JP4863569B2 - 圧力検出装置用パッケージ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力を検出するための圧力検出装置に使用される圧力検出装置用パッケージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、圧力を検出するための圧力検出装置として静電容量型の圧力検出装置が知られている。この静電容量型の圧力検出装置は、例えば図3に断面図で示すように、セラミックス材料や樹脂材料から成る配線基板21上に、静電容量型の感圧素子22と、パッケージ28に収容された演算用の半導体素子29とを備えている。感圧素子22は、例えばセラミックス材料等の電気絶縁材料から成り、上面中央部に静電容量形成用の一方の電極23が被着された凹部を有する絶縁基体24と、この絶縁基体24の上面に絶縁基体24との間に密閉空間を形成するようにして可撓な状態で接合され、下面に静電容量形成用の他方の電極25が被着された絶縁板26と、各静電容量形成用の電極23・25をそれぞれ外部に電気的に接続するための外部リード端子27とから構成されており、外部の圧力に応じて絶縁板26が撓むことにより各静電容量形成用の電極23・25間に形成される静電容量が変化する。そして、この静電容量の変化を演算用の半導体素子29により演算処理することにより外部の圧力を検出することができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この従来の圧力検出装置によると、感圧素子22と半導体素子29とを配線基板21上に個別に実装していることから、圧力検出装置が大型化してしまうとともに圧力検出用の電極23・25と半導体素子29との間の配線が長いものとなり、この長い配線間に不要な静電容量が形成されるため感度が低いという問題点を有していた。
【0004】
そこで、本願出願人は、先に特願2000-178618において、一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、この絶縁基体の表面および内部に配設され、半導体素子の各電極が電気的に接続される複数の配線導体と、絶縁基体の他方の主面の中央部に被着され、配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極と、絶縁基体の他方の主面に、この主面の中央部との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で接合された絶縁板と、この絶縁板の内側主面に第一電極に対向して被着され、配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極とを具備する圧力検出装置用パッケージを提案した。この圧力検出装置用パッケージによると、一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体の他方の主面に静電容量形成用の第一電極を設けるとともに、この第一電極に対向する静電容量形成用の第二電極を内側面に有する絶縁板を、絶縁基体の他方の主面との間に密閉空間を形成するようにして可撓な状態で接合させたことから、半導体素子を収容するパッケージに感圧素子が一体に形成され、その結果、圧力検出装置を小型とすることができるとともに圧力検出用の電極と半導体素子とを接続する配線を短いものとして、これらの配線間に発生する不要な静電容量を小さなものとすることができる。
【0005】
なお、この特願2000-178618で提案した圧力検出装置用パッケージにおいては、第一電極および第二電極は、それぞれ絶縁基体の他方の主面および絶縁板の内側主面が密閉空間内に露出する領域の略全面にわたって被着形成されていた。
【0006】
しかしながら、特願2000-178618で提案した圧力検出装置用パッケージによると、第一電極および第二電極が、それぞれ絶縁基体の他方の主面および絶縁板の内側主面が密閉空間内に露出する領域の略全面にわたって被着形成されていることから、第一電極と第二電極との間に形成される静電容量は大きくなるものの、このパッケージに圧力が印加された場合に絶縁板の密閉空間に対応する領域の中央部は大きく変位するものの外周部の変位は極めて小さいので、第一電極および第二電極の外周部は静電容量の変化にはあまり寄与することが無く、むしろ第一電極と第二電極との間の静電容量の変化率が小さなものとなり、圧力の検出感度が低下してしまうという問題点を有していた。
【0007】
本発明は、かかる上述の問題点に鑑み完成されたものであり、その目的は、小型でかつ感度が高く、外部の圧力を正確に検出することが可能な圧力検出装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の圧力検出装置用パッケージは、一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、該絶縁基体の表面および内部に配設され、前記半導体素子の各電極が電気的に接続される複数の配線導体と、前記絶縁基体の他方の主面との間に略円板形状の密閉空間を形成するように可撓な状態で前記絶縁基体に接合された絶縁板と、前記密閉空間内の前記他方の主面に被着され、前記配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極と、前記絶縁板の内側主面に前記第一電極と対向するように被着され、前記配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極とを具備する圧力検出装置用パッケージであって、前記第一電極および前記第二電極は、それぞれ前記他方の主面および前記内側主面が前記密閉空間内に露出する領域の中心部に該領域の直径に対して50〜80%の直径を有する略円形の形状に被着形成されており、前記絶縁基体の下面中央部に前記半導体素子を収容するための凹部が形成されているとともに前記凹部の底面中央部が前記搭載部とされており、前記第一電極は前記凹部の壁部よりも内側に位置し、前記配線導体のうち前記絶縁基体の下面の前記凹部よりも外周側の領域に導出した部位を外部電気回路基板の配線導体に接合するようにしたことを特徴とするものである。
【0009】
本発明の圧力検出装置用パッケージによれば、第一電極および第二電極は、それぞれ絶縁基体の他方の主面および絶縁板の内側主面が密閉空間内に露出する領域の中心部に、その領域の直径に対して50〜80%の直径を有する略円形の形状に被着形成されていることから、第一電極および第二電極の外周部に静電容量の変化にあまり寄与することのない余計な静電容量が形成されることはない。
【0010】
【発明の実施の形態】
次に、本発明を添付の図面を基に詳細に説明する。図1は、本発明の圧力検出装置用パッケージの実施の形態の一例を示す断面図であり、図中、1は絶縁基体、2は絶縁板、3は半導体素子である。
【0011】
絶縁基体1は、下面中央部に半導体素子3を収容するための凹部1aを有するとともに上面中央部に後述する絶縁板2との間に略円板状の密閉空間を形成するための略円形の凹部1cを有する酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体・ムライト質焼結体・ガラス−セラミックス等のセラミックス材料から成る積層体であり、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム・酸化珪素・酸化マグネシウム・酸化カルシウム等のセラミック原料粉末に適当な有機バインダ・溶剤・可塑剤・分散剤を添加混合して泥漿状となすとともにこれを従来周知のドクタブレード法を採用してシート状に成形することにより複数枚のセラミックグリーンシートを得、しかる後、これらのセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工・積層加工・切断加工を施すことにより絶縁基体1用の生セラミック成形体を得るとともにこの生セラミック成形体を後述する絶縁板2用のセラミックグリーンシートとともに約1600℃の温度で焼成することにより製作される。
【0012】
絶縁基体1は、その下面中央部に形成された凹部1aの底面中央部が半導体素子3が搭載される搭載部1bとなっており、この搭載部1bに半導体素子3を搭載するとともに凹部1a内に例えばエポキシ樹脂等の樹脂製封止材4を充填することにより半導体素子3が封止される。なお、この例では半導体素子3は樹脂製封止材4を凹部1a内に充填することにより封止されるが、半導体素子3は絶縁基体1の下面に金属やセラミックスから成る蓋体を凹部1aを塞ぐように接合させることにより封止されてもよい。
【0013】
また、搭載部1bには半導体素子3の各電極に接続される複数の配線導体5が導出しており、この配線導体5と半導体素子3の各電極を半田バンプ6等の導電性材料から成る導電性接合材を介して接合することにより半導体素子3の各電極と各メタライズ配線導体5とが電気的に接続されるとともに半導体素子3が搭載部1bに固定される。なお、この例では、半導体素子3の電極と配線導体5とは半田バンプ6を介して接続されるが、半導体素子3の電極と配線導体5とはボンディングワイヤ等の他の種類の電気的接続手段により接続されてもよい。
【0014】
配線導体5は、半導体素子3の各電極を外部電気回路および後述する第一電極7・第二電極8に電気的に接続するための導電路として機能し、その一部は絶縁基体1の外周下面に導出し、別の一部は第一電極7・第二電極8に電気的に接続されている。そして、半導体素子3の各電極をこれらの配線導体5に導電性接合材を介して電気的に接続するとともに半導体素子3を樹脂製封止材4で封止した後、配線導体5の絶縁基体1外周下面に導出した部位を外部電気回路基板の配線導体に半田等の導電性接合材を介して接合することにより、内部に収容する半導体素子3が外部電気回路に電気的に接続されることとなる。
【0015】
このような配線導体5は、タングステンやモリブデン・銅・銀等の金属粉末メタライズから成り、タングステン等の金属粉末に適当な有機バインダ・溶剤・可塑剤・分散剤等を添加混合して得たメタライズペーストを従来周知のスクリーン印刷法を採用して絶縁基体1用のセラミックグリーンシートに所定のパターンに印刷塗布し、これを絶縁基体1用の生セラミック成形体とともに焼成することによって絶縁基体1の内部および表面に所定のパターンに形成される。なお、配線導体5の露出表面には、配線導体5が酸化腐食するのを防止するとともに配線導体5と半田等の導電性接合材との接合を良好なものとするために、通常であれば、厚みが1〜10μm程度のニッケルめっき層と厚みが0.1〜3μm程度の金めっき層とが順次被着されている。
【0016】
また、絶縁基体1の上面中央部に形成された凹部1c底面には静電容量形成用の第一電極7が被着されている。この第一電極7は、後述する絶縁板2の第二電極8とともに感圧素子用の静電容量を形成するためのものである。そして、この第一電極7には配線導体5の一つ5aが接続されており、それによりこの配線導体5aに半導体素子3の電極を半田バンプ6等の導電性接合材を介して接続すると半導体素子3の電極と第一電極7とが電気的に接続されるようになっている。
【0017】
このような第一電極7は、タングステンやモリブデン・銅・銀等の金属粉末メタライズから成り、タングステン等の金属粉末に適当な有機バインダ・溶剤・可塑剤・分散剤を添加混合して得たメタライズペーストを従来周知のスクリーン印刷法を採用して絶縁基体1用のセラミックグリーンシートに印刷塗布し、これを絶縁基体1用の生セラミック成形体とともに焼成することによって絶縁基体1の上面中央部に所定のパターンに形成される。
【0018】
また、絶縁基体1の上面には凹部1cを覆う略平板状の絶縁板2が絶縁基体1の上面との間に略円板状の密閉空間を形成するようにして可撓な状態で絶縁基体1に焼結一体化されて接合されている。絶縁板2は、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体・ムライト質焼結体・ガラス−セラミックス等のセラミックス材料から成る厚みが0.01〜5mmの略四角または略八角あるいは円形等の平板であり、外部の圧力に応じて絶縁基体1側に撓むいわゆる圧力検出用のダイアフラムとして機能する。
【0019】
このような絶縁板2は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム・酸化珪素・酸化マグネシウム・酸化カルシウム等のセラミック原料粉末に適当な有機バインダ・溶剤・可塑剤・分散剤を添加混合して泥漿状となすとともにこれを従来周知のドクタブレード法を採用してシート状に成形することにより絶縁板2用のセラミックグリーンシートを得、しかる後、このセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工や切断加工を施すとともに絶縁基体1用の生セラミック成形体上に積層し、これを絶縁基体1用の生セラミック成形体とともに約1600℃の温度で焼成し、絶縁基体1と焼結一体化することにより製作される。
【0020】
なお、絶縁板2は、その厚みが0.01mm未満では、その機械的強度が小さいものとなってしまうため、これに大きな外部圧力が印加された場合に破壊されてしまう危険性が大きなものとなり、他方、5mmを超えると、小さな圧力では撓みにくくなり、圧力検出用のダイアフラムとしては不適となってしまう。したがって、絶縁板2の厚みは0.01〜5mmの範囲が好ましい。
【0021】
また、絶縁板2の下面には静電容量形成用の略円形の第二電極8が第一電極7と対向するようにして被着されている。この第二電極8は、前述の第一電極7とともに感圧素子用の静電容量を形成するための電極として機能する。そして、第二電極8には配線導体5の他の一つ5bが接続されており、それにより配線導体5bに半導体素子3の電極を半田バンプ6等の導電性接合材を介して接続すると半導体素子3の電極と第二電極8とが電気的に接続されるようになっている。
【0022】
このとき、第一電極7と第二電極8とは、絶縁基体1と絶縁板2との間に形成された密閉空間を挟んで対向しており、これらの間には、第一電極7や第二電極8の面積および第一電極7と第二電極8との間隔に応じて所定の静電容量が形成される。そして、絶縁板2の上面に外部の圧力が印加されると、その圧力に応じて絶縁板2が絶縁基体1側に撓んで第一電極7と第二電極8との間隔が変わり、それにより第一電極7と第二電極8との間の静電容量が変化するので、外部の圧力の変化を静電容量の変化として感知する感圧素子として機能する。そして、この静電容量の変化を凹部1a内に収容した半導体素子3に配線導体5a・5bを介して伝達し、これを半導体素子3で演算処理することによって外部の圧力の大きさを知ることができる。
【0023】
なお、第二電極8は、タングステンやモリブデン・銅・銀等の金属粉末メタライズから成り、タングステン等の金属粉末に適当な有機バインダ・溶剤・可塑剤・分散剤を添加混合して得たメタライズペーストを従来周知のスクリーン印刷法を採用して絶縁板2用のセラミックグリーンシートに印刷塗布し、これを絶縁板2用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって絶縁板2の下面に第一電極7と対向する所定の形状に形成される。
【0024】
そして、本発明においては、第一電極7および第二電極8は、図2(a)・(b)に平面図で示すように、それぞれ絶縁基体1の他方の主面および絶縁板2の内側主面が密閉空間内に露出する領域の中心部に、その領域の直径に対して50〜80%の直径を有する略円形の形状に被着形成されており、そのことが重要である。このように、第一電極7および第二電極8がそれぞれ絶縁基体1の他方の主面および絶縁板2の内側主面が密閉空間内に露出する領域の中心部に、その領域の直径に対して50〜80%の直径を有する略円形の形状に被着形成されていることから、パッケージに圧力が印加された場合に、絶縁板2の変位が大きな中心部領域に対応して第一電極7および第二電極8が配設されることとなり、第一電極7の外周部と第二電極8の外周部との間に静電容量の変化にあまり寄与しない余計な静電容量が形成されることはない。したがって、本発明の圧力検出装置用パッケージによれば、第一電極7と第二電極8との間に形成される静電容量の変化率が高い、小型、高感度で外部の圧力を正確に検出することができる圧力検出装置を提供することができる。
【0025】
なお、第一電極7および第二電極8の直径が、それぞれ絶縁基体1の他方の主面および絶縁板2の内側主面が密閉空間内に露出する領域の直径の50%未満であると、第一電極7と第二電極8との間に形成される静電容量が小さなものとなってしまい圧力を良好に検出することが困難となり、他方、80%を超えると、第一電極7と第二電極8との間に静電容量の変化にあまり寄与しない余計な静電容量が形成されてしまい静電容量の変化率が低下するので圧力検出感度が低くなってしまう。したがって、第一電極7および第二電極8の直径は、それぞれ絶縁基体1の他方の主面および絶縁板2の内側主面が密閉空間内に露出する領域の直径の50〜80%の範囲に特定される。
【0026】
このように、本発明の圧力検出装置用パッケージによれば、一方の主面に半導体素子3が搭載される絶縁基体1の他方の主面に静電容量形成用の第一電極7を設けるとともに、この第一電極7に対向する静電容量形成用の第二電極8を内側面に有する絶縁板2を絶縁基体1の他方の主面との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で絶縁基体1に接合させたことから、半導体素子3を収容する容器と感圧素子とが一体となり、その結果、圧力検出装置を小型化することができる。また、静電容量形成用の第一電極7および第二電極8を、絶縁基体1に設けた配線導体5a・5bを介して半導体素子3に接続することから、第一電極7および第二電極8を短い距離で半導体素子3に接続することができ、その結果、これらの配線導体5a・5b間に発生する不要な静電容量を小さなものとして感度の高い圧力検出装置を提供することができる。
【0027】
かくして、上述の圧力検出装置用パッケージによれば、搭載部1bに半導体素子3を搭載するとともに半導体素子3の各電極と配線導体5とを電気的に接続し、しかる後、半導体素子3を封止することによって小型でかつ感度が高く、外部の圧力を正確に検出することが可能な圧力検出装置となる。
【0028】
なお、本発明は、上述の実施の形態の一例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能であり、例えば上述の実施の形態の一例では、絶縁基体1と絶縁板2とを焼結一体化させることにより接合したが、絶縁基体1と絶縁板2とはろう付けにより接合してもよい。
【0029】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明の圧力検出装置用パッケージによれば、一方の主面に半導体素子が搭載される絶縁基体の他方の主面に静電容量形成用の第一電極を設けるとともに、この第一電極に対向する静電容量形成用の第二電極を有す絶縁板を絶縁基体の他方の主面との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で焼結一体化させて接合したことから、半導体素子を収容する容器と感圧素子とが一体となり、その結果、圧力検出装置を小型とすることができるとともに圧力検出用の電極と半導体素子とを接続する配線を短いものとして、これらの配線間に発生する不要な静電容量を小さなものとすることができる。さらに、第一電極および第二電極は、それぞれ絶縁基体の他方の主面および絶縁板の内側主面が密閉空間内に露出する領域の中心部に、その領域の直径に対して50〜80%の直径を有する略円形の形状に被着形成されていることから、第一電極および第二電極の外周部に静電容量の変化にあまり寄与することのない余計な静電容量が形成されることはなく、したがって第一電極と第二電極との間に形成される静電容量の変化率が高いものとなり、その結果、外部の圧力を正確かつ感度良く検出することが可能な圧力検出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の圧力検出装置用パッケージの実施の形態の一例を示す断面図である。
【図2】(a)・(b)はそれぞれ、図1に示す圧力検出装置用パッケージの第一電極7および第二電極8を示す平面図である。
【図3】従来の圧力検出装置を示す断面図である。
【符号の説明】
1・・・・・絶縁基体
2・・・・・絶縁板
3・・・・・半導体素子
7・・・・・第一電極
8・・・・・第二電極
Claims (1)
- 一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、該絶縁基体の表面および内部に配設され、前記半導体素子の各電極が電気的に接続される複数の配線導体と、前記絶縁基体の他方の主面との間に略円板形状の密閉空間を形成するように可撓な状態で前記絶縁基体に接合された絶縁板と、前記密閉空間内の前記他方の主面に被着され、前記配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極と、前記絶縁板の内側主面に前記第一電極と対向するように被着され、前記配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極とを具備する圧力検出装置用パッケージであって、前記第一電極および前記第二電極は、それぞれ前記他方の主面および前記内側主面が前記密閉空間内に露出する領域の中心部に該領域の直径に対して50〜80%の直径を有する略円形の形状に被着形成されており、前記絶縁基体の下面中央部に前記半導体素子を収容するための凹部が形成されているとともに前記凹部の底面中央部が前記搭載部とされており、前記第一電極は前記凹部の壁部よりも内側に位置し、前記配線導体のうち前記絶縁基体の下面の前記凹部よりも外周側の領域に導出した部位を外部電気回路基板の配線導体に接合するようにしたことを特徴とする圧力検出装置用パッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001129805A JP4863569B2 (ja) | 2001-04-26 | 2001-04-26 | 圧力検出装置用パッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001129805A JP4863569B2 (ja) | 2001-04-26 | 2001-04-26 | 圧力検出装置用パッケージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002323391A JP2002323391A (ja) | 2002-11-08 |
JP4863569B2 true JP4863569B2 (ja) | 2012-01-25 |
Family
ID=18978283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001129805A Expired - Fee Related JP4863569B2 (ja) | 2001-04-26 | 2001-04-26 | 圧力検出装置用パッケージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4863569B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5247605B2 (ja) * | 2009-06-23 | 2013-07-24 | 京セラ株式会社 | 圧力検出装置用基体および圧力検出装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0746069B2 (ja) * | 1987-07-10 | 1995-05-17 | 松下電器産業株式会社 | 静電溶量型圧力センサ |
JP2772111B2 (ja) * | 1990-04-27 | 1998-07-02 | 豊田工機株式会社 | 容量型圧力センサ |
JP2815279B2 (ja) * | 1993-03-30 | 1998-10-27 | 本田技研工業株式会社 | 圧力センサー |
JP3719834B2 (ja) * | 1996-11-29 | 2005-11-24 | 京セラ株式会社 | 低温焼成セラミックス |
JPH10300614A (ja) * | 1997-04-28 | 1998-11-13 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
JP2000260907A (ja) * | 1999-03-08 | 2000-09-22 | Hitachi Ltd | 電子装置 |
-
2001
- 2001-04-26 JP JP2001129805A patent/JP4863569B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002323391A (ja) | 2002-11-08 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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