JPS6417447U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6417447U JPS6417447U JP11152087U JP11152087U JPS6417447U JP S6417447 U JPS6417447 U JP S6417447U JP 11152087 U JP11152087 U JP 11152087U JP 11152087 U JP11152087 U JP 11152087U JP S6417447 U JPS6417447 U JP S6417447U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reference pressure
- divided
- pressure chamber
- diaphragm
- parts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図ａ，ｂ、第２図ａ〜ｇは本考案の一実施
例を説明するもので、第１図ａは第１図ｂのａ―
ａ線断面図、第１図ｂは圧力変換装置の平面図、
第２図ａ〜ｇは製造工程を示すそれぞれ断面図で
ある。第３図ａ〜ｃは従来装置の製造工程を示す
それぞれ断面図である。 １１：Ｎ形シリコン基板、１２：高濃度不純物
拡散領域、１３：シリコン酸化膜、１４，１４Ａ
〜１４Ｄ：基準圧力室、１５：第１窒化膜、１６
：第２窒化膜、１７：ポリシリコン膜、１８：絶
縁膜、１９：下部電極コンタクトホール、２０：
上部電極コンタクトホール、２１，２２：金属配
線、３１Ａ，３１Ｂ：ＰＳＧ膜、３２：ＰＳＧエ
ツチング用孔、ＨＯ：空洞領域、ＤＰＡ〜ＤＰＤ
：ダイアフラム。
例を説明するもので、第１図ａは第１図ｂのａ―
ａ線断面図、第１図ｂは圧力変換装置の平面図、
第２図ａ〜ｇは製造工程を示すそれぞれ断面図で
ある。第３図ａ〜ｃは従来装置の製造工程を示す
それぞれ断面図である。 １１：Ｎ形シリコン基板、１２：高濃度不純物
拡散領域、１３：シリコン酸化膜、１４，１４Ａ
〜１４Ｄ：基準圧力室、１５：第１窒化膜、１６
：第２窒化膜、１７：ポリシリコン膜、１８：絶
縁膜、１９：下部電極コンタクトホール、２０：
上部電極コンタクトホール、２１，２２：金属配
線、３１Ａ，３１Ｂ：ＰＳＧ膜、３２：ＰＳＧエ
ツチング用孔、ＨＯ：空洞領域、ＤＰＡ〜ＤＰＤ
：ダイアフラム。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板と、基準圧力室と、基準圧力室を画成する
ダイアフラムとを備え、被測定圧力と基準圧力室
内の圧力との差に応じて前記ダイアフラムを撓ま
せ、その撓みに相応した検出出力を得る圧力変換
装置において、 前記基準圧力室を前記単一の基板に複数個に分
割して形成するとともに、前記ダイアフラムをこ
れらの基準圧力室のそれぞれに対応して複数に分
割したことを特徴とする圧力変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11152087U JPS6417447U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11152087U JPS6417447U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6417447U true JPS6417447U (ja) | 1989-01-27 |
Family
ID=31349636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11152087U Pending JPS6417447U (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6417447U (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002343979A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-29 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | ダイアフラム型半導体装置とその製造方法 |
| JP2004340576A (ja) * | 2003-03-17 | 2004-12-02 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2005188989A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2013178182A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-09 | Alps Electric Co Ltd | 静電容量型物理量センサとその製造方法 |
| JP2018155526A (ja) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | Ｍｅｍｓセンサ |
-
1987
- 1987-07-20 JP JP11152087U patent/JPS6417447U/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002343979A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-29 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | ダイアフラム型半導体装置とその製造方法 |
| JP4671534B2 (ja) * | 2001-05-14 | 2011-04-20 | 株式会社豊田中央研究所 | ダイアフラム型半導体装置とその製造方法 |
| JP2004340576A (ja) * | 2003-03-17 | 2004-12-02 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2005188989A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2013178182A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-09 | Alps Electric Co Ltd | 静電容量型物理量センサとその製造方法 |
| JP2018155526A (ja) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | Ｍｅｍｓセンサ |
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