JPS6370843A - フオトポリマーの安定化溶液 - Google Patents

フオトポリマーの安定化溶液

Info

Publication number
JPS6370843A
JPS6370843A JP62223837A JP22383787A JPS6370843A JP S6370843 A JPS6370843 A JP S6370843A JP 62223837 A JP62223837 A JP 62223837A JP 22383787 A JP22383787 A JP 22383787A JP S6370843 A JPS6370843 A JP S6370843A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
weight
solution
parts
photopolymer
stabilizing solution
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62223837A
Other languages
English (en)
Inventor
ヘルムート、アーネ
ウインフリート、プルンドリツヒ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of JPS6370843A publication Critical patent/JPS6370843A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K5/00Use of organic ingredients
    • C08K5/16Nitrogen-containing compounds
    • C08K5/17Amines; Quaternary ammonium compounds
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K5/00Use of organic ingredients
    • C08K5/16Nitrogen-containing compounds
    • C08K5/32Compounds containing nitrogen bound to oxygen
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
    • G03F7/0388Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable with ethylenic or acetylenic bands in the side chains of the photopolymer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Phenolic Resins Or Amino Resins (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ポリエーテル、エポキシ樹脂、フェノール−
ホルムアルデヒド樹脂及びアミノ−フェノール樹脂をベ
ースとするフォトポリマーの安定化溶液に関する。
〔従来の技術〕
フォトポリマーは光反応性並びに光網状化可能のポリマ
ー、すなわちポリマ一層を紫外線のような化学線で照射
することにより網状化し、これにより高い熱形状安定性
を有するポリマーに移行し得るポリマーである。従って
フォトポリマーは例えばマイクロエレクトロニクスにお
いてはんだ止め及び絶縁ラッカとして使用される。この
場合フォトポリマーを溶液の形で層として相応する基板
に塗布し、次いで乾燥し、引続き照射する。
ポリエーテルをベースとするフォトポリマーは例えば西
ドイツ国特許出願公開第2503526号明細書から公
知である。この場合少なくとも約15000の分子量を
有するフェノキシ樹脂の3−(2−フリル)−アクリル
酸エステルが開示されている。これらのフォトポリマー
はグラフィック分野において、特にリソグラフィツク印
刷板及び腐食レジストに使用される。エポキシ樹脂をベ
ースとするフォトポリマーは例えば「キミア(Chim
ia) J 、第38巻(1984年)、第13〜20
頁から公知である。これらのフォトポリマーはエポキシ
末端基を有しており、ポリマー鎖中には感光性のカルコ
ン基、すなわち次の構造式の基−C4H,−CH=CH
−Co−C&H,−が配置されている。これらのフォト
ポリマーはガルバルジスト又ははんだ止めラッカとして
使用できる。
フォトポリマーの工業的使用に関しては、例えば構造化
された、耐はんだ温性の保護及び絶縁層を製造するため
には、特に大量の場合直ちに使用できる溶液が十分に貯
蔵安定性であることを必須条件とする。しかしこれにつ
いては従来十分な保証は得られておらず、更に大きな不
安定性を抱えている。
フォトポリマー溶液の貯蔵安定性の欠除はその粘度が高
まることによって現われる。この粘度の上昇並びに増大
は時間の経過と共にいわゆるゲル化をもたらし、その結
果溶液はもはや使用不可能となる。粘度上昇の原因はフ
ォトポリマーの光反応性基の、放射線で誘発されたので
はない早期の網状化にある。このことば粘度上昇が不可
逆的であることの理由をも明らかにするものである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明の目的は、冒頭に記載した形式のフォトポリマー
溶液の貯蔵安定性を高めること、すなわちこれらの溶液
をゲル化に対して効果的に安定させ、また溶液の安定化
に適した安定剤を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
この目的は本発明によれば、溶液が安定剤として次の構
造式のN−二トロッジフェニルアミンを含んでいること
により達成される。
Rは水素、ハロゲン、炭素原子数1〜3のアルキル基、
フェニル基又はトリル基であり、nは1〜5であり、双
方の芳香族基の各々は最畜1個のフェニル基又はトリル
基を有することを条件とする。
従って本発明の対象はポリエーテル、エポキシ樹脂、フ
ェノール−ホルムアルデヒド樹脂及びアミノ−フェノー
ル樹脂をベースとするフォトポリマーの安定化溶液であ
り、これは前記構造を有するN−二トロンジフェニルア
ミン化合物を安定剤として含んでいる。
更に本発明の対象はポリエチレン、エポキシ樹脂、フェ
ノール−ホルムアルデヒド樹脂及びアミノ−フェノール
樹脂をベースとするフォトポリマー溶液の貯蔵安定性を
高めるために、すなわち放射線で誘発されたのではない
早期の網状化によるゲル化に対する安全性を得るために
上記形式のN−ニトロソジフェニルアミン化合物を使用
することにある。
〔作用効果〕
ところで予想外にも上記のフォトポリマー溶液にN−ニ
トロソジフェニルアミン化合物を添加することにより貯
蔵安定性を不確かなものとする問題点は排除でき、また
一般に貯蔵安定性は著しく高めるられることが明らかと
なった0本発明により安定化された直ちに使用可能な溶
液は、室温で1年間は貯蔵安定性を有する。すなわちこ
の期間内は溶液の粘性は一定不変である。従ってこのフ
ォトポリマー溶液は実際に任意に長期間貯蔵できまた使
用可能であり、このことは特に、例えばはんだ止めラッ
カとしてフォトポリマーを使用する際に必要とされるよ
うな大量の貯蔵にとって経済的及び技術的に極めて重要
な意義を有する。もう1つの本質的な利点は、本発明に
よる安定剤の付加によってフォトポリマー及びフォトポ
リマー溶液の感光度が損なわれないことである。
〔実施態様〕
フォトポリマー溶液中の安定側含有量は一般に固体樹脂
、すなわちフォトポリマーに対して0.01〜2重量%
である。必要な場合にはこの含有量は更に高めることが
でき、約5重量%まで可能である。しかし溶液は安定剤
を0.05〜1重景%重量していることが有利である。
この場合その都度唯一のN−二トロッジフェニルアミン
化合物を使用するか又は種々のこの種化合物の混合物を
使用することが可能である。その際有利にはN−ニトロ
ソジフェニルアミン並びにそのメチル、フルオル及びブ
ロム誘導体が使用できる。
フォトポリマーは有機溶剤中の溶液として使用すること
ができる。このため有利には極性溶剤を使用する。この
場合価れた溶剤はT−ブチロラクトン、シクロヘキサノ
ン、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、グ
リコールジメチルエーテル、メトキシプロピルアセテー
ト及びN−メチルピロリドン並びにこれらの溶剤の混合
物である。
溶液中の固体物質、すなわちフォトポリマーの含有量は
一般に約10〜50重量%である。フォトポリマー溶液
に光反応性付加物、すなわち光又は放射線に敏感な共重
合可能の化合物、並びに光開始剤及び/又は光増感剤を
添加することも可能である。上記種類の付加物は例えば
アクリレート及びメタクリレート基含有化合物であり、
光開始剤並びに光増感剤としてはα−ハロゲンアセトフ
ェノン、ジアルコキシアセトフェノン、ベンゾイル−ホ
スフィンオキシト及びミヒラーケトンが挙げられる。更
にこれらの溶液に、特に二酸化ケイffi&び酸化アル
ミニウムをベースとする鉱物性充填材並びにその他の通
常使用される充填材を加えることもできる。
本発明による安定化溶液はポリエーテル、エポキシ樹脂
、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂及びアミノフェノ
ール樹脂をベースとするフォトポリマーを含む、この場
合特にオレフィン不飽和構造を有する光反応性基がウレ
タン又は尿素架橋を介して基本ポリマーに結合されてい
るフォトポリマーを挙げることができる。この場合ウレ
タン並びに尿素架橋はオレフィン不飽和モノイソシアネ
ートがヒドロキシル基含有ポリエーテル、ヒドロキシル
基含有エポキシド、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂
及びアミノ−フェノール樹脂のヒドロキシル基又はアミ
ノ基に付加することによって形成される。
ポリエーテルをベースとするフォトポリマーは例えば欧
州特許出願公開第0206158号明細書の対象である
。この光反応性ポリエーテルは一般に次の構造式を有し
ている。
この場合n≧50である。
R,R1,R”、R3及びR4は次のものを表わす。
Rは、場合によってはハロゲン化されていてもよい芳香
族及び/又は脂肪族及び/又は脂環式(場合によっては
へテロ原子を有する)及び/又はペテロ環式構造の二価
の、すなわち二官能性の基であり; R’ は二価の脂肪族基であり; Rzは場合によってはハロゲン置換されていてもよい二
価の脂肪族及び/又は脂環式基であり;Rsは水素又は
場合によってはハロゲン置換されていでもよいアルキル
基であり; R4は脂肪族及び/又は脂環式及び/又は芳香族架橋を
介して結合されたオレフィン不飽和基、例えばアリルエ
ーテル又はマレインイミド含有基及び、特に場合によっ
ては置換されていてもよい(メタ)アクリルエステル含
有基である。
光反応性エポキシ樹脂は一般に次の構造式を有する。
この場合nは1〜20であり;R,R’ 、R” 。
R3及びR4は前記のものを表わす。
光反応性フェノール−ホルムアルデヒド樹脂は−aに次
の構造式を有する。
この場合n=1〜10、m−1〜3である。
R及びR’ は次のものを表わす。
Rは水素、ハロゲン又はアルキル基であり;RIは水素
又は−C−NH−R” であ?l);この場合すべての
R1基が同時に水素であることはなく、またR2は脂肪
族及び/又は脂環式及び/又は芳香族の架橋を介して結
合されたオレフィン不飽和基、例えばアリルエーテル又
はマレインイミド含有基及び、特に場合によっては置換
されていてもよい(メタ)アクリルエステル含有基であ
る。
光反応性アミノ−フェノール樹脂は一般に次のこの場合
n−2〜15、m−1又は2である。
R及びR1は以下のものを表わす。
Rは水素、ハロゲン又はアルキル基であり;R1は水素
または一〇−NH−R”であるが、この場合Nに結合さ
れたR1基すべてが同時に水素であることはなく; R1は脂肪族及び/又は脂環式及び/又は芳香族架橋を
介して結合されたオレフィン不飽和基、例えばアリルエ
ーテル又はマレインイミド含を基、及び特に場合によっ
ては置換されていてもよい(メタ)アクリルエステル含
有基である。
ポリエーテルをベースとするフォトポリマー溶液を使用
することは例えば欧州特許出願公開第0206159号
明細書の対象である。
〔実施例〕
本発明を実施例に基づき以下に詳述する。
例 1 (ポリエーテルをベースとするポリマー)γ−
ブチロラクトン114重量部に溶けたフェノキシ樹脂「
リュータボックス0723J  (シクロヘキサノン/
エチルグリコールアセテート中の50%溶液:リュータ
ボックス(Rijtapox)はFllitgersw
erke社の登録商標である〕110重量部の溶液に、
純粋なイソシアネートエチルメタクリレート33重量部
及びジブチル錫ジラウレート0.1重量部を加え、次い
で混合物を室温で30時間撹拌した。その後反応溶液に
2−ヒドロキシエチルメタクリレート9重量部を加えた
。更に30時間後に樹脂溶液100重量部にジクロルア
セトフェノン0.6重量部、ジェトキシアセトフェノン
0.3重量部、ミヒラーケトン0.3重量部、ビニル−
トリス(β−メトキシエトキシ)−シラン0.3重量部
及びN−ニトロソジフェニルアミン0.1重量部を加え
た。引続き溶液を5μmフィルタに通して加圧濾過した
。溶液は室温で6力月以上貯蔵安定性を示した。すなわ
ち溶液の粘度は一定であった(23°Cで約500ts
Pa、s )。
光反応性フェノキシ樹脂の濾過した溶液を40Orpm
で、その表面に銅導電路を有する導電板テスト板に遠心
塗布し、次いで循環空気炉中で70℃で30分間乾燥し
た。ラッカ層の厚さは50μ−であった、350W水銀
高圧ランプを用いてマスクを介して10秒間露光し、循
環空気炉中で70°Cで30分間後乾燥した後、現像剤
としてのシクロヘキサノン(その除水をストッパとして
使用)で、35秒後に角の鋭い構造化層が得られ、これ
はその表面品質において一り5℃〜+125’Cで10
0回シセル(Cycel)処理することによってもまっ
たく損なわれなかった。同時にこれらの層は260°C
での溢流及び浸漬はんだ処理で損傷されることはなかっ
た。すなわちはんだは表面から転がり落ちた。40℃及
び湿気92%で、100Vの電圧下における湿気試験は
ラッカで被覆された導電路範囲に如何なる腐食も示さな
かった。従って安定剤を添加することによって光反応性
ポリエーテルの特性、特にその感光性がマイナスに影響
されることはなかった。
1(エポキシ樹脂をベースとするフォトポリマー) 無水ジクロルメタン69重量部に湿気を遮断しながら純
粋な2.4−ジイソシアネートドルオール40重量部を
滴下し、次いで得られた溶液に室温で撹拌しながら徐々
に2−ヒドロキシエチルアクリレ−) 29.2重量部
を滴下した。24時間後イソシアネート基の滴定により
変換率99%が認められた。光反応性イソシアネートを
石油ベンジン250重量部で反応溶液から抽出し、抽出
剤を除去した後、澄明な粘性液体として分離した。収量
は64.5g、すなわち理論値の93%であった。
エポキシ樹脂「アラルジット(Araldit ) G
T 6099J(アラルジットはCiba−Geigy
社の登録商標)100重量部の溶液に室温で撹拌しなが
ら無水T−ブチロラクトン366重量部、無水N−メチ
ルピロリドン353重量部、先に記載したようにして分
離した純粋な光反応性モノイソシアネート131重量部
及びジブチル錫ジラウレート0.′3重量部を加えた。
混合物を48時間撹拌した後、反応溶液にエタノール1
8重量部を加えた。更に24時間後イソシアネート基は
もはや検出できなかった。
前記のようにして23%樹脂溶液として製造した光反応
性エポキシ樹脂100重量部に、ベンゾインイソプロピ
ルエーテル0.65重量部、ミヒラーケトン0.22重
量部、トリメチロールプロパントリアクリレート1.6
5重量部、とニル−トリス(β−メトキシエトキシ)−
シラン0.3重量部、2−イソプロピルイミダゾール(
硬化剤として)0、2重量部及びN−ニトロソジフェニ
ルアミン0゜15重量部を加えた0次いで溶液を5μm
フィルタに通して加圧濾過した。その際得られた溶液の
粘度は23℃で約300+mPa、sであり、室温で6
力月以上の貯蔵安定性を示した。
接着剤で被覆されたケイ素板上に約50Orpmで溶液
を遠心塗布することによって、循環空気炉中で70°C
で30分間乾燥した後厚さ23μmの均一な層が得られ
、これをT−ブチロラクトン/キジロール(容量比1:
2)を用いてマスクを介して350W水銀高圧ランプで
40秒間露光し、噴霧法でキジロールで後洗浄すること
により現像すると、輪郭の鋭い構造化層が得られた。こ
れらの層の緑の仕上り及び表面品質は150°Cで1時
間熱処理することによって損なわれることはなかった。
溶解した構造物は20μ調以下であつた。
1(フェノール−ホルムアルデヒド樹脂をベースとする
フォトポリマー) シクロヘキサノン80重量部に熔かしたノボラック樹脂
ベークライト(Bakelite) LG 724 (
ベークライトはBakelite社の登録商標)51.
6重量部の溶液に、純粋なイソシアネートエチルメタク
リレート41.4重量部及びジブチル錫ジラウレート0
.1重量部を加え、次いで混合物を室温で48時間撹拌
した。その後樹脂溶液100重量部にジクロルアセトフ
ェノン0.5重量部、ジェトキシアセトフェノン1.5
重量部、ミヒラーケトン0.5重量部、とニル−トリス
(β−メトキシエトキシ)−シラン0.5重量部及びN
−ニトロソジフェニルアミン0.15重量部を加えた。
引続き溶液を5μmフィルタに通して加圧濾過した。こ
の溶液の貯蔵安定性は室温で5力月以上であった。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)ポリエーテル、エポキシ樹脂、フェノール−ホルム
    アルデヒド樹脂及びアミノ−フェノール樹脂をベースと
    するフォトポリマーの安定化溶液において、この溶液が
    安定剤として次の構造式 ▲数式、化学式、表等があります▼ 〔式中R=水素、ハロゲン、炭素原子数1〜3のアルキ
    ル基、フェニル基又はトリル基;n=1〜5であり、双
    方の芳香族基の各々は最高1個のフェニル基又はトリル
    基を有することを条件とする〕で示されるN−ニトロソ
    ジフェニルアミンを含むことを特徴とするフォトポリマ
    ーの安定化溶液。 2)この溶液がN−ニトロソジフェニルアミン又はメチ
    ル、フルオル又はブロム誘導体を含むことを特徴とする
    特許請求の範囲第1項記載の安定化溶液。 3)この溶液が安定剤を固体樹脂に対して0.01〜2
    重量%を含むことを特徴とする特許請求の範囲第1項又
    は第2項記載の安定化溶液。 4)この溶液が安定剤0.05〜1重量%を含むことを
    特徴とする特許請求の範囲第3項記載の安定化溶液。 5)溶剤が極性有機溶剤であることを特徴とする特許請
    求の範囲第1項ないし第4項のいずれか1項に記載の安
    定化溶液。
JP62223837A 1986-09-11 1987-09-07 フオトポリマーの安定化溶液 Pending JPS6370843A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863630993 DE3630993A1 (de) 1986-09-11 1986-09-11 Stabilisierte loesungen von photopolymeren
DE3630993.1 1986-09-11

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6370843A true JPS6370843A (ja) 1988-03-31

Family

ID=6309394

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62223837A Pending JPS6370843A (ja) 1986-09-11 1987-09-07 フオトポリマーの安定化溶液

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP0259728A3 (ja)
JP (1) JPS6370843A (ja)
KR (1) KR880004016A (ja)
DE (1) DE3630993A1 (ja)
DK (1) DK471787A (ja)
FI (1) FI873942A (ja)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5729692B2 (ja) * 1974-09-17 1982-06-24

Also Published As

Publication number Publication date
FI873942A0 (fi) 1987-09-11
DK471787A (da) 1988-03-12
KR880004016A (ko) 1988-06-01
EP0259728A3 (de) 1990-01-17
EP0259728A2 (de) 1988-03-16
DK471787D0 (da) 1987-09-10
DE3630993A1 (de) 1988-03-17
FI873942A (fi) 1988-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4040831A (en) Method for the preparation of relief structures
DE2914619C2 (de) Lichtempfindliches Gemisch
JP2782469B2 (ja) フォトレジスト組成物
JPS61159462A (ja) 被覆組成物
CA1304354C (en) Radiation sensitive compounds
US20020032273A1 (en) Pattern forming process using polyimide resin composition
KR940009022B1 (ko) 내열성 구조층의 제조방법
EP0259727A2 (de) Verfahren zur Herstellung wärmebeständiger strukturierter Schichten auf Epoxidharzbasis
JPS6370843A (ja) フオトポリマーの安定化溶液
EP0143380B1 (de) Fotoresist-Zusammensetzungen
JPH0567027B2 (ja)
JPS61167941A (ja) 高感度ポリアミドエステルホトレジスト組成物
US4591546A (en) Spin castable resist composition and use
US4732951A (en) Polyether-based photopolymers
JPH0219943B2 (ja)
JPS63183439A (ja) 画像の製造方法
JPH09258441A (ja) パターン形成方法
JPS63137923A (ja) 感光性耐熱樹脂組成物
JPH0882931A (ja) 感光性ポリイミド樹脂組成物
RU2192661C1 (ru) Универсальная фотополимеризующаяся композиция паяльной маски для печатных плат с повышенными эксплуатационными характеристиками
JP2803054B2 (ja) 半導体装置
JP2006117561A (ja) 重合性イミド単量体及びその製造法並びに光硬化性組成物
JPH09258438A (ja) 感光性樹脂組成物
JPH01105242A (ja) 感光性樹脂組成物
JPH11279404A (ja) ポリアミド酸、感光性樹脂組成物、及びパターン形成方法