JPH0829829B2 - クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 - Google Patents
クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置Info
- Publication number
- JPH0829829B2 JPH0829829B2 JP61147691A JP14769186A JPH0829829B2 JP H0829829 B2 JPH0829829 B2 JP H0829829B2 JP 61147691 A JP61147691 A JP 61147691A JP 14769186 A JP14769186 A JP 14769186A JP H0829829 B2 JPH0829829 B2 JP H0829829B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roller
- rail
- clean room
- dust
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、クリーンルーム内において、例えば半導体
製造工程における中間製品を搬送するクリーンルーム内
におけるリニアモータ搬送装置に関するものである。
製造工程における中間製品を搬送するクリーンルーム内
におけるリニアモータ搬送装置に関するものである。
「従来の技術」 近年、半導体製造ラインにおいては、塵埃の混入を極
度に嫌うため、クリーンルームの使用は欠かせない。ま
た、このクリーンルーム内での半導体製造ラインにおけ
るウエハ搬送装置においては、非常に多くの工程間をウ
エハが往復することになるため搬送装置の自動化が行な
われている。そして、前記クリーンルーム内における既
存の搬送装置ではギヤ，プーリ等の発塵源を多くもって
いるため、無人搬送台車にしても、またレール上走行式
台車にしても、いずれも発塵源部の吸気を行い発塵源か
ら発生した塵を吸い取りクリーンルーム内への塵の流出
を防いでいる。
度に嫌うため、クリーンルームの使用は欠かせない。ま
た、このクリーンルーム内での半導体製造ラインにおけ
るウエハ搬送装置においては、非常に多くの工程間をウ
エハが往復することになるため搬送装置の自動化が行な
われている。そして、前記クリーンルーム内における既
存の搬送装置ではギヤ，プーリ等の発塵源を多くもって
いるため、無人搬送台車にしても、またレール上走行式
台車にしても、いずれも発塵源部の吸気を行い発塵源か
ら発生した塵を吸い取りクリーンルーム内への塵の流出
を防いでいる。
「発明が解決しようとする問題点」 ところが、このような従来のクリーンルーム内におけ
る搬送装置においては、前述のようにギヤ，プーリ等の
発塵源を多くもっているため、発塵源部の吸気を行い発
塵源から発生した塵を吸気と共に吸い取りクリーンルー
ム内への塵の流出を防いでいるため、装置が複雑となり
搬送に要する設備コストが高くなる欠点を有していた。
る搬送装置においては、前述のようにギヤ，プーリ等の
発塵源を多くもっているため、発塵源部の吸気を行い発
塵源から発生した塵を吸気と共に吸い取りクリーンルー
ム内への塵の流出を防いでいるため、装置が複雑となり
搬送に要する設備コストが高くなる欠点を有していた。
本発明は従来のものがもつ以上のような問題点を解決
したクリーンルーム内におけるリニアモータ搬送装置を
提供することを目的とする。
したクリーンルーム内におけるリニアモータ搬送装置を
提供することを目的とする。
「問題点を解決するための手段」 本発明は前記目的を達成させるために次のような構成
としている。即ち、ローラフレームに支持され、レール
を挾むように設けられたローラを介しリニアモータを駆
動源として前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬
送装置において、前記ローラのベアリング部に磁気シー
ル機構を設けてこのベアリング部を密閉し、前記キャリ
アのカバー，前記ローラの外周部及び前記キャリアに設
けられたバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記
レールにアルマイト処理，フッ素コーティング処理等の
摩耗防止処理を施している。
としている。即ち、ローラフレームに支持され、レール
を挾むように設けられたローラを介しリニアモータを駆
動源として前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬
送装置において、前記ローラのベアリング部に磁気シー
ル機構を設けてこのベアリング部を密閉し、前記キャリ
アのカバー，前記ローラの外周部及び前記キャリアに設
けられたバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記
レールにアルマイト処理，フッ素コーティング処理等の
摩耗防止処理を施している。
「作用」 発塵すると考えられたローラのベアリング部を磁気シ
ール機構により密閉したので、ローラのベアリング部か
らのクリーンルーム内への塵の流出を防ぎ、また、カバ
ー，ローラの外周部及びバンパー等のゴム部に静電防止
剤を混入させたので、これらへの静電気による塵の付着
を防止し、またレールにアルマイト処理，フッ素コーテ
ィング処理等の摩耗防止処理を施したので、レール部材
の摩耗を防ぎその結果レールとローラとの間からの塵の
発生を防止する。
ール機構により密閉したので、ローラのベアリング部か
らのクリーンルーム内への塵の流出を防ぎ、また、カバ
ー，ローラの外周部及びバンパー等のゴム部に静電防止
剤を混入させたので、これらへの静電気による塵の付着
を防止し、またレールにアルマイト処理，フッ素コーテ
ィング処理等の摩耗防止処理を施したので、レール部材
の摩耗を防ぎその結果レールとローラとの間からの塵の
発生を防止する。
「実施例」 以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づい
て説明する。第１図中１はクリーンルーム内の天井に上
端を取り付けられた多数のＬ字形の天井サポートであ
り、この天井サポート１は所定の間隔をおいて設けられ
ている。天井サポート１にはレール２が取り付けられて
いる。このレール２はアルミニウムからなり、アルマイ
ト処理あるいはフッ素コーティング処理が施されてい
る。レール２の幅方向の両端には山形部3,3が形成され
ている。
て説明する。第１図中１はクリーンルーム内の天井に上
端を取り付けられた多数のＬ字形の天井サポートであ
り、この天井サポート１は所定の間隔をおいて設けられ
ている。天井サポート１にはレール２が取り付けられて
いる。このレール２はアルミニウムからなり、アルマイ
ト処理あるいはフッ素コーティング処理が施されてい
る。レール２の幅方向の両端には山形部3,3が形成され
ている。
一方、レール２の長さ方向に延びるメインフレーム
（台車フレーム）４の両端側にそれぞれローラフレーム
５が軸4aを介して回転可能に設けられている。ローラフ
レーム5,5にはそれぞれローラ６が回転自在に支持され
ている。ローラ６はレール２を挾むように山形部3,3に
接触してレール２の両側にそれぞれ２個ずつ計４個設け
られて１組となっており、これら４個１組のローラ６が
レール２の長さ方向に間隔をおいて一対設けられてい
る。即ち、ローラ６は合計８個設けられている。
（台車フレーム）４の両端側にそれぞれローラフレーム
５が軸4aを介して回転可能に設けられている。ローラフ
レーム5,5にはそれぞれローラ６が回転自在に支持され
ている。ローラ６はレール２を挾むように山形部3,3に
接触してレール２の両側にそれぞれ２個ずつ計４個設け
られて１組となっており、これら４個１組のローラ６が
レール２の長さ方向に間隔をおいて一対設けられてい
る。即ち、ローラ６は合計８個設けられている。
前記メインフレーム４にはこのメインフレーム４及び
ローラフレーム５を覆ってカバー4bが取り付けられてい
る。
ローラフレーム５を覆ってカバー4bが取り付けられてい
る。
前記メインフレーム４には前記ローラフレーム5,5間
に位置して二次導体７が取り付けられている。またメイ
ンフレーム４の両端部にはゴムからなるバンパー8,8が
設けられている。
に位置して二次導体７が取り付けられている。またメイ
ンフレーム４の両端部にはゴムからなるバンパー8,8が
設けられている。
他方、レール２の二次導体７側面にはレール２の長さ
方向に所定の間隔をおき、かつ前記二次導体７に対向し
得る位置に位置して複数のリニアインダクションモータ
９が取り付けられている。またレール２には、リニアイ
ンダクションモータ９を覆うカバー4cが取り付けられる
と共にカバー4cの反対側に位置してカバー4dが取り付け
られている。
方向に所定の間隔をおき、かつ前記二次導体７に対向し
得る位置に位置して複数のリニアインダクションモータ
９が取り付けられている。またレール２には、リニアイ
ンダクションモータ９を覆うカバー4cが取り付けられる
と共にカバー4cの反対側に位置してカバー4dが取り付け
られている。
また、メインフレーム４の上部にはウエハカセット12
が取り付けられている。このウエハカセット12内にはウ
エハ13が収納されている。
が取り付けられている。このウエハカセット12内にはウ
エハ13が収納されている。
前記各ローラ６は、ローラフレーム５にそれぞれ設け
られた複数のローラ軸14にベアリング15,15を介して非
磁性体（アルミニウム）からなるリング16を回転自在に
取り付けられて設けられている。リング16の外周にはリ
ング状のウレタンゴム17が嵌合固着されている。
られた複数のローラ軸14にベアリング15,15を介して非
磁性体（アルミニウム）からなるリング16を回転自在に
取り付けられて設けられている。リング16の外周にはリ
ング状のウレタンゴム17が嵌合固着されている。
また、リング16とローラ軸14との間にはベアリング1
5,15の外側に位置して非磁性体からなるスペーサ18及び
磁性体板19,19間に磁石板20を挾んでなる磁気シール部
材21が設けられている。スペーサ18及び磁気シール部材
21とローラ軸14との間には磁性流体22が設けられてい
る。14aはローラ軸14が持つベアリング押さえである。
従って、ローラ６のベアリング15,15は磁気シール部材2
1及び磁性流体22により外部と遮断されている。なお、
カバー4b,4c,4d,バンパー8,ローラ６のウレタンゴム17
等のゴム部分には、静電気防止部材が混入されている。
なお、メインフレーム4,ローラフレーム5,ローラ6,ウエ
ハカセット12,カバー4b等によりリニアインダクション
モータ９によって駆動されるキャリアが構成されてい
る。
5,15の外側に位置して非磁性体からなるスペーサ18及び
磁性体板19,19間に磁石板20を挾んでなる磁気シール部
材21が設けられている。スペーサ18及び磁気シール部材
21とローラ軸14との間には磁性流体22が設けられてい
る。14aはローラ軸14が持つベアリング押さえである。
従って、ローラ６のベアリング15,15は磁気シール部材2
1及び磁性流体22により外部と遮断されている。なお、
カバー4b,4c,4d,バンパー8,ローラ６のウレタンゴム17
等のゴム部分には、静電気防止部材が混入されている。
なお、メインフレーム4,ローラフレーム5,ローラ6,ウエ
ハカセット12,カバー4b等によりリニアインダクション
モータ９によって駆動されるキャリアが構成されてい
る。
しかして、前記のように構成されたクリーンルーム内
におけるリニアモータ搬送装置を作動させると、レール
２に沿い、ローラ６を介し、リニアインダクションモー
タ９を駆動源としてメインフレーム4,ローラフレーム5,
ウエハカセット12,カバー4b等が移動し、ウエハ13が搬
送される。
におけるリニアモータ搬送装置を作動させると、レール
２に沿い、ローラ６を介し、リニアインダクションモー
タ９を駆動源としてメインフレーム4,ローラフレーム5,
ウエハカセット12,カバー4b等が移動し、ウエハ13が搬
送される。
このとき、ローラ６のベアリング15部を磁気シール部
材21,磁性流体22等からなる磁気シール機構により密閉
したので、発塵すると考えられたローラ６のベアリング
15部からのクリーンルーム内への塵の流出を防ぎ、ま
た、カバー，ローラ６の外周部及びバンパー８等のゴム
部に静電防止剤を混入させたので、静電気によるこれら
への塵の付着を防止し、またレール２にアルマイト処理
またはフッ素コーティング処理を施したので、レール部
材の摩耗を防ぎその結果レール２とローラ６のウレタン
ゴム17との間からの塵の発生を防止する。
材21,磁性流体22等からなる磁気シール機構により密閉
したので、発塵すると考えられたローラ６のベアリング
15部からのクリーンルーム内への塵の流出を防ぎ、ま
た、カバー，ローラ６の外周部及びバンパー８等のゴム
部に静電防止剤を混入させたので、静電気によるこれら
への塵の付着を防止し、またレール２にアルマイト処理
またはフッ素コーティング処理を施したので、レール部
材の摩耗を防ぎその結果レール２とローラ６のウレタン
ゴム17との間からの塵の発生を防止する。
「発明の効果」 本発明によれば、ローラフレームに支持され、レール
を挾むように設けられたローラを介しリニアモータを駆
動源として前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬
送装置において、前記ローラのベアリング部に磁気シー
ル機構を設けてこのベアリング部を密閉し、前記キャリ
アのカバー，前記ローラの外周部及び前記キャリアに設
けられたバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記
レールにアルマイト処理，フッ素コーティング処理等の
摩耗防止処理を施したので、発塵すると考えられたロー
ラのベアリング部からのクリーンルーム内への塵の流出
を防ぐことができ、また、カバー，ローラの外周部及び
バンパーに静電防止剤を混入させたことから、これらへ
の静電気による塵の付着を防止することができ、またレ
ールに前記摩耗防止処理を施したので、レール部材の摩
耗を防ぎその結果レールとローラとの間からの塵の発生
を防止することができ、しかも前述のベアリング密閉手
段，静電気発生防止手段及び摩耗防止手段はいずれも簡
単な手段であるので、本発明を安価に提供することがで
きる。
を挾むように設けられたローラを介しリニアモータを駆
動源として前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬
送装置において、前記ローラのベアリング部に磁気シー
ル機構を設けてこのベアリング部を密閉し、前記キャリ
アのカバー，前記ローラの外周部及び前記キャリアに設
けられたバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記
レールにアルマイト処理，フッ素コーティング処理等の
摩耗防止処理を施したので、発塵すると考えられたロー
ラのベアリング部からのクリーンルーム内への塵の流出
を防ぐことができ、また、カバー，ローラの外周部及び
バンパーに静電防止剤を混入させたことから、これらへ
の静電気による塵の付着を防止することができ、またレ
ールに前記摩耗防止処理を施したので、レール部材の摩
耗を防ぎその結果レールとローラとの間からの塵の発生
を防止することができ、しかも前述のベアリング密閉手
段，静電気発生防止手段及び摩耗防止手段はいずれも簡
単な手段であるので、本発明を安価に提供することがで
きる。
第１図は本発明の一実施例を示す一部省略縦断面図、第
２図はそのローラ軸とローラとの関係を示す断面図であ
る。 ２……レール、４……メインフレーム（台車フレー
ム）、4b,4c,4d……カバー、５……ローラフレーム、６
……ローラ、８……バンパー、９……リニアインダクシ
ョンモータ、12……ウエハカセット、15……ベアリン
グ、19……磁性体板、20……磁石板、21……磁気シール
部材、22……磁性流体。
２図はそのローラ軸とローラとの関係を示す断面図であ
る。 ２……レール、４……メインフレーム（台車フレー
ム）、4b,4c,4d……カバー、５……ローラフレーム、６
……ローラ、８……バンパー、９……リニアインダクシ
ョンモータ、12……ウエハカセット、15……ベアリン
グ、19……磁性体板、20……磁石板、21……磁気シール
部材、22……磁性流体。
Claims (1)
- 【請求項１】ローラフレームに支持され、レールを挾む
ように設けられたローラを介しリニアモータを駆動源と
して前記レールに沿ってキャリアを走行させる搬送装置
において、前記ローラのベアリング部に磁気シール機構
を設けてこのベアリング部を密閉し、前記キャリアのカ
バー，前記ローラの外周部及び前記キャリアに設けられ
たバンパーのゴム部に静電防止剤を混入し、前記レール
にアルマイト処理，フッ素コーティング処理等の摩耗防
止処理を施したことを特徴とするクリーンルーム内にお
けるリニアモータ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61147691A JPH0829829B2 (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61147691A JPH0829829B2 (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS638121A JPS638121A (ja) | 1988-01-13 |
| JPH0829829B2 true JPH0829829B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=15436091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61147691A Expired - Lifetime JPH0829829B2 (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 | クリ−ンル−ム内におけるリニアモ−タ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0829829B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101656058B1 (ko) * | 2015-07-31 | 2016-09-08 | 이진우 | 모자 제조방법 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5492066A (en) * | 1993-07-30 | 1996-02-20 | Shinko Electric Co., Ltd. | Transport system |
| US6206176B1 (en) * | 1998-05-20 | 2001-03-27 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Substrate transfer shuttle having a magnetic drive |
| JP4930788B2 (ja) * | 2007-09-26 | 2012-05-16 | 豊田合成株式会社 | ドアウエザストリップ |
| CN105857489A (zh) * | 2016-05-25 | 2016-08-17 | 江苏帕维电动科技有限公司 | 一种减震防静电电动车把手 |
| KR102553679B1 (ko) | 2018-06-01 | 2023-07-07 | 가부시키가이샤 덴조 기쥬츠 겐큐쇼 | 이중 나사 구성체와 그 체결체 |
-
1986
- 1986-06-24 JP JP61147691A patent/JPH0829829B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101656058B1 (ko) * | 2015-07-31 | 2016-09-08 | 이진우 | 모자 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS638121A (ja) | 1988-01-13 |
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