JPS637466B2 - - Google Patents
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- JPS637466B2 JPS637466B2 JP14899180A JP14899180A JPS637466B2 JP S637466 B2 JPS637466 B2 JP S637466B2 JP 14899180 A JP14899180 A JP 14899180A JP 14899180 A JP14899180 A JP 14899180A JP S637466 B2 JPS637466 B2 JP S637466B2
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- Japan
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- green sheets
- liquefied gas
- package
- manufacturing
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- Expired
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4803—Insulating or insulated parts, e.g. mountings, containers, diamond heatsinks
- H01L21/4807—Ceramic parts
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置に用いるセラミツクパツケ
ージの製造方法の改良に関するものである。
ージの製造方法の改良に関するものである。
従来セラミツクパツケージを製造する場合、第
１図に示すようにアルミナ（Al2O3）と焼結助剤
の二酸化硅素（SiO2）、酸化マグネシウム
（Mgo）等の粉末を有機溶媒で溶かし、軟らかい
板状に成形したグリーンシート１Ａ，１Ｂ，１
Ｃ、を複数枚重ね合せたものをゴム製の中子２の
中に装着して40〜100℃に加熱して矢印のように
加圧することで前記グリーンシートを圧着して積
層させてパツケージとする第１の方法や、あるい
はグリーンシートを積層する箇所にアルミナと樹
脂よりなるペーストを塗布して接着するような第
２の方法がある。
１図に示すようにアルミナ（Al2O3）と焼結助剤
の二酸化硅素（SiO2）、酸化マグネシウム
（Mgo）等の粉末を有機溶媒で溶かし、軟らかい
板状に成形したグリーンシート１Ａ，１Ｂ，１
Ｃ、を複数枚重ね合せたものをゴム製の中子２の
中に装着して40〜100℃に加熱して矢印のように
加圧することで前記グリーンシートを圧着して積
層させてパツケージとする第１の方法や、あるい
はグリーンシートを積層する箇所にアルミナと樹
脂よりなるペーストを塗布して接着するような第
２の方法がある。
しかし前述した第１の方法ではゴム中子を加圧
する際にゴム中子の変形によりグリーンシートが
所望の寸法形状に成形されず、そのため所定の寸
法形状を有するセラミツクパツケージが成形され
なかつたりまた第２の方法では接着剤が均一な厚
さで塗布することが困難でかつペースト自体の密
度が粗であるためグリーンシートが完全に密着し
て積層されずあるいは焼結后に密度が粗の層が形
成されるのでセラミツクパツケージにリークを生
ずるなど問題点があつた。
する際にゴム中子の変形によりグリーンシートが
所望の寸法形状に成形されず、そのため所定の寸
法形状を有するセラミツクパツケージが成形され
なかつたりまた第２の方法では接着剤が均一な厚
さで塗布することが困難でかつペースト自体の密
度が粗であるためグリーンシートが完全に密着し
て積層されずあるいは焼結后に密度が粗の層が形
成されるのでセラミツクパツケージにリークを生
ずるなど問題点があつた。
本発明は前述した欠点を除去し、前記グリーン
シートを簡単な方法で密着して圧着積層せしめ、
もつてリーク不良の生じない高信頼度のセラミツ
クパツケージを得るためのセラミツクパツケージ
の製造方法の提供を目的とするものである。
シートを簡単な方法で密着して圧着積層せしめ、
もつてリーク不良の生じない高信頼度のセラミツ
クパツケージを得るためのセラミツクパツケージ
の製造方法の提供を目的とするものである。
かかる目的を達成するためのパツケージの製造
方法は、複数枚のグリーンシートを圧着積層せし
めて、セラミツクパツケージを製造する方法にお
いて、液化ガスを収容した密封容器中に前記積層
したグリーンシートを挿入し、前記液化ガスを加
熱することで前記液化ガスを気化せしめ、気化す
る際の液化ガスの膨張によつて生ずる圧力と、加
熱によつて生じた密封容器内の温度上昇で前記積
層したグリーンシートを加圧接着してパツケージ
となすことを特徴とするものである。
方法は、複数枚のグリーンシートを圧着積層せし
めて、セラミツクパツケージを製造する方法にお
いて、液化ガスを収容した密封容器中に前記積層
したグリーンシートを挿入し、前記液化ガスを加
熱することで前記液化ガスを気化せしめ、気化す
る際の液化ガスの膨張によつて生ずる圧力と、加
熱によつて生じた密封容器内の温度上昇で前記積
層したグリーンシートを加圧接着してパツケージ
となすことを特徴とするものである。
以下図面を用いて本発明の一実施例につき詳細
に説明する。
に説明する。
第２図は本発明のセラミツクパツケージの製造
方法に用いる装置の概略図である。
方法に用いる装置の概略図である。
図示するようにステンレスで形成された分厚い
密閉容器１１（本実施例では、直径50cm、高さ60
cm）中に液体窒素１２を500c.c.程度収容し更に容
器中に設置されているステンレスのメツシユ１３
上に第１図に示したような積層したグリーンシー
ト１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ、を多数個載置する。
その後容器１１の密閉蓋１５を閉じ更に液体窒素
導入バルブ１６をも閉じたのち、前記容器１１内
にアルミナ（Al2O3）等の絶縁パイプを用いて埋
めこまれているヒーター１７を加熱して前記液体
窒素を加熱して該液体窒素を気化させる。この液
体窒素１モルが気化すればその容積は22.4にな
りこの液体窒素が気化する際の膨張力と液化ガス
の加熱により生じる密封容器内の温度上昇により
前記積層されたグリーンシート１４Ａ，１４Ｂ，
１４Ｃが均等に加圧されて加圧・接着されるよう
になる。例えば前記液体窒素の加熱温度を40〜80
℃、望ましくは50℃とし、密閉容器１１内部の圧
力を図示しないリークバルブによつて150〜200気
圧に保てば、圧力が均等に前記積層されたグリー
ンシートにかかることになる。またこのグリーン
シートを加圧する圧力を変化させるにはヒーター
１６を印加する電圧を適当に制御してヒーターの
温度を制御すればよい。
密閉容器１１（本実施例では、直径50cm、高さ60
cm）中に液体窒素１２を500c.c.程度収容し更に容
器中に設置されているステンレスのメツシユ１３
上に第１図に示したような積層したグリーンシー
ト１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ、を多数個載置する。
その後容器１１の密閉蓋１５を閉じ更に液体窒素
導入バルブ１６をも閉じたのち、前記容器１１内
にアルミナ（Al2O3）等の絶縁パイプを用いて埋
めこまれているヒーター１７を加熱して前記液体
窒素を加熱して該液体窒素を気化させる。この液
体窒素１モルが気化すればその容積は22.4にな
りこの液体窒素が気化する際の膨張力と液化ガス
の加熱により生じる密封容器内の温度上昇により
前記積層されたグリーンシート１４Ａ，１４Ｂ，
１４Ｃが均等に加圧されて加圧・接着されるよう
になる。例えば前記液体窒素の加熱温度を40〜80
℃、望ましくは50℃とし、密閉容器１１内部の圧
力を図示しないリークバルブによつて150〜200気
圧に保てば、圧力が均等に前記積層されたグリー
ンシートにかかることになる。またこのグリーン
シートを加圧する圧力を変化させるにはヒーター
１６を印加する電圧を適当に制御してヒーターの
温度を制御すればよい。
また本実施例においては、液化ガスとして液体
窒素を例に用いたが、その他液体空気、液体炭酸
ガスを用いても差し支えない。
窒素を例に用いたが、その他液体空気、液体炭酸
ガスを用いても差し支えない。
以上述べたように本発明のパツケージの製造方
法によれば積層されたグリーンシートに均等に圧
力がかかることになり、そのためグリーンシート
が変形することなく加圧接着されるので寸法精度
がよく、また密着度がよいパツケージが得られる
ためリーク不良の生じない高信頼度のセラミツク
パツケージが得られる利点を生じる。
法によれば積層されたグリーンシートに均等に圧
力がかかることになり、そのためグリーンシート
が変形することなく加圧接着されるので寸法精度
がよく、また密着度がよいパツケージが得られる
ためリーク不良の生じない高信頼度のセラミツク
パツケージが得られる利点を生じる。
第１図は従来のセラミツクパツケージを製造す
る場合の説明図で第２図は、本発明のセラミツク
パツケージの製造方法に用いる装置の概略図を示
す。 図において１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１４Ａ，１４
Ｂ，１４Ｃ、はグリーンシート、２はゴム中子、
１１は容器、１２は液体窒素、１３はメツシユ、
１５は密閉蓋、１６は液体窒素導入バルブ、１７
はヒーター、を示す。
る場合の説明図で第２図は、本発明のセラミツク
パツケージの製造方法に用いる装置の概略図を示
す。 図において１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１４Ａ，１４
Ｂ，１４Ｃ、はグリーンシート、２はゴム中子、
１１は容器、１２は液体窒素、１３はメツシユ、
１５は密閉蓋、１６は液体窒素導入バルブ、１７
はヒーター、を示す。
Claims (1)
- １ 複数枚のグリーンシートを圧着積層せしめて
セラミツクパツケージを製造する方法において、
液化ガスを収容した密封容器中に前記積層したグ
リーンシートを挿入し前記液化ガスを加熱するこ
とで前記液化ガスを気化せしめ、気化する際の液
化ガスの膨張によつて生ずる圧力と加熱によつて
生じた密封容器内の温度上昇により前記積層した
グリーンシートを加圧接着してパツケージとなす
ことを特徴とするパツケージの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14899180A JPS5772355A (en) | 1980-10-24 | 1980-10-24 | Fabrication of package |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14899180A JPS5772355A (en) | 1980-10-24 | 1980-10-24 | Fabrication of package |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5772355A JPS5772355A (en) | 1982-05-06 |
| JPS637466B2 true JPS637466B2 (ja) | 1988-02-17 |
Family
ID=15465249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14899180A Granted JPS5772355A (en) | 1980-10-24 | 1980-10-24 | Fabrication of package |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5772355A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102503502B1 (ko) | 2022-02-14 | 2023-02-24 | (주)도솔메디 | 환자관리용전자라벨 |
-
1980
- 1980-10-24 JP JP14899180A patent/JPS5772355A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102503502B1 (ko) | 2022-02-14 | 2023-02-24 | (주)도솔메디 | 환자관리용전자라벨 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5772355A (en) | 1982-05-06 |
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