JPS6356985A - プリント基板のエツチング処理方法 - Google Patents
プリント基板のエツチング処理方法Info
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- JPS6356985A JPS6356985A JP20257186A JP20257186A JPS6356985A JP S6356985 A JPS6356985 A JP S6356985A JP 20257186 A JP20257186 A JP 20257186A JP 20257186 A JP20257186 A JP 20257186A JP S6356985 A JPS6356985 A JP S6356985A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- printed circuit
- circuit board
- concentration
- chambers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
- H05K3/067—Etchants
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
- H05K3/068—Apparatus for etching printed circuits
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明はプリント基板の連続エツチング処理工程におけ
る隣接エツチング処理室間の中間点において、隣接エツ
チング処理室のエツチング液の中間濃度を有するエツチ
ング液でプリント基板をスプレーし、隣接エツチング室
間を移送する際のプリント基板の乾燥を防止し、かつ各
エツチング処理室のエンチング液濃度変化を抑止して高
品質エツチングを可能にする。
る隣接エツチング処理室間の中間点において、隣接エツ
チング処理室のエツチング液の中間濃度を有するエツチ
ング液でプリント基板をスプレーし、隣接エツチング室
間を移送する際のプリント基板の乾燥を防止し、かつ各
エツチング処理室のエンチング液濃度変化を抑止して高
品質エツチングを可能にする。
本発明はプリント基板を濃度の異なるエツチング液で順
次エツチングするプリント基板のエツチング処理方法に
関するものである。
次エツチングするプリント基板のエツチング処理方法に
関するものである。
情報処理装置や通信装置等に数多く用いられているプリ
ント基板は、絶縁板上に銅箔を付けて、その銅箔をエツ
チングすることによって、配線パターンを形成している
。
ント基板は、絶縁板上に銅箔を付けて、その銅箔をエツ
チングすることによって、配線パターンを形成している
。
第2図は従来のエツチング処理方法を説明する図である
。
。
プリント基板の製造における表面層銅箔に配線パターン
を形成する等のエツチング処理工程では、プリント基板
はコンベヤ1 (矢印方向に移動)に搭載されて、複数
のエツチング処理室A、Bを順次連続的に移送される。
を形成する等のエツチング処理工程では、プリント基板
はコンベヤ1 (矢印方向に移動)に搭載されて、複数
のエツチング処理室A、Bを順次連続的に移送される。
エツチング処理室A、 Bでは、移送中のプリント基板
に一定濃度のエツチング液がノズル3a 、 3bによ
りスプレー等で散布される。
に一定濃度のエツチング液がノズル3a 、 3bによ
りスプレー等で散布される。
エツチング液4a、4bはポンプPa 、 Pbにより
循環される。
循環される。
1つのエツチング処理室Aでエツチング液4aにより所
定の処理が終わると、次のエツチング処理室Bに移送さ
れ、異なった濃度のエツチング液4bで処理される。
定の処理が終わると、次のエツチング処理室Bに移送さ
れ、異なった濃度のエツチング液4bで処理される。
プリント基板が1つのエツチング処理室Aから出て行く
時、プリント基板に残留するエツチング液4aが次のエ
ツチング処理室Bの異なる濃度のエツチング液4bに混
合され、エツチング液の濃度変化が起こるのを極力抑止
するために、エツチング処理室の出口に液切りローラ2
を設け、プリント基板をローラで挟んでプリント基板の
付着液を一旦排除するようにしている。
時、プリント基板に残留するエツチング液4aが次のエ
ツチング処理室Bの異なる濃度のエツチング液4bに混
合され、エツチング液の濃度変化が起こるのを極力抑止
するために、エツチング処理室の出口に液切りローラ2
を設け、プリント基板をローラで挟んでプリント基板の
付着液を一旦排除するようにしている。
この従来の方法では、エツチング処理室間の移送中、プ
リント基板はエツチング液が除去された状態にあって、
乾燥状態に近くなる。
リント基板はエツチング液が除去された状態にあって、
乾燥状態に近くなる。
このように、プリント基板がエツチング処理工程中に乾
燥状態になると、残留エツチング液は濃度の上昇をきた
し、局部的にエツチング処理が進行する。
燥状態になると、残留エツチング液は濃度の上昇をきた
し、局部的にエツチング処理が進行する。
さらに乾燥が進み、エツチング液から結晶が析出すると
、この結晶がプリント基板の移送路に集積して、移送中
のプリント基板に接触し、この結晶が配線パターンの断
線、あるいは欠損をもたらすことになる。
、この結晶がプリント基板の移送路に集積して、移送中
のプリント基板に接触し、この結晶が配線パターンの断
線、あるいは欠損をもたらすことになる。
また、このプリント基板の乾燥状態を避けるために、エ
ツチング処理室に設けた液切りローラで充分の液切りを
行わないようにすると、隣接するエツチング処理室のエ
ツチング液の濃度変化に影響するという問題を生ずる。
ツチング処理室に設けた液切りローラで充分の液切りを
行わないようにすると、隣接するエツチング処理室のエ
ツチング液の濃度変化に影響するという問題を生ずる。
本発明はこのような点に鑑みて創作されたものであって
、エツチング処理室間の中間点におけるプリント基板の
乾燥を防止し、かつエツチング液の濃度変化を抑止して
、高品質のエツチング処理方法を提供することを目的と
している。
、エツチング処理室間の中間点におけるプリント基板の
乾燥を防止し、かつエツチング液の濃度変化を抑止して
、高品質のエツチング処理方法を提供することを目的と
している。
上記目的を達成するために、連続するエツチング処理室
の中間点において、移送されるプリント基板に、隣接す
るエツチング処理室のエツチング液の中間値濃度のエツ
チング液で処理する。
の中間点において、移送されるプリント基板に、隣接す
るエツチング処理室のエツチング液の中間値濃度のエツ
チング液で処理する。
本発明のプリント基板エツチング処理方法では、エツチ
ング処理室間の中間点において、隣接エツチング処理室
のエツチング液濃度の中間値濃度のエツチング液でスプ
レーされる。
ング処理室間の中間点において、隣接エツチング処理室
のエツチング液濃度の中間値濃度のエツチング液でスプ
レーされる。
そのために、プリント基板が乾燥するのを防止され、か
つ中間スプレー室でスプレーされたエツチング液が、前
後のエツチング処理室のエツチング液と混合しても、そ
の処理室のエツチング液の濃度の変化に及ぼす影響は少
い。
つ中間スプレー室でスプレーされたエツチング液が、前
後のエツチング処理室のエツチング液と混合しても、そ
の処理室のエツチング液の濃度の変化に及ぼす影響は少
い。
第1図は本発明のプリント基板のエツチング処理方法の
一実施例を説明する図を示す。
一実施例を説明する図を示す。
図において、プリント基板は隣接するエツチング処理室
A、Bをコンベヤ1で連続的に移送される。
A、Bをコンベヤ1で連続的に移送される。
エツチング処理室A、Bでは、それぞれ濃度a。
bのエツチング液4a、4bが、それぞれの処理室内を
ポンプPa、Pbによって、循環してスプレーされる。
ポンプPa、Pbによって、循環してスプレーされる。
エツチング処理室A、Bの中間点に設けられた中間スプ
レー室Cでは、プリント基板はその室内を濃度Cのエツ
チング液4cでポンプPcによってノズル3cからスプ
レーされる。
レー室Cでは、プリント基板はその室内を濃度Cのエツ
チング液4cでポンプPcによってノズル3cからスプ
レーされる。
この中間スプレー室Cでスプレーされるエツチング液4
cの濃度Cは、エツチング液濃度a、bの中間値として
例えば画濃度の平均値、即ち、c=(a+b)/2 とされる。
cの濃度Cは、エツチング液濃度a、bの中間値として
例えば画濃度の平均値、即ち、c=(a+b)/2 とされる。
この中間スプレー室Cのスプレー液の量は、ブリント基
板の乾燥防止を目的とするものなので、少な(てすむ。
板の乾燥防止を目的とするものなので、少な(てすむ。
従って、第1図のように、中間スプレー液タンクTcに
貯えた濃度Cのエツチング液は、エツチング処理室A、
Bのように循環させることなく、スプレー後の残余液は
エツチング処理室A、Bの何れかに混合されるようにし
て、設備を簡略化しても、エツチング液濃度a、bに及
ぼす影響は少ない。
貯えた濃度Cのエツチング液は、エツチング処理室A、
Bのように循環させることなく、スプレー後の残余液は
エツチング処理室A、Bの何れかに混合されるようにし
て、設備を簡略化しても、エツチング液濃度a、bに及
ぼす影響は少ない。
また、中間点におけるプリント板は乾燥することがなく
なるので、エツチング処理室の出口に設けられる液切り
ローラ2で充分にエツチングを排除することができ、液
切りローラ2をより効果的に利用できることになる。
なるので、エツチング処理室の出口に設けられる液切り
ローラ2で充分にエツチングを排除することができ、液
切りローラ2をより効果的に利用できることになる。
また、この中間スプレー室Cで、エツチング処理の進行
を助成することができるので、エツチング処理工程全体
の時間短縮に寄与できることにもなる。
を助成することができるので、エツチング処理工程全体
の時間短縮に寄与できることにもなる。
以上述べてきたように、本発明によれば、隣接エツチン
グ処理室濃度の中間点で隣接処理室のエンチング液濃度
の中間濃度液でスプレーすることによって、プリント基
板の乾燥を防止し、かつエツチング液の濃度変化を抑止
して高品質のエツチング処理を行うことができ、実用的
には極めてを用である。
グ処理室濃度の中間点で隣接処理室のエンチング液濃度
の中間濃度液でスプレーすることによって、プリント基
板の乾燥を防止し、かつエツチング液の濃度変化を抑止
して高品質のエツチング処理を行うことができ、実用的
には極めてを用である。
第1図は本発明のプリント基板のエツチング処理方法を
説明する図、 第2図は従来のエツチング処理方法を説明する図である
。 図において、 A、Bはエツチング処理室、 Cは中間スプレー室、 P a + P b + P cはポンプ、Tcは中間
スプレー液タンク、 1はコンベヤ、 2は液切りローラ、 3a、3b、3cはノズル、 4a、4b、4cはエツチング液である。 、l明り一友胞ダJを説明7ン閃 第1図 に疋Lp r、t’?;7−L”lZ¥7話HW’)?
73(II第2図
説明する図、 第2図は従来のエツチング処理方法を説明する図である
。 図において、 A、Bはエツチング処理室、 Cは中間スプレー室、 P a + P b + P cはポンプ、Tcは中間
スプレー液タンク、 1はコンベヤ、 2は液切りローラ、 3a、3b、3cはノズル、 4a、4b、4cはエツチング液である。 、l明り一友胞ダJを説明7ン閃 第1図 に疋Lp r、t’?;7−L”lZ¥7話HW’)?
73(II第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 連続する複数のエッチング処理室(A、B)で、それぞ
れ異なる濃度のエッチング液によって、プリント基板の
エッチングを行うエッチング処理工程において、 前記エッチング処理室(A、B)間の中間点における移
送中の前記プリント基板に、隣接する前記エッチング処
理室(A、B)のエッチング液(4a、4b)の中間値
濃度のエッチング液(4c)で処理することを特徴とす
るプリント基板のエッチング処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20257186A JPS6356985A (ja) | 1986-08-27 | 1986-08-27 | プリント基板のエツチング処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20257186A JPS6356985A (ja) | 1986-08-27 | 1986-08-27 | プリント基板のエツチング処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6356985A true JPS6356985A (ja) | 1988-03-11 |
Family
ID=16459701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20257186A Pending JPS6356985A (ja) | 1986-08-27 | 1986-08-27 | プリント基板のエツチング処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6356985A (ja) |
-
1986
- 1986-08-27 JP JP20257186A patent/JPS6356985A/ja active Pending
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