JPS6396883A - セラミツクヒ−タ - Google Patents

セラミツクヒ−タ

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JPS6396883A
JPS6396883A JP24049086A JP24049086A JPS6396883A JP S6396883 A JPS6396883 A JP S6396883A JP 24049086 A JP24049086 A JP 24049086A JP 24049086 A JP24049086 A JP 24049086A JP S6396883 A JPS6396883 A JP S6396883A
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JP
Japan
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heater
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ceramic
silicon nitride
molybdenum silicide
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JP24049086A
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English (en)
Japanese (ja)
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JPH0546674B2 (https=
Inventor
布垣　尚哉
哲男 外山
和宏 井ノ口
伊藤　信衛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Soken Inc
Original Assignee
Nippon Soken Inc
NipponDenso Co Ltd
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Publication date
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Priority to US07/106,516 priority patent/US4814581A/en
Priority to DE3734274A priority patent/DE3734274C2/de
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