JPH08291393A - エッチング用保持治具 - Google Patents
エッチング用保持治具Info
- Publication number
- JPH08291393A JPH08291393A JP9550295A JP9550295A JPH08291393A JP H08291393 A JPH08291393 A JP H08291393A JP 9550295 A JP9550295 A JP 9550295A JP 9550295 A JP9550295 A JP 9550295A JP H08291393 A JPH08291393 A JP H08291393A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- copper clad
- clad laminate
- copper
- holding jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
- H05K3/068—Apparatus for etching printed circuits
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 銅張積層板にエッチング液を吹き付けてエッ
チングする際に銅張積層板上に貼着されているドライフ
ィルムが切れたり剥離したりする現象が生じにくく、フ
ァインパターンを歩留まりよく形成できる手段を提供す
る。 【構成】 銅張積層板を平置きの状態で、複数のローラ
素片を備える搬送用コンベヤローラ上を搬送中に、銅張
積層板にエッチング液を吹き付けてエッチングする際に
使用する銅張積層板の保持治具５であって、上記のロー
ラ素片の間隔より長い底幅１０の一対の足部６、６を連
結して備え、各足部６、６の内側面には銅張積層板を嵌
め込む開口溝８、８を備え、この両開口溝８、８間の上
側又は下側の少なくとも一方の側に露出空間９を形成し
ていることを特徴とする。
チングする際に銅張積層板上に貼着されているドライフ
ィルムが切れたり剥離したりする現象が生じにくく、フ
ァインパターンを歩留まりよく形成できる手段を提供す
る。 【構成】 銅張積層板を平置きの状態で、複数のローラ
素片を備える搬送用コンベヤローラ上を搬送中に、銅張
積層板にエッチング液を吹き付けてエッチングする際に
使用する銅張積層板の保持治具５であって、上記のロー
ラ素片の間隔より長い底幅１０の一対の足部６、６を連
結して備え、各足部６、６の内側面には銅張積層板を嵌
め込む開口溝８、８を備え、この両開口溝８、８間の上
側又は下側の少なくとも一方の側に露出空間９を形成し
ていることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板製造の
エッチング工程において使用されるエッチング用保持治
具に関する。
エッチング工程において使用されるエッチング用保持治
具に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子機器、電気機器に使用されるプリン
ト配線板は、高密度化の要求により、ファインパターン
化が進んでいて、導体回路のライン幅とライン間隔が例
えば５０μｍ／５０μｍと微細になってきている。この
ためサブトラクティブ法では、ファインパターンを形成
するのに有利な厚みの薄いドライフィルムをエッチング
レジストとして使用せざるをえない場合が生じている。
しかし、厚みの薄いドライフィルムを使用した場合エッ
チング工程において、銅張積層板上のドライフィルムが
切れたり剥離したりして、所望する導体回路が得られな
いという問題が生じることがある。この問題の生じる原
因について、図面を参照して説明する。プリント配線板
の導体回路形成には、図３に示すように、搬送用コンベ
ヤローラ１の上で銅張積層板２を水平方向に搬送しなが
ら、上下のスプレーノズル３よりエッチング液を銅張積
層板２に吹き付けてエッチングする方式が一般的であ
る。このようなエッチング方式では、図４に示すように
搬送用コンベヤローラ１は複数のローラ素片４を備えて
いて、このローラ素片４と銅張積層板２上に貼着されて
いるドライフィルムが接触するために、エッチング工程
において厚みの薄いドライフィルムが切れたり剥離した
りする現象が生じるのである。
ト配線板は、高密度化の要求により、ファインパターン
化が進んでいて、導体回路のライン幅とライン間隔が例
えば５０μｍ／５０μｍと微細になってきている。この
ためサブトラクティブ法では、ファインパターンを形成
するのに有利な厚みの薄いドライフィルムをエッチング
レジストとして使用せざるをえない場合が生じている。
しかし、厚みの薄いドライフィルムを使用した場合エッ
チング工程において、銅張積層板上のドライフィルムが
切れたり剥離したりして、所望する導体回路が得られな
いという問題が生じることがある。この問題の生じる原
因について、図面を参照して説明する。プリント配線板
の導体回路形成には、図３に示すように、搬送用コンベ
ヤローラ１の上で銅張積層板２を水平方向に搬送しなが
ら、上下のスプレーノズル３よりエッチング液を銅張積
層板２に吹き付けてエッチングする方式が一般的であ
る。このようなエッチング方式では、図４に示すように
搬送用コンベヤローラ１は複数のローラ素片４を備えて
いて、このローラ素片４と銅張積層板２上に貼着されて
いるドライフィルムが接触するために、エッチング工程
において厚みの薄いドライフィルムが切れたり剥離した
りする現象が生じるのである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な事情に鑑みてなされたものであって、銅張積層板を平
置きの状態で、複数のローラ素片を備える搬送用コンベ
ヤローラ上を搬送中に、銅張積層板にエッチング液を吹
き付けてエッチングする際に銅張積層板上に貼着されて
いるドライフィルムが切れたり剥離したりする現象が生
じにくく、従ってファインパターンを歩留まりよく形成
できるようになる手段を提供することを目的としてい
る。
な事情に鑑みてなされたものであって、銅張積層板を平
置きの状態で、複数のローラ素片を備える搬送用コンベ
ヤローラ上を搬送中に、銅張積層板にエッチング液を吹
き付けてエッチングする際に銅張積層板上に貼着されて
いるドライフィルムが切れたり剥離したりする現象が生
じにくく、従ってファインパターンを歩留まりよく形成
できるようになる手段を提供することを目的としてい
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明のエ
ッチング用保持治具は、銅張積層板を平置きの状態で、
複数のローラ素片を備える搬送用コンベヤローラ上を搬
送中に、銅張積層板にエッチング液を吹き付けてエッチ
ングする際に使用する銅張積層板の保持治具であって、
上記のローラ素片の間隔より長い底幅の一対の足部を連
結して備え、各足部の内側面には銅張積層板を嵌め込む
開口溝を備え、この両開口溝間の上側又は下側の少なく
とも一方の側に露出空間を形成していることを特徴とす
る。
ッチング用保持治具は、銅張積層板を平置きの状態で、
複数のローラ素片を備える搬送用コンベヤローラ上を搬
送中に、銅張積層板にエッチング液を吹き付けてエッチ
ングする際に使用する銅張積層板の保持治具であって、
上記のローラ素片の間隔より長い底幅の一対の足部を連
結して備え、各足部の内側面には銅張積層板を嵌め込む
開口溝を備え、この両開口溝間の上側又は下側の少なく
とも一方の側に露出空間を形成していることを特徴とす
る。
【０００５】請求項２に係る発明のエッチング用保持治
具は、請求項１記載のエッチング用保持治具において、
両開口溝間の上側を遮蔽板により遮蔽し、両開口溝間の
下側のみに露出空間を形成していることを特徴とする。
具は、請求項１記載のエッチング用保持治具において、
両開口溝間の上側を遮蔽板により遮蔽し、両開口溝間の
下側のみに露出空間を形成していることを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明の治具は、ローラ素片の間隔より長い底
幅の一対の足部を連結して備えているので、エッチング
する際に本発明の治具を使用すれば、ローラ素片はこの
一対の足部の底と接触し、足部の内側面の開口溝に嵌め
込まれた銅張積層板、すなわち銅張積層板上に貼着され
ているドライフィルムとは接触せずにエッチングが可能
となる。また本発明の治具は、両開口溝間の上側又は下
側の少なくとも一方の側に露出空間を形成しているの
で、上下のスプレーノズルより噴射するエッチング液は
この露出空間を通って銅張積層板に吹き付けられてエッ
チングが可能となる。
幅の一対の足部を連結して備えているので、エッチング
する際に本発明の治具を使用すれば、ローラ素片はこの
一対の足部の底と接触し、足部の内側面の開口溝に嵌め
込まれた銅張積層板、すなわち銅張積層板上に貼着され
ているドライフィルムとは接触せずにエッチングが可能
となる。また本発明の治具は、両開口溝間の上側又は下
側の少なくとも一方の側に露出空間を形成しているの
で、上下のスプレーノズルより噴射するエッチング液は
この露出空間を通って銅張積層板に吹き付けられてエッ
チングが可能となる。
【０００７】また、請求項２に係る発明の治具は、両開
口溝間の上側を遮蔽板により遮蔽し、両開口溝間の下側
のみに露出空間を形成しているので、上下のスプレーノ
ズルより噴射するエッチング液は両開口溝間の下側の露
出空間からだけ銅張積層板に吹き付けられ、両開口溝間
の上側からのエッチング液は遮蔽板に当たり、銅張り積
層板に直接吹き付けられることはなく、例えば銅張積層
板の一方の面のみにエッチング液を吹きつけたい場合等
において有用となる。
口溝間の上側を遮蔽板により遮蔽し、両開口溝間の下側
のみに露出空間を形成しているので、上下のスプレーノ
ズルより噴射するエッチング液は両開口溝間の下側の露
出空間からだけ銅張積層板に吹き付けられ、両開口溝間
の上側からのエッチング液は遮蔽板に当たり、銅張り積
層板に直接吹き付けられることはなく、例えば銅張積層
板の一方の面のみにエッチング液を吹きつけたい場合等
において有用となる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【０００９】図１は本発明に係る一実施例を示す斜視図
である。図１に示すように、エッチング用保持治具５は
一対の足部６、６を、中央部をくり抜いた額縁状の枠体
７で連結して備えている。また、各足部６、６の内側面
には銅張積層板を嵌め込む開口溝８、８を備え、この両
開口溝８、８間の上側及び下側には露出空間９、９を形
成するよう構成されている。そして、本発明のエッチン
グ用保持治具５に備わる足部６、６の底幅１０、１０は
エッチング装置の搬送用コンベヤローラのローラ素片の
間隔より長く形成する。このローラ素片の間隔とは、例
えば、図４に示す搬送用コンベヤローラ１に備えられて
いるローラ素片４、４の間隔１２を指している。
である。図１に示すように、エッチング用保持治具５は
一対の足部６、６を、中央部をくり抜いた額縁状の枠体
７で連結して備えている。また、各足部６、６の内側面
には銅張積層板を嵌め込む開口溝８、８を備え、この両
開口溝８、８間の上側及び下側には露出空間９、９を形
成するよう構成されている。そして、本発明のエッチン
グ用保持治具５に備わる足部６、６の底幅１０、１０は
エッチング装置の搬送用コンベヤローラのローラ素片の
間隔より長く形成する。このローラ素片の間隔とは、例
えば、図４に示す搬送用コンベヤローラ１に備えられて
いるローラ素片４、４の間隔１２を指している。
【００１０】このように、上記実施例では、搬送用コン
ベヤローラのローラ素片の間隔より長い底幅１０、１０
の足部６、６を備えているので、足部６、６は搬送用コ
ンベヤローラのローラ素片に接して、かつ、ローラ素片
間に落下することなく、搬送用コンベヤローラの回転と
共に移動する。また、両開口溝８、８間の上側及び下側
には露出空間９、９が形成されているので、上下のスプ
レーノズルより噴射するエッチング液はこの露出空間
９、９を通って開口溝８、８に嵌め込まれる銅張積層板
に吹き付けられてエッチングが行われる。従って、銅張
積層板上にドライフィルムが貼着されている場合には、
開口溝８、８に嵌め込まれたドライフィルムが貼着され
た銅張積層板はローラ素片に接触せずにエッチングが行
われるので、ドライフィルムが切れたり剥離したりする
現象が生じにくく、ファインパターンを歩留まりよく形
成することが可能となる。
ベヤローラのローラ素片の間隔より長い底幅１０、１０
の足部６、６を備えているので、足部６、６は搬送用コ
ンベヤローラのローラ素片に接して、かつ、ローラ素片
間に落下することなく、搬送用コンベヤローラの回転と
共に移動する。また、両開口溝８、８間の上側及び下側
には露出空間９、９が形成されているので、上下のスプ
レーノズルより噴射するエッチング液はこの露出空間
９、９を通って開口溝８、８に嵌め込まれる銅張積層板
に吹き付けられてエッチングが行われる。従って、銅張
積層板上にドライフィルムが貼着されている場合には、
開口溝８、８に嵌め込まれたドライフィルムが貼着され
た銅張積層板はローラ素片に接触せずにエッチングが行
われるので、ドライフィルムが切れたり剥離したりする
現象が生じにくく、ファインパターンを歩留まりよく形
成することが可能となる。
【００１１】図２は本発明に係る他の実施例を示す斜視
図である。図２に示すように、このエッチング用保持治
具５では両開口溝８、８間の上側が遮蔽板１１により遮
蔽され、かつ、開口溝８、８には開口端の方が広くなる
よう傾斜を持たせてある点が、上記の図１の実施例の場
合と異なっている。
図である。図２に示すように、このエッチング用保持治
具５では両開口溝８、８間の上側が遮蔽板１１により遮
蔽され、かつ、開口溝８、８には開口端の方が広くなる
よう傾斜を持たせてある点が、上記の図１の実施例の場
合と異なっている。
【００１２】このように、図２に示す実施例では、両開
口溝８、８間の上側を遮蔽板１１により遮蔽し、両開口
溝８、８間の下側のみに露出空間９を形成しているの
で、上下のスプレーノズルより噴射するエッチング液は
両開口溝間の下側の露出空間９からだけ銅張積層板に吹
き付けられ、両開口溝間８、８の上側からのエッチング
液は遮蔽板１１に当たり、銅張り積層板に直接吹き付け
られることはない。従って、例えば銅張積層板の一方の
面のみにエッチング液を吹きつけたい場合等において有
用となる。また、開口溝８、８には開口端の方が広くな
るよう傾斜を持たせてあるので、開口溝８、８に銅張積
層板を嵌め込むことが容易である。
口溝８、８間の上側を遮蔽板１１により遮蔽し、両開口
溝８、８間の下側のみに露出空間９を形成しているの
で、上下のスプレーノズルより噴射するエッチング液は
両開口溝間の下側の露出空間９からだけ銅張積層板に吹
き付けられ、両開口溝間８、８の上側からのエッチング
液は遮蔽板１１に当たり、銅張り積層板に直接吹き付け
られることはない。従って、例えば銅張積層板の一方の
面のみにエッチング液を吹きつけたい場合等において有
用となる。また、開口溝８、８には開口端の方が広くな
るよう傾斜を持たせてあるので、開口溝８、８に銅張積
層板を嵌め込むことが容易である。
【００１３】
【発明の効果】請求項１及び請求項２のエッチング用保
持治具は、ローラ素片の間隔より長い底幅の一対の足部
を連結して備えているので、エッチングする際に使用す
れば、銅張積層板上に貼着されているドライフィルムは
ローラ素片と接触することなくエッチングが行われるの
で、ドライフィルムが切れたり剥離したりする現象が生
じにくく、ファインパターンを歩留まりよく形成するこ
とが可能となる。
持治具は、ローラ素片の間隔より長い底幅の一対の足部
を連結して備えているので、エッチングする際に使用す
れば、銅張積層板上に貼着されているドライフィルムは
ローラ素片と接触することなくエッチングが行われるの
で、ドライフィルムが切れたり剥離したりする現象が生
じにくく、ファインパターンを歩留まりよく形成するこ
とが可能となる。
【００１４】また、請求項２のエッチング用保持治具
は、両開口溝間の上側を遮蔽板により遮蔽し、両開口溝
間の下側のみに露出空間を形成しているので、スプレー
ノズルより噴射するエッチング液は両開口溝間の下側の
露出空間からだけ銅張積層板に吹き付けられるので、例
えば銅張積層板の一方の面のみにエッチング液を吹きつ
けたい場合等において有用である。
は、両開口溝間の上側を遮蔽板により遮蔽し、両開口溝
間の下側のみに露出空間を形成しているので、スプレー
ノズルより噴射するエッチング液は両開口溝間の下側の
露出空間からだけ銅張積層板に吹き付けられるので、例
えば銅張積層板の一方の面のみにエッチング液を吹きつ
けたい場合等において有用である。
【図１】本発明に係る一実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る他の実施例を示す斜視図である。
【図３】従来のエッチング工程での問題点を説明するた
めのモデル的な側面図である。
めのモデル的な側面図である。
【図４】従来のエッチング工程での問題点を説明するた
めのモデル的な側面図である。
めのモデル的な側面図である。
１ 搬送用コンベヤローラ ２ 銅張積層板 ３ スプレーノズル ４ ローラ素片 ５ 保持治具 ６ 足部 ７ 枠体 ８ 開口溝 ９ 露出空間 １０ 底幅 １１ 遮蔽板 １２ 間隔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉岡 慎悟 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 斉藤 英一郎 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 池谷 晋一 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 伊藤 克彦 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 杉山 肇 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 銅張積層板を平置きの状態で、複数のロ
ーラ素片を備える搬送用コンベヤローラ上を搬送中に、
銅張積層板にエッチング液を吹き付けてエッチングする
際に使用する銅張積層板の保持治具であって、上記のロ
ーラ素片の間隔より長い底幅の一対の足部を連結して備
え、各足部の内側面には銅張積層板を嵌め込む開口溝を
備え、この両開口溝間の上側又は下側の少なくとも一方
の側に露出空間を形成していることを特徴とするエッチ
ング用保持治具。 - 【請求項２】 両開口溝間の上側を遮蔽板により遮蔽
し、両開口溝間の下側のみに露出空間を形成しているこ
とを特徴とするエッチング用保持治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9550295A JPH08291393A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | エッチング用保持治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9550295A JPH08291393A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | エッチング用保持治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08291393A true JPH08291393A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=14139379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9550295A Withdrawn JPH08291393A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | エッチング用保持治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08291393A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100760256B1 (ko) * | 2006-06-28 | 2007-09-19 | (주)스마트에이스 | 스프레이 에칭 시스템용 지그 |
| CN113423187A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-21 | 厦门市腾盛兴电子技术有限公司 | 一种pcb板蚀刻方法以及喷淋蚀刻机 |
-
1995
- 1995-04-20 JP JP9550295A patent/JPH08291393A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100760256B1 (ko) * | 2006-06-28 | 2007-09-19 | (주)스마트에이스 | 스프레이 에칭 시스템용 지그 |
| CN113423187A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-21 | 厦门市腾盛兴电子技术有限公司 | 一种pcb板蚀刻方法以及喷淋蚀刻机 |
| CN113423187B (zh) * | 2021-06-17 | 2022-11-08 | 厦门市腾盛兴电子技术有限公司 | 一种pcb板蚀刻方法以及喷淋蚀刻机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08291393A (ja) | エッチング用保持治具 | |
| GB2244867A (en) | Printed circuit boards | |
| JPH04199790A (ja) | シールド型可撓性回路基板及びその製造法 | |
| KR20020050720A (ko) | 다층 플렉시블 배선판의 제조 방법 | |
| JP3168739B2 (ja) | プリント配線板の搬送方法と搬送装置 | |
| JP2886697B2 (ja) | 可撓性回路基板の製造法 | |
| KR200176574Y1 (ko) | 인쇄회로기판 | |
| KR200188944Y1 (ko) | 신뢰성이 향상된 인쇄회로기판용 이송장치 | |
| JPH0494185A (ja) | 印刷配線板の製造方法 | |
| KR100606882B1 (ko) | 반도체 캐리어용 필름의 제조방법 | |
| JPH066031A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| JPH09312469A (ja) | 半田コート方法 | |
| JPH01217994A (ja) | 印刷配線板 | |
| JP2583702B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| JPH0297688A (ja) | エッチング方法 | |
| JPH0456382A (ja) | プリント配線板のエッチング方法 | |
| JP2004281827A (ja) | 配線板の製造方法 | |
| JP2024011152A (ja) | プリント配線板の製造方法および製造装置 | |
| JPH0430494A (ja) | 印刷配線板及びその製造法 | |
| JPH0627637A (ja) | フレキシブル回路基板用マスク構造 | |
| JPH07106734A (ja) | プリント配線基板の製造装置、乾燥装置、および搬送 装置 | |
| Matsumoto | Method of manufacturing printed wiring board | |
| JPH05335734A (ja) | プリント配線板 | |
| JPH04167498A (ja) | シールド型可撓性回路基板及びその製造法 | |
| JPH06268353A (ja) | プリント基板 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020702 |