心円状グルーブ)
研磨剤組成物供給量:200mL/min(0.1mL/(min×cm2)相当)
研磨時間:1min
研磨圧力:1.38×104Pa
研磨パッドの回転数:ヘッド57回転/分(rpm),プラテン63rpm。
上記の条件下の研磨における時間あたりの研磨速度を測定した。結果を表2に示す。
研磨された多層体は、イオン交換水を流しつつ洗浄し、その後乾燥した。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
[例2]
例1の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例1と同様にして評価した。結果を表2に示す。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
Nd2O3(平均粒径:0.4μm):2.0%
イオン交換水:残部
[例3]
CeLa2O3F3(平均粒子径:0.2μm)とイオン交換水とを混合し、例1と同じ超音波発生装置を使用して、CeLa2O3F3が1.0%の研磨剤組成物を調製した。
この研磨剤組成物を用い、以下の方法で上記多層体上に設けられた例1と同様の層間絶縁膜の表面を研磨した。
研磨機:ナノファクター社製研磨機卓上小型ラッピングマシンNF−300
研磨パッド:IC−1400 K−Grooved(同心円状グルーブ)
研磨剤組成物供給量:70mL/min(0.1mL/(min×cm2)相当)
研磨時間:1min
研磨圧力:2.76×104Pa
研磨パッドの回転数:ヘッド 97rpm,プラテン103rpm。
上記の条件下の研磨における時間あたりの研磨速度を測定した。結果を表3に示す。
研磨された多層体は、イオン交換水を流しつつ洗浄し、その後乾燥した。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
[例4]
例1の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例1と同様にして評価した。結果を表2に示す。
酸化セリウム(平均粒径:0.2μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例5]
例3の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例3と同様にして評価した。結果を表3に示す。
酸化セリウム(平均粒径:0.2μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例6]
例1の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例1と同様にして評価した。結果を表2に示す。
SiO2(平均粒径:0.2μm):12.5%
イオン交換水:残部
[例7]
例1の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例1と同様にして評価した。結果を表2に示す。
α−Al2O3(平均粒径:0.2μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例8]
例3の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例3と同様にして評価した。結果を表3に示す。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
Nd2O3(平均粒径:0.4μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例9]
酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm)とLa2O3粒子(平均粒径:0.2μm)とイオン交換水とを混合し、日本精機製作所(株)製の超音波発生装置、Ultrasonic Generator MODEL RUS−600Cを使用して、酸化セリウム粒子が1.0%、La2O3粒子が1.0%の研磨剤組成物を調製した。
この研磨剤組成物を用い、例1と同じ研磨条件で、上記多層体上に設けられたBlack Diamond膜よりなる層間絶縁膜の表面を研磨した。
上記の条件下の研磨における時間あたりの研磨速度を測定した。結果を表2に示す。
研磨された多層体は、イオン交換水を流しつつ洗浄し、その後乾燥した。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
[例10]
例9の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例9と同様にして評価した。結果を表2に示す。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm):0.5%
Nd2O3粒子(平均粒径:0.4μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例11]
酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm)とPr6O11粒子(平均粒径:0.3μm)とイオン交換水とを混合し、例9と同じ超音波発生装置を使用して、酸化セリウム粒子が0.5%、Pr6O11粒子が0.5%の研磨剤組成物を調製した。
この研磨剤組成物を用い、例3と同じ研磨条件で多層体上に設けられた例9と同様の層間絶縁膜の表面を研磨した。
上記の条件下の研磨における時間あたりの研磨速度を測定した。結果を表3に示す。
研磨された多層体は、イオン交換水を流しつつ洗浄し、その後乾燥した。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
[例12]
例9の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例9と同様にして評価した。結果を表2に示す。
酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例13]
例11の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例11と同様にして評価した。結果を表3に示す。
酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例14]
例9の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例9と同様にして評価した。結果を表2に示す。
SiO2粒子(平均粒径:0.2μm):12.5%
イオン交換水:残部
[例15]
例9の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例9と同様にして評価した。結果を表2に示す。
α−Al2O3粒子(平均粒径:0.2μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例16]
例9の研磨剤組成物に代えて、酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm)とLa2O3粒子(平均粒径:0.2μm)とを表4の組成割合(質量比)で用いた他は例9と同様にして評価した。結果を表4に示す。
[例17]
例9の研磨剤組成物に代えて、酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm)とNd2O3粒子(平均粒径:0.4μm)とを表5の組成割合(質量%)で用いた他は例9と同様にして評価した。結果を表5に示す。
(平均粒径の測定)
日機装(株)製のMICROTRAC HRA MODEL9320−X100で求めた。
(層間絶縁膜)
本例において検討対象として使用した、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された層間絶縁膜は、アプライドマテリアルズ社指定の製造方法に基づく商品名Black Diamond(比誘電率:2.7)膜である。
この層間絶縁膜を有する多層体は、図6に示すように、シリコン基板7に、500nm厚のSiO2膜8と500nm厚のBlack Diamond膜9とが積層された構造を有しており、半導体集積回路上に層間絶縁膜が設けられた構造を模したものである。Black Diamond膜について島津製作所製のFT−IR装置(型番:FTIR−8300)による赤外線スペクトルを測定した結果を図3に示す。
この赤外線チャートより、この層間絶縁膜は、Si−C結合とSi−O結合とSi−CH3結合とを有することがわかる。
また、このBlack Diamond膜について、島津製作所製のX線光電子分光装置(ESCA:Electron Spectroscopy for Chemical Analysis、型番:ESCA−3400)を使用して、図4,5に示すように、Arスパッタ時間毎のCとSiとの濃度を測定し、その結果を、Arスパッタ時間毎のCとSiとのカウント値(cps:Count Per Second)と、CとSiとのアトミック比として表1にまとめた。Arスパッタ時間が長いほど、層間絶縁膜の層の底部により近いことを意味する。
なお、図4,5中の1S、2Pは各原子の検出軌道を表し、アトミック比は各ピークの面積を各原子における装置の感度ファクター(C:1.000、Si:0.870)で割った値を基にして表したものである。
表1に示したとおり、この層間絶縁膜では、層の底部に向かい炭素の含有量が大きくなる濃度勾配があることが理解される。
(砥粒)
<酸化セリウム粒子>
高純度炭酸セリウムを湿式粉砕後、リアクターを用い撹拌しながら、還流下でスラリー温度100℃に加熱し、炭酸ガスの発生が終わるまで熟成し、その後乾燥した。これをガス炉を用いて700℃で焼成し、ジェットミルにて解砕後、スラリーを平均粒子径0.2μmになるように分級した。
<酸化ネオジウム粒子>
江陰加華新材料資源有限公司から購入した酸化ネオジウムを遊星ミルで処理した後、平均粒子径0.4μmになるように分級した。
<酸化ランタン粒子>
江陰加華新材料資源有限公司から購入した酸化ランタンを遊星ミルで処理した後、平均粒子径0.2μmになるように分級した。
<酸化プラセオジウム粒子>
江陰加華新材料資源有限公司から購入した酸化プラセオジウムを遊星ミルで処理した後、平均粒子径0.3μmになるように分級した。
<CeLa2O3F3粒子>
希土高科技から購入した炭酸希土精鉱を粉砕、部分フッ素化、乾燥、焼成して、CeLa2O3F3を含む希土類化合物を得、遊星ミルで処理した後、平均粒子径0.2μmになるように分級した。
使用した砥粒中の希土類化合物の純度は99.9%以上であった。
(研磨速度)
1分間の研磨の前後の層間絶縁膜の厚さの差から求めた。
[例1]
(研磨剤組成物の調製)
La2O3(平均粒径:0.2μm)とイオン交換水とを混合し、日本精機製作所(株)製の超音波発生装置、Ultrasonic Generator MODEL RUS−600Cを使用して、La2O3が2.0%の研磨剤組成物を調製した。
この研磨剤組成物を用い、以下の研磨条件で、上記多層体上に設けられたBlack Diamond膜よりなる層間絶縁膜の表面を研磨した。
研磨機:アプライドマテリアル社製研磨機 Mirra
研磨パッド:IC−1400 K−Grooved(同心円状グルーブ)
研磨剤組成物供給量:200mL/min(0.1mL/(min×cm2)相当)
研磨時間:1min
研磨圧力:1.38×104Pa
研磨パッドの回転数:ヘッド57回転/分(rpm),プラテン63rpm。
上記の条件下の研磨における時間あたりの研磨速度を測定した。結果を表2に示す。
研磨された多層体は、イオン交換水を流しつつ洗浄し、その後乾燥した。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
[例2]
例1の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例1と同様にして評価した。結果を表2に示す。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
Nd2O3(平均粒径:0.4μm):2.0%
イオン交換水:残部
[例3]
CeLa2O3F3(平均粒子径:0.2μm)とイオン交換水とを混合し、例1と同じ超音波発生装置を使用して、CeLa2O3F3が1.0%の研磨剤組成物を調製した。
この研磨剤組成物を用い、以下の方法で上記多層体上に設けられた例1と同様の層間絶縁膜の表面を研磨した。
研磨機:ナノファクター社製研磨機卓上小型ラッピングマシンNF−300
研磨パッド:IC−1400 K−Grooved(同心円状グルーブ)
研磨剤組成物供給量:70mL/min(0.1mL/(min×cm2)相当)
研磨時間:1min
研磨圧力:2.76×104Pa
研磨パッドの回転数:ヘッド 97rpm,プラテン103rpm。
上記の条件下の研磨における時間あたりの研磨速度を測定した。結果を表3に示す。
研磨された多層体は、イオン交換水を流しつつ洗浄し、その後乾燥した。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
[例4]
例1の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例1と同様にして評価した。結果を表2に示す。
酸化セリウム(平均粒径:0.2μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例5]
例3の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例3と同様にして評価した。結果を表3に示す。
酸化セリウム(平均粒径:0.2μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例6]
例1の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例1と同様にして評価した。結果を表2に示す。
SiO2(平均粒径:0.2μm):12.5%
イオン交換水:残部
[例7]
例1の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例1と同様にして評価した。結果を表2に示す。
α−Al2O3(平均粒径:0.2μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例8]
例3の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例3と同様にして評価した。結果を表3に示す。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
Nd2O3(平均粒径:0.4μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例9]
酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm)とLa2O3粒子(平均粒径:0.2μm)とイオン交換水とを混合し、日本精機製作所(株)製の超音波発生装置、Ultrasonic Generator MODEL RUS−600Cを使用して、酸化セリウム粒子が1.0%、La2O3粒子が1.0%の研磨剤組成物を調製した。
この研磨剤組成物を用い、例1と同じ研磨条件で、上記多層体上に設けられたBlack Diamond膜よりなる層間絶縁膜の表面を研磨した。
上記の条件下の研磨における時間あたりの研磨速度を測定した。結果を表2に示す。
研磨された多層体は、イオン交換水を流しつつ洗浄し、その後乾燥した。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
[例10]
例9の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例9と同様にして評価した。結果を表2に示す。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm):0.5%
Nd2O3粒子(平均粒径:0.4μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例11]
酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm)とPr6O11粒子(平均粒径:0.3μm)とイオン交換水とを混合し、例9と同じ超音波発生装置を使用して、酸化セリウム粒子が0.5%、Pr6O11粒子が0.5%の研磨剤組成物を調製した。
この研磨剤組成物を用い、例3と同じ研磨条件で多層体上に設けられた例9と同様の層間絶縁膜の表面を研磨した。
上記の条件下の研磨における時間あたりの研磨速度を測定した。結果を表3に示す。
研磨された多層体は、イオン交換水を流しつつ洗浄し、その後乾燥した。クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥は見出されなかった。
[例12]
例9の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例9と同様にして評価した。結果を表2に示す。
酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例13]
例11の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例11と同様にして評価した。結果を表3に示す。
酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例14]
例9の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例9と同様にして評価した。結果を表2に示す。
SiO2粒子(平均粒径:0.2μm):12.5%
イオン交換水:残部
[例15]
例9の研磨剤組成物に代えて、以下の比率の研磨剤組成物を用いた他は例9と同様にして評価した。結果を表2に示す。
α−Al2O3粒子(平均粒径:0.2μm):1.0%
イオン交換水:残部
[例16]
例9の研磨剤組成物に代えて、酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm)とLa2O3粒子(平均粒径:0.2μm)とを表4の組成割合(質量比)で用いた他は例9と同様にして評価した。結果を表4に示す。
[例17]
例9の研磨剤組成物に代えて、酸化セリウム粒子(平均粒径:0.2μm)とNd2O3粒子(平均粒径:0.4μm)とを表5の組成割合(質量%)で用いた他は例9と同様にして評価した。結果を表5に示す。
本発明により、半導体集積回路の製造工程において、半導体集積回路上に設けた、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料からなる絶縁膜を効率よく平坦化し、クラック、スクラッチ、膜剥がれ等の欠陥のない、あるいは少ない高品質な研磨表面を与えることが可能となる半導体集積回路用絶縁膜研磨剤組成物を提供することができる。
また、低い誘電率を有し、表面平坦性に優れた絶縁膜を備えた半導体集積回路を、高収率で生産性よく製造することが可能となる半導体集積回路の製造方法を提供することができる。
また、低い誘電率を有し、表面平坦性に優れた絶縁膜を備えた半導体集積回路を、高収率で生産性よく製造することが可能となる半導体集積回路の製造方法を提供することができる。
Claims (10)
- 半導体集積回路に使用される、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜を研磨するための研磨剤組成物であって、
水と、
希土類水酸化物、希土類フッ化物、希土類オキシフッ化物、酸化セリウム以外の希土類酸化物およびこれらの複合化合物からなる群から選ばれる1種以上の特定希土類化合物の粒子と
を含むことを特徴とする研磨剤組成物。 - さらに酸化セリウム粒子を含む、請求の範囲第1項に記載の研磨剤組成物。
- 酸化セリウムと、酸化物換算した特定希土類化合物との質量比が99:1〜1:99の範囲にある、請求の範囲第2項に記載の研磨剤組成物。
- 前記特定希土類化合物が、La2O3,La(OH)3,Nd2O3,Nd(OH)3,Pr6O11,Pr(OH)3,CeLaOおよびCeLa2O3F3からなる群から選ばれる1種以上の希土類化合物である、請求の範囲第1〜3項のいずれかに記載の研磨剤組成物。
- 水と、希土類水酸化物、希土類フッ化物、希土類オキシフッ化物、酸化セリウム以外の希土類酸化物およびこれらの複合化合物からなる群から選ばれる1種以上の特定希土類化合物の粒子とを含む研磨剤組成物で、C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料から構成された絶縁膜を研磨するステップを有することを特徴とする半導体集積回路の製造方法。
- 前記特定希土類化合物が、La2O3,La(OH)3,Nd2O3,Nd(OH)3,Pr6O11,Pr(OH)3,CeLaOおよびCeLa2O3F3からなる群から選ばれる1種以上の希土類化合物である、請求の範囲第5項に記載の半導体集積回路の製造方法。
- 前記研磨剤組成物は酸化セリウム粒子をさらに含む、請求の範囲第5項または第6項に記載の半導体集積回路の製造方法。
- C−Si結合とSi−O結合とを有する有機ケイ素材料が、
Si−CH3結合を有し、
その比誘電率が1.0〜3.5の範囲にあり、
そのCとSiとのアトミック比が0.25〜3の範囲にある、
請求の範囲第5項〜第7項のいずれかに記載の半導体集積回路の製造方法。 - 絶縁膜が銅配線層を被覆したものである、請求の範囲第8項に記載の半導体集積回路の製造方法。
- 酸化セリウムと、酸化物換算した特定希土類化合物との質量比が99:1〜1:99の範囲にある、請求の範囲第7項に記載の半導体集積回路の製造方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002261965 | 2002-09-06 | ||
JP2002261964 | 2002-09-06 | ||
JP2002261965 | 2002-09-06 | ||
JP2002261964 | 2002-09-06 | ||
PCT/JP2003/011368 WO2004023539A1 (ja) | 2002-09-06 | 2003-09-05 | 半導体集積回路用絶縁膜研磨剤組成物および半導体集積回路の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2004023539A1 true JPWO2004023539A1 (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=31980594
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004534174A Withdrawn JPWO2004023539A1 (ja) | 2002-09-06 | 2003-09-05 | 半導体集積回路用絶縁膜研磨剤組成物および半導体集積回路の製造方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7378348B2 (ja) |
EP (1) | EP1536461A4 (ja) |
JP (1) | JPWO2004023539A1 (ja) |
KR (1) | KR20050057208A (ja) |
CN (1) | CN100370587C (ja) |
AU (1) | AU2003261966A1 (ja) |
SG (1) | SG168405A1 (ja) |
TW (1) | TWI314949B (ja) |
WO (1) | WO2004023539A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005340327A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Renesas Technology Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
KR100856953B1 (ko) | 2004-06-21 | 2008-09-04 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 유기 실록산막, 그것을 이용한 반도체장치, 및,평면표시장치, 및, 원료액 |
TW200605220A (en) * | 2004-06-21 | 2006-02-01 | Hitachi Chemical Co Ltd | Organic siloxane film, semiconductor device using same, flat panel display and raw material liquid |
US7307013B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-12-11 | Sandisk 3D Llc | Nonselective unpatterned etchback to expose buried patterned features |
DE102005048366A1 (de) | 2005-10-10 | 2007-04-19 | X-Fab Semiconductor Foundries Ag | Verfahren zur Herstellung von defektarmen selbstorganisierten nadelartigen Strukturen mit Nano-Dimensionen im Bereich unterhalb der üblichen Lichtwellenlängen mit großem Aspektverhältnis |
DE102005048359A1 (de) * | 2005-10-10 | 2007-04-19 | X-Fab Semiconductor Foundries Ag | IR Fenster mit hoher Transmission |
WO2007042521A2 (de) | 2005-10-10 | 2007-04-19 | X-Fab Semiconductor Foundries Ag | Herstellung von selbstorganisierten nadelartigen nano-strukturen und ihre recht umfangreichen anwendungen |
GB2433515B (en) * | 2005-12-22 | 2011-05-04 | Kao Corp | Polishing composition for hard disk substrate |
JP4753710B2 (ja) * | 2005-12-22 | 2011-08-24 | 花王株式会社 | ハードディスク基板用研磨液組成物 |
JP5701736B2 (ja) * | 2011-12-20 | 2015-04-15 | 株式会社東芝 | 平坦化方法および平坦化装置 |
CN102643614B (zh) * | 2012-04-17 | 2014-02-12 | 江苏中晶科技有限公司 | 玻璃抛光粉及其制备方法 |
US20150021513A1 (en) * | 2013-07-17 | 2015-01-22 | Yun-jeong Kim | Cmp slurry composition for polishing an organic layer and method of forming a semiconductor device using the same |
JP2016154208A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-25 | 旭硝子株式会社 | 研磨剤、研磨方法および半導体集積回路装置の製造方法 |
KR102447178B1 (ko) | 2015-09-01 | 2022-09-26 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치의 제조 방법 |
CN106336813A (zh) * | 2016-08-24 | 2017-01-18 | 安徽正田能源科技有限公司 | 一种硅片划痕抛光剂及其制备方法 |
CN106675417A (zh) * | 2016-12-21 | 2017-05-17 | 安徽中创电子信息材料有限公司 | 一种球形氟氧化镧铈稀土抛光液及其制备方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2604443A1 (fr) * | 1986-09-26 | 1988-04-01 | Rhone Poulenc Chimie | Composition de polissage a base de cerium destinee au polissage des verres organiques |
US5445996A (en) * | 1992-05-26 | 1995-08-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for planarizing a semiconductor device having a amorphous layer |
JP2914860B2 (ja) | 1992-10-20 | 1999-07-05 | 株式会社東芝 | 半導体装置とその製造方法および研磨方法ならびに研磨装置および研磨装置の研磨面の再生方法 |
US6174454B1 (en) * | 1999-01-29 | 2001-01-16 | National Science Council | Slurry formulation for selective CMP of organic spin-on-glass insulating layer with low dielectric constant |
US5962343A (en) * | 1996-07-30 | 1999-10-05 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Process for producing crystalline ceric oxide particles and abrasive |
JP3918241B2 (ja) | 1996-08-01 | 2007-05-23 | 日産化学工業株式会社 | 表面改質された酸化第二セリウム粒子からなる研磨剤及び研磨方法 |
US6110396A (en) * | 1996-11-27 | 2000-08-29 | International Business Machines Corporation | Dual-valent rare earth additives to polishing slurries |
JP3752083B2 (ja) | 1998-09-03 | 2006-03-08 | 三倉物産株式会社 | 研磨剤及びその製造方法 |
JP2000336344A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-12-05 | Seimi Chem Co Ltd | 研磨剤 |
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US7887714B2 (en) * | 2000-12-25 | 2011-02-15 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Cerium oxide sol and abrasive |
JP3685481B2 (ja) * | 2000-12-27 | 2005-08-17 | 三井金属鉱業株式会社 | 粒度分布に優れたセリウム系研摩材粒子粉末、該粒子粉末を含有する研摩材スラリー及び該粒子粉末の製造方法 |
JP4185266B2 (ja) * | 2001-07-25 | 2008-11-26 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用基板の製造方法 |
US6974777B2 (en) * | 2002-06-07 | 2005-12-13 | Cabot Microelectronics Corporation | CMP compositions for low-k dielectric materials |
JP4248889B2 (ja) * | 2002-11-22 | 2009-04-02 | Agcセイミケミカル株式会社 | 研磨材粒子の品質評価方法、研磨方法及びガラス研磨用研磨材 |
US6893476B2 (en) * | 2002-12-09 | 2005-05-17 | Dupont Air Products Nanomaterials Llc | Composition and associated methods for chemical mechanical planarization having high selectivity for metal removal |
-
2003
- 2003-09-05 WO PCT/JP2003/011368 patent/WO2004023539A1/ja active Application Filing
- 2003-09-05 AU AU2003261966A patent/AU2003261966A1/en not_active Abandoned
- 2003-09-05 SG SG200701547-2A patent/SG168405A1/en unknown
- 2003-09-05 CN CNB038211319A patent/CN100370587C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-09-05 KR KR1020057003821A patent/KR20050057208A/ko not_active Application Discontinuation
- 2003-09-05 EP EP03794257A patent/EP1536461A4/en not_active Ceased
- 2003-09-05 JP JP2004534174A patent/JPWO2004023539A1/ja not_active Withdrawn
- 2003-09-05 TW TW092124653A patent/TWI314949B/zh not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-03-04 US US11/071,182 patent/US7378348B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1536461A4 (en) | 2007-03-28 |
US7378348B2 (en) | 2008-05-27 |
AU2003261966A1 (en) | 2004-03-29 |
TWI314949B (en) | 2009-09-21 |
US20050202670A1 (en) | 2005-09-15 |
WO2004023539A1 (ja) | 2004-03-18 |
KR20050057208A (ko) | 2005-06-16 |
EP1536461A1 (en) | 2005-06-01 |
TW200406484A (en) | 2004-05-01 |
CN100370587C (zh) | 2008-02-20 |
SG168405A1 (en) | 2011-02-28 |
AU2003261966A8 (en) | 2004-03-29 |
CN1679145A (zh) | 2005-10-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20100115 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20100118 |