JPS636078A - 半導体用薬剤の収納容器部材 - Google Patents
半導体用薬剤の収納容器部材Info
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- JPS636078A JPS636078A JP14941286A JP14941286A JPS636078A JP S636078 A JPS636078 A JP S636078A JP 14941286 A JP14941286 A JP 14941286A JP 14941286 A JP14941286 A JP 14941286A JP S636078 A JPS636078 A JP S636078A
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Landscapes
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Sealing Material Composition (AREA)
- Packging For Living Organisms, Food Or Medicinal Products That Are Sensitive To Environmental Conditiond (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体の製造に使用する薬剤を充填収納する
容器のシール部材に閏するものである。
容器のシール部材に閏するものである。
従来の技術
集積回路、トランジスターなどのｍｌｌ加工技術の進歩
は目ざましいものがあり、その製造に使用されるしシス
トおよびｙｉ像液、リンス液など有機薬剤の品質管理に
対する要求は、とみに厳しくなってきている。特に製品
歩留に直接影響する微細粒子、異物の混入は禁忌であり
、そのため該液は通常精密濾過され、清浄な環境（クリ
ーンルーム内）下で清浄な容器に充填されて製品となる
。−般には、その容器としてポリエチレンなどのプラス
チック製の内蓋でシールされたガラス製のびん。
は目ざましいものがあり、その製造に使用されるしシス
トおよびｙｉ像液、リンス液など有機薬剤の品質管理に
対する要求は、とみに厳しくなってきている。特に製品
歩留に直接影響する微細粒子、異物の混入は禁忌であり
、そのため該液は通常精密濾過され、清浄な環境（クリ
ーンルーム内）下で清浄な容器に充填されて製品となる
。−般には、その容器としてポリエチレンなどのプラス
チック製の内蓋でシールされたガラス製のびん。
或いは、ＮＢＲ，シリコーンゴムなどのゴム製のバッキ
ングでシールされた防食性の金属容器が用いられている
。
ングでシールされた防食性の金属容器が用いられている
。
ところが、かかる容器での保存中に、折角精密濾過して
ピンホール・フリーにした内容物にｖ＆纏粒子や異物が
混入し、半導体の製造に使用した際、レジスト塗布工程
においてピンホールが発生し、パターン形成時に欠損部
を生ずるという問題がある。
ピンホール・フリーにした内容物にｖ＆纏粒子や異物が
混入し、半導体の製造に使用した際、レジスト塗布工程
においてピンホールが発生し、パターン形成時に欠損部
を生ずるという問題がある。
本発明者らはかかる問題点を解決すべく、先ず、微細粒
子や異物の混入原因を調査した。その結果、容器のシー
ル部材として使用しているプラスチック製の内蓋、或い
は、ゴム製バッキングが内容物の薬剤により犯され、該
シール部材より溶出した高沸点化合物が微細粒子や異物
の原因となっていることを究明した。
子や異物の混入原因を調査した。その結果、容器のシー
ル部材として使用しているプラスチック製の内蓋、或い
は、ゴム製バッキングが内容物の薬剤により犯され、該
シール部材より溶出した高沸点化合物が微細粒子や異物
の原因となっていることを究明した。
発明が解決しようとする問題点
本発明者らは、現在賞用されているシール部材のかかる
欠点を解決すべく鋭意検討した結果、容器接液部の部を
才としてフッ素含有重合体を使用することにより、かか
る問題を解決できることを見い出し、本発明を完成する
に到った。
欠点を解決すべく鋭意検討した結果、容器接液部の部を
才としてフッ素含有重合体を使用することにより、かか
る問題を解決できることを見い出し、本発明を完成する
に到った。
問題点を解決するための手段
本発明の目的は、半導体用薬剤の容器保存時におけるｙ
＆纏粒子や異物の混入を防止し、レジスト塗布工程にお
けるピンホール発生を低減することにある。
＆纏粒子や異物の混入を防止し、レジスト塗布工程にお
けるピンホール発生を低減することにある。
本発明のこの目的は、半導体用薬剤収納容器の接液部部
材としてフッ素含有重合体を使用することにより達成さ
れる。
材としてフッ素含有重合体を使用することにより達成さ
れる。
本発明において使用されるフッ素含有重合体は特に限定
されず、いわゆるフッ素樹脂、フッ素ゴムであれば使用
することができろ。例示するならば、フッ化ビニリデン
と例えばヘキサフルオロプロペン、クロロトリフルオロ
エチレン、ペンタフルオロプロペン、テトラフロロエチ
レン、パーフロロアルコキシフロロエチレンなどの共重
合体が挙げられる。
されず、いわゆるフッ素樹脂、フッ素ゴムであれば使用
することができろ。例示するならば、フッ化ビニリデン
と例えばヘキサフルオロプロペン、クロロトリフルオロ
エチレン、ペンタフルオロプロペン、テトラフロロエチ
レン、パーフロロアルコキシフロロエチレンなどの共重
合体が挙げられる。
本発明で使用する薬剤の収納容器としては、現在賞用さ
れているガラス製びん、防食性の金属容器の阿れでもよ
く特に限定されない。
れているガラス製びん、防食性の金属容器の阿れでもよ
く特に限定されない。
本発明で使用する半導体用薬剤としては特に限定するも
のではないが、例示するならば、フォトレジスト、電子
線レジスト、Ｘ線レジストなどの半導体製造用に使用す
るレジスト類、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、脂環
族炭化水素、ハロゲン化炭化水素、脂肪族アルコール、
多価アルコール、エステル、エーテル、ケトン、ニトロ
化合物。
のではないが、例示するならば、フォトレジスト、電子
線レジスト、Ｘ線レジストなどの半導体製造用に使用す
るレジスト類、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、脂環
族炭化水素、ハロゲン化炭化水素、脂肪族アルコール、
多価アルコール、エステル、エーテル、ケトン、ニトロ
化合物。
アミン類、有機アルカリ水溶液などのレジスト現像液お
よびリンス液、ヘキサメチレンジシラザン。
よびリンス液、ヘキサメチレンジシラザン。
シランカップリング剤、チタネートカップリング剤など
のレジスト定着剤などが挙げられる。
のレジスト定着剤などが挙げられる。
実施例
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する
。
。
実施例 ！
クリーンルーム内において精密洗浄したガラス製びんに
、０．２２ミクロンのフィルターで精密Ｉ工過したヘキ
サメチレンジシラザン（以下、ｔｌＭＤＳと略称する）
、ポリイソプレン系ネガ型フォトレジスト（商品名ＯＭ
Ｒ８３（東京応化工業社製））、ノボラック系ポジ型フ
ォトレジスト（商品名ＯＦ Ｐ Ｒ−８００東京応化工
業社製）を各々充填し、表−１に示す材質の内蓋でシー
ル密栓し、常温で１日１回１分間横倒しにし、１ケ月間
保存し、レジスト塗布時におけるピンホールを測定した
。結果を表−２に示す。
、０．２２ミクロンのフィルターで精密Ｉ工過したヘキ
サメチレンジシラザン（以下、ｔｌＭＤＳと略称する）
、ポリイソプレン系ネガ型フォトレジスト（商品名ＯＭ
Ｒ８３（東京応化工業社製））、ノボラック系ポジ型フ
ォトレジスト（商品名ＯＦ Ｐ Ｒ−８００東京応化工
業社製）を各々充填し、表−１に示す材質の内蓋でシー
ル密栓し、常温で１日１回１分間横倒しにし、１ケ月間
保存し、レジスト塗布時におけるピンホールを測定した
。結果を表−２に示す。
以下余白
表−ｌ
フッ素樹脂 Ａ；ボリビニリデンジフロライドフッ素樹
脂 Ｂ；パーフロロアルコキシフロロカーボン ピンボール測定法 １．８ＭＤＳビンボール測定 常法により、厚さ４０００Ａの酸化シリコン層を有する
シリコンウェハにＨＭＤＳを回転塗布した後、ポジ型フ
ォトレジスト（商品名０ＦＰＲ８００東京応化工業社！
りを該シリコンウェハ上に回転塗布し、温度９０℃で２
０分間ベークし、膜厚１μｍのフォトレジスト皮膜を形
成した。
脂 Ｂ；パーフロロアルコキシフロロカーボン ピンボール測定法 １．８ＭＤＳビンボール測定 常法により、厚さ４０００Ａの酸化シリコン層を有する
シリコンウェハにＨＭＤＳを回転塗布した後、ポジ型フ
ォトレジスト（商品名０ＦＰＲ８００東京応化工業社！
りを該シリコンウェハ上に回転塗布し、温度９０℃で２
０分間ベークし、膜厚１μｍのフォトレジスト皮膜を形
成した。
表面欠陥検査表＠（サーフェススキャン Ｔｅｎｃｏｒ
社ｉりにてピンボール数を測定した。単位面積（ｌ ｃ
ｍ”）当りのとンホール数を５回測定りその平均値をも
ってピンホール数とした。
社ｉりにてピンボール数を測定した。単位面積（ｌ ｃ
ｍ”）当りのとンホール数を５回測定りその平均値をも
ってピンホール数とした。
２、フォトレジストピンホール数
常法により、厚さ４ｏｏｏＬの酸化シリコン層を有する
シリコンウェハに回転塗布し、温度８５℃で２０分間プ
リベークし、膜厚１μｍのフォトレジスト皮膜を形成し
た以外は、ＨＭ Ｄ Ｓピンホール測定の場合と全く同
様に行った。
シリコンウェハに回転塗布し、温度８５℃で２０分間プ
リベークし、膜厚１μｍのフォトレジスト皮膜を形成し
た以外は、ＨＭ Ｄ Ｓピンホール測定の場合と全く同
様に行った。
以下余白
表−２
発明の効果
上記の本発明例と比較例に示されるように、本発明によ
れば、長期間に亙り、充填当初と変わらない状態で半導
体用薬剤を安定して保存することができるので、半導体
用薬剤の品質管理がきわめて容易となり、半導体の製造
に対し有用な発明ということができる。
れば、長期間に亙り、充填当初と変わらない状態で半導
体用薬剤を安定して保存することができるので、半導体
用薬剤の品質管理がきわめて容易となり、半導体の製造
に対し有用な発明ということができる。
特許出願人 日本七オン株式会社
同 富士通株式会社
Claims (1)
- （１）接液部部材としてフッ素含有重合体を使用するこ
とを特徴とする半導体用薬剤の収納容器部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14941286A JPS636078A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 半導体用薬剤の収納容器部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14941286A JPS636078A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 半導体用薬剤の収納容器部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS636078A true JPS636078A (ja) | 1988-01-12 |
| JPH0146550B2 JPH0146550B2 (ja) | 1989-10-09 |
Family
ID=15474553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14941286A Granted JPS636078A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 半導体用薬剤の収納容器部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS636078A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59175497A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | Microbial Chem Res Found | 新規なアミノプロピルアミノブレオマイシン誘導体及びその製造法 |
| JPS59184199A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-19 | Nippon Kayaku Co Ltd | 新規アミドｎ置換ブレオマイシン類 |
| JPS59210100A (ja) * | 1983-05-14 | 1984-11-28 | Nippon Kayaku Co Ltd | 新規アミドｎ置換ブレオマイシン類の製造法 |
| JPH03107554A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-05-07 | Mazda Motor Corp | エンジンの悪臭成分排出制御装置 |
| US5115179A (en) * | 1987-10-02 | 1992-05-19 | Hitachi, Ltd. | Portable teaching apparatus |
| WO2000058414A1 (fr) * | 1999-03-29 | 2000-10-05 | Daikin Industries, Ltd. | Composition de revetement de resine fluoree en poudre |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP14941286A patent/JPS636078A/ja active Granted
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59175497A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | Microbial Chem Res Found | 新規なアミノプロピルアミノブレオマイシン誘導体及びその製造法 |
| JPH03877B2 (ja) * | 1983-03-25 | 1991-01-09 | Microbial Chem Res Found | |
| JPS59184199A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-19 | Nippon Kayaku Co Ltd | 新規アミドｎ置換ブレオマイシン類 |
| JPH03878B2 (ja) * | 1983-03-31 | 1991-01-09 | Nippon Kayaku Kk | |
| JPS59210100A (ja) * | 1983-05-14 | 1984-11-28 | Nippon Kayaku Co Ltd | 新規アミドｎ置換ブレオマイシン類の製造法 |
| JPH03879B2 (ja) * | 1983-05-14 | 1991-01-09 | Nippon Kayaku Kk | |
| US5115179A (en) * | 1987-10-02 | 1992-05-19 | Hitachi, Ltd. | Portable teaching apparatus |
| JPH03107554A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-05-07 | Mazda Motor Corp | エンジンの悪臭成分排出制御装置 |
| WO2000058414A1 (fr) * | 1999-03-29 | 2000-10-05 | Daikin Industries, Ltd. | Composition de revetement de resine fluoree en poudre |
| US6734236B1 (en) | 1999-03-29 | 2004-05-11 | Daikin Industries, Ltd. | Fluorine-containing resin powder coating composition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0146550B2 (ja) | 1989-10-09 |
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