JPH04325468A - 多層セラミックス基板の積層方法 - Google Patents
多層セラミックス基板の積層方法Info
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- JPH04325468A JPH04325468A JP11945391A JP11945391A JPH04325468A JP H04325468 A JPH04325468 A JP H04325468A JP 11945391 A JP11945391 A JP 11945391A JP 11945391 A JP11945391 A JP 11945391A JP H04325468 A JPH04325468 A JP H04325468A
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- ceramic substrate
- green sheet
- sintered ceramic
- pressure
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は多層セラミックス基板の
積層方法に関するものである。
積層方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】多層セラミックス基板の一種としてアル
ミナ基板等の既焼結基板を芯材とし、その片面あるいは
両面にガラスセラミックスを絶縁体グリーンシートとし
て積層し、これを８００から９００℃の温度で焼成して
得られる多層基板が知られている。
ミナ基板等の既焼結基板を芯材とし、その片面あるいは
両面にガラスセラミックスを絶縁体グリーンシートとし
て積層し、これを８００から９００℃の温度で焼成して
得られる多層基板が知られている。
【０００３】この既焼結セラミックス基板と絶縁体グリ
ーンシートを積層圧着するために従来は平板プレスに既
焼結セラミックス基板と絶縁体グリーンシートをセット
し、グリーンシートのバインダ成分が軟化する適当な温
度まで平板、セラミックス基板、グリーンシートを加熱
し、平板プレス機で圧力を加える方法が一般的に用いら
れていた。
ーンシートを積層圧着するために従来は平板プレスに既
焼結セラミックス基板と絶縁体グリーンシートをセット
し、グリーンシートのバインダ成分が軟化する適当な温
度まで平板、セラミックス基板、グリーンシートを加熱
し、平板プレス機で圧力を加える方法が一般的に用いら
れていた。
【０００４】しかしこの方法では、金型やプレス機平板
の平行度や平面度が不十分な場合セラミックス基板とグ
リーンシートにかかる圧力が一様とならず、圧力むらに
応じて焼成時にグリーンシート層の剥離、膨れ等が発生
する問題、あるいは芯材となるアルミナ基板に若干の反
りがある場合にもグリーンシートにかかる圧力が均一に
はならず圧力むらによって焼成時に剥離、膨れ等が発生
する問題があった。
の平行度や平面度が不十分な場合セラミックス基板とグ
リーンシートにかかる圧力が一様とならず、圧力むらに
応じて焼成時にグリーンシート層の剥離、膨れ等が発生
する問題、あるいは芯材となるアルミナ基板に若干の反
りがある場合にもグリーンシートにかかる圧力が均一に
はならず圧力むらによって焼成時に剥離、膨れ等が発生
する問題があった。
【０００５】また、反りのある基板に大きな圧力を加え
た場合には芯材となる基板が割れるという問題もあった
。完全に反りのない既焼結基板を入手することは困難で
あり、弾性体を介して平板プレスで加圧する方法も考案
されているが、この方法でも均一な加圧は困難であり圧
力むらによって焼成時に剥離、膨れ等が発生していた。
た場合には芯材となる基板が割れるという問題もあった
。完全に反りのない既焼結基板を入手することは困難で
あり、弾性体を介して平板プレスで加圧する方法も考案
されているが、この方法でも均一な加圧は困難であり圧
力むらによって焼成時に剥離、膨れ等が発生していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、前記
した問題の解消にあり、既焼結セラミックス基板を芯材
としその基板の片面あるいは両面に絶縁体グリーンシー
トを積層する際に、グリーンシートを均一に加圧する基
板と絶縁体グリーンシートとの接着方法を提供すること
にある。
した問題の解消にあり、既焼結セラミックス基板を芯材
としその基板の片面あるいは両面に絶縁体グリーンシー
トを積層する際に、グリーンシートを均一に加圧する基
板と絶縁体グリーンシートとの接着方法を提供すること
にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は前述の問題点を
解決するべくなされたものであり、既焼結セラミックス
基板を芯材とし該セラミックス基板の片面または両面に
絶縁体グリーンシートを接着した後に、この絶縁体グリ
ーンシートを焼成して得られる多層セラミックス基板の
製造方法において、上記既焼結セラミックス基板と上記
絶縁体グリーンシートの接着に際し、該既焼結セラミッ
クス基板と該絶縁体グリーンシート上に離型処理を施し
たフィルムおよび弾性体シートを順次重ねて気密状に保
護し、液中で加圧圧着し、接着させることを特徴とする
多層セラミックス基板の積層方法を提供するものである
。
解決するべくなされたものであり、既焼結セラミックス
基板を芯材とし該セラミックス基板の片面または両面に
絶縁体グリーンシートを接着した後に、この絶縁体グリ
ーンシートを焼成して得られる多層セラミックス基板の
製造方法において、上記既焼結セラミックス基板と上記
絶縁体グリーンシートの接着に際し、該既焼結セラミッ
クス基板と該絶縁体グリーンシート上に離型処理を施し
たフィルムおよび弾性体シートを順次重ねて気密状に保
護し、液中で加圧圧着し、接着させることを特徴とする
多層セラミックス基板の積層方法を提供するものである
。
【０００８】
【実施例】以下実施例について説明する。図１には実施
例の中心となるべき既焼結セラミックス基板の周辺が示
されている。図２には実施例に使用した液体等方圧プレ
ス装置の基本的構成を示す。１は加圧タンク、２は真空
パックされた被積層物、３は圧力媒体（通常は一定温度
に保たれた温水）、４は加熱用タンク、５は加熱ヒータ
、６は加圧用ポンプである。一定温度に保った液体を介
して加温、加圧するので、均一な温度条件でかつ圧力む
らのない圧着が可能となる。
例の中心となるべき既焼結セラミックス基板の周辺が示
されている。図２には実施例に使用した液体等方圧プレ
ス装置の基本的構成を示す。１は加圧タンク、２は真空
パックされた被積層物、３は圧力媒体（通常は一定温度
に保たれた温水）、４は加熱用タンク、５は加熱ヒータ
、６は加圧用ポンプである。一定温度に保った液体を介
して加温、加圧するので、均一な温度条件でかつ圧力む
らのない圧着が可能となる。
【０００９】図１において芯材となる既焼結セラミック
ス基板７の両面に絶縁体グリーンシート８を両面各２層
積層し、その上に離型処理を施したポリマーフィルム９
、及び弾性体シート１０を順次重ねた。離型処理を施し
たポリマーフィルム９は絶縁体のグリーンシート８表面
の保護効果があり、弾性体シート１０は角張った既焼結
セラミックス基板７のエッジが原因で液体等方圧プレス
時に真空袋が破れることを防止する効果がある。フィル
ム９としては絶縁体グリーンシート８に対しての離型性
がよいことが必要であり、シリコンの離型処理を表面に
施したポリエステルフィルム等が使用できる。なお、実
施例では、８５℃、１５０ｋｇ／ｃｍ２３分間加圧した
。
ス基板７の両面に絶縁体グリーンシート８を両面各２層
積層し、その上に離型処理を施したポリマーフィルム９
、及び弾性体シート１０を順次重ねた。離型処理を施し
たポリマーフィルム９は絶縁体のグリーンシート８表面
の保護効果があり、弾性体シート１０は角張った既焼結
セラミックス基板７のエッジが原因で液体等方圧プレス
時に真空袋が破れることを防止する効果がある。フィル
ム９としては絶縁体グリーンシート８に対しての離型性
がよいことが必要であり、シリコンの離型処理を表面に
施したポリエステルフィルム等が使用できる。なお、実
施例では、８５℃、１５０ｋｇ／ｃｍ２３分間加圧した
。
【００１０】弾性体シート１０としては、適度な柔軟性
を有したゴムを使用することが好ましく、実施例ではネ
オプレンゴムを使用した。これ以外にシリコンゴム等が
使用できる。さらにこれらを高密度ポリエチレン等の袋
に収納し、真空パックにより被積層物間に空気が残るこ
と無く圧着が可能となり焼成後のグリーンシート層の剥
離、膨れ等を防ぐことができる。
を有したゴムを使用することが好ましく、実施例ではネ
オプレンゴムを使用した。これ以外にシリコンゴム等が
使用できる。さらにこれらを高密度ポリエチレン等の袋
に収納し、真空パックにより被積層物間に空気が残るこ
と無く圧着が可能となり焼成後のグリーンシート層の剥
離、膨れ等を防ぐことができる。
【００１１】上記用途に用いる袋は適度な柔軟性を有し
、液体等方圧プレス時の加温、加圧に耐える耐熱性、強
度、密度を有する樹脂材料であれば高密度ポリエチレン
に限るものではない。真空パック後の液体等方圧プレス
時の条件としては、液体温度が５０℃から９５℃、プレ
ス圧力が１０ｋｇ／ｃｍ２から２５０ｋｇ／ｃｍ２の範
囲が好ましく、加圧時間は被積層物全体が均一な温度ま
で上昇する時間が必要であり、被プレス物の大きさに依
存するファクターであるが一般的には１分間から２０分
間程度の範囲になる。
、液体等方圧プレス時の加温、加圧に耐える耐熱性、強
度、密度を有する樹脂材料であれば高密度ポリエチレン
に限るものではない。真空パック後の液体等方圧プレス
時の条件としては、液体温度が５０℃から９５℃、プレ
ス圧力が１０ｋｇ／ｃｍ２から２５０ｋｇ／ｃｍ２の範
囲が好ましく、加圧時間は被積層物全体が均一な温度ま
で上昇する時間が必要であり、被プレス物の大きさに依
存するファクターであるが一般的には１分間から２０分
間程度の範囲になる。
【００１２】
【発明の効果】本発明によって既焼結セラミック基板と
絶縁体グリーンシートとの間の良好な接着が可能であり
、焼成時の剥離、膨れ等の発生を防止することができる
。
絶縁体グリーンシートとの間の良好な接着が可能であり
、焼成時の剥離、膨れ等の発生を防止することができる
。
【図１】実施例の多層セラミックス基板の真空パックの
断面図。
断面図。
【図２】実施例に使用した液体等方圧プレス装置の基本
的構成図。
的構成図。
７ 既焼結セラミック基板
８ 絶縁体グリーンシート
９ 離型処理を施したポリマーフィルム１０ 弾性
体シート １１ 真空パック用袋
体シート １１ 真空パック用袋
Claims (1)
- 【請求項１】既焼結セラミックス基板を芯材とし該セラ
ミックス基板の片面または両面に絶縁体グリーンシート
を接着した後に、この絶縁体グリーンシートを焼成して
得られる多層セラミックス基板の製造方法において、上
記既焼結セラミックス基板と上記絶縁体グリーンシート
の接着に際し、該既焼結セラミックス基板と該絶縁体グ
リーンシート上に離型処理を施したフィルムおよび弾性
体シートを順次重ねて気密状に保護し、液中で加圧圧着
し、接着させることを特徴とする多層セラミックス基板
の積層方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11945391A JPH04325468A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 多層セラミックス基板の積層方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11945391A JPH04325468A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 多層セラミックス基板の積層方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04325468A true JPH04325468A (ja) | 1992-11-13 |
Family
ID=14761757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11945391A Withdrawn JPH04325468A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 多層セラミックス基板の積層方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04325468A (ja) |
-
1991
- 1991-04-23 JP JP11945391A patent/JPH04325468A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980711 |