JP3061595B2 - コンベヤ - Google Patents
コンベヤInfo
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- JP3061595B2 JP3061595B2 JP9180870A JP18087097A JP3061595B2 JP 3061595 B2 JP3061595 B2 JP 3061595B2 JP 9180870 A JP9180870 A JP 9180870A JP 18087097 A JP18087097 A JP 18087097A JP 3061595 B2 JP3061595 B2 JP 3061595B2
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- Japan
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- roller
- roller shaft
- conveyor
- enclosed space
- shaft
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G13/00—Roller-ways
- B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
- B65G13/06—Roller driving means
- B65G13/07—Roller driving means having endless driving elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】製造施設においては物を移動
するため様々の用途においてコンベヤが広く使用されて
いる。しばしば、製造作業は清浄室すなわちクリーンル
ーム内で行われ、その場合、被運搬物は汚染に対して過
敏である。コンベヤはそれ自体による汚染の脅威を物に
及ぼすべきでない。コンベヤによって生じるいかなる汚
染物も最小限にされ、かつ制御されなくてはならない。
するため様々の用途においてコンベヤが広く使用されて
いる。しばしば、製造作業は清浄室すなわちクリーンル
ーム内で行われ、その場合、被運搬物は汚染に対して過
敏である。コンベヤはそれ自体による汚染の脅威を物に
及ぼすべきでない。コンベヤによって生じるいかなる汚
染物も最小限にされ、かつ制御されなくてはならない。
【０００２】
【従来の技術】コンベヤによって発生する汚染を制御す
る一方法は、低固有汚染物発生率を有するコンベヤを使
用することである。コンベヤのそのようなタイプの一つ
は、米国特許第３９５１２５５号に開示されるごとき複
数の摺動可能の被動ローラを備えたタイプである。これ
らローラは、被運搬物が妨害物に遭遇して停止しないか
ぎり、摺動することなしに回転する。被運搬物が停止す
るときは、該物と接触しているローラは、それぞれの内
ローラシャフトに対して摺動し、そして物に対しては摺
動しない。従って、物の表面に汚染物はほとんど発生せ
ず、そして少数のローラが摺動するにすぎず、該摺動は
耐摩耗性のローラ対シャフト界面において生じる。
る一方法は、低固有汚染物発生率を有するコンベヤを使
用することである。コンベヤのそのようなタイプの一つ
は、米国特許第３９５１２５５号に開示されるごとき複
数の摺動可能の被動ローラを備えたタイプである。これ
らローラは、被運搬物が妨害物に遭遇して停止しないか
ぎり、摺動することなしに回転する。被運搬物が停止す
るときは、該物と接触しているローラは、それぞれの内
ローラシャフトに対して摺動し、そして物に対しては摺
動しない。従って、物の表面に汚染物はほとんど発生せ
ず、そして少数のローラが摺動するにすぎず、該摺動は
耐摩耗性のローラ対シャフト界面において生じる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本質的には、清浄（ク
リーン）タイプのコンベヤは、たとえ動力駆動式の摺動
可能ローラコンベヤであっても、あるタイプの清浄室
（クリーンルーム）にとっては十分に清浄でないことが
ありうる。要望されるものは、クリーンルーム環境にと
って好適な動力駆動式の摺動可能ローラコンベヤであ
る。
リーン）タイプのコンベヤは、たとえ動力駆動式の摺動
可能ローラコンベヤであっても、あるタイプの清浄室
（クリーンルーム）にとっては十分に清浄でないことが
ありうる。要望されるものは、クリーンルーム環境にと
って好適な動力駆動式の摺動可能ローラコンベヤであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の一局面を簡潔に
説明すると、ある経路に沿って製造物を移動するための
コンベヤが提供される。前記コンベヤは、経路の少なく
とも一部分の下に延びる第１の複数のローラシャフトを
有する。複数の摺動可能のローラがローラシャフトによ
って駆動される。駆動機構がローラシャフトを駆動す
る。駆動機構は、包囲空間を画成する囲い内にその大部
分が囲われる。前記囲いは、二部片構成の弾性ローラシ
ャフトシールを有する。排出装置が、前記包囲空間から
空気および粒状物を除去する。
説明すると、ある経路に沿って製造物を移動するための
コンベヤが提供される。前記コンベヤは、経路の少なく
とも一部分の下に延びる第１の複数のローラシャフトを
有する。複数の摺動可能のローラがローラシャフトによ
って駆動される。駆動機構がローラシャフトを駆動す
る。駆動機構は、包囲空間を画成する囲い内にその大部
分が囲われる。前記囲いは、二部片構成の弾性ローラシ
ャフトシールを有する。排出装置が、前記包囲空間から
空気および粒状物を除去する。
【０００５】本発明の他の一局面において、前記ローラ
シャフトシールの２つの部片は分割され、そのような分
割はローラシャフトの中心線によって画成された平面と
合致する。
シャフトシールの２つの部片は分割され、そのような分
割はローラシャフトの中心線によって画成された平面と
合致する。
【０００６】本発明の他の一局面において、前記駆動機
構は、チェーンおよびスプロケット、またはプーリおよ
びベルトを含む。
構は、チェーンおよびスプロケット、またはプーリおよ
びベルトを含む。
【０００７】本発明の他の一局面においては、コンベヤ
の片側に沿って駆動機構が設置され得、またはコンベヤ
の両側に駆動機構が設置され得る。
の片側に沿って駆動機構が設置され得、またはコンベヤ
の両側に駆動機構が設置され得る。
【０００８】本発明の目的は、クリーンルーム環境にと
って好適な摺動可能のローラを備えた動力駆動されるコ
ンベヤを提供することである。
って好適な摺動可能のローラを備えた動力駆動されるコ
ンベヤを提供することである。
【０００９】本発明の他の目的は、クリーンルーム環境
にとって好適な摺動可能のローラを備えた動力駆動され
るコンベヤであって容易に組立てられかつ構成要素の整
合の狂いを許容し得るものを提供することである。
にとって好適な摺動可能のローラを備えた動力駆動され
るコンベヤであって容易に組立てられかつ構成要素の整
合の狂いを許容し得るものを提供することである。
【００１０】本発明のこれらそしてその他の目的と利点
は、図面を参照しつつ以下記する説明および前記請求項
から明らかになるであろう。
は、図面を参照しつつ以下記する説明および前記請求項
から明らかになるであろう。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の原理の理解を促進するた
め、次に、図示実施例を参照し、そして特有の用語を用
いてそれらを説明する。しかし、それによって本発明の
範囲の限定は意図されないことと、本発明と関係のある
当業者が通常思いつくような図示装置の改変およびさら
なる修正並びに図面で開示される本発明の原理のさらな
る適用が予想されることは理解されるであろう。
め、次に、図示実施例を参照し、そして特有の用語を用
いてそれらを説明する。しかし、それによって本発明の
範囲の限定は意図されないことと、本発明と関係のある
当業者が通常思いつくような図示装置の改変およびさら
なる修正並びに図面で開示される本発明の原理のさらな
る適用が予想されることは理解されるであろう。
【００１２】本発明は、清浄室すなわちクリーンルーム
の環境のために好適な摺動可能のローラを備えた動力駆
動式コンベヤに関するものである。該コンベヤの駆動機
構は、排気される囲い内に配置される。駆動機構から発
生する粒状物質は、囲い内に封じ込められ、最後にコン
ベヤから排出される。排出された粒状物質は、クリーン
ルームから移送される。このようにして、摺動可能のロ
ーラを有する動力駆動式コンベヤは、クリーンルームの
粒子カウント基準を超過することなしにクリーンルーム
内で運転され得る。
の環境のために好適な摺動可能のローラを備えた動力駆
動式コンベヤに関するものである。該コンベヤの駆動機
構は、排気される囲い内に配置される。駆動機構から発
生する粒状物質は、囲い内に封じ込められ、最後にコン
ベヤから排出される。排出された粒状物質は、クリーン
ルームから移送される。このようにして、摺動可能のロ
ーラを有する動力駆動式コンベヤは、クリーンルームの
粒子カウント基準を超過することなしにクリーンルーム
内で運転され得る。
【００１３】本発明は、ローラシャフトの駆動方式と、
ローラシャフトが全運動面路に亙って延びているか否か
の点で異なる４つの実施例を提示する。第１の実施例に
おいては、ローラシャフトの一端部は、チェーン・スプ
ロケットによって駆動され、そしてローラシャフトの他
端部は、運動面路の他側でローラシャフト支持組立体内
に回転可能に受容されている。第２の実施例にいては、
ローラシャフトは、運動面路の両側に沿ってチェーン駆
動され、そして運動面路の一部分の下に延びているにす
ぎず、運動面路の中心部は相対的に開いた状態に保たれ
ている。
ローラシャフトが全運動面路に亙って延びているか否か
の点で異なる４つの実施例を提示する。第１の実施例に
おいては、ローラシャフトの一端部は、チェーン・スプ
ロケットによって駆動され、そしてローラシャフトの他
端部は、運動面路の他側でローラシャフト支持組立体内
に回転可能に受容されている。第２の実施例にいては、
ローラシャフトは、運動面路の両側に沿ってチェーン駆
動され、そして運動面路の一部分の下に延びているにす
ぎず、運動面路の中心部は相対的に開いた状態に保たれ
ている。
【００１４】第３と第４の実施例は、それぞれ第２と第
１の実施例に似ている。第３の実施例は、運動面路の両
側に沿ってプーリで駆動されるシャフトを有し運動面路
の中心部が相対的に開いている。第４の実施例は、運動
面路の片側に沿ってプーリ・ベルト装置によって駆動さ
れそして運動面路の他側で回転可能に受容されたシャフ
トを有する。
１の実施例に似ている。第３の実施例は、運動面路の両
側に沿ってプーリで駆動されるシャフトを有し運動面路
の中心部が相対的に開いている。第４の実施例は、運動
面路の片側に沿ってプーリ・ベルト装置によって駆動さ
れそして運動面路の他側で回転可能に受容されたシャフ
トを有する。
【００１５】図１から図５は、本発明の第１の実施例で
ある装置２０を示す。装置２０は脚２４によって側レー
ル２３から支持されている運搬組立体２１を有する。運
搬組立体２１は、装置２０の片側に沿って位置するロー
ラ駆動組立体２２ａと、装置２０の他側に沿って位置す
るローラシャフト支持組立体２２ｂとを有する。さら
に、脚２４がモータ・歯車箱組立体２６と排出装置３０
とを支持する。
ある装置２０を示す。装置２０は脚２４によって側レー
ル２３から支持されている運搬組立体２１を有する。運
搬組立体２１は、装置２０の片側に沿って位置するロー
ラ駆動組立体２２ａと、装置２０の他側に沿って位置す
るローラシャフト支持組立体２２ｂとを有する。さら
に、脚２４がモータ・歯車箱組立体２６と排出装置３０
とを支持する。
【００１６】モータ・歯車箱組立体２６は、当業者に既
知の方式で第１チェーン（図示せず）によって主駆動ス
プロケット３２に対し動力を供給する。主駆動スプロケ
ット３２は、交差シャフト４２を駆動する。交差シャフ
ト４２は、交差スプロケット４４を回転させる。交差ス
プロケット４４は、ローラ駆動組立体２２ａ内の第２チ
ェーン３４に動力を供給する。
知の方式で第１チェーン（図示せず）によって主駆動ス
プロケット３２に対し動力を供給する。主駆動スプロケ
ット３２は、交差シャフト４２を駆動する。交差シャフ
ト４２は、交差スプロケット４４を回転させる。交差ス
プロケット４４は、ローラ駆動組立体２２ａ内の第２チ
ェーン３４に動力を供給する。
【００１７】モータ・歯車箱組立体２６と関連駆動機構
は、パネル組立体２５内に囲まれている。これらパネル
と関連シールとの内部に、第１の囲まれた空間２９ａの
第１の部分が画成されている。空間２９ａの囲いは相対
的に気密であり、排出装置３０が空間２９ａの第１の部
分内に大気圧以下の圧力を生じさせることを可能にす
る。前記のごとき駆動機構が粒状物質を発生するにつれ
て、粒状物質はパネル２５内に封じ込められ、そして最
後にノズル２８を通じて排出される。ノズル２８は、典
型的に空気充満空間に接続しており、該空間はクリーン
ルーム区域からの粒状物質をさらに移送する。前記排出
装置３０に代えて、クリーンルームに対して独立した排
出系統が設置され得ることに留意すべきである。そのよ
うな排気系統は、ノズル２８に接続され、空間２９ａ内
に大気圧以下の圧力を生じさせ得る。少量の空気が空間
２９ａ内に漏入することがむしろ好ましい。
は、パネル組立体２５内に囲まれている。これらパネル
と関連シールとの内部に、第１の囲まれた空間２９ａの
第１の部分が画成されている。空間２９ａの囲いは相対
的に気密であり、排出装置３０が空間２９ａの第１の部
分内に大気圧以下の圧力を生じさせることを可能にす
る。前記のごとき駆動機構が粒状物質を発生するにつれ
て、粒状物質はパネル２５内に封じ込められ、そして最
後にノズル２８を通じて排出される。ノズル２８は、典
型的に空気充満空間に接続しており、該空間はクリーン
ルーム区域からの粒状物質をさらに移送する。前記排出
装置３０に代えて、クリーンルームに対して独立した排
出系統が設置され得ることに留意すべきである。そのよ
うな排気系統は、ノズル２８に接続され、空間２９ａ内
に大気圧以下の圧力を生じさせ得る。少量の空気が空間
２９ａ内に漏入することがむしろ好ましい。
【００１８】チェーン３４は、ローラ駆動組立体２２ａ
の内部において、一連の緊張装置３６と遊びスプロケッ
ト３８と注油装置４０とを通過して運動する。チェーン
３４は、複数の外被動スプロケット４６と内被動スプロ
ケット４８とを駆動する。被動スプロケット４６、４８
は、交互にローラシャフト５０に取付けられている。ロ
ーラシャフト５０は、引用によってここに包含される米
国特許第３９５１２５５号に記載される方式で複数の摺
動可能のローラ５２を駆動する。これらローラ５２の頂
点は、それに沿って物体が運搬される表面路５３と一致
している。一対のブシュ、すなわち、ささえ５４が、ロ
ーラシャフト５０を回転可能に受容している。ローラ支
持組立体２２ｂが、表面路５３の、ローラ支持組立体２
２ａと反対の側に沿って、ささえ５４にローラシャフト
５０を回転可能に受容している。ささえ５４は、側レー
ル２３に取付けられそれによって支持されている。
の内部において、一連の緊張装置３６と遊びスプロケッ
ト３８と注油装置４０とを通過して運動する。チェーン
３４は、複数の外被動スプロケット４６と内被動スプロ
ケット４８とを駆動する。被動スプロケット４６、４８
は、交互にローラシャフト５０に取付けられている。ロ
ーラシャフト５０は、引用によってここに包含される米
国特許第３９５１２５５号に記載される方式で複数の摺
動可能のローラ５２を駆動する。これらローラ５２の頂
点は、それに沿って物体が運搬される表面路５３と一致
している。一対のブシュ、すなわち、ささえ５４が、ロ
ーラシャフト５０を回転可能に受容している。ローラ支
持組立体２２ｂが、表面路５３の、ローラ支持組立体２
２ａと反対の側に沿って、ささえ５４にローラシャフト
５０を回転可能に受容している。ささえ５４は、側レー
ル２３に取付けられそれによって支持されている。
【００１９】ローラシャフト５０のための、以上開示さ
れた駆動機構は、装置２０が運転されるにつれて、粒状
物質を発生する。粒状物質を封じ込めるため、パネルと
シールとささえとの組立体が、第１の囲まれた空間２９
ａの第２の部分内に、駆動機構を囲んでいる。空間２９
ａの囲いは、相対的に気密であり、排出装置３０が空間
２９ａの第１の部分内と第２の部分内とに大気圧以下の
圧力を生じさせることを可能にする。少量の空気が空間
２９ａ内に漏入することがむしろ好ましい。
れた駆動機構は、装置２０が運転されるにつれて、粒状
物質を発生する。粒状物質を封じ込めるため、パネルと
シールとささえとの組立体が、第１の囲まれた空間２９
ａの第２の部分内に、駆動機構を囲んでいる。空間２９
ａの囲いは、相対的に気密であり、排出装置３０が空間
２９ａの第１の部分内と第２の部分内とに大気圧以下の
圧力を生じさせることを可能にする。少量の空気が空間
２９ａ内に漏入することがむしろ好ましい。
【００２０】側レール２３は、囲まれた空間２９ａの第
２の部分の側に位置する。上パネル６６と外パネル７５
は、空間２９ａの第２の部分の他方の境界に位置する。
さらに、下パネル５８と、内パネル６０と、シールささ
え６４が、空間２９ａの境界を構成する。シール６２
は、下パネル５８と内パネル６０との間のあらゆる間隙
を閉鎖するのに有効である。
２の部分の側に位置する。上パネル６６と外パネル７５
は、空間２９ａの第２の部分の他方の境界に位置する。
さらに、下パネル５８と、内パネル６０と、シールささ
え６４が、空間２９ａの境界を構成する。シール６２
は、下パネル５８と内パネル６０との間のあらゆる間隙
を閉鎖するのに有効である。
【００２１】ローラシャフト５０の一部分は、空間２９
ａ内に延びている。シャフトスプールシール６８が、ロ
ーラシャフト５０を回転可能に受容する。二部片構成弾
性固定式ローラシャフトシールが、スプールシール６８
と上パネル６６とシールささえ６４との間にシールを構
成する。ローラシャフトシールの第１の部片７０は、シ
ャフトスプールシール６８の上半部と接触し、さらに、
上パネル６６に形成された凹所内に受容されている。部
片７０のくぼみ７０ａは、上パネル６６のリブ６６ａを
受容しそれによって適所に確保されている。前記ローラ
シャフトシールの第２の部片７２は、シャフトスプール
シール６８の下半部と接触しておりそしてシールささえ
６４によって画成されたポケット内に受容されている。
部片７２のくぼみ７２ａは、シールささえ６４のリブ６
４ａを受容しそれによって適所に確保されている。シー
ル部片７０、７２は、連続気泡型の発泡ウレタンのごと
き弾性材料から作られている。この弾性によって部片７
０、７２は囲いおよび駆動機構の様々の構成要素の整合
の狂いを許容し得る。
ａ内に延びている。シャフトスプールシール６８が、ロ
ーラシャフト５０を回転可能に受容する。二部片構成弾
性固定式ローラシャフトシールが、スプールシール６８
と上パネル６６とシールささえ６４との間にシールを構
成する。ローラシャフトシールの第１の部片７０は、シ
ャフトスプールシール６８の上半部と接触し、さらに、
上パネル６６に形成された凹所内に受容されている。部
片７０のくぼみ７０ａは、上パネル６６のリブ６６ａを
受容しそれによって適所に確保されている。前記ローラ
シャフトシールの第２の部片７２は、シャフトスプール
シール６８の下半部と接触しておりそしてシールささえ
６４によって画成されたポケット内に受容されている。
部片７２のくぼみ７２ａは、シールささえ６４のリブ６
４ａを受容しそれによって適所に確保されている。シー
ル部片７０、７２は、連続気泡型の発泡ウレタンのごと
き弾性材料から作られている。この弾性によって部片７
０、７２は囲いおよび駆動機構の様々の構成要素の整合
の狂いを許容し得る。
【００２２】第１の部片７０と第２の部片７２は、おの
おの、シャフトスプールシール６８を概ね１８０度にわ
たって取巻いている。各部片７０、７２の半円形の切欠
き７１が、それぞれ、シャフトスプールシール６８の概
ね半分と接触している。部片７０、７２はローラシャフ
ト５０の中心線７３によって規定される平面において互
いに隣接している。部片７０、７２の幅Ｗは、概ね６．
３５ｍｍ（０．２５インチ）であるが、本発明はこの幅
Ｗに限定されない。このような弾性二部片構成は、代替
的に両部片７０、７２が単片化され、または、非弾性部
片である場合に要求される組付けと比較すると、ローラ
シャフト５０に対する様々の構成要素の容易な組付けを
可能にする。部片７０、７２は、効果的なエアシールを
維持し、一方、シャフトの整合の狂いに関し許容差が大
きい。
おの、シャフトスプールシール６８を概ね１８０度にわ
たって取巻いている。各部片７０、７２の半円形の切欠
き７１が、それぞれ、シャフトスプールシール６８の概
ね半分と接触している。部片７０、７２はローラシャフ
ト５０の中心線７３によって規定される平面において互
いに隣接している。部片７０、７２の幅Ｗは、概ね６．
３５ｍｍ（０．２５インチ）であるが、本発明はこの幅
Ｗに限定されない。このような弾性二部片構成は、代替
的に両部片７０、７２が単片化され、または、非弾性部
片である場合に要求される組付けと比較すると、ローラ
シャフト５０に対する様々の構成要素の容易な組付けを
可能にする。部片７０、７２は、効果的なエアシールを
維持し、一方、シャフトの整合の狂いに関し許容差が大
きい。
【００２３】空間２９ａの第１の部分と第２の部分は、
互いに流体連通関係にある。本発明の要素は、第１また
は第２の部分内に位置するものとして言及されまたは図
解されたが、当業者は、その他の組合せも本発明の範囲
内に含まれることを理解するであろう。
互いに流体連通関係にある。本発明の要素は、第１また
は第２の部分内に位置するものとして言及されまたは図
解されたが、当業者は、その他の組合せも本発明の範囲
内に含まれることを理解するであろう。
【００２４】図６と図７は、装置１２０、すなわち、本
発明の第２の実施例を図解する。装置１２０は装置２０
に似ているが、第２の駆動機構と、第２の組のローラシ
ャフトと、第２の組の摺動ローラと、そして第２の囲ま
れた空間とを第２の囲い内に有する。以下、装置２０と
装置１２０との間のいくつかの相違点について説明す
る。
発明の第２の実施例を図解する。装置１２０は装置２０
に似ているが、第２の駆動機構と、第２の組のローラシ
ャフトと、第２の組の摺動ローラと、そして第２の囲ま
れた空間とを第２の囲い内に有する。以下、装置２０と
装置１２０との間のいくつかの相違点について説明す
る。
【００２５】装置１２０は、脚２４によって支持された
運搬組立体１２１を有する。運搬組立体１２１は、表面
路５３の片側に沿って位置する第１のローラ駆動組立体
１２２ａと、表面路５３の他側に沿って位置する第２の
ローラ駆動組立体１２２ｂとを有する。ローラ駆動組立
体１２２ｂは、ローラ駆動組立体１２２ａの鏡像的構成
である。
運搬組立体１２１を有する。運搬組立体１２１は、表面
路５３の片側に沿って位置する第１のローラ駆動組立体
１２２ａと、表面路５３の他側に沿って位置する第２の
ローラ駆動組立体１２２ｂとを有する。ローラ駆動組立
体１２２ｂは、ローラ駆動組立体１２２ａの鏡像的構成
である。
【００２６】ローラ駆動組立体１２２ｂの内部におい
て、第２の組のローラシャフト１５０が、スプロケット
４６、４８によって駆動される。ローラシャフト１５０
は、ブシュささえ５４とシャフト抑止手段１５４によっ
て支持されている。ローラシャフト１５０は、表面路５
３の一部分の下に延びているにすぎない。表面路５３
は、摺動ローラ１５２の頂点と一致している。ローラシ
ャフト１５０は、装置２０の場合と同様に、表面路５３
の全体に亙っては延びていない。かくして、装置１２０
の中心部は開いており、したがってほとんど妨害される
ことなくクリーンルームの空気が流れることを可能にす
る。
て、第２の組のローラシャフト１５０が、スプロケット
４６、４８によって駆動される。ローラシャフト１５０
は、ブシュささえ５４とシャフト抑止手段１５４によっ
て支持されている。ローラシャフト１５０は、表面路５
３の一部分の下に延びているにすぎない。表面路５３
は、摺動ローラ１５２の頂点と一致している。ローラシ
ャフト１５０は、装置２０の場合と同様に、表面路５３
の全体に亙っては延びていない。かくして、装置１２０
の中心部は開いており、したがってほとんど妨害される
ことなくクリーンルームの空気が流れることを可能にす
る。
【００２７】装置１２０の駆動機構は、第２の囲まれた
空間１２９内に封じ込められている。第１の囲まれた空
間１２９ａの第１の部分は、その内部に、モータ２６を
有する。第１の囲まれた空間１２９ａの第２の部分は、
その内部に、ローラ駆動組立体１２２ａの駆動機構を有
する。第１の囲まれた空間１２９ａは、前記第１の囲ま
れた空間２９ａと相似している。第２の囲まれた空間１
２９ｂは、その内部に、ローラ駆動組立体１２２ｂの駆
動機構を有する。囲まれた空間１２９ａと１２９ｂと
は、互いに流体連通関係にあり、粒状物質はノズル２８
を通じて除去される。
空間１２９内に封じ込められている。第１の囲まれた空
間１２９ａの第１の部分は、その内部に、モータ２６を
有する。第１の囲まれた空間１２９ａの第２の部分は、
その内部に、ローラ駆動組立体１２２ａの駆動機構を有
する。第１の囲まれた空間１２９ａは、前記第１の囲ま
れた空間２９ａと相似している。第２の囲まれた空間１
２９ｂは、その内部に、ローラ駆動組立体１２２ｂの駆
動機構を有する。囲まれた空間１２９ａと１２９ｂと
は、互いに流体連通関係にあり、粒状物質はノズル２８
を通じて除去される。
【００２８】囲まれた空間１２９ｂと、囲まれた空間１
２９ａの第２の部分は、前記囲まれた空間２９ａの第２
の部分と同じいくつかの構成要素によって画成される。
囲まれた空間１２９の上境界は、上パネル１６６によっ
て画成される。上パネル１６６は、コーナパネル１６８
と製造物ガイド１７４の内部に閉じ込められている。ロ
ーラシャフトシールの第１の部片７０は、上パネル１６
６によって画成されたポケット内に受容され、リブ１６
６ａによって確保されている。ローラシャフトシールの
第２の部片は、シールささえ６４によって画成されたポ
ケット内に受容されている。
２９ａの第２の部分は、前記囲まれた空間２９ａの第２
の部分と同じいくつかの構成要素によって画成される。
囲まれた空間１２９の上境界は、上パネル１６６によっ
て画成される。上パネル１６６は、コーナパネル１６８
と製造物ガイド１７４の内部に閉じ込められている。ロ
ーラシャフトシールの第１の部片７０は、上パネル１６
６によって画成されたポケット内に受容され、リブ１６
６ａによって確保されている。ローラシャフトシールの
第２の部片は、シールささえ６４によって画成されたポ
ケット内に受容されている。
【００２９】本発明の構成要素が、密閉空間１２９ａの
第１または第２の部分内に位置するものとして言及され
または図解されたが、本発明にはその他の組合せも包含
されうることは、当業者には理解されるであろう。
第１または第２の部分内に位置するものとして言及され
または図解されたが、本発明にはその他の組合せも包含
されうることは、当業者には理解されるであろう。
【００３０】図８は、装置２２０、すなわち、本発明の
第３の実施例を図解するものである。装置２２０は、前
記装置１２０に似ており、運動表面路５３の単に一部分
の下に延びているローラシャフトを駆動するため運動表
面路５３の両側に沿って鏡像的構成の駆動組立体を有す
る。装置１２０と装置２２０との間の相違点は、装置１
２０は、チェーンで駆動され、一方、装置２２０は、ベ
ルトで駆動されることである。主駆動プーリ２２２は、
モータ２６（図示せず）によって駆動される。主駆動ベ
ルト２２４は、プーリ２２２によって駆動され、そして
駆動シャフト２２６に取付けられた中間プーリを駆動す
る。ローラシャフト駆動ベルト２２８が、駆動シャフト
２２６によって駆動されるとともにプーリ２４６を駆動
する。プーリ２４６はローラシャフト１５０を駆動す
る。
第３の実施例を図解するものである。装置２２０は、前
記装置１２０に似ており、運動表面路５３の単に一部分
の下に延びているローラシャフトを駆動するため運動表
面路５３の両側に沿って鏡像的構成の駆動組立体を有す
る。装置１２０と装置２２０との間の相違点は、装置１
２０は、チェーンで駆動され、一方、装置２２０は、ベ
ルトで駆動されることである。主駆動プーリ２２２は、
モータ２６（図示せず）によって駆動される。主駆動ベ
ルト２２４は、プーリ２２２によって駆動され、そして
駆動シャフト２２６に取付けられた中間プーリを駆動す
る。ローラシャフト駆動ベルト２２８が、駆動シャフト
２２６によって駆動されるとともにプーリ２４６を駆動
する。プーリ２４６はローラシャフト１５０を駆動す
る。
【００３１】装置２２０の駆動機構から生じる粒状物質
は、囲まれた空間２２９ａ、２２９ｂ内に封じ込められ
る。第１の囲まれた空間２２９ａの第１の部分は、その
内部に、モータ２６を有し、パネル２２５がモータ２６
を包囲している。第１の囲まれた空間２２９ａの第２の
部分は、その内部に、駆動組立体２２２ａの駆動機構を
収容している。第２の囲まれた空間２２９ｂは、その内
部に、駆動組立体２２２ｂの駆動機構を収容している。
囲まれた空間２２９ａ、２２９ｂは、互いに流体連通関
係にある。粒状物質は、ノズル２８を通じて放出され
る。本発明の構成要素が、囲まれた空間２２９ａの第１
または第２の部分の内部に位置するものとして以上言及
されまたは図解されたが、本発明はその他の組合せも包
含し得ることは、当業者によって理解されるであろう。
は、囲まれた空間２２９ａ、２２９ｂ内に封じ込められ
る。第１の囲まれた空間２２９ａの第１の部分は、その
内部に、モータ２６を有し、パネル２２５がモータ２６
を包囲している。第１の囲まれた空間２２９ａの第２の
部分は、その内部に、駆動組立体２２２ａの駆動機構を
収容している。第２の囲まれた空間２２９ｂは、その内
部に、駆動組立体２２２ｂの駆動機構を収容している。
囲まれた空間２２９ａ、２２９ｂは、互いに流体連通関
係にある。粒状物質は、ノズル２８を通じて放出され
る。本発明の構成要素が、囲まれた空間２２９ａの第１
または第２の部分の内部に位置するものとして以上言及
されまたは図解されたが、本発明はその他の組合せも包
含し得ることは、当業者によって理解されるであろう。
【００３２】装置２２０が装置１２０にちょうど似てい
るのと同じように、装置２０に似ている第４の実施例が
存在しうることは、当業者に明らかであろう。この第４
の実施例は、表面路５３を完全に横切ってその下で延び
ている複数のローラシャフト５０を駆動するプーリ・ベ
ルト駆動機構を有する。この第４の実施例のシャフト、
シール、パネル、およびその他構成部品は、前記第１、
第２および第３の実施例において様々に説明されてい
る。
るのと同じように、装置２０に似ている第４の実施例が
存在しうることは、当業者に明らかであろう。この第４
の実施例は、表面路５３を完全に横切ってその下で延び
ている複数のローラシャフト５０を駆動するプーリ・ベ
ルト駆動機構を有する。この第４の実施例のシャフト、
シール、パネル、およびその他構成部品は、前記第１、
第２および第３の実施例において様々に説明されてい
る。
【００３３】以上、本発明は諸図面および前掲説明にお
いて詳細に図示、説明されたが、それらは本質的に例示
的かつ非制限的であるとみなさるべきであり、単に好適
な実施例が提示されそして説明されたにすぎないこと、
そして本発明の精神に包含されるすべての変更並びに修
正はそれらの保護が望まれることが理解さるべきであ
る。
いて詳細に図示、説明されたが、それらは本質的に例示
的かつ非制限的であるとみなさるべきであり、単に好適
な実施例が提示されそして説明されたにすぎないこと、
そして本発明の精神に包含されるすべての変更並びに修
正はそれらの保護が望まれることが理解さるべきであ
る。
【図１】本発明の第１の実施例の側面図。
【図２】駆動機構が部分的に露出された図１の側面図。
【図３】線３−３に沿って切られた図２の断面図。
【図４】図３の上部分の拡大図。
【図５】ローラシャフトシール部片７０、７２の部分側
面図。
面図。
【図６】図３の断面図と同様の断面図で示された本発明
の第２の実施例の断面図。
の第２の実施例の断面図。
【図７】図５の上部分の拡大図。
【図８】図６の断面図と同様の断面図で示された本発明
の第３の実施例の断面図。
の第３の実施例の断面図。
２１ 運搬組立体 ２２ａ ローラ駆動組立体 ２２ｂ ローラシャフト支持組立体 ２６ モータ・歯車箱組立体 ２９ａ 囲まれた空間 ３０ 排出装置 ３２ 主駆動スプロケット ３４ チェーン ４２ 交差シャフト ４６ 外被動スプロケット ４８ 内被動スプロケット ５０ ローラシャフト ５２ 摺動ローラ ５３ 表面路 ５４ ブシュささえ ５８ 下パネル ６０ 内パネル ６６ 上パネル ６８ シャフトスプールシール ７０ 部片 ７２ 部片 ７５ 外パネル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−52607（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−46918（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−64564（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−190645（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−100919（ＪＰ，Ａ) 登録実用新案3032738（ＪＰ，Ｕ) 特許2585091（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65G 13/00 - 13/12 B65G 21/00 - 21/22 B65G 23/00 - 23/44 B65G 39/00 - 39/20 B65G 49/00 H01L 21/68 F24F 7/06
Claims (2)
- 【請求項１】 製造物を経路に沿って移動させるコンベ
ヤであって、 前記経路の少なくとも一部分の下に延びる第１の複数の
ローラシャフトと、 前記第１のローラシャフトによって駆動される第１の複
数の摺動可能なローラと、 前記第１のローラシャフトを駆動するための第１の駆動
機構と、 第１の囲まれた空間を画成する前記第１の駆動機構の第
１の囲いであって、第１の弾性部片と第２の弾性部片か
らなるローラシャフトシールを有した第１の囲いと、 前記囲まれた空間から空気と粒状物とを除去するための
排出装置とを有することを特徴とするコンベヤ。 - 【請求項２】 請求項１に記載のコンベヤであって、さ
らに、 前記経路の少なくとも一部分の下に延びる第２の複数の
ローラシャフトと、 前記第２のローラシャフトによって駆動される第２の複
数の摺動可能のローラと、 前記第２のローラシャフトを駆動するための第２の駆動
機構と、 第２の囲まれた空間を画成する前記第２の駆動機構の第
２の囲いであって、第３の弾性部片と第４の弾性部片と
からなるローラシャフトシールを有した第２の囲いとを
有することを特徴とするコンベヤ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9180870A JP3061595B2 (ja) | 1997-07-07 | 1997-07-07 | コンベヤ |
| MYPI98003052A MY125140A (en) | 1997-07-07 | 1998-07-03 | Slippable roller conveyor for clean rooms |
| AU82912/98A AU8291298A (en) | 1997-07-07 | 1998-07-07 | Slippable roller conveyor for clean rooms |
| TW087110932A TW385277B (en) | 1997-07-07 | 1998-07-07 | Slippable roller coveyor for clean rooms |
| PCT/US1998/014013 WO1999002435A1 (en) | 1997-07-07 | 1998-07-07 | Slippable roller conveyor for clean rooms |
| EP98933200A EP1042191A4 (en) | 1997-07-07 | 1998-07-07 | SLIDING ROLLER CONVEYORS FOR CLEANROOMS |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9180870A JP3061595B2 (ja) | 1997-07-07 | 1997-07-07 | コンベヤ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1135129A JPH1135129A (ja) | 1999-02-09 |
| JP3061595B2 true JP3061595B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=16090796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9180870A Expired - Fee Related JP3061595B2 (ja) | 1997-07-07 | 1997-07-07 | コンベヤ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1042191A4 (ja) |
| JP (1) | JP3061595B2 (ja) |
| AU (1) | AU8291298A (ja) |
| MY (1) | MY125140A (ja) |
| TW (1) | TW385277B (ja) |
| WO (1) | WO1999002435A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19940672A1 (de) | 1999-08-27 | 2001-04-05 | Bosch Gmbh Robert | Förderbahn und Tragprofil für eine Förderbahn |
| DE60208470T2 (de) | 2002-07-18 | 2006-09-28 | Special Coating Laboratory International (S.C.L. International) S.A.R.L. | Reinigungsmaschine für Brillenlinsen oder dergleichen |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3951255A (en) * | 1974-02-19 | 1976-04-20 | Shuttleworth, Inc. | Conveyor with driven slippable rollers |
| US4314629A (en) * | 1979-12-31 | 1982-02-09 | La Salle Machine Tool, Inc. | Power roller accumulating conveyor |
| US4821866A (en) * | 1987-12-24 | 1989-04-18 | Despatch Industries, Inc. | Conveyor for a clean room |
| US5038923A (en) * | 1989-07-17 | 1991-08-13 | Don Evans & Associates, Inc. | Mini-roller conveyor with variable pressure traction sleeve |
| JPH0952607A (ja) * | 1995-08-15 | 1997-02-25 | Yatsu Kobo Kk | クリーンローラコンベア |
| US6193047B1 (en) * | 1996-09-25 | 2001-02-27 | Shuttleworth, Inc. | Ergonomic workstation conveyor apparatus and method |
-
1997
- 1997-07-07 JP JP9180870A patent/JP3061595B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-07-03 MY MYPI98003052A patent/MY125140A/en unknown
- 1998-07-07 AU AU82912/98A patent/AU8291298A/en not_active Abandoned
- 1998-07-07 TW TW087110932A patent/TW385277B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-07-07 WO PCT/US1998/014013 patent/WO1999002435A1/en not_active Application Discontinuation
- 1998-07-07 EP EP98933200A patent/EP1042191A4/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1999002435A1 (en) | 1999-01-21 |
| TW385277B (en) | 2000-03-21 |
| JPH1135129A (ja) | 1999-02-09 |
| AU8291298A (en) | 1999-02-08 |
| EP1042191A4 (en) | 2002-03-27 |
| MY125140A (en) | 2006-07-31 |
| EP1042191A1 (en) | 2000-10-11 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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