JPH03288725A - ウェハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造工程において、製造装置間のウェ
ハの搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体製造工程では、デバイスの高集積化に伴って、製
造現場に要求されるクリーン度は、ますます、高くなっ
てきている。従って、製造現場では、塵埃の主たる発生
源である人間と、製造装置を切り離した室とする部分ク
リーン化が進んでいる。

部分クリーン化とは、クリーンルームの中に、さらに、
グレードの高いクリーンルームを設はクリーン度を高め
ることである。

一般に、半導体製造現場は、第３図に示すように、部分
クリーンルーム１，２．３内に配置された各種の自動処
理装置群４，５．６と、これらの装置に対して、半導体
ウェハ（以後、ウェハと称す）を自動的に搬送・ハンド
リングする搬送システム７から構成される装置 二の搬送システムは、部分クリーンルーム１゜２，３の
外であるため、搬送中のウェハに塵埃が付着する可能性
がある。そのため、従来は、電子通信学会論文誌Ｖｏ１
．６９．　Ｎｎ９．ページ１１１２〜１１２１’８６の
ｒ　Ｌ　Ｓ　Ｉウェハ搬送システムの設計と評価」に示
すように、防塵ケースの中にウェハを入れて搬送する方
式が一般的である。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、防塵ケースを部分クリーンルーム内に
入れて、ウェハを取り出す作業をするため、防塵ケース
に付着した塵埃、部分クリーンルームのドアの開閉で、
クリーン度を低下させる。

また、作業も煩雑である等の問題があった。

本発明の目的は、部分クリーンルーム内のクリーン度の
低下を防ぐウェハ搬送装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するために、本発明では、第４図に示す
ように、ウェハの搬送路１１と、自動処理装置群４，５
．６がある部分クリーンルームを一体化した、クリーン
ルーム１２を構成し、ウェハをクリーンルーム１２から
出さないようにした。

また、クリーンルーム内の搬送路１１には、塵埃の発生
する機構を少なくするために、ウェハを乗せたウェハ搭
載台車を搬送路１１の外から駆動させる駆動台車を設け
た。

また、駆動台車の走行に連れてウェハ搭載台車が走行す
るように、ウェハ搭載台車に永久磁石を設け、駆動台車
に電磁石を設けた。

また、駆動台車とウェハ搭載台車の間は、フィルターに
より遮断した。

〔作用〕

本発明では、クリーンダクト内のウェハ搬送台車に設け
た永久磁石とクリーンダクト外に設けた駆動台車に設け
た電磁石が、吸引しあった状態で駆動台車の走行によっ
て、ウェハ搬送台車を牽引する。それによって、クリー
ンダクト内の塵埃発生要因は少なくなり、クリーンルー
ム内のクリーン度は維持できる。

〔実施例〕

゛　４ 以下、本発明の一実施例を第１図から第６図を用いて説
明説明する。

第１図は、本発明の搬送台車の縦断面（搬送台車の走行
方向に対して直角）を示し、第２図は横断面（搬送台車
の走行方向に対して垂直）を示している。

１１はウェハである。１３はウェハを保持する保持具で
あり、搬送中にウェハ１１が動かないように保持してい
る。１６はローラで、１７のレールの上を走行する。ロ
ーラ１６を支持している支持具１８はベース１５に取り
付いている。ベース１５の上には、永久磁石１９を設け
ている。ベース１５．保持具１３．ローラ１６．支持具
１８．永久磁石１９で構成された台車をウェハ搬送台車
と称する。また、搬送台車が安定して走行できるように
、レール１７を二本設け、ローラ１６を四個設けている
。

１２はクリーンダクトであり、Ｕ字形構造で透明である
。Ｕ字形クリーンダクト１２の上方開口部をフィルタ１
４で密閉する。フィルタ１４は塵埃を通さないもので、
透磁率の高いもの（磁力線を透過させやすいもの）を用
いる。

ウェハ搬送台車とレール１７は、クリーンダクト１２と
フィルタ１４によって、密閉された状態となり、クリー
ンダクト１２の内部はクリーン度が高い状態となってい
る。

２６は電磁石で、コイルの内側に鉄芯が入ったもので、
１９の永久磁石と対向した位置で、非接触状態にある。

電磁石２６は台車２２に固定している。台車２２には、
ベアリング２３を介して二本のシャフト２４を設け、シ
ャフト２４の両端には、ローラ２１を設けている。また
、シャフト２４には、大ギア２５を固定しており、大ギ
ア２５とかみ合った状態で小ギア２８がモータ２７のシ
ャフト３０に挿入・固定されている。台車２２の上方に
は、モータ２７が固定され、また、電磁石２６用の電源
２９を設けている。ローラ２１は、四個設けており、ト
ラック２０上を走行する。

台車２２．電磁石２６．モータ２７．電源２９．大ギア
２５゜小ギア２８．シヤフト２４．ローラ２１等で構成
した台車を、駆動台車と称する。

以下に、駆動台車がウェハ搬送台車を牽引する動作を説
明する。モータ２７によって、モータシャフト３０に取
り付けである小ギア２８が回転し、この回転運動は、大
ギア２５．シヤフト２４．ローラ２１へと伝達され、ロ
ーラ２１が回転する。ローラ２１の回転によって、駆動
台車は、第２図の状態から、第５図に示すように、左方
に移動する。駆動台車の左方への移動によって、駆動台
車に設けである電磁石２６と、ウェハ搬送台車に設けで
ある永久磁石１９との距離は遠くなり、より近づこうと
して、互いに引き合う。そこで、駆動台車は自己の推進
力によって後退することはないので、ウェハ搬送台車が
、駆動台車に吸収されるようになる。従って、駆動台車
がウェハ搬送台車を牽引するようになる。

しかし、駆動台車がウェハ搬送台車を牽引するための条
件として、駆動台車と搬送台車が一定以上離れないよう
に走行させる必要がある。つまり、電磁石と永久磁石の
吸引力が、ウェハ搬送台車の走行抵抗より大きい状態で
走行させる必要がある。

また、電磁石と永久磁石が最も近づいた状態で、ウェハ
搬送台車が浮き上がらないために、吸引力は、ウェハ搬
送台車の自重よりも小さくしなければならない。また、
電磁石と永久磁石の磁極は異極としなければならない。

以上の方法で、走行させるウェハ搬送台車７１は、第６
図に示すように、クリーンダクト７３内を走行して、自
動処理装置４に近づく。ウェハ搬送台車７１に搭載した
ウェハは、クリーンルーム内で、自動処理装置４に移載
される。

本実施例によれば、ウェハ搬送台車の塵埃発生機構が少
なくなったことにより、クリーンルーム内での走行が可
能となり、クリーンルームのドアの開閉、塵埃が付着し
たケースを持ち込むことによるクリーン度の低下等の問
題がなくなる。

また、本実施例では、ウェハ搬送台車を上方から電磁石
により吸引して牽引するようにしたが、下方から吸引し
て牽引してもよい。また、上方もしくは下方の後方から
押す構成でも同程度の効果が得られる。ただし、電磁石
と永久磁石は同極（Ｎ極とＮ極またはＳ極とＳ極）とし
、斥力でウェハ搬送台車を走行させる。

°　８　。

〔発明の効果〕

本発明によれば、クリーン度の高いクリーンルーム内で
、塵埃が発生しないウェハ搬送台車を走行させることに
より、クリーンルームの高クリーン度を維持でき、ウェ
ハへの塵埃の付着が少なくなり、良品の歩留まり向上と
なる。

また、ウェハ搬送台車に走行用駆動部がないので多数個
必要とするウェハ搬送台車の構造がシンプルとなり、ラ
ンニングコストが下る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のウェハ搬送台車の縦断面図
、第２図は本発明のウェハ搬送台車の横断面図、第３図
は従来の半導体製造現場のクリーンルームの説明図、第
４図は本発明での半導体製造現場のクリーンルームの説
明図、第５図は第１図、第２図で示したウェハ搬送台車
の走行状態の横断面図、第６図は本発明のウェハ搬送台
車の使用状態の横断面図である。 １１・・・ウェハ　　　　　１２・・・クリーンダクト
１４・・・フィルタ　　　　１９・・・永久磁石２６・
・・電磁石 ７２・・・駆動台車 ７１・・・ウェハ搬送台車 °１０′ 矛１図 １〇−永久不蕊石 ｚ６−０−電僅石 粥２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ウェハ搬送装置の中の、有軌道形自動搬送において
   、クリーン度の高いダクトの中に軌道を設け、前記軌道
   上にウェハを搭載したウェハ搭載台車を設け、前記ウェ
   ハ搭載台車を前記ダクトの外から牽引することを特徴と
   するウェハ搬送装置。 ２、請求項１において、前記ダクト内の前記ウェハ搭載
   台車と前記ダクト外の駆動台車とを磁石で吸引させ、前
   記駆動台車で前記ウェハ搬送台車を牽引するウェハ搬送
   台車。 ３、請求項２において、前記ウェハ搬送台車に設けた永
   久磁石と駆動台車に設けた電磁石を対向した位置に、隙
   間をあけて配置させ、前記隙間をフィルタで遮断したウ
   ェハ搬送装置。 ４、請求項２において、前記ウェハ搭載台車を上方・前
   方向に牽引するウェハ搬送装置。