JPS6389264A - デイスク加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は回転する円板状被加工物を両面同時に加工する
ディスク加工装置に係り、高精度加工と。

高効率加工を同時に要求される場合に好適なディスク加
工装置に関するものである。

〔発明の背景〕

従来１回転する円板状被加工物の両面を加工するディス
ク加工装置には実開昭５６−２５３３０記載のように研
削テープを１面あたシ１ケの加圧ローラにより加圧し、
加工する加工装置が用いられていた。

また、特開昭５９−２０９７６０記載のように回当シの
加工テープを複数としたものも発表されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の方式では１つのテープに対し加圧ローラが１つの
みであシ、加工面精度を向上させる様な加工条件を設定
すると加工効率が低下して加工時間が長くなシ、一方加
工効率の良い加工条件に設定すると加工面精度が低下し
てしまった。

また、２つの加工テープと加圧機構を設置すると、加工
機構が複雑となる問題点があった。

本発明の目的は１つの加工装置に於て、従来より容易に
高加工効率でしかも加工面精度の高い加工面が得られる
ディスク加工装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明では、従来加工テープ当り１ケだった研削テープ
の加圧ローラを２ケ以上の複数とすること番でより上記
目的を達成する。

〔作用〕

研削テープを加圧する場合加圧ローラの硬さを上げると
、加工速度が向上するが面精度は低下し、加圧ローラを
吹くすると面精度が向上するが加工速度は低下してしま
う。

従って、これらを組合わせ、同一の研削テープを２つの
加圧ロー２で加圧可能とし、２つの加圧ローラの加工条
件を変更し、一方で加工速度の高い条件とし、もう一方
を面精度の高い条件とすることにより、簡易な構成で高
効率高精度の加工装置を得ることができる。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を図により説明する。本実施例は本
発明を磁気ディスクの塗膜加工装置に適用したものであ
る。

第２図は１本実施例の概念図である。

磁気ディスク１は回転軸（図示せず）に固定され矢印２
の方向に回転する。研削テープ１０はテープ駆動機構（
図示せず）Ｋより矢印１２の方向に送られる。加圧ロー
２２０．２１により研削テープ１０は、磁気ディスク面
に押し付けられ、加工が行われる。

ディスク回転数２００　ｒｐｒｎ　研削テープをＷＡ＋
　４０００砥粒入シのものとし、第１の加圧ロー２２０
にゴム硬度７０’のゴムローラを用い、第２の加圧ロー
２２１にゴム硬度３０°のゴムローラを用い、まず第１
の加圧ローラ２０を加圧し、１５秒加工した後加圧を除
去し、次に第２の加圧ローラ２１を加圧して１０秒加工
した。この時塗膜加工量は０．２μｍで加工面あらさは
凡、０．０１２μｍであった。従来の様に加圧ローラが
１個のみの場合、ゴム硬度７０°の硬いゴムローラでは
几、０．０１６μｍ以下にすることはできず、ゴム硬度
３０°の軟いゴムローラを用いた場合には加工時間を６
°Ｏ秒必要であった。本実施例では短時間に高精度の加
工面が得られている。

次に詳細を第１図により説明する。

磁気ディスク１は、ディスク固定治具５により回転軸（
図示せず）に固定され、駆動モータ（図示せず）により
毎分２００回転で矢印２の方向に回転する。

研削テープ１０は、テープ駆動台１５に取付けられたテ
ープ供給装置１６から供給され、矢印１２の方向に第１
のゴムローラ２０．第２のゴムローラ２１を経てテープ
巻取装置１７に定速で巻取られる。

第１のゴムローラ２０ｎ第２のゴムローラ２１は、それ
ぞれ第１の加圧腕３０．第２の加圧腕３１により保持さ
れ、加圧腕回転軸５１を中心として回転可能に構成され
、それぞれ第１のエアシリンダ４０．第２のエアシリン
ダ４１によりディスクに対して加圧される。第１図では
ディスクの片側の面に対する機構のみを示したが、反対
面に対しても第２図かられかる様に同様の機構を持ち。

両面同時に加工可能である。

テープ駆動台１５．加圧腕回転軸５１は移動台５０に固
定され、ポール・スクリュー５３を介し。

移動モータ５４によりペース１００上をディスク１の半
径方向に移動する。ディスク１の交換時には移動台５０
は右方向く退避し、交換後ディスク１が回転軸に固定さ
れて後左方向に移動して研削テープ１０がディスク面と
相対する位置忙停止する。

ゴムローラ２０．２１のゴム硬度はそれぞれ７０°、３
０°とし、ディスク１の回転開始後まず、第１のエアシ
リンダ４０に圧縮空気を供給し。

第１のゴムロー−７２０に加圧力を印加し、加工を開始
する。この状態で１５秒間加工した後筒１のエアシリン
ダ４０への圧縮空気の供給を停止し。

第１のゴムローラ２０をディスク面より離し、第２のエ
アシリンダ４１へ圧縮空気の供給を開始し。

第２のゴムローラ２１に加圧力を印加し、加工を継続す
る。第２のゴムローラ２１での加工１０秒間終了後に、
第２のエアシリンダ４１への圧縮空気の供給を停止し、
研削テープ１０をディスク面１から離し移動台５０を右
方向に移動させ、加工後のディスクを取外し、未加工の
ディスクと交換する。

この様にして％　２５秒の加工時間で従来６０秒必要で
あった加工量と加工面精度を得ることができる。

本実施例では、研削テープを１面画シ１本としたが、−
面当り複数本の研削テープ加圧機構を設置し、加工効率
を更に向上させることも可能である。

また、２つの加圧ローラを同時に加圧し、更に加工効率
を向上させることも可能である。

また１本実施例では加工条件として、ゴム加圧ローラの
硬さについてのみ説明したが、第２のゴムロー２の加圧
力を低くすることにより更に加工面精度を向上させるこ
とも可能である。

〔発明の効果〕

以上の如く１本発明によれば従来６０秒程度必要であっ
た加工時間を、実施例では２５秒と１／２あるいはそれ
以下に短縮しても同一加工面精度を得ることができ、高
加工効率と高精度加工を両立させることができる効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例になるディスク加工装置の正面
図、第２図は本発明の実施例の概念図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、回転する円板状被加工物に研削テープを加圧ローラ
   により背面より加圧し加工するディスク加工装置におい
   て、１つの研削テープを加圧する加圧ローラを２ケ以上
   持つことを特徴とするディスク加工装置。 ２、２ケ以上の加圧ローラのうち、少なくとも１つが他
   の加圧ローラと異なる加工条件で加工することを特徴と
   する第１項記載のディスク加工装置。