JPH0466550U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0466550U JPH0466550U JP10934290U JP10934290U JPH0466550U JP H0466550 U JPH0466550 U JP H0466550U JP 10934290 U JP10934290 U JP 10934290U JP 10934290 U JP10934290 U JP 10934290U JP H0466550 U JPH0466550 U JP H0466550U
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- JP
- Japan
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- substrate
- recess
- chamber
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- communicating
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- Pending
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 2
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図、第３図は第１図の動作説明図、第４図は
従来より一般に使用されている従来例の構成説明
図、第５図は第４図の要部構成説明図、第６図は
第４図の部品説明図である。 ２１……シリコンチツプ、２２……ダイアフラ
ム、２３……第１の凹部、２４……第２の凹部、
２５……圧力センサ、２６……第１基板、２７…
…第１室、２８……第１連通孔、２９……第２基
板、３１……第２室、３２……第２連通孔。
第２図、第３図は第１図の動作説明図、第４図は
従来より一般に使用されている従来例の構成説明
図、第５図は第４図の要部構成説明図、第６図は
第４図の部品説明図である。 ２１……シリコンチツプ、２２……ダイアフラ
ム、２３……第１の凹部、２４……第２の凹部、
２５……圧力センサ、２６……第１基板、２７…
…第１室、２８……第１連通孔、２９……第２基
板、３１……第２室、３２……第２連通孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 シリコンチツプと、 該シリコンチツプに対向して設けられた第１、
第２の凹部により形成されるダイアフラムと、 該ダイアフラムに半導体プロセスにより作り込
まれた圧力センサと、 前記第１の凹部と第１室を構成しガラス材より
なる第１基板と、 該第１基板に設けられ第１室と外部とを連通す
る第１連通孔と、 前記第２の凹部と第２室を構成しガラス材より
なる第２基板と、 該第２基板に設けられ第２室と外部とを連通す
る第２連通孔と を具備してなるシリコンマイクロ封止弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10934290U JPH0466550U (ja) | 1990-10-18 | 1990-10-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10934290U JPH0466550U (ja) | 1990-10-18 | 1990-10-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0466550U true JPH0466550U (ja) | 1992-06-11 |
Family
ID=31856530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10934290U Pending JPH0466550U (ja) | 1990-10-18 | 1990-10-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0466550U (ja) |
-
1990
- 1990-10-18 JP JP10934290U patent/JPH0466550U/ja active Pending