JPS6411716B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、化学銅めつき液に蓄積する化学銅め
つき反応妨害成分のみを選択的に除去する化学銅
めつき液の再生法に関するものである。

化学銅めつき液が劣化する要因は、めつきを連
続的に行なうために銅イオン、水酸イオン、還元
剤等をめつき液に連続的に補給することによつ
て、銅イオンの対陰イオン、アルカリ金属イオ
ン、還元剤の酸化反応生成物イオン等がめつき液
中に蓄積することであつた。これらの蓄積したイ
オンは化学銅めつき反応を妨害するので、これら
イオンを化学銅めつき液より除去すれば化学銅め
つき液の再生が可能となり資源の有効活用の見地
からも極めて有利である。

しかしながら、従来のめつき液の必須成分であ
るキレート化された銅イオン、キレート剤、水酸
イオンを含む化学銅めつき液から上記のようなめ
つき反応妨害イオンのみを選択的に分離すること
は困難とされ、劣化した化学銅めつき液に適宜キ
レート剤の回収、銅の分離回収等の処理を施した
後廃棄されていたものである。

本発明の目的は、上記したように従来は、再生
することなく廃棄されていた化学銅めつき液を再
生して、化学銅めつき液の寿命を半永久的なもの
とし、めつき皮膜の機械的性質を安定化するとと
もに、めつき液の廃棄処理を不要とする画期的な
選択的脱イオン方法および装置を提供し、化学銅
めつき液の再生、めつき皮膜特性の安定化を可能
ならしめることにある。

本発明は、化学銅めつき液の必須成分であり、
かつ、系外に排出が望ましくない成分のもつイオ
ン電荷と化学銅めつき液中に蓄積するめつき反応
妨害イオンの電荷を、化学銅めつき液および化学
銅めつき液に補給する化合物の構成を適宜選択す
ることによつて異なるようにし、特に反応妨害イ
オンまたはこれにおき換えたイオンの電荷を１価
として、これを陽イオン交換膜と１価イオン選択
透過性陰イオン交換膜を具備する電気透析槽の脱
塩室に供給することによつて、化学銅めつき液か
ら該反応妨害イオンのみを選択的に除去し、あわ
せて銅イオンの系外への排出を極微量に抑制する
ものである。このような本発明によれば、該反応
妨害イオンは極めて高い選択性をもつて化学銅め
つき液から脱イオンされ、従来工業的な実施が困
難であつた化学銅めつき液の再生を実現すること
ができ、廃液処理を不要とする所謂クローズドシ
ステムを構成することが可能となるものである。

本発明による化学銅めつき液からめつき反応妨
害イオンのみを選択的に脱イオンする方法の詳細
を以下に述べる。

化学銅めつき液に蓄積するめつき反応妨害イオ
ンは、少ない場合でも上記したように、補給する
銅イオンの対陰イオン、還元剤の酸化反応生成イ
オン、アルカリ金属イオンである。これらのイオ
ンの種類、電荷は化学銅めつき液へ補給する化合
物を選択することによつて変えることのできるも
のである。

本発明の原理から、これらの妨害イオンが１価
のイオンとなるように該化合物を選択することが
望ましいが、たとえ該化合物によるものが１価イ
オンでなくても、別途１価イオンに置き換えれば
あるいは１価イオンに変える処理を施せば本発明
の効果が失なわれることはない。例えば、CO₃ ^2-
イオンにはより強い酸を加える。

以上の観点から、化学銅めつき液および銅イオ
ン補給液に使用する銅化合物としては銅イオンの
対陰イオンが１価であり、めつき反応に著しい悪
影響を与えないぎ酸銅、酢酸銅、過塩素酸銅、水
酸化銅などの銅化合物が全て使用できる。

銅イオンの還元剤としては、還元剤の酸化反応
で生成するイオンが１価のぎ酸イオンであるホル
ムアルデヒドが好ましいが、本発明はこれに限定
されるものではない。

化学銅めつき液のPH調整剤に使用するアルカリ
金属水酸化物としては、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、水酸化リチウムなどが好ましい。

なお、本発明の本質に係わるものではないが、
通常化学銅めつき液に微量に加える添加剤の類を
含む化学銅めつき液の再生に本発明が有効である
ことは明らかである。

以下に、第１図のフローシートを参照して、上
記したような反応妨害イオンを有する化学銅めつ
き液を再生する本発明を一例につき説明する。

第１図において、１は電気透析槽、２は化学銅
めつき槽、３は濃縮液槽、４は極液槽である。
５，６，７はそれぞれ該反応妨害イオンが１価イ
オンとなるような化合物を化学銅めつき液槽２に
補給する銅イオン補給槽、還元剤補給槽、PH調整
剤補給槽である。

電気透析槽１は陽イオン交換膜１１、陰イオン
交換膜１２を交互に配設することにより、陽極室
１０、濃縮室９，９………、脱塩室８，８……
…、陰極室１０′に区画されている。

キレート化された銅イオン、銅イオンの還元剤
キレート剤、アルカリ金属の水酸化物等の必須成
分と、めつき反応妨害イオンとを含む化学銅めつ
き液は、化学銅めつき槽２から電気透析槽１の脱
塩室８，８………に供給され、電気透析される。
この場合、透析されるのが望ましくない必須成分
が陰イオンのみであるならば、陰イオン交換膜１
２，１２………にのみ１価イオン選択透過性陰イ
オン交換膜を使用すれば、本発明の目的を達成す
ることができるが、必須成分が陽、陰両イオンに
わたる場合には陽、陰両イオン交換膜が共に１価
イオン選択透過性イオン交換膜であることが必要
となる。

脱塩室８で透析された化学銅めつき液は還流し
て化学銅めつき槽２へ戻され、濃縮室９へ排出さ
れた該反応妨害イオンは濃縮液槽３へ還流され
る。

上記の再生装置に使用するイオン交換膜は、１
価イオン選択透過性の有無に係わりなく市販品を
容易に入手できるものであり、化学銅めつき液の
再生に適したイオン交換膜は、めつき液がアルカ
リ性であることから耐アルカリ性に優れた膜であ
ることが好ましい。

次に、本発明を一層よく理解できるように、比
較例および実施例につき述べる。

以下の比較例および実施例におけるめつき操作
および試験方法、分析方法は共通して下記の通り
とした。

化学銅めつきは、ステンレススチール板上にめ
つきした。すなわち、普通よく用いられるピロリ
ん酸銅めつき液を用いてステンレススチール板上
に瞬間的に電気めつきして化学銅めつき核を形成
した後、化学銅めつき液１当り1dm²のめつき
面積で、温度を70℃として化学銅めつきを行つ
た。約30μの厚さに化学銅めつきをした後、めつ
き皮膜を剥離して、１cm×10cmの大きさに切り、
引張り試験の試料とし、めつき皮膜の機械的性質
を測定した。

化学銅めつき液の主成分の濃度は、めつき中自
動的に濃度を検出して自動的に不足分を補給する
自動管理装置を用いて一定濃度に管理した。

めつき液の安定性については、めつき面が茶褐
色を呈することを肉眼的に観察するか、パイレツ
クス製のめつき槽壁に多量の銅が析出した時点で
めつき液分解と判定した。

化学銅めつき中の反応妨害イオンの濃度はイオ
ン電極、液体クロマトグラフ分光光度計、原子吸
光法を併用して分析した。

比較例 １ 本比較例に用いた化学銅めつき液等の組成は次
の通りである。

イ） 化学銅めつき液 CuSO₄・5H₂O 13ｇ EDTA2Na 40ｇ 37％ホルマリン ５ml αα′ジピリジル 20mg エトキシ界面活性剤 100mg K₂S 0.01mg NaOH PHを12.3とする量 水 １とする量 ロ） 銅イオンの補給液 CuSO₄・5H₂O 200ｇ 水 １とする量 ハ） ホルムアルデヒドの補給液 37％ホルマリン 300ml 水 １とする量 ニ） PHの調整液 NaOH 200ｇ 水 １とする量 上記の化学銅めつき液および補給液等の組成か
ら、めつき反応の進行によつて蓄積するイオンは
Na⁺、SO₄ ^2-、HCOO^-である本例では、めつき
液が空気中よりの炭酸ガスを吸収してCO₃ ^2-をも
蓄積した。

約30μの厚さにめつきすることをめつき１回と
して、同一のめつき液でめつきをくり返した場合
のめつき皮膜の機械的性質、めつき液の安定性
と、めつき各回終了時の反応妨害イオンの蓄積の
関係は第２図の表に示すようなものであつた。

第２図の表に明らかなように、本比較例におい
ては、上記４成分の蓄積によつてめつき皮膜の機
械的性質、めつき液の安定性が劣化し、めつき５
回目に至つてめつき液が分解した。

本比較例が示すように、化学銅めつき液は、成
分濃度を自動管理した場合にも劣化、分解を防ぐ
ことができず、分解しためつき液を廃棄しなけれ
ばならなかつた。高濃度のキレート化された銅イ
オンの処理も必要であつた。

比較例 ２ 比較例１と同じめつき液、補給液、調整液を用
いて、初回はめつき４回終了後に、その後はめつ
き３回終了後ごとに電気透析してめつき液を再生
した。再生に用いた装置は、イオン交換膜がいず
れも１価イオン選択透過性をもたない点を除いて
第１図のフローシートに示したものと同一であ
る。電気透析槽には、脱塩室９室と濃縮室１０室
とを交互に配置した複数組型電気透析槽（旭ガラ
ス(株)製DU―Ob型電気透析槽）を使用した。イオ
ン交換膜は、CMV、AMV（旭ガラス(株)製、強酸
性陽イオン交換膜、強塩基性陰イオン交換膜）を
使用した。これらのイオン交換膜はいずれも１価
イオン選択透過性をもたないものである。電気透
析には化学銅めつき液、濃縮液、極液のそれぞれ
の脱塩室、濃縮室、極室への入口圧が0.1気圧
（ゲージ圧）となるように流量を調整し、有効膜
面積2.09dm²に対し電流密度4A／ｄm²で２〜３時
間脱イオンを行つた。

濃縮液、極液としてはそれぞれ次のような組成
のものを用いた。

イ） 濃縮液 HCOONa 34ｇ 水 １とする量 ロ） 極液 HCOONa 68ｇ 水 １とする量 上記の装置によつて、めつき回数４、７、10、
13………の各回終了後に、化学銅めつき液を再生
したが、この比較例においてもめつき液への炭酸
ガスの吸収があり、SO₄ ^2-、HCOO^-、Na⁺、
CO₃ ^2-イオンの蓄積によつて、第３図の表に示す
ように、めつき回数が増すにつれて、めつき皮膜
の機械的性質が劣化するが、電気透析を行うと上
記蓄積イオンを除去できることがわかつた。蓄積
イオンの除去によつて除去後のめつき回数５、
８、11、14………の各回ではめつき皮膜の機械的
性質も回復することがわかつた。

以上のように化学銅めつき液の再生には電気透
析によるめつき反応妨害イオンの脱イオンが有効
である。しかし、この電気透析によれば、
HCOO^-10を基準とした選択透過係数は、SO₄ ^2-
1.1、CO₂ ^2-0.5、Cu―EDTA0.15、EDTA^4-
0.15であり、反応妨害イオンとともに化学銅め
つき液の８〜10％の銅イオン、EDTAが濃縮液
中に排出されることが、第３図の表に示すように
明らかである。めつき11回以降はめつきの前に行
なつた電気透析での排出量を括弧内に示してあ
る。

したがつて、本比較例のような電気透析を行う
だけでは、化学銅めつき液の再生は可能なもの
の、濃縮室に排出された銅イオン、EDTAに対
しては、許容量を大幅に上まわるため、別途回収
処理を行う必要が残り、化学銅めつき液をクロー
ズド化することは不可能である。

実施例 １ 下記組成の各液を用い、第１図のフローシート
の工程により、比較例２と同一の電気透析槽、但
しイオン交換膜については後に述べる選択透過性
の特定のものを用い、また電気透析槽の脱塩室へ
供給する脱イオン用のめつき液は後に述べるよう
に液中の炭酸をぎ酸で置換した後供給するように
して、化学銅めつき液の再生を行つた。

イ） 化学銅めつき液 Cu（HCOO）₂・4H₂O 10ｇ EDTA2Na 40ｇ 37％ホルマリン ５ml αα′ジピリジ 20mg エトキシ界面活性剤 100mg K₂S 0.01mg NaOH PHを12.3とする量 水 １とする量 ロ） 銅イオンの補給液 Cu（HCOO）₂・4H₂O 13ｇ 水 １とする量 ハ） ホルムアルデヒドの補給液 37％ホルマリン 300ml 水 １とする量 ニ） PHの調整液 NaOH 200ｇ 水 １とする量 上記組成の化学銅めつき液、補給液、調整液は
化学銅めつき液中に蓄積するめつき反応妨害イオ
ンがHCOO^-、Na⁺のような１価イオンになるよ
うに構成したものである。さらに空気中から化学
銅めつき液中に吸収した炭酸は、本発明の特徴で
ある１価のイオンとして透析できるように、ぎ酸
で置換した。すなわち、炭酸を吸収した化学銅め
つき液に、10〜25mlのぎ酸を加えてCO₃ ^-を
HCOO^-に置換して電気透析槽の脱塩室に供給し
た。炭酸の吸収は化学銅めつきの操業条件によつ
て変化するものであり、たとえ本実施例のように
炭酸が蓄積した場合にも、上記の操作が本発明の
特徴である１価イオンとして透析槽することに合
致することは明らかである。

本実施例においては、最初はめつき４回後、そ
の後はめつき３回終了ごとにめつき液を室温まで
冷却し、上記のように炭酸をぎ酸で置換した後、
NaOHを加えてめつき液のPHを12.3に戻し、前記
の比較例２の場合と同一の濃縮液、極液を用いて
２〜４時間の電気透析を行つた。

電気透析では、除去対象となる陽イオンがNa⁺
のみで、除去が望ましくない陽イオンがないた
め、特に１価陽イオン選択透過性のイオン交換膜
を用いる必要が認められないため、陽イオン交換
膜には耐アルカリ性の比較的良好な前記のCMV
（旭ガラス(株)製）を用いた。

これに対し、除去対象となる陰イオンは
HCOO^-のみであるが、除去が好ましくない陰イ
オンとしては、EDTAによつてキレート化され
たCu―EDTA^2-、EDTA^4-、OH^-があり、
HCOO^-と合わせて多成分系をなすために、陰イ
オン交換膜には１価陰イオン選択透過性の陰イオ
ン交換膜ASV（旭ガラス(株)製１価陰イオン選択透
過性陰イオン交換膜）を用いた。

化学銅めつき液を再生した結果は第４図の表に
示すように、めつき皮膜の機械的性質の著しい回
復とともに、電極透析１回当り濃縮液中に排出さ
れる銅イオン（めつき14回以降はめつき前に行な
つた再生の結果を括内に示す）は、化学銅めつき
液の原液濃度の約0.1％以下という著しい低い量
とすることができた。また、化学銅めつき液と同
体積の濃縮液中の銅イオン濃度は、原子吸光法に
よつて分析したところ、第４図の表に示すよう
に、3ppm以下の極微量とすることができること
がわかつた。また、キレート剤のEDTAは分光
光度計では検出することができなかつた。さらに
HCOO^-に対するCu―EDTA^2-の選択透過係数
は、およそ２×10^-3と極めて小であることも明ら
かとなつた。

極微量に排出される銅イオンに対しては、別途
処理する必要はなく、許容量以下になるように希
釈するだけで廃棄可能な濃度である。

以上の実施例に明らかなように、本発明による
化学銅めつき液の再生においては、化学銅めつき
液、補給液、PH調整液の構成を適宜選択し、かつ
イオン交換膜の特性の適切なものを使用するだけ
で特別な装置類を必要とすることなく化学銅めつ
き液の寿命を永久的なものとし、同時に従来不可
欠であつた廃液処理を不要としたものであり、極
めて画期的効果のあることがわかつた。

実施例 ２ 下記組成の各液を用い、実施例１の場合と同一
の電気透析槽を用い、同様な操作で化学銅めつき
液の再生処理を行つた。

イ） 化学銅めつき液 Cu（HCOO）₂・4H₂O 10ｇ ジエチレントリアミン５酢酸 （DTPA） 52ｇ 37％ホルマリン ８ml NaOH PHを12.3とする量 αα′ジピリジル ５mg エトキシ界面活性剤 100mg K₂S 0.01mg 水 １とする量 ロ） 銅イオンの補給液 実施例１のものに同じ ハ） ホルムアルデヒドの補給液 実施例１のものに同じ ニ） PH調整液 実施例１のものに同じ 上記組成の化学銅めつき液、補給液、PH調整液
を用いためつき液に蓄積するめつき反応妨害イオ
ンは１価のイオンであるHCOO^-、Na⁺である。
本実施例においてもめつき液中に炭酸の吸収があ
り、CO₃ ^2-も蓄積した。

この化学銅めつき液においては、めつき速度が
1μ／hrと遅いために良好なめつき皮膜を得るこ
とができるが、めつき液中への炭酸の吸収量も多
くなる欠点がある。

そこで、30μのめつきを１回とし、初回はめつ
き２回終了後、その後は毎回のめつき終了後にめ
つき液にぎ酸を加えPHを９として炭酸を１価の
HCO₃ ^-に変えて電気透析を行つてめつき液を再
生した。この場合も、電気透析槽には、上記の蓄
積イオンと化学銅めつき液等の構成から、実施例
１の場合と同じように、イオン交換膜としては陰
イオン交換膜にのみ前記のASVなる１価陰イオ
ン選択透過性イオン交換膜を使用して、銅イオ
ン、キレート剤の排出を防いだ。

実施例１の場合と同様の条件で電気透析して化
学銅めつき液を再生した結果、第５図の表に示す
ような測定値が得られ、めつき皮膜の機械的性質
の著しい安定と、銅イオンの排出（めつき６回以
降はめつき前に行なつた再生の結果を括弧内に示
す）を約1ppm以下とする極めて優秀な再生法で
あることがわかつた。

実施例 ３ 下記組成の各液を用い、実施例１の場合と同一
の電気透析槽を用い同様な操作で化学銅めつき液
の再生処理を行つた。

イ） 化学銅めつき液 Cu（HCOO）₂・4H₂O 10ｇ ヒドロキシエチルエチレンジアミン ３酢酸３ナトリウム（HEDTA） 28ｇ 37％ホルマリン 10ml NaOH PHを12.3とする量 αα′ジピリジル 10mg エトキシ界面活性剤 100mg K₂S 0.01mg 水 １とする量 ロ） 銅イオンの補給液 実施例１のものに同じ ハ） ホルムアルデヒドの補給液 実施例１のものに同じ ニ） PH調整液 実施例１のものに同じ 上記の化学銅めつき液による場合は、めつき速
度が約5μ／hrと速いのが特徴である。この実施
例においては実施例１と同じように、30μのめつ
きを１回として、初回はめつき４回終了後、その
後はめつき３回終了後に化学銅めつき液を再生し
た。めつき妨害蓄積イオンを１価イオンとして選
択透過除去する本発明方法は、この場合にも絶大
な効果があつた。

再生処理における結果は第６図の表に示すよう
に、めつき皮膜の機械的性質の回復とともに排出
された銅イオンの量（めつき14回以降はめつき前
に行なつた再生処理の結果を括弧内に示す）は極
微量であり、本発明の効果の著しいことがわかつ
た。

実施例 ４ 本実施例は、下記の各液を用いる化学銅めつき
液を再生する第１図のフローシートに示す工程に
おいて、実施例１に用いたものと同一の電気透析
槽の陰陽両イオン交換膜にともに１価イオン選択
透過性のものを用い、めつき液をめつき槽から電
気透析槽の脱塩室に供給する際に、めつき液を脱
塩室に供給するに先立つてぎ酸を用いてPHを８に
調整し、脱塩室からめつき槽に戻す間にPH調整液
を用いて化学銅めつきに適正なPHに調整するもの
で、以下に詳細に述べるようなものである。

イ） 化学銅めつき液 Cu（HCOO）₂・4H₂O 10ｇ ロツシエル塩 50ｇ 37％ホルマリン 20ml NaOH PHを12.5とする量 ２，９ジメチルフエナントロリン 10mg エトキシ界面活性剤 100mg 水 １とする量 ロ） 銅イオンの補給液 実施例１のものに同じ ハ） ホルムアルデヒドの補給液 実施例１のものに同じ ニ） PH調整液 実施例１のものに同じ 上記の化学銅めつき液はやや不安定であり、さ
らにめつき皮膜の機械的性質も良好なものではな
い。このめつき液は30μのめつき１回でめつき液
の分解傾向が認められるので、めつき液の安定性
を向上するための再生処理を、30μのめつき毎回
終了後に電気透析によつて行つた。

めつき液中の陽イオンは上記の組成からNa⁺、
K⁺であり、蓄積するものはNa⁺がほとんどであ
るが、酒石酸イオンのキレート生成定数が小であ
るためにCu²⁺が多いことからCu²⁺の透析を防ぐ
ために、陽イオン交換膜には１価陽イオン選択透
過性のCSV（旭ガラス(株)１価陽イオン選諒透過性
陽イオン交換膜）を用い、陰イオン交換膜には１
価陰イオン選択透過性の、実施例１におけるもの
と同じASVを用いて電気透析を行つた。CSV膜
は耐アルカリ性が良好ではないことから、ぎ酸を
加えてPH８として透析した。透析後めつき液のPH
を濃NaOH溶液により所定の値に戻して化学銅
めつき槽に還流し、めつきを行うようにした。

この再生によつてめつき液の著しい分解を防止
することができて所望の機械的性質を有するめつ
き皮膜が得られたとともに、銅イオンの排出を極
微量に抑制できた。

上記のように、本発明によれば従来不可能であ
つた化学銅めつき液の再生と、廃液処理の不要化
との二つの効果を極めて簡単な方法で実現するこ
とができる。

この本発明による化学銅めつき液を再生するこ
とによつて、従来数回のめつきで劣化してしまつ
ていた化学銅めつき液の寿命を永久的なものとす
ることができる上、めつき皮膜の機械的性質の恒
常的な安定化がはけれ、めつき製品の品質の維持
経済性の向上等に絶大な効果がもたらされるもの
である。

さらに、銅イオンの排出が極微量に抑制でき、
廃液処理を不要とすることができるので、化学銅
めつき液のクローズドシステムを構成することが
できて、環境問題、公害規制等に対しても優れた
効果をもつものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一例における化学銅めつき液
の脱イオン操作を示すフローシートである。第２
図は比較例１における従来の化学銅めつきにおけ
るめつき回数に対するめつき皮膜の機械的性質、
めつき液の変化の観測、測定結果を掲げた表にし
て、第３図は比較例２の従来の通常の化学銅めつ
きにおいて、所定のめつき回数後に逐次めつき液
を従来の通常の電気透析槽を用いてめつき液を再
生した場合のめつき皮膜の機械的性質、めつき液
および廃液の各種測定値を掲げた表である。第４
図は、本発明の実施例１の化学銅めつき液再生に
おけるめつき皮膜の機械的性質、めつき液および
廃液の各種測定値を掲げた表にして、第５図は実
施例２における同様な表、第６図は実施例３にお
ける同様な表である。 １…電気透析槽、２…化学銅めつき槽、３…濃
縮液槽、４…極液槽、５…銅イオン補給槽、６…
還元剤補給槽、７…PH調整剤補給槽、８…脱塩
室、９…濃縮室、１０…陽極室、１０′…陰極室、
１１…陽イオン交換膜、１２…陰イオン交換膜。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 銅イオン、銅イオンの還元剤、銅イオンのキ
   レート剤、アルカリ金属の水酸化物を必須成分と
   して含有する化学銅めつき液において、化学銅め
   つき処理によつて蓄積される有害イオンである銅
   イオンの対陰イオン、還元剤の酸化反応生成イオ
   ン、アルカリ金属イオンが１価イオンとなるよう
   な組成の化学銅めつき液とするか、もしくは上記
   化学銅めつき液に蓄積される２価の有害イオンを
   １価イオンで置換処理した化学銅めつき液とな
   し、上記化学銅めつき液を、陽イオン交換膜と１
   価イオン選択透過性陰イオン交換膜を具備する電
   気透析槽の脱塩室に供給して電気透析することに
   より上記有害イオンを除去し化学銅めつき液の再
   生をはかることを特徴とする化学銅めつき液の選
   択的脱イオン法。 ２ 銅イオンの対陰イオンおよび２価の有害イオ
   ンである炭酸イオンの置換イオンはHCOO^-、
   CH₃COO^-、ClO₄ ^-、OH^-のうちより選ばれる少
   なくとも１種からなることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項に記載の化学銅めつき液の選択的脱
   イオン方法。 ３ 還元剤の酸化反応生成イオンはHCOO^-であ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
   の化学銅めつき液の選択的脱イオン方法。