JP3955067B2 - 圧力検出装置用パッケージおよび圧力検出装置 - Google Patents
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2・・・・・ダイアフラム
3・・・・・半導体素子
5,5a,5b・・・・・配線導体
7・・・・・第一電極
9・・・・・第二電極
Claims (5)
- 半導体素子が搭載される一方の面と、第一電極が形成されているとともに前記第一電極を囲む枠状の突起部が設けられた他方の面とを有するセラミックス製絶縁基体と、
前記絶縁基体の前記突起部の全周にわたって形成された枠状の接合用メタライズ層と、
前記第一電極に対向する第二電極が形成された表面を有しており、前記絶縁基体に対向して配置されたセラミックス製ダイアフラムとを備えており、
前記第二電極は、金属粉末を含むメタライズペーストをダイアフラム用の生セラミック成形体とともに焼成することにより前記ダイアフラムの表面に形成されており、導電性接合材を介して前記接合用メタライズ層に接合されているとともに、
該第二電極は、枠状の前記接合用メタライズ層の全周にわたって、前記ダイアフラムと前記接合用メタライズ層との間に設けられていることを特徴とする圧力検出装置用パッケージ。 - 前記絶縁基体は、前記半導体素子が収容される凹部が設けられた前記一方の面を有していることを特徴とする請求項1記載の圧力検出装置用パッケージ。
- 前記導電性接合材が銀−銅ろう材であることを特徴とする請求項1記載の圧力検出装置用パッケージ。
- 請求項1〜3のいずれかに記載された圧力検出装置用パッケージと、
前記圧力検出装置用パッケージの前記絶縁基体の前記一方の面に搭載されており、前記第一電極および前記第二電極間の静電容量に応じて前記ダイアフラムに加わる圧力を検出する半導体素子と、
を備えた圧力検出装置。 - 請求項2に記載された圧力検出装置用パッケージと、
前記圧力検出装置用パッケージの前記絶縁基体の前記凹部に収容されており、前記第一電極および前記第二電極間の静電容量に応じて前記ダイアフラムに加わる圧力を検出する半導体素子と、
前記前記圧力検出装置用パッケージの前記絶縁基体の前記凹部に充填されており、前記半導体素子を封止する樹脂製封止材と、
を備えた圧力検出装置。
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