JP2005188989A - 圧力検出装置用パッケージ - Google Patents
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Abstract
【課題】 小型でかつ感度が高く、外部の圧力を正確に検出することが可能な圧力検出装置用のパッケージを提供する。
【解決手段】 一方の主面に半導体素子3の搭載部1aを有する絶縁基体1と、半導体素子3の各電極が接続される複数の配線導体5と、絶縁基体1の他方の主面との間に第一および第二密閉空間を形成するようにそれぞれ可撓な状態で絶縁基体1に接合された第一および第二絶縁板2,2’と、第一および第二密閉空間内の絶縁基体1の他方の主面にそれぞれ被着され、配線導体5に電気的に接続された静電容量形成用の第一および第二電極7,7’と、第一および第二絶縁板2,2’の内側主面にそれぞれ第一および第二電極7,7’と対向するように被着され、配線導体5に電気的に接続された静電容量形成用の第三および第四電極9,9’とを具備しており、第一絶縁板2および第二絶縁板2’は、それぞれに内側主面の露出した領域の面積が異なっている。
【選択図】 図1
【解決手段】 一方の主面に半導体素子3の搭載部1aを有する絶縁基体1と、半導体素子3の各電極が接続される複数の配線導体5と、絶縁基体1の他方の主面との間に第一および第二密閉空間を形成するようにそれぞれ可撓な状態で絶縁基体1に接合された第一および第二絶縁板2,2’と、第一および第二密閉空間内の絶縁基体1の他方の主面にそれぞれ被着され、配線導体5に電気的に接続された静電容量形成用の第一および第二電極7,7’と、第一および第二絶縁板2,2’の内側主面にそれぞれ第一および第二電極7,7’と対向するように被着され、配線導体5に電気的に接続された静電容量形成用の第三および第四電極9,9’とを具備しており、第一絶縁板2および第二絶縁板2’は、それぞれに内側主面の露出した領域の面積が異なっている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、圧力を検出するための圧力検出装置に使用される圧力検出装置用パッケージに関する。
従来、圧力を検出するための圧力検出装置として静電容量型の圧力検出装置が知られている。この静電容量型の圧力検出装置は、図4に断面図で示すように、セラミック材料や樹脂材料から成る配線基板21上に、静電容量型の感圧素子22と、パッケージ28に収容された演算用の半導体素子29とを備えている。
そして、感圧素子22は、例えばセラミック材料等の電気絶縁材料から成り、上面中央部に静電容量形成用の一方の電極23が被着された凹部を有する絶縁基体24と、この絶縁基体24の上面に絶縁基体24との間に密閉空間を形成するようにして可撓な状態で接合され、下面に静電容量形成用の他方の電極25が被着された絶縁板26と、各静電容量形成用の電極23,25をそれぞれ外部に電気的に接続するための外部リード端子27とから構成されており、外部の圧力に応じて絶縁板26が撓むことにより各静電容量形成用の電極23,25間に形成される静電容量が変化する。そして、この静電容量の変化を演算用の半導体素子29により演算処理することによって外部の圧力を検出することができる。
しかしながら、この従来の圧力検出装置によると、感圧素子22と半導体素子29とを配線基板21上に個別に実装していることから、圧力検出装置が大型化するとともに圧力検出用の電極23,25と半導体素子29との間の配線が長いものとなり、この長い配線間に不要な静電容量が形成されるため感度が低いという問題点を有していた。
そこで、本願出願人は、図3に断面図で示すような、一方の主面に半導体素子13が搭載される搭載部11bを有する絶縁基体11と、この絶縁基体11の表面および内部に配設され、半導体素子13の各電極が電気的に接続される複数の配線導体15と、絶縁基体11の他方の主面の中央部に被着され、配線導体15の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極17と、絶縁基体11の他方の主面に、この主面の中央部との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で接合された絶縁板12と、この絶縁板12の内側主面に第一電極17と対向して被着され、配線導体15の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極19とを具備する圧力検出装置用パッケージを提案した(下記の特許文献1参照)。
この圧力検出装置用パッケージによれば、一方の主面に半導体素子13が搭載される搭載部11bを有する絶縁基体11の他方の主面に静電容量形成用の第一電極17を設けるとともに、この第一電極17に対向する静電容量形成用の第二電極19を内側主面に有する絶縁板12を、絶縁基体11の他方の主面との間に密閉空間を形成するようにして可撓な状態で接合させたことから、半導体素子13を収容するパッケージに感圧素子が一体に形成され、その結果、圧力検出装置を小型とすることができるとともに圧力検出用の電極と半導体素子13とを接続する配線を短いものとして、これらの配線間に発生する不要な静電容量を小さなものとすることができるというものである。
特開2001−356064号公報
しかしながら、上述の圧力検出装置用パッケージによると、パッケージの強度を確保するために絶縁板12の厚みを厚くすると、外部の圧力が加わった際の絶縁板12に被着された第二電極19の撓み量が小さくなり、第一電極17と第二電極19との間隔の変化量が小さくなって外部圧力の変化を精度良く測定することができないという問題点を有していた。
また、逆に外部の圧力の検出感度を高めるため、絶縁板12の厚みを大幅に薄くして絶縁板12の撓み量を大きくすると、絶縁板12に一定以上の高い圧力が加わった際に、絶縁板12が大きく撓んで割れが発生するという問題点を有していた。
さらに、他の対策として、絶縁板12と絶縁基体11との間に所望の密閉空間を形成させるために設られている突起部12aの厚みを小さくして絶縁基体11と絶縁板12との間の距離を狭くすると、絶縁板12の強度が低下するとともに、外部の圧力が加わった際に、絶縁基体11と絶縁板12とを接合しているろう材に塑性変形が発生しやすくなるという問題点を有していた。
本発明はかかる上述の問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、小型でかつ感度が高く、外部の圧力を正確に検出することが可能な圧力検出装置用のパッケージを提供することにある。
本発明の圧力検出装置用パッケージは、一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、該絶縁基体の表面および内部に配設され、前記半導体素子の各電極が電気的に接続される複数の配線導体と、前記絶縁基体の他方の主面との間に第一密閉空間および第二密閉空間を形成するようにそれぞれ可撓な状態で前記絶縁基体に接合された第一絶縁板および第二絶縁板と、前記第一密閉空間および前記第二密閉空間内の前記絶縁基体の前記他方の主面にそれぞれ被着され、前記配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極および第二電極と、前記第一絶縁板および前記第二絶縁板の内側主面にそれぞれ前記第一電極および前記第二電極と対向するように被着され、前記配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第三電極および第四電極とを具備しており、前記第一絶縁板および前記第二絶縁板は、それぞれの前記内側主面の露出した領域の面積が互いに異なることを特徴とするものである。
本発明の圧力検出装置用パッケージにおいて、好ましくは、前記第三電極および第四電極は、前記配線導体の他の一つとの接続部がそれぞれ前記半導体素子の直上に位置していることを特徴とするものである。
本発明の圧力検出装置用パッケージによれば、一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、この絶縁基体の表面および内部に配設され、半導体素子の各電極が電気的に接続される複数の配線導体と、絶縁基体の他方の主面との間に第一密閉空間および第二密閉空間を形成するようにそれぞれ可撓な状態で絶縁基体に接合された第一絶縁板および第二絶縁板と、第一密閉空間および第二密閉空間内の絶縁基体の他方の主面にそれぞれ被着され、配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極および第二電極と、第一絶縁板および第二絶縁板の内側主面にそれぞれ第一電極および第二電極と対向するように被着され、配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第三電極および第四電極とを具備することから、外部圧力に対して第一電極および第三電極、ならびに第二電極および第四電極で形成される静電容量の変化量を合算することで外部の圧力変化による静電容量の変化量を大きくすることができるので、外部圧力の変化を精度良く測定することができる。また、静電容量の変化量を大きくすることができるので第一絶縁板および第二絶縁板の厚みを大幅に薄くする必要はなく、その結果、第一絶縁板および第二絶縁板に一定以上の高い圧力が加わった場合においても、第一絶縁板および第二絶縁板が大きく撓んで割れが発生するのを抑制することができる。
また、第一絶縁板および第二絶縁板とは、内側主面の露出した領域の面積が互いに異なっていることから、外部の圧力が加わった際や振動や衝撃等を受けた際に、加わる外力の大きさが異なって第一絶縁板および第二絶縁板の撓み量が異なることとなり、第一絶縁板および第二絶縁板の耐久性を異ならせることができる。よって、第一絶縁板および第二絶縁板のうち、一方の面積の大きい方が大きく撓んでクラック等が発生したとしても、第一絶縁板および第二絶縁板のうち、他方の面積の小さい方にクラックが発生するのを有効に防止することができ、第一絶縁板と第二絶縁板とが同時に破壊されるのを有効に防止できる。従って、第一絶縁板および第二絶縁板のうち一方の検出部にて異常が発生した時にも、他方の検出部にて、外部の圧力を検出することができるので、誤動作等が発生するのを低減とすることができるとともに、一方の検出部に異常が発生していることを容易に判別することができる。
また、第三電極および第四電極は、配線導体の他の一つとの接続部がそれぞれ半導体素子の直上に位置しているので、半導体素子と第三電極および第四電極とを非常に短い距離で電気的に接続することが可能となり、配線導体を引き回すことによって抵抗が大きくなったり、配線導体間に不要な静電容量を発生させることなく、きわめて良好に圧力検出の信号を半導体素子に伝えることができる。
次に、本発明の圧力検出装置用パッケージを添付の図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明の圧力検出装置用パッケージの実施の形態の一例を示す断面図であり、図中、1は絶縁基体、2は第一絶縁板、2’は第二絶縁板、3は半導体素子、7は第一電極、7’は第二電極、9は第三電極、9’は第四電極である。
本発明の圧力検出装置用パッケージは、半導体素子3が搭載される搭載部1bを有する絶縁基体1と、この絶縁基体1に配設され、半導体素子3の各電極が電気的に接続される複数の配線導体5と、絶縁基体1との間に第一密閉空間および第二密閉空間を形成するようにそれぞれ可撓な状態で絶縁基体1に接合された第一絶縁板2および第二絶縁板2’と、第一密閉空間および第二密閉空間内の絶縁基体1にそれぞれ被着され、配線導体5の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極7および第二電極7’と、第一絶縁板2および第二絶縁板2’の内側主面にそれぞれ第一電極7および第二電極7’と対向するように被着され、配線導体5の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第三電極9および第四電極9’とで主に構成されている。
絶縁基体1は、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体,ムライト質焼結体,炭化珪素質焼結体,窒化珪素質焼結体,ガラス−セラミックス等の電気絶縁材料から成る積層体であり、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム,酸化珪素,酸化マグネシウム,酸化カルシウム等のセラミック原料粉末に適当な有機バインダ,溶剤,可塑剤,分散剤を添加混合して泥漿状となすとともに、これを従来周知のドクターブレード法を採用してシート状に成形することにより複数枚のセラミックグリーンシートを得、しかる後、これらのセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工,積層加工,切断加工を施すことにより絶縁基体1用の生セラミック成形体を得るとともにこの生セラミック成形体を約1600℃の温度で焼成することにより製作される。
絶縁基体1は、その下面に半導体素子3を収容するための凹部1aが形成されており、これにより半導体素子3を収容する容器として機能する。そして、この凹部1aの底面中央部が半導体素子3が搭載される搭載部1bとなっており、この搭載部1bに半導体素子3を搭載するとともに凹部1a内に例えばエポキシ樹脂等の樹脂製封止材4を充填することにより半導体素子3が封止される。
なお、この例では半導体素子3は樹脂製封止材4を凹部1a内に充填することにより封止されるが、半導体素子3は絶縁基体1の下面に金属やセラミックス等から成る蓋体を凹部1aを塞ぐように接合させることにより封止されてもよい。
また、搭載部1bには半導体素子3の各電極と接続される複数の配線導体5が導出しており、この配線導体5と半導体素子3の各電極を半田バンプ6等の導電性材料から成る導電性接合部材を介して接合することにより半導体素子3の各電極と配線導体5とが電気的に接続されるとともに半導体素子3が搭載部1bに固定される。なお、この例では、半導体素子3の電極と配線導体5とは半田バンプ6を介して接続されているが、半導体素子3の電極と配線導体5とはボンディングワイヤ等の他の電気的接続手段により接続されてもよい。
配線導体5は、半導体素子3の各電極を外部電気回路および後述する第一電極7、第二電極7’、第三電極9および第四電極9’に電気的に接続するための導電路として機能し、その一部は絶縁基体1の下面に導出し、別の一部は第一電極7、第二電極7’、第三電極9および第四電極9’に電気的に接続されている。そして、半導体素子3の各電極をこれらの配線導体5に半田バンプ6を介して電気的に接続するとともに半導体素子3を樹脂製封止材4で封止した後、配線導体5の絶縁基体1の下面に導出した部位を外部電気回路基板の配線導体(図示せず)に半田等の導電性接合材を介して接合することにより、内部に収容する半導体素子3が外部電気回路に電気的に接続されることとなる。
このような配線導体5は、タングステンやモリブデン,銅,銀等の金属粉末メタライズから成り、タングステン等の金属粉末に適当な有機バインダ,溶剤,可塑剤,分散剤等を添加混合して得たメタライズペーストを従来周知のスクリーン印刷法を採用して絶縁基体1用のセラミックグリーンシートに所定のパターンに印刷塗布し、これを絶縁基体1用の生セラミック成形体とともに焼成することによって絶縁基体1の内部および表面に所定のパターンに形成される。なお、配線導体5の露出表面には、配線導体5が酸化腐食するのを防止するとともに配線導体5と半田等の導電性接合材との接合を良好なものとするために、厚みが1〜10μm程度のニッケルめっき層と厚みが0.1〜3μm程度の金めっき層とが順次被着されているのがよい。
また、絶縁基体1の上面には、静電容量形成用の第一電極7および第二電極7’が絶縁基体1の中心に対して左右対称となる部位にそれぞれ被着されている。この第一電極7および第二電極7’は、後述する第三電極9および第四電極9’とともに感圧素子用の静電容量を形成するためのものであり、例えば円形状のパターンに形成されている。そして、この第一電極7および第二電極7’は配線導体5の一つである第一配線導体5a,5a’にそれぞれが接続されており、それにより、この第一配線導体5a,5a’に半導体素子3の各電極を半田バンプ6等の導電性接合部材を介して接続すると半導体素子3の各電極と第一電極7および第二電極7’とが電気的に接続されるようになっている。
このような第一電極7および第二電極7’は、タングステンやモリブデン,銅,銀等の金属粉末メタライズから成り、タングステン等の金属粉末に適当な有機バインダ,溶剤,可塑剤,分散剤を添加混合して得たメタライズペーストを従来周知のスクリーン印刷法を採用して絶縁基体1用のセラミックグリーンシートに印刷塗布し、これを絶縁基体1用の生セラミック成形体とともに焼成することによって絶縁基体1の所定の部位に所定のパターンに形成される。なお、第一電極7および第二電極7’の露出表面には、第一電極7および第二電極7’が酸化腐食するのを防止するために、通常であれば、厚みが1〜10μm程度のニッケルめっき層が被着されている。
また、第一電極7および第二電極7’の外周部には、その全周にわたりそれぞれ枠状の第一接合用メタライズ層8a,8a’が被着されており、この第一接合用メタライズ層8a,8a’には、後述する第一絶縁板2および第二絶縁板2’の第二接合用メタライズ層8b,8b’がそれぞれ銀−銅ろう材等の導電性接合材を介して接合されている。
この第一接合用メタライズ層8a,8a’は配線導体5の一つである第二配線導体5b,5b’にそれぞれが接続されており、それにより、この第二配線導体5b,5b’に半導体素子3の各電極を半田バンプ6等の導電性接合部材を介して電気的に接続すると第一接合用メタライズ層8a,8a’および第二接合用メタライズ層8b,8b’とがそれぞれ半導体素子3の各電極と電気的に接続されるようになっている。
第一接合用メタライズ層8a,8a’は、タングステンやモリブデン,銅,銀等の金属粉末メタライズから成り、タングステン等の金属粉末に適当な有機バインダ,溶剤,可塑剤,分散剤を添加混合して得たメタライズペーストを従来周知のスクリーン印刷法を採用して絶縁基体1用のセラミックグリーンシートに印刷塗布し、これを絶縁基体1用の生セラミック成形体とともに焼成することによって、絶縁基体1上面の第一電極1および第二電極2のそれぞれの外周部に枠状の所定のパターンに形成される。なお、第一接合用メタライズ層8a,8a’の露出表面には、第一接合用メタライズ層8a,8a’が酸化腐食するのを防止するとともに第一接合用メタライズ層8a,8a’と導電性接合材との接合を強固なものとするために、厚みが1〜10μm程度のニッケルめっき層が被着されているのがよい。
また、絶縁基体1の上面に取着された第一絶縁板2および第二絶縁板2’は、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体,ムライト質焼結体,窒化珪素質焼結体,炭化珪素質焼結体,ガラス−セラミックス等の電気絶縁材料から成る厚みが0.01〜5mmの平板状であり、外部の圧力に応じて絶縁基体1側に撓むいわゆる圧力検出用のダイアフラムとして機能する。
なお、第一絶縁板2および第二絶縁板2’は、その厚みが0.01mm未満では、その機械的強度が小さくなり易い、これに大きな外部圧力が印加された場合に破壊され易くなる。また、5mmを超えると、小さな圧力では撓みにくくなり、圧力検出用のダイアフラムとして機能し難くなる。したがって、第一絶縁板2および第二絶縁板2’の厚みは0.01〜5mmの範囲が好ましい。
このような第一絶縁板2および第二絶縁板2’は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム,酸化珪素,酸化マグネシウム,酸化カルシウム等のセラミック原料粉末に適当な有機バインダ,溶剤,可塑剤,分散剤を添加混合して泥漿状となすとともにこれを従来周知のドクタブレード法を採用してシート状に成形することにより複数枚のセラミックグリーンシートを得、しかる後、このセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工,積層加工,切断加工を施すことにより第一絶縁板2および第二絶縁板2’用の生セラミック成形体を得るとともにこの生セラミック成形体を約1600℃の温度で焼成することにより製作される。
また、第一絶縁板2および第二絶縁板2’のそれぞれの下面外周部には高さが0.01〜5mm程度の枠状の突起部2a,2a’が設けられており、これにより底面が平坦な凹部2b,2b’が形成されている。この凹部2b,2b’は、絶縁基体1との間に第一密閉空間および第二密閉空間を形成するためのものであり、この凹部2b,2b’の底面に静電容量形成用の第三電極9および第四電極9’がそれぞれ被着されている。
この第三電極9はおよび第四電極9’は、前述の第一電極7および第二電極7’とともに感圧素子用の静電容量を形成するための電極として機能し、凹部2b,2b’の底面の全面あるいは一部にそれぞれ被着されている。
このような第三電極9および第四電極9’は、タングステンやモリブデン,銅,銀等の金属粉末メタライズから成り、タングステン等の金属粉末に適当な有機バインダ,溶剤,可塑剤,分散剤を添加混合して得たメタライズペーストを従来周知のスクリーン印刷法を採用して第一絶縁板2および第二絶縁板2’用のセラミックグリーンシートに印刷塗布し、これを第一絶縁板2および第二絶縁板2’用の生セラミック成形体とともに焼成することによって第一絶縁板2および第二絶縁板2’の凹部2b,2b’底面の全面あるいは一部にそれぞれ所定のパターンに形成される。なお、第三電極9および第四電極9’の露出表面には、第三電極9および第四電極9’が酸化腐食するのを防止するとともに第三電極9および第四電極9’と導電性接合材との接合を良好とするために、厚みが1〜10μm程度のニッケルめっき層が被着されているのがよい。
また、第一絶縁板2および第二絶縁板2’の突起部2a,2a’の下面には、その全周にわたり枠状の第二接合用メタライズ層8b,8b’が被着されており、この第二接合用メタライズ層8b,8b’と前述の第一接合用メタライズ層8a,8a’がそれぞれ銀−銅ろう材等の導電性接合材を介して接合されている。
また、第一絶縁板2および第二絶縁板2’のそれぞれに形成された突起部2a,2a’の表面または内部には、第二接合用メタライズ層8b,8b’と、第三電極9および第四電極9’とを接続するための接続用メタライズ層10,10’が形成されており、それにより、前述の半導体素子3の電極に電気的に接続された第二接合用メタライズ層8b,8b’を介してそれぞれ接続された第三電極9および第四電極9’が半導体素子3の各電極と電気的に接続されるようになっている。
このとき、第一電極7と第三電極9とは、絶縁基体1と第一絶縁板2との間に形成された第一密閉空間を挟んで対向するとともに、第二電極7’と第四電極9’とは、絶縁基体1と第二絶縁板2’との間に形成された第二密閉空間を挟んで対向しており、これらの間には、第一電極7と第三電極9、および第二電極7’と第四電極9’とのそれぞれの間隔に応じて所定の静電容量が形成される。
そして、第一絶縁板2および第二絶縁板2’のそれぞれの上面に外部の圧力が加わると、その圧力に応じて第一電極7と第三電極9、および第二電極7’と第四電極9’との間隔が変わり、それにより第一電極7と第三電極9、および第二電極7’と第四電極9’との間のそれぞれの静電容量が変化するので、それぞれが外部の圧力の変化を静電容量の変化として感知する感圧素子として機能する。そして、この静電容量の変化を凹部1a内に収容した半導体素子3に第一配線導体5a,5a’および第二配線導体5b,5b’を介して伝達し、これを半導体素子3で演算処理することによって外部の圧力の大きさを知ることができる。
なお、このような第一接合用メタライズ層8a,8a’および第二接合用メタライズ層8b,8b’と接続用メタライズ層10,10’は、タングステンやモリブデン,銅,銀等の金属粉末メタライズから成り、タングステン等の金属粉末に適当な有機バインダ,溶剤,可塑剤,分散剤を添加混合して得たメタライズペーストを従来周知のスクリーン印刷法を採用して、第一絶縁板2および第二絶縁板2’用のセラミックグリーンシートに印刷塗布し、これを第一絶縁板2および第二絶縁板2’の凹部2b,2b’の底面となる部位のそれぞれに形成されて第三電極9および第四電極9’となるパターンとそれぞれ導通させるようにセラミックグリーンシートを積層し、突起部2a,2a’および凹部2b,2bが形成された第一絶縁板2および第二絶縁板2’用のそれぞれの生セラミック成形体とともに焼成することによって所定のパターンに形成される。また、第二接合用メタライズ層8b,8b’および接続用メタライズ層10,10’の露出する表面には、第二接合用メタライズ層8b,8b’および接続用メタライズ層10,10’が酸化腐食するのを防止するとともに、第二接合用メタライズ層8b,8b’と導電性接合材との接合を強固なものとするために、厚みが1〜10μm程度のニッケルめっき層が被着されているのがよい。
このように、本発明の圧力検出装置用パッケージにおいては、一方の主面に半導体素子3が搭載される搭載部1aを有する絶縁基体1と、この絶縁基体1の表面および内部に配設され、半導体素子3の各電極が電気的に接続される複数の配線導体5と、絶縁基体1の他方の主面との間に第一密閉空間および第二密閉空間を形成するようにそれぞれ可撓な状態で絶縁基体1に接合された第一絶縁板2および第二絶縁板2’と、第一密閉空間および前記第二密閉空間内の絶縁基体1の他方の主面にそれぞれ被着され、配線導体5の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極7および第二電極7’と、第一絶縁板2および第二絶縁板2’の内側主面にそれぞれ第一電極7および第二電極7’と対向するように被着され、配線導体5の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第三電極9および第四電極9’とを具備することから、外部圧力に対して第一電極7と第三電極9、および第二電極7’と第四電極9’で形成される静電容量の変化量を合算することで外部の圧力変化による静電容量の変化量を大きくすることができ、その結果、外部圧力の変化を精度良く測定することができる。また、静電容量の変化量を大きくすることができるので第一絶縁板2および第二絶縁板2’の厚みを大幅に薄くする必要はなく、その結果、第一絶縁板2および第二絶縁板2’に一定以上の高い圧力が加わった場合においても、第一絶縁板2および第二絶縁板2’が大きく撓んで割れが発生するのを抑制することができる。
また、第一絶縁板2および第二絶縁板2’とは、内側主面の露出した領域の面積が互いに異なっていることから、外部の圧力が加わった際や振動や衝撃等を受けた際に、加わる外力の大きさが異なって第一絶縁板2および第二絶縁板2’の撓み量が異なることとなり、第一絶縁板2および第二絶縁板2’の耐久性を異ならせることができる。よって、第一絶縁板2および第二絶縁板2’のうち、一方の面積の大きい方が大きく撓んでクラック等が発生したとしても、第一絶縁板2および第二絶縁板2’のうち、他方の面積の小さい方にクラックが発生するのを有効に防止することができ、第一絶縁板2と第二絶縁板2’とが同時に破壊されるのを有効に防止できる。従って、第一絶縁板2と第二絶縁板2’のうち一方の検出部にて異常が発生した時にも、他方の検出部にて、外部の圧力を検出することができるので、誤動作等が発生するのを低減とすることができるとともに、一方の検出部に異常が発生していることを容易に判別することができる。
また、第一電極7および第二電極7’と接続される第一配線導体5a,5a’、第三電極9および第四電極9’と接続される第二配線導体5b,5b’は、半導体素子3に最短の配線長となるように接続されることが好ましい。これにより、不要な静電容量を小さなものとして感圧素子の感度を高めることができる。
また、第三電極9および第四電極9’は、第二配線導体5b,5b’との接続部がそれぞれ半導体素子3の直上に位置しているのがよい。これにより、半導体素子3と第三電極9および第四電極9’とを非常に短い距離で電気的に接続することが可能となり、第二配線導体5b,5b’を引き回すことによって抵抗が大きくなったり、配線導体5間に不要な静電容量を発生させることなく、きわめて良好に圧力検出の信号を半導体素子3に伝えることができる。
さらに、同様の理由で、第一電極7および第二電極7’は、第一配線導体5a,5a’との接続部がそれぞれ半導体素子3の直上に位置しているのがよい。
なお、第一電極7と第二電極9、および第三電極7’と第四電極9’との間隔が1気圧中において0.01mm未満の場合、第一絶縁板2および第二絶縁板2’に大きな圧力が加わった際に、第一絶縁板2および第二絶縁板2’のそれぞれが密閉空間側に撓んで第一電極7と第三電極9、および第二電極7’と第四電極9’とが接触して圧力を検出することが困難になる。また、5mmを超えると、第一電極7と第三電極9、および第二電極7’と第四電極9’との間に形成される静電容量が小さなものとなり、圧力を検出する感度が低いものとなる傾向にある。したがって、第一電極7と第三電極9、および第二電極7’と第四電極9’との間隔は、1気圧中において0.01〜5mmの範囲が好ましい。
かくして、本発明の圧力検出装置用パッケージによれば、搭載部1aに半導体素子3を搭載するとともに半導体素子3の各電極と配線導体5とを電気的に接続し、しかる後、半導体素子3を封止することによって小型でかつ感度の高い圧力検出装置となる。
なお、本発明は、上述の実施の形態の一例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。例えば上述の実施の形態の一例では、第一絶縁板2および第二絶縁板2’のそれぞれの下面外周部に枠状の突起部2a、2a’を設け、この突起部2a,2a’を絶縁基体1に接合することにより第一絶縁板2および第二絶縁板2’と絶縁基体1との間にそれぞれ密閉空間を設けるようにしたが、図2に断面図で示すように、絶縁基体1の第一電極7および第二電極のそれぞれの周囲に突起部1c,1c’を設け、これを第一絶縁板2および第二絶縁板2’の下面と接合することによって絶縁基体1と、第一絶縁板2および第二絶縁板2’との間にそれぞれ密閉空間を設けるようにしてもよい。
また、絶縁基体1の第一電極7および第二電極7’の周囲に、それぞれ例えば鉄−ニッケル−コバルト合金や鉄−ニッケル合金等から成る金属枠体を銀−銅ろう等の導電性接合材を介して接合させておき、この金属枠体上に第一絶縁板2および第二絶縁板2’を銀−銅ろう等の導電性接合材を介して接合させることにより絶縁基体1と、第一絶縁板2および第二絶縁板2’との間にそれぞれ密閉空間を設けるようにしてもよい。
さらに、絶縁基体1と、第一絶縁板2および第二絶縁板2’は同時焼成により焼結一体化することによって接合されていてもよい。その場合、第一接合用メタライズ層8a,8a’および第二接合用メタライズ層8b,8b’は設ける必要はない。
なお、図2で示した実施の形態の例においては、図1で示した実施の形態の例と実質的に共通の部分については図1で用いた符号を用い、その説明を省略する。
また、二つの密閉空間を設けてそれぞれが感圧素子として機能しているが、3つ以上の複数の密閉空間を設けて複数の感圧素子が機能するようにしてもよい。
1・・・・・絶縁基体
2・・・・・第一絶縁板
2’・・・・第二絶縁板
3・・・・・半導体素子
5・・・・・配線導体
7・・・・・第一電極
7’・・・・第二電極
9・・・・・第三電極
9’・・・・第四電極
2・・・・・第一絶縁板
2’・・・・第二絶縁板
3・・・・・半導体素子
5・・・・・配線導体
7・・・・・第一電極
7’・・・・第二電極
9・・・・・第三電極
9’・・・・第四電極
Claims (2)
- 一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、該絶縁基体の表面および内部に配設され、前記半導体素子の各電極が電気的に接続される複数の配線導体と、前記絶縁基体の他方の主面との間に第一密閉空間および第二密閉空間を形成するようにそれぞれ可撓な状態で前記絶縁基体に接合された第一絶縁板および第二絶縁板と、前記第一密閉空間および前記第二密閉空間内の前記絶縁基体の前記他方の主面にそれぞれ被着され、前記配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極および第二電極と、前記第一絶縁板および前記第二絶縁板の内側主面にそれぞれ前記第一電極および前記第二電極と対向するように被着され、前記配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第三電極および第四電極とを具備しており、前記第一絶縁板および前記第二絶縁板は、それぞれの前記内側主面の露出した領域の面積が互いに異なることを特徴とする圧力検出装置用パッケージ。
- 前記第三電極および第四電極は、前記配線導体の他の一つとの接続部がそれぞれ前記半導体素子の直上に位置していることを特徴とする請求項1記載の圧力検出装置用パッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003427993A JP2005188989A (ja) | 2003-12-24 | 2003-12-24 | 圧力検出装置用パッケージ |
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ID=34787110
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Citations (5)
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-
2003
- 2003-12-24 JP JP2003427993A patent/JP2005188989A/ja active Pending
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