NL188683C - Werkwijze voor het regenereren van een bad voor het chemisch verkoperen. - Google Patents

Werkwijze voor het regenereren van een bad voor het chemisch verkoperen.

Info

Publication number
NL188683C
NL188683C NLAANVRAGE8003553,A NL8003553A NL188683C NL 188683 C NL188683 C NL 188683C NL 8003553 A NL8003553 A NL 8003553A NL 188683 C NL188683 C NL 188683C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
regenerating
bath
copying
chemical
chemical copying
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE8003553,A
Other languages
English (en)
Other versions
NL188683B (nl
NL8003553A (nl
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP7716179A external-priority patent/JPS563666A/ja
Priority claimed from JP3823780A external-priority patent/JPS56136968A/ja
Priority claimed from JP3823680A external-priority patent/JPS56136967A/ja
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of NL8003553A publication Critical patent/NL8003553A/nl
Publication of NL188683B publication Critical patent/NL188683B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL188683C publication Critical patent/NL188683C/nl

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B01D61/42—Electrodialysis; Electro-osmosis ; Electro-ultrafiltration; Membrane capacitive deionization
    • B01D61/44—Ion-selective electrodialysis
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601—Process or apparatus
    • C23C18/1617—Purification and regeneration of coating baths
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2311/00—Details relating to membrane separation process operations and control
    • B01D2311/04—Specific process operations in the feed stream; Feed pretreatment
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S204/00—Chemistry: electrical and wave energy
    • Y10S204/13—Purification and treatment of electroplating baths and plating wastes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Urology & Nephrology (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
NLAANVRAGE8003553,A 1979-06-19 1980-06-19 Werkwijze voor het regenereren van een bad voor het chemisch verkoperen. NL188683C (nl)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7716179 1979-06-19
JP7716179A JPS563666A (en) 1979-06-19 1979-06-19 Method and apparatus for regenerating chemical copper plating solution
JP3823780 1980-03-27
JP3823780A JPS56136968A (en) 1980-03-27 1980-03-27 Method and apparatus for selectively deionizing chemical copper plating bath
JP3823680 1980-03-27
JP3823680A JPS56136967A (en) 1980-03-27 1980-03-27 Method and apparatus for deionizing chemical copper plating bath

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL8003553A NL8003553A (nl) 1980-12-23
NL188683B NL188683B (nl) 1992-04-01
NL188683C true NL188683C (nl) 1992-09-01

Family

ID=27289748

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE8003553,A NL188683C (nl) 1979-06-19 1980-06-19 Werkwijze voor het regenereren van een bad voor het chemisch verkoperen.

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4324629A (nl)
DE (1) DE3022962C2 (nl)
NL (1) NL188683C (nl)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4439293A (en) * 1981-03-09 1984-03-27 Vaughan Daniel J Electrodialytic purification process
US4425205A (en) 1982-03-13 1984-01-10 Kanto Kasei Co., Ltd. Process for regenerating electroless plating bath and a regenerating apparatus of electroless plating bath
US4549946A (en) * 1984-05-09 1985-10-29 Electrochem International, Inc. Process and an electrodialytic cell for electrodialytically regenerating a spent electroless copper plating bath
US4645625A (en) * 1984-11-26 1987-02-24 Ionics, Incorporated Decontamination of a radioactive waste liquid by electrodialysis
US4600493A (en) * 1985-01-14 1986-07-15 Morton Thiokol, Inc. Electrodialysis apparatus for the chemical maintenance of electroless copper plating baths
US4752373A (en) * 1985-01-14 1988-06-21 Morton Thiokol, Inc. Electrodialysis apparatus for the chemical maintenance of electroless copper plating baths
NL8500474A (nl) * 1985-02-20 1986-09-16 Philips Nv Werkwijze voor het continu regenereren van een stroomloos metalliseringsbad en inrichting voor toepassing van de werkwijze.
US4671861A (en) * 1986-03-31 1987-06-09 Morton Thiokol, Inc. Measurement and control of net caustic production during electrodialysis
EP0240589B1 (de) * 1986-04-11 1990-02-07 Ibm Deutschland Gmbh Verfahren zur Regenerierung eines stromlosen Verkupferungsbades und Vorrichtung zur Durchführung desselben
US4762601A (en) * 1986-11-10 1988-08-09 Morton Thiokol, Inc. Copper bath for electroless plating having excess counter-cation and process using same
US5282939A (en) * 1988-09-20 1994-02-01 Basf Aktiengesellschaft Removal of salts by electrodialysis
US5110432A (en) * 1989-04-14 1992-05-05 Cominco Ltd. Method for separating dissolved species by electrodialysis
WO1990014877A1 (en) * 1989-06-02 1990-12-13 Unisearch Limited Minimizing electrical resistance of bipolar membrane by limiting carbon dioxide uptake by solution
DE3929121C1 (nl) * 1989-09-01 1991-02-28 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De
DE3929137C1 (nl) * 1989-09-01 1991-02-28 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De
US5230782A (en) * 1991-07-22 1993-07-27 International Business Machines Corporation Electrolytic process for reducing the organic content of an aqueous composition and apparatus therefore
US5135622A (en) * 1991-12-02 1992-08-04 At&T Bell Laboratories Electrochemical synthesis of palladium hydroxide compounds
DE4310366C1 (de) * 1993-03-30 1994-10-13 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum Regenerieren von wässrigen, außenstromlos arbeitenden Beschichtungsbädern
IT1262169B (it) * 1993-07-29 1996-06-19 Lab Taboga Di Taboga Leandro Procedimento per la prevenzione dell'esaurimento dei bagni acidi di ramatura e per il recupero di rame metallico da soluzioni e fanghi contenenti rame in forma ionica
US5472585A (en) * 1994-11-30 1995-12-05 At&T Corp. Regeneration of spent electroless copper plating solution
US5876590A (en) * 1996-12-23 1999-03-02 The Scientific Ecology Group Inc. Electrochemical leaching of soil
TW405158B (en) * 1997-09-17 2000-09-11 Ebara Corp Plating apparatus for semiconductor wafer processing
DE19849278C1 (de) 1998-10-15 2000-07-06 Atotech Deutschland Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum elektrodialytischen Regenerieren eines stromlosen Metallabscheidebades
US6878258B2 (en) * 2002-02-11 2005-04-12 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for removing contaminants from semiconductor copper electroplating baths
JP2005082843A (ja) * 2003-09-05 2005-03-31 Ebara Corp 電解液管理方法及び管理装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3761369A (en) * 1971-10-18 1973-09-25 Electrodies Inc Process for the electrolytic reclamation of spent etching fluids
US3764503A (en) * 1972-01-19 1973-10-09 Dart Ind Inc Electrodialysis regeneration of metal containing acid solutions
GB1481663A (en) * 1975-01-09 1977-08-03 Parel S Electrowinning of metals

Also Published As

Publication number Publication date
DE3022962C2 (de) 1983-03-03
NL188683B (nl) 1992-04-01
DE3022962A1 (de) 1981-02-12
US4324629A (en) 1982-04-13
NL8003553A (nl) 1980-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL188683C (nl) Werkwijze voor het regenereren van een bad voor het chemisch verkoperen.
NL189915C (nl) Werkwijze voor het behandelen van een polyvinylideenfluoride-oppervlak.
NL190256C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een fotogevoelige inrichting.
NL190645B (nl) Werkwijze voor het vormen van een beschermende diffussielaag.
NL170670C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een ferromagnetische toner.
NL191796C (nl) Werkwijze voor het verstevigen van een slappe bodem.
NL186831C (nl) Werkwijze voor het isoleren van een pijp.
NL7708157A (nl) Werkwijze voor het monteren van een depper.
NL184051C (nl) Werkwijze voor het regenereren van een aromatiseringskatalysator.
NL7707023A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL184480C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een stalen plaat.
NL188254C (nl) Werkwijze voor het vormen van een afdichting.
NL190907C (nl) Werkwijze voor het uitvoeren van een stereofotogrammetrische meting.
NL173126C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een kaasvat.
NL7710242A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL7904244A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een houderwand.
NL186119C (nl) Werkwijze voor het vormen van een patroon voor een positieve resist.
NL186964C (nl) Werkwijze voor het wassen van een oplossing van een polycarbonaat.
NL188426C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een hoogdruk- of reliefdrukvorm.
NL7703243A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL179850C (nl) Werkwijze voor het vormen van een beeld.
NL186319C (nl) Werkwijze voor het zuiveren van glucosaminoglucan.
NL7712010A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een wasmiddel.
NL190592B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een microminiatuurinrichting.
NL186385C (nl) Werkwijze voor het zuiveren van heparine.

Legal Events

Date Code Title Description
A1A A request for search or an international-type search has been filed
BB A search report has been drawn up
A85 Still pending on 85-01-01
BC A request for examination has been filed
V4 Discontinued because of reaching the maximum lifetime of a patent

Free format text: 20000619