JPS6383641A - 欠陥検査方法 - Google Patents
欠陥検査方法Info
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- JPS6383641A JPS6383641A JP22836386A JP22836386A JPS6383641A JP S6383641 A JPS6383641 A JP S6383641A JP 22836386 A JP22836386 A JP 22836386A JP 22836386 A JP22836386 A JP 22836386A JP S6383641 A JPS6383641 A JP S6383641A
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- JP
- Japan
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- 230000015654 memory Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
Landscapes
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガラス円板、プラスチック円板、金属円板など
の欠陥検査に関するものであり、特に円板上に乗ったゴ
ミと、円板表面欠陥、円板内部欠陥を区別する欠陥検査
に関する。
の欠陥検査に関するものであり、特に円板上に乗ったゴ
ミと、円板表面欠陥、円板内部欠陥を区別する欠陥検査
に関する。
従来の円板の欠陥検査方法は１回の欠陥検査であるため
、得られた信号が円板表面上のゴミであるのか、円板表
面の欠陥であるのか、或は円板内部の欠陥であるのか区
別が困難であった。
、得られた信号が円板表面上のゴミであるのか、円板表
面の欠陥であるのか、或は円板内部の欠陥であるのか区
別が困難であった。
本発明は上記欠点を解消し、被検査円板上のゴミと被検
査円板表面の欠陥を区別し、または被検査円板表面の欠
陥と、被検査円板内部の欠陥を区別し、または被測定円
板の欠陥の板厚方向層別の区別をすることを目的とする
ものである。
査円板表面の欠陥を区別し、または被検査円板表面の欠
陥と、被検査円板内部の欠陥を区別し、または被測定円
板の欠陥の板厚方向層別の区別をすることを目的とする
ものである。
本発明は上記目的を達成するために１
（１）複数個のアドレスメモリあるいはアナログ信号用
メモリを持ち、かつ （２）複数回欠陥検査し、かつ （３）上記の１回毎の欠陥検査内容を変えることを特徴
とし、ＣＣＤイメージセンサカメラからの信号を処理し
て得られた、複数回の欠陥検査に相幽する、アドレスメ
モリあるいは、アナログ信号用メモリの内容を比較して
、ゴミと欠陥の区別、あるいは、欠陥の板厚方向の層別
区別をする。
メモリを持ち、かつ （２）複数回欠陥検査し、かつ （３）上記の１回毎の欠陥検査内容を変えることを特徴
とし、ＣＣＤイメージセンサカメラからの信号を処理し
て得られた、複数回の欠陥検査に相幽する、アドレスメ
モリあるいは、アナログ信号用メモリの内容を比較して
、ゴミと欠陥の区別、あるいは、欠陥の板厚方向の層別
区別をする。
以下、本発明の一実施例を図面を併用して説明する。
第１図において１．は被検査円板、２は被検査円板を回
転させる回転シャフト、３．は円板上に乗っているゴミ
、５．は円板内部にある欠陥、６゜は円板表面の欠陥で
ある。
転させる回転シャフト、３．は円板上に乗っているゴミ
、５．は円板内部にある欠陥、６゜は円板表面の欠陥で
ある。
特許請求の範囲に記載の〔（３）上記の１回ごとの検査
内容を変える〕の代表例として （イ）ＣＯＤイメージセンサカメラのし／ズ４の点位置
を変える。（図示例、レンズ４．４Ａ）（ロ）照明光源
７．７Ａ、７Ｂを１回ごとに交互に点灯照明する。
内容を変える〕の代表例として （イ）ＣＯＤイメージセンサカメラのし／ズ４の点位置
を変える。（図示例、レンズ４．４Ａ）（ロ）照明光源
７．７Ａ、７Ｂを１回ごとに交互に点灯照明する。
などがある。
これらのように検査内容を変えた場合のそれぞれの欠陥
アドレスメモリあるいはアナログ信号用メモリの内容を
比較すれば、ゴミと欠陥の区別、あるいは、欠陥の板厚
方向の層別された欠陥（内部にある欠陥５、表面の欠陥
６）の区別が可能なことは明らかである。
アドレスメモリあるいはアナログ信号用メモリの内容を
比較すれば、ゴミと欠陥の区別、あるいは、欠陥の板厚
方向の層別された欠陥（内部にある欠陥５、表面の欠陥
６）の区別が可能なことは明らかである。
以上説明したように本発明によれば、円板上のゴミと欠
陥の区別、円板内の欠陥の板厚方向の層別区別ができる
。
陥の区別、円板内の欠陥の板厚方向の層別区別ができる
。
第１図は本発明に係わる、欠陥検査方法の一実施例の断
面図面である。 １・・・被検査円板、２・・・回転シャフト、３・・・
ゴミ、４・・・レンズ、５・・・内部にある欠陥、６・
・・表面の欠陥、７・・・照明光源
面図面である。 １・・・被検査円板、２・・・回転シャフト、３・・・
ゴミ、４・・・レンズ、５・・・内部にある欠陥、６・
・・表面の欠陥、７・・・照明光源
Claims (3)
- （１）複数個の欠陥アドレスメモリあるいはアナログ信
号用メモリを持ち、かつ - （２）複数回欠陥検査し、かつ
- （３）上記の１回ごとの欠陥検査内容を変えることを特
徴とした、ＣＣＤイメージセンサカメラを使用した欠陥
検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22836386A JPS6383641A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22836386A JPS6383641A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6383641A true JPS6383641A (ja) | 1988-04-14 |
Family
ID=16875284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22836386A Pending JPS6383641A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6383641A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100470402B1 (ko) * | 2001-01-15 | 2005-02-07 | (주)포씨스 | 패널 검사장치 및 패널 검사방법 |
| JP2007132765A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Meidensha Corp | 車両試験装置の車体押上装置 |
| EP0990891B1 (en) * | 1998-09-30 | 2012-07-11 | Daikyo Seiko, Ltd. | Method for inspection of rubber product |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP22836386A patent/JPS6383641A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0990891B1 (en) * | 1998-09-30 | 2012-07-11 | Daikyo Seiko, Ltd. | Method for inspection of rubber product |
| KR100470402B1 (ko) * | 2001-01-15 | 2005-02-07 | (주)포씨스 | 패널 검사장치 및 패널 검사방법 |
| JP2007132765A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Meidensha Corp | 車両試験装置の車体押上装置 |
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