JPS638121A - クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 - Google Patents
クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置Info
- Publication number
- JPS638121A JPS638121A JP61147691A JP14769186A JPS638121A JP S638121 A JPS638121 A JP S638121A JP 61147691 A JP61147691 A JP 61147691A JP 14769186 A JP14769186 A JP 14769186A JP S638121 A JPS638121 A JP S638121A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roller
- rail
- dust
- clean room
- treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims abstract description 18
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 9
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 claims description 7
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 24
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 5
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 abstract description 5
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 5
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 abstract description 4
- 230000006698 induction Effects 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、クリーンルーム内において、例えば半導体製
造工程における中間製品を搬送するクリーンルーム内に
おけるリニアモータ搬送装置に関するものである。
造工程における中間製品を搬送するクリーンルーム内に
おけるリニアモータ搬送装置に関するものである。
「従来の技術」
近年、半導体製造ラインにおいては、塵埃の混入を極度
に嫌うため、クリーンルームの使用は欠かせない。また
、このクリーンルーム内での半導体製造ラインにおける
ウェハ搬送装置においては、非常に多くの工程間をウェ
ハが往復することになるため搬送装置の自動化が行なわ
れている。そして、前記クリーンルーム内における既存
の搬送装置ではギヤ、プーリ等の発塵源を多くもってい
るため、無人搬送台車にしても、またレール上走行式台
車にしても、いずれも発塵源部の吸気を行い発塵源から
発生した塵を吸い取りクリーンルーム内への塵の流出を
防いでいる。
に嫌うため、クリーンルームの使用は欠かせない。また
、このクリーンルーム内での半導体製造ラインにおける
ウェハ搬送装置においては、非常に多くの工程間をウェ
ハが往復することになるため搬送装置の自動化が行なわ
れている。そして、前記クリーンルーム内における既存
の搬送装置ではギヤ、プーリ等の発塵源を多くもってい
るため、無人搬送台車にしても、またレール上走行式台
車にしても、いずれも発塵源部の吸気を行い発塵源から
発生した塵を吸い取りクリーンルーム内への塵の流出を
防いでいる。
「発明が解決しようとする問題点」
ところが、このような従来のクリーンルーム内における
搬送装置においては、前述のようにギヤ。
搬送装置においては、前述のようにギヤ。
プーリ等の発塵源を多くもっているため、発塵源部の吸
気を行い発塵源から発生した塵を吸気と共に吸い取りク
リーンルーム内への塵の流出を防いでいるため、装置が
複雑となり搬送に要する設備コストが高くなる欠点を有
していた。
気を行い発塵源から発生した塵を吸気と共に吸い取りク
リーンルーム内への塵の流出を防いでいるため、装置が
複雑となり搬送に要する設備コストが高くなる欠点を有
していた。
本発明は従来のものがもつ以−1−のような問題点を解
決したクリーンルーム内におけるリニアモータ搬送装置
を提供することを目的とする。
決したクリーンルーム内におけるリニアモータ搬送装置
を提供することを目的とする。
1問題点を解決するための手段」
本発明は前記目的を達成させるために次のようす構成ト
している。即ち、ローラフレームに支持され、レールを
挾むように設けられたローラを介しリニアモータを駆動
源として前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬送
装置において、前記ローラのベアリング部に磁気シール
機構を設けてこのベアリング部を密閉し、前記キャリア
のカバー、前記ローラの外周部及び前記キャリアに設け
られたバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記レ
ールにアルマイト処理、フッ素コーティング処理等の摩
耗防止処理を施している。
している。即ち、ローラフレームに支持され、レールを
挾むように設けられたローラを介しリニアモータを駆動
源として前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬送
装置において、前記ローラのベアリング部に磁気シール
機構を設けてこのベアリング部を密閉し、前記キャリア
のカバー、前記ローラの外周部及び前記キャリアに設け
られたバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記レ
ールにアルマイト処理、フッ素コーティング処理等の摩
耗防止処理を施している。
1作用 」
発塵すると考えられたローラのベアリング部を磁気シー
ル機構により密閉したので、ローラのベアリング部から
のクリーンルーム内への塵の流出を防ぎ、また、カバー
、ローラの外周部及びバンパー等のゴム部に静電防止剤
を混入させたので、これらへの静電気による塵の付着を
防止し、またレールにアルマイト処理、フッ素コーティ
ング処理等の摩耗防止処理を施したので、レール部材の
摩耗を防ぎその結果レールとローラとの間からの塵の発
生を防止する。
ル機構により密閉したので、ローラのベアリング部から
のクリーンルーム内への塵の流出を防ぎ、また、カバー
、ローラの外周部及びバンパー等のゴム部に静電防止剤
を混入させたので、これらへの静電気による塵の付着を
防止し、またレールにアルマイト処理、フッ素コーティ
ング処理等の摩耗防止処理を施したので、レール部材の
摩耗を防ぎその結果レールとローラとの間からの塵の発
生を防止する。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を第1図及び第2図に基づいて
説明する。第1図中1はクリーンルーム内の天井に上端
を取り付けられた多数のL字形の天井ザボートであり、
この天井サポート1は所定の間隔をおいて設けられてい
る。天井ザポートlにはレール2が取り付けられている
。このレール2はアルミニウムからなり、アルマイト処
理あるいはフッ素コーティング処理が施されている。レ
ール2の幅方向の両端には山形部3,3が形成されてい
る。
説明する。第1図中1はクリーンルーム内の天井に上端
を取り付けられた多数のL字形の天井ザボートであり、
この天井サポート1は所定の間隔をおいて設けられてい
る。天井ザポートlにはレール2が取り付けられている
。このレール2はアルミニウムからなり、アルマイト処
理あるいはフッ素コーティング処理が施されている。レ
ール2の幅方向の両端には山形部3,3が形成されてい
る。
一方、レール2の長さ方向に延びるメインフレーム(台
車フレーム)4の両端側にそれぞれローラフレーム5が
軸4aを介して回転可能に設けられている。ローラフレ
ーム5.5にはそれぞれローラ6が回転自在に支持され
ている。ローラ6はレール2を挾むように山形部3.3
に接触してレール2の両側にそれぞれ2個ずつ計4個設
けられて1組となっており、これら4個1組のローラ6
がレール2の長さ方向に間隔をおいて一対設けられてい
る。即ち、ローラ6は合計8個設()られている。
車フレーム)4の両端側にそれぞれローラフレーム5が
軸4aを介して回転可能に設けられている。ローラフレ
ーム5.5にはそれぞれローラ6が回転自在に支持され
ている。ローラ6はレール2を挾むように山形部3.3
に接触してレール2の両側にそれぞれ2個ずつ計4個設
けられて1組となっており、これら4個1組のローラ6
がレール2の長さ方向に間隔をおいて一対設けられてい
る。即ち、ローラ6は合計8個設()られている。
前に己メインフレーム41こはこのメインフレーム4及
びローラフレーム5を覆ってカバー4bが取り付けられ
ている。
びローラフレーム5を覆ってカバー4bが取り付けられ
ている。
前記メインフレーム4には前記ローラフレーム5.5間
に位置して二次導体7が取り付けられている。またメイ
ンフレーム4の両端部にはゴムからなるバンパー8.8
が設けられている。
に位置して二次導体7が取り付けられている。またメイ
ンフレーム4の両端部にはゴムからなるバンパー8.8
が設けられている。
他方、レール2の二次導体7側面にはレール2の長さ方
向に所定の間隔をおき、かつ前記二次導4一 体7に対向し得る位置に位置して複数のリニアインダク
ションモータ9が取り付けられている。またレール2に
は、リニアインダクンヨンモータ9を覆うカバー40が
取り付けられると共にカバー40の反対側に位置してカ
バー4dが取り付けられている。
向に所定の間隔をおき、かつ前記二次導4一 体7に対向し得る位置に位置して複数のリニアインダク
ションモータ9が取り付けられている。またレール2に
は、リニアインダクンヨンモータ9を覆うカバー40が
取り付けられると共にカバー40の反対側に位置してカ
バー4dが取り付けられている。
また、メインフレーム4の上部にはウェハカセット12
が取り付けられている。このウェハカセット12内には
ウェハ13が収納されている。
が取り付けられている。このウェハカセット12内には
ウェハ13が収納されている。
前記各ローラ6は、ローラフレーム5にそれぞれ設けら
れた複数のローラ軸14にベアリング15.15を介し
て非磁性体(アルミニウム)からなるリング16を回転
自在に取り付けられて設けられている。リング16の外
周にはリング状のウレタンゴム17が嵌合固着されてい
る。
れた複数のローラ軸14にベアリング15.15を介し
て非磁性体(アルミニウム)からなるリング16を回転
自在に取り付けられて設けられている。リング16の外
周にはリング状のウレタンゴム17が嵌合固着されてい
る。
また、リング16とローラ軸14との間にはベアリング
+ 5.15の外側に位置して非磁性体からなるスペー
サI8及び磁性体板19.19間に磁石板20を挾んで
なる磁気シール部材21が設けられている。スペーサ1
8及び磁気シール部材2Iとローラ軸14との間には磁
性流体22が設(Jられている。14aはローラ軸14
が持つベアリング押さえである。従って、ローラ6のベ
アリングl 5,15は磁気ノール部材21及び磁性流
体22により外部と遮断されている。なお、カバー 4
1)、40.4 d、バンパー8.ローラ6のウレタン
ゴム17等のゴム部分には、静電気防止部材が混入され
ている。なお、メインフレーム4.ローラフレーム5.
ローラ6、ウェハカセット+2.カバー4b等によりリ
ニアインダクンヨンモータ9によって駆動されるキャリ
アが構成されている。
+ 5.15の外側に位置して非磁性体からなるスペー
サI8及び磁性体板19.19間に磁石板20を挾んで
なる磁気シール部材21が設けられている。スペーサ1
8及び磁気シール部材2Iとローラ軸14との間には磁
性流体22が設(Jられている。14aはローラ軸14
が持つベアリング押さえである。従って、ローラ6のベ
アリングl 5,15は磁気ノール部材21及び磁性流
体22により外部と遮断されている。なお、カバー 4
1)、40.4 d、バンパー8.ローラ6のウレタン
ゴム17等のゴム部分には、静電気防止部材が混入され
ている。なお、メインフレーム4.ローラフレーム5.
ローラ6、ウェハカセット+2.カバー4b等によりリ
ニアインダクンヨンモータ9によって駆動されるキャリ
アが構成されている。
しかして、前記のように構成されたクリーンルーム内に
おけるリーアモータ搬送装置を作動させると、レール2
に沿い、ローラ6を介し、リニアインダクションモータ
9を駆動源としてメインフレーム4.ローラフレーム5
.ウェハカセット12゜カバー4b等が移動し、ウェハ
13が搬送される。
おけるリーアモータ搬送装置を作動させると、レール2
に沿い、ローラ6を介し、リニアインダクションモータ
9を駆動源としてメインフレーム4.ローラフレーム5
.ウェハカセット12゜カバー4b等が移動し、ウェハ
13が搬送される。
このとき、ローラ6のベアリング15部を磁気ノール部
材2+、磁性流体22等からなる磁気シール機構により
密閉したので、発塵すると考えられたローラ6のベアリ
ング15部からのクリーンルーム内への塵の流出を防ぎ
、また、カバー、ローラ6の外周部及びバンパー8等の
ゴム部に静電防止剤を混入させたので、静電気によるこ
れらへの塵の付着を防止し、またレール2にアルマイト
処理またはフッ素コーティング処理を施したので、レー
ル部材の摩耗を防ぎその結果レール2とローラ6のウレ
タンゴムI7との間からの塵の発生を防止する。
材2+、磁性流体22等からなる磁気シール機構により
密閉したので、発塵すると考えられたローラ6のベアリ
ング15部からのクリーンルーム内への塵の流出を防ぎ
、また、カバー、ローラ6の外周部及びバンパー8等の
ゴム部に静電防止剤を混入させたので、静電気によるこ
れらへの塵の付着を防止し、またレール2にアルマイト
処理またはフッ素コーティング処理を施したので、レー
ル部材の摩耗を防ぎその結果レール2とローラ6のウレ
タンゴムI7との間からの塵の発生を防止する。
「発明の効果」
本発明によれば、ローラフレームに支持され、レールを
挾むように設けられたローラを介しリニアモータを駆動
源として前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬送
装置において、前記ローラのベアリング部に磁気シール
機構を設置ノてこのヘアリング部を密閉し、前記キャリ
アのカバー、前記ローラの外周部及び前記キャリアに設
けられたバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記
レールにアルマイト処理、フッ素コーティング処理等の
摩耗防止処理を施したので、発塵すると考えられたロー
ラのベアリング部からのクリーンルーム内への塵の流出
を防ぐことができ、また、カバー、ローラの外周部及び
バンパーに静電防止剤を混入させたことから、これらへ
の静電気による塵の付着を防止することができ、またレ
ールに前記摩耗防止処理を施したので、レール部材の摩
耗を防ぎその結果レールとローラとの間からの塵の発生
を防止することができ、しかも前述のベアリング密閉手
段、静電気発生防止手段及び摩耗防止手段はいずれも簡
単な手段であるので、本発明を安価に提供することがで
きる。
挾むように設けられたローラを介しリニアモータを駆動
源として前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬送
装置において、前記ローラのベアリング部に磁気シール
機構を設置ノてこのヘアリング部を密閉し、前記キャリ
アのカバー、前記ローラの外周部及び前記キャリアに設
けられたバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記
レールにアルマイト処理、フッ素コーティング処理等の
摩耗防止処理を施したので、発塵すると考えられたロー
ラのベアリング部からのクリーンルーム内への塵の流出
を防ぐことができ、また、カバー、ローラの外周部及び
バンパーに静電防止剤を混入させたことから、これらへ
の静電気による塵の付着を防止することができ、またレ
ールに前記摩耗防止処理を施したので、レール部材の摩
耗を防ぎその結果レールとローラとの間からの塵の発生
を防止することができ、しかも前述のベアリング密閉手
段、静電気発生防止手段及び摩耗防止手段はいずれも簡
単な手段であるので、本発明を安価に提供することがで
きる。
第1図は本発明の一実施例を示す一部省略縦断面図、第
2図はそのローラ軸とローラとの関係を示す断面図であ
る。 2・・・・・レール、4・・・・・・メインフレーム(
台車フレーム)、4 b、4 c、4 d・・・・・・
カバー、5・・・・・ローラフレーム、6・・・・・・
ローラ、8・・・・・バンパー、9・・・・ リニアイ
ンダクノヨンモータ、12・・・・・・ウェハカセット
、15・・・・・・ベアリング、I9・・・・・・磁性
体板、20・・・・・磁石板、21・・・磁気レール部
材、22・・・・・・磁性流体。
2図はそのローラ軸とローラとの関係を示す断面図であ
る。 2・・・・・レール、4・・・・・・メインフレーム(
台車フレーム)、4 b、4 c、4 d・・・・・・
カバー、5・・・・・ローラフレーム、6・・・・・・
ローラ、8・・・・・バンパー、9・・・・ リニアイ
ンダクノヨンモータ、12・・・・・・ウェハカセット
、15・・・・・・ベアリング、I9・・・・・・磁性
体板、20・・・・・磁石板、21・・・磁気レール部
材、22・・・・・・磁性流体。
Claims (1)
- ローラフレームに支持され、レールを挾むように設けら
れたローラを介しリニアモータを駆動源として前記レー
ルに沿ってキャリアを走行させる搬送装置において、前
記ローラのベアリング部に磁気シール機構を設けてこの
ベアリング部を密閉し、前記キャリアのカバー、前記ロ
ーラの外周部及び前記キャリアに設けられたバンパーの
ゴム部に静電防止剤を混入し、前記レールにアルマイト
処理、フッ素コーティング処理等の摩耗防止処理を施し
たことを特徴とするクリーンルーム内におけるリニアモ
ータ搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61147691A JPH0829829B2 (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61147691A JPH0829829B2 (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS638121A true JPS638121A (ja) | 1988-01-13 |
JPH0829829B2 JPH0829829B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=15436091
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61147691A Expired - Lifetime JPH0829829B2 (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0829829B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0636561A1 (en) * | 1993-07-30 | 1995-02-01 | Shinko Electric Co. Ltd. | Transport system |
US6471459B2 (en) * | 1998-05-20 | 2002-10-29 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Substrate transfer shuttle having a magnetic drive |
JP2009078665A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toyoda Gosei Co Ltd | ドアウエザストリップ |
CN105857489A (zh) * | 2016-05-25 | 2016-08-17 | 江苏帕维电动科技有限公司 | 一种减震防静电电动车把手 |
WO2019230167A1 (ja) | 2018-06-01 | 2019-12-05 | 株式会社転造技術研究所 | 二重ねじ構成体とその締結体 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101656058B1 (ko) * | 2015-07-31 | 2016-09-08 | 이진우 | 모자 제조방법 |
-
1986
- 1986-06-24 JP JP61147691A patent/JPH0829829B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0636561A1 (en) * | 1993-07-30 | 1995-02-01 | Shinko Electric Co. Ltd. | Transport system |
US6471459B2 (en) * | 1998-05-20 | 2002-10-29 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Substrate transfer shuttle having a magnetic drive |
US6679671B2 (en) | 1998-05-20 | 2004-01-20 | Applied Materials, Inc. | Substrate transfer shuttle having a magnetic drive |
JP2009078665A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toyoda Gosei Co Ltd | ドアウエザストリップ |
CN105857489A (zh) * | 2016-05-25 | 2016-08-17 | 江苏帕维电动科技有限公司 | 一种减震防静电电动车把手 |
WO2019230167A1 (ja) | 2018-06-01 | 2019-12-05 | 株式会社転造技術研究所 | 二重ねじ構成体とその締結体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0829829B2 (ja) | 1996-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5377816A (en) | Spiral magnetic linear translating mechanism | |
US4540326A (en) | Semiconductor wafer transport system | |
TW368433B (en) | Transport and storage carrier | |
JPS638121A (ja) | クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 | |
JPH0952607A (ja) | クリーンローラコンベア | |
US20030106776A1 (en) | Work conveying system and traveling path sealing structure in the work conveying system | |
KR100813617B1 (ko) | 기판 이송 유닛 및 이를 이용한 기판 이송 방법 | |
US6832680B1 (en) | Work conveying system and traveling path sealing structure in the work conveying system | |
KR102568456B1 (ko) | 듀얼 모션 기판 캐리어를 갖는 시스템 | |
JPH03288725A (ja) | ウェハ搬送装置 | |
JPS63296235A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
CN113484332B (zh) | 一种面板的边缘检测装置 | |
JP2001233450A (ja) | 横搬送機構 | |
JPH0710266A (ja) | クリーンルーム用搬送装置 | |
JPH06183663A (ja) | クリーンルーム用昇降機 | |
JPS63102238A (ja) | ウエハ移送装置 | |
JPS63300043A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
JPH081103A (ja) | 板状体の洗浄装置 | |
JPH053477Y2 (ja) | ||
JPS61116965A (ja) | エア浮上式リニア搬送装置 | |
JP3061595B2 (ja) | コンベヤ | |
JPH0785605B2 (ja) | クリーンルームなどに用いる搬送装置 | |
JPS62264127A (ja) | 搬送装置用駆動装置 | |
JP2691903B2 (ja) | 磁気浮上搬送装置のシャッタ装置 | |
JPS62238159A (ja) | 搬送装置 |