JPS6354299B2 - - Google Patents

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JPS6354299B2
JPS6354299B2 JP13248885A JP13248885A JPS6354299B2 JP S6354299 B2 JPS6354299 B2 JP S6354299B2 JP 13248885 A JP13248885 A JP 13248885A JP 13248885 A JP13248885 A JP 13248885A JP S6354299 B2 JPS6354299 B2 JP S6354299B2
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epoxy
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Hiromichi Noguchi
Tadaki Inamoto
Emi Munakata
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Canon Inc
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Publication of JPS6354299B2 publication Critical patent/JPS6354299B2/ja
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Description

【発明の詳现な説明】
〔産業䞊の利甚分野〕 本発明は、玫倖線、電子線等の掻性゚ネルギヌ
線の照射により硬化する暹脂組成物、ずりわけガ
ラス、セラミクス、プラスチツクフむルム等の支
持䜓ぞの密着性ず耐薬品性および機械的匷床に優
れ、パタヌン圢成の可胜な掻性゚ネルギヌ線硬化
型暹脂組成物に関する。この掻性゚ネルギヌ線硬
化型暹脂組成物は、固䜓状の感光䜓シヌトドラ
むフむルムに賊圢するこずが可胜な暹脂組成物
である。 〔埓来の技術〕 近幎、掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂は、塗料、
むンキ、封止材料、レゞスト材料、パタヌン圢成
材料ずしお倚甚されおいる。たた、パタヌン圢成
材料ずしおの掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂は、初
期には印刷版の䜜成などに甚いられおきたが、最
近ではプリント配線、集積回路等の電子産業分野
での利甚に加え、特開昭57−43876号に開瀺され
たようにむンクゞ゚ツト蚘録ヘツドのような粟密
機噚の構造材料ずしおも利甚され぀぀ある。 しかし、これたでに知られおいるパタヌン圢成
材料に甚いられおいる掻性゚ネルギヌ線硬化型暹
脂、殊にドラむフむルムタむプのものには、ガラ
ス、セラミツクスあるいはプラスチツクフむルム
等の支持䜓に察する密着性に優れたものはなか぀
た。䞀方、ガラス、金属、セラミツクス等に察し
お甚いられる光硬化型の塗料や接着剀ずしお知ら
れるものは、硬化物の密着性には優れおいるもの
の、匷い掻性゚ネルギヌ線の照射あるいは長時間
の照射を必芁ずし、しかも䞀般にパタヌン圢成に
適した性状を有しおいない。すなわち、これを甚
いおパタヌン状に掻性゚ネルギヌ線を照射し、珟
像によ぀お非露光郚を陀去しおパタヌンを埗よう
ずしおも、粟密で高解像床のパタヌンを埗るこず
はできなか぀た。 このように埓来技術においおは、各皮の支持䜓
䞊に密着性に優れた粟密なパタヌンが圢成でき、
しかもそのパタヌンが構造材料ずしおの高い耐久
性を持぀ようなものは存圚しなか぀た。 〔発明が解決しようずする問題点〕 本発明の目的は、このような埓来の掻性゚ネル
ギヌ線硬化型暹脂では達成するこずができなか぀
た、支持䜓に察する密着性に優れ、粟密で高解像
床のパタヌンを圢成し埗る掻性゚ネルギヌ線硬化
型の暹脂組成物を提䟛するこずにある。 本発明の他の目的は、パタヌンの圢成に䟿宜な
ドラむフむルム状に賊圢するこずができ、掻性゚
ネルギヌ線の照射ず、必芁に応じた加熱凊理によ
぀お硬化圢成されたパタヌンが耐薬品性および機
械的匷床に優れ、構造材料ずしおの高い耐久性を
持぀ような掻性゚ネルギヌ線硬化型の暹脂組成物
を提䟛するこずにある。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物は
(i)アルキル基の炭玠数が〜のアルキルメタア
クリレヌト、アクリロニトリルおよびスチレンか
らなる矀より遞ばれた䞀皮以䞊のモノマヌを䞻成
分ずしお埗られ、ガラス転移枩床が50℃以䞊で、
䞔぀重量平均分子量が玄3.0×104以䞊である線状
高分子ず、(ii)分子内に゚ポキシ基を個以䞊有す
る化合物の少なくずも皮を含んでなる゚ポキシ
暹脂に存圚する゚ポキシ基の䞀郚を䞍飜和カルボ
ン酞によ぀お゚ステル化しおなる暹脂、 ずを必須成分ずしお含有するものである。 〔発明を実斜するための奜適な態様〕 本発明の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物
は、䟋えば該組成物をドラむフむルムずしお実甚
に䟛する際に、該組成物を固圢のフむルム状で維
持するための適性を䞎え、䞔぀硬化圢成されたパ
タヌンに優れた機械的匷床を付䞎するための(i)前
蚘モノマヌを䞻成分ずしお埗られ、ガラス転移枩
床が50℃以䞊で、䞔぀重量平均分子量が玄3.0×
104以䞊である線状高分子を必須成分ずしお含有
する。 䞊蚘線状高分子のガラス転移枩床および重量平
均分子量が䞊蚘倀に満たない堎合には、䟋えばド
ラむフむルムを補造する際に、プラスチツクフむ
ルム等の支持䜓䞊にフむルム状の固䜓暹脂局ずし
お圢成される該組成物が、保存䞭に埐々に流動し
おシワを発生したり、あるいは局厚の䞍均䞀化等
の珟像を生じ、良奜なドラむフむルムを埗るこず
ができない。 このような線状高分子を具䜓的に瀺せば、ホモ
ポリマヌが比范的剛盎な性状を有し、䞊蚘のよう
なガラス転移枩床を䞎え埗るモノマヌ(A)即ちメ
チルメタアクリレヌト、゚チルメタアクリレヌ
ト、む゜ブチルメタアクリレヌト、―ブチルメ
タアクリレヌトなどのアルキル基の炭玠数が〜
のアルキルメタアクリレヌト、アクリロニトリ
ルおよびスチレンからなる矀より遞ばれた䞀皮以
䞊のモノマヌ(A)を䞻成分ずし、必芁に応じお第
の成分ずしお、䟋えば芪氎性を有し、本発明の
組成物に曎に優れた密着性を付䞎し埗る(B)氎酞基
含有アクリルモノマヌ、(C)アミノもしくはアルキ
ルアミノ基含有アクリルモノマヌ、(D)カルボキシ
ル基含有アクリルもしくはビニルモノマヌ、(E)
―ビニルピロリドンもしくはその誘導䜓、(F)ビニ
ルピリゞンもしくはその誘導䜓などのモノマヌ
や、(G)本発明の組成物に高い凝集匷床を䞎え、該
組成物の機械的匷床を向䞊させ埗る䞋蚘䞀般匏 ただし、R1は氎玠たたは炭玠原子数が〜
のアルキル基、R2はその内郚に゚ヌテル結合
を有しおもよく、䞔぀ハロゲン原子で眮換されお
もよい䟡の炭化氎玠基、R3は炭玠原子数が
〜12のアルキルもしくはプニルアルキル基たた
はプニル基を衚わす。 で瀺されるモノマヌ等を40モル以内の範囲で共
重合の成分ずしお甚いお埗られる熱可塑性の共重
合高分子などが挙げられる。 成分(A)ずしお甚いられる䞊蚘モノマヌ(A)は、線
状共重合高分子が䞊蚘のガラス転移枩床を十分に
達成するために、60モル以䞊含有されるこずが
奜たしい。 第の成分ずしお甚いられる䞊蚘(B)〜(G)のモノ
マヌを具䜓的に瀺せば、(B)の氎酞基含有アクリル
モノマヌずしおは、―ヒドロキシ゚チルメ
タアクリレヌト以䞋、メタアクリレヌト
ず蚘す堎合、アクリレヌトおよびメタアクリレヌ
トの双方を含むこずを意味するものずする。、
―ヒドロキシプロピルメタアクリレヌト、
―クロロ――ヒドロキシプロピルメタアク
リレヌト、―ヒドロキシブチルメタアクリ
レヌト、―ヒドロキシブチルメタアクリレ
ヌト、―ヒドロキシペンチルメタアクリレ
ヌト、―ヒドロキシヘキシルメタアクリレ
ヌト、あるいは―シクロヘキサンゞメタノ
ヌルずアクリル酞たたはメタアクリル酞ずのモノ
゚ステルなどが挙げられ、商品名アロニツクス
M5700東亜合成化孊(æ ª)補、TONE M100カプ
ロラクトンアクリレヌト、ナニオンカヌバむド(æ ª)
補、ラむト゚ステルHO―mpp共栄瀟油脂化孊
工業(æ ª)補、ラむト゚ステル―600A―ヒド
ロキシ――プノキシプロピルアクリレヌトの
商品名、共栄瀟油脂化孊工業(æ ª)補ずしお知られ
おいるものや、二䟡アルコヌル類、䟋えば、
10デカンゞオヌル、ネオペンチグリコヌル、ビス
―ヒドロキシ゚チルテレフタレヌト、ビス
プノヌルず゚チレンオキシドたたはプロピレ
ンオキシドずの付加反応物等ずメタアクリル
酞ずのモノ゚ステル等を䜿甚するこずができる。 (C)のアミノもしくはアルキルアミノ基含有アク
リルモノマヌずしおは、メタアクリルアミド、
―ゞメチルアミノ゚チルメタアクリル
アミド、―ゞメチルメタアクリルアミ
ド、―ゞメチルアミノプロピルメタア
クリルアミド、―ゞ―ブチルアミノ゚チ
ルメタアクリルアミドなどが挙げられる。 (D)のカルボキシル基含有アクリルもしくはビニ
ルモノマヌずしおはメタアクリル酞、フマヌ
ル酞、むタコン酞あるいは東亜合成化孊(æ ª)補の商
品名アロニツクス―5400、アロニツクス―
5500等で知られるものが挙げられる。 (F)のビニルピリゞンもしくはその誘導䜓ずしお
は、―ビニルピリゞン、―ビニルピリゞン、
―ビニル――メチルピリゞン、―ビニル―
―メチルピリゞン、―ビニル――゚チルピ
リゞン及び――ピペニリノ゚チルピリゞ
ン等を挙げるこずができる。 䞊蚘(B)〜(F)のモノマヌは、その䜕れもが芪氎性
を有するものであり、本発明の組成物がガラス、
セラミツクスプラスチツクなどの支持䜓に接着す
る際に、匷固な密着性を付䞎するものである。 (G)の䞀般匏で衚わされるモノマヌを具䜓的に
瀺せば、分子䞭に氎酞基を個有するα―ア
ルキルアクリル酞゚ステルにモノむ゜シアナヌ
ト化合物を反応させお成る、分子䞭にりレタン
結合を個以䞊有するα―アルキルアクリル
酞゚ステルが挙げられる。尚、䞀般匏で衚わさ
れるモノマヌにおけるR2は、その内郚に゚ヌテ
ル結合を有しおもよく、䞔぀ハロゲン原子で眮換
されおもよい䟡の任意の炭化氎玠基ずするこず
ができるが、奜たしいR2ずしおは、炭玠原子数
が〜12のハロゲン原子で眮換されおもよいアル
キレン基、―ビスメチレンシクロヘキサン
のような脂環匏炭化氎玠基、ビスプニルゞメチ
ルメタンのような芳銙環を含む炭化氎玠基等を挙
げるこずができる。 䞊蚘䞀般匏で衚わされるモノマヌを補造する
に際し甚いられる分子䞭に氎酞基を少なくずも
個含有するメタアクリル酞゚ステルずしお
は、―ヒドロキシ゚チルメタアクリレヌ
ト、―ヒドロキシプロピルメタアクリレヌ
ト、―クロロ――ヒドロキシプロピルメ
タアクリレヌト、―ヒドロキシブチルメ
タアクリレヌト、―ヒドロキシブチルメ
タアクリレヌト、―ヒドロキシペンチルメ
タアクリレヌト、―ヒドロキシヘキシルメ
タアクリレヌトあるいはラむト゚ステルHO―
mpp共栄瀟油脂化孊工業(æ ª)補などが挙げられ
る。分子䞭に氎酞基を個含有するα―アル
キルアクリル酞゚ステルずしおは、䞊蚘以倖に
(a)脂肪族たたは芳銙族の二䟡アルコヌルずメ
タアクリル酞ずの゚ステルや(b)モノ゚ポキシ化
合物のメタアクリル酞゚ステルを同様に䜿甚
するこずができる。 䞊蚘(a)に甚いられる二䟡アルコヌルずしおは、
―シクロヘキサンゞメタノヌル、10―
デカンゞオヌル、ネオペンチルグリコヌル、ビス
―ヒドロキシ゚チルテレフタレヌト、ビス
プノヌルぞの゚チレンオキシドたたはプロピ
レンオキシドの〜10モル付加反応物などが挙げ
られる。たた、䞊蚘(b)に甚いられるモノ゚ポキシ
化合物ずしおは、゚ポラむト―1230商品名、
共栄瀟油脂化孊工業(æ ª)補、プニルグリシゞル
゚ヌテル、クレシルクレシゞル゚ヌテルブチルグ
リシゞル゚ヌテル、オクチレンオキサむド、―
ブチルプノヌルグリシゞル゚ヌテルなどが挙げ
られる。 たた、䞀般匏で衚わされるモノマヌを補造す
るに際し甚いられるモノむ゜シアナヌト化合物ず
しおは、炭玠原子数が〜12のアルキル基に個
のむ゜シアナヌト基を付䞎しおなるアルキルモノ
む゜シアナヌト、およびプニルむ゜シアナヌ
ト、クレゞルモノむ゜シアナヌトなどが挙げられ
る。 䞀般匏で衚わされるモノマヌは、40モル迄
の範囲で線状共重合高分子に含有されるこずが奜
たしい。含有量が40を越えるず、埗られる組成
物の軟化点の䜎䞋が顕著になり、該組成物を硬化
しお埗られるパタヌンの衚面硬床の䜎䞋や、膚最
による耐薬品性の劣化等の問題を生じる。 本発明の組成物は、溶液状あるいは固圢のフむ
ルム状等、䜿甚目的に応じた皮々の圢状で提䟛す
るこずができるが、ドラむフむルムの態様で実甚
に䟛するのが扱い易く、たた膜厚の管理も容易で
あり、特に有利である。もちろん、溶液状で甚い
るこずは䞀向に差し぀かえない。 以䞊、䞻ずしお熱可塑性の線状高分子を甚いる
堎合を説明しおきたが、本発明においおは熱架橋
性あるいは光架橋性をする線状高分子を甚いるこ
ずもできる。 熱架橋性の線状高分子は、䟋えば䞊蚘熱可塑性
の線状高分子に、䞋蚘䞀般匏 ただし、R4は氎玠たたは炭玠原子数が〜
のアルキルもしくはヒドロキシアルキル基、
R5は氎玠たたは炭玠原子数が〜のヒドロキ
シ基を有しおもよいアルキルもしくはアシル基を
衚わす。 で瀺されるような熱架橋性のモノマヌを共重合の
第成分ずしお導入するこずにより埗るこずがで
きる。䞊蚘䞀般匏で衚わされるモノマヌは、熱
架橋性であるばかりか、芪氎性も有しおおり、該
熱架橋性によ぀お本発明の組成物に構造材料ずし
おの優れた性状、䟋えば耐熱性、耐薬品性、ある
いは機械的匷床等を、たた芪氎性によ぀お支持䜓
ぞの優れた密着性を発揮させるものである。 䞊蚘䞀般匏で瀺されるモノマヌを具䜓的に瀺
せば、―メチロヌルメタアクリルアミド
以䞋、メタアクリルアミドず蚘す堎合、アク
リルアミドおよびメタアクリルアミドの双方を含
むこずを意味するものずする。、―プロポキシ
メチルメタアクリルアミド、――ブトキ
シメチルメタアクリルアミド、β―ヒドロ
キシ゚トキシメチルメタアクリルアミド、
―゚トキシメチルメタアクリルアミド、―
メトキシメチルメタアクリルアミド、―ア
セトキシメチルメタアクリルアミド、α―ヒ
ドロキシメチル――メチロヌルアクリルアミ
ド、α―ヒドロキシ゚チル――ブトキシメチル
アクリルアミド、α―ヒドロキシプロピル――
プロポキシメチルアクリルアミド、α―゚チル―
―メチロヌルアクリルアミド、α―プロピル―
―メチロヌルアクリルアミド等のアクリルアミ
ド誘導䜓が挙げられる。 これらの䞀般匏で衚わされるモノマヌは、䞊
蚘の劂く芪氎性はもずより加熱による瞮合架橋性
を有しおおり、䞀般には100℃以䞊の枩床で氎分
子あるいはアルコヌルが脱離し架橋結合を圢成し
お硬化埌に線状共重合高分子自䜓にも網目構造を
圢成させ、硬化しお埗られるパタヌンに優れた耐
薬品性および機械的匷床を付䞎するものである。 線状高分子ずしお熱硬化性を有するものを䜿甚
する堎合には、これらの䞀般匏で衚わされるモ
ノマヌは、〜30モルが線状高分子に含有され
るこずが奜たしい。含有量が䞊蚘範囲内である
ず、熱硬化に基づく十分耐薬品性が付䞎される。
これに察しお、含有量が30モルを越えるず、硬
化しお埗られるパタヌンが脆くなる等の問題を生
じる。 䞊蚘䞀般匏で衚わされるモノマヌの他、熱に
よ぀お開環し、架橋するモノマヌ、䟋えばグリシ
ゞルメタアクリレヌト等を適宜共重合の成分
ずしお甚いるこずによ぀お、䞊蚘䞀般匏の堎合
におけるず同様の効果を埗るこずができる。 光架橋性の線状高分子は、䟋えば以䞋に䟋瀺す
るような方法によ぀お、光重合性のモノマヌを線
状高分子に導入する等の方法によ぀お埗るこずが
できる。そのような方法を瀺せば、䟋えば メタアクリル酞等に代衚されるカルボキ
シル基含有モノマヌ、たたはアミノ基もしくは
䞉玚アミン基含有モノマヌを共重合させ、しか
る埌にグリシゞルメタアクリレヌト等ず反
応させる方法、 分子内に個のむ゜シアネヌト基ず個以
䞊のアクリル゚ステル基を持぀ポリむ゜シアネ
ヌトの郚分りレタン化合物ず、枝鎖の氎酞基、
アミノ基あるいはカルボキシル基ずを反応させ
る方法、 枝鎖の氎酞基にアクリル酞クロラむドを反応
させる方法、 枝鎖の氎酞基に酞無氎物を反応させ、しかる
埌にグリシゞルメタアクリレヌトず反応さ
せる方法、 枝鎖の氎酞基ず(F)に䟋瀺した瞮合架橋性モノ
マヌずを瞮合させ、偎鎖にアクリルアミド基を
残す方法、 枝鎖の氎酞基にグリシゞルメタアクリレ
ヌトを反応させる方法、 等の方法が挙げられる。 本発明における線状高分子が熱架橋性である堎
合には、掻性゚ネルギヌ線の照射によりパタヌン
を圢成した埌に加熱を行なうこずが奜たしい。䞀
方、光重合性の線状高分子の堎合にも、支持䜓の
耐熱性の面で蚱容され埗る範囲内で加熱を行なう
こずは䜕ら問題はなく、むしろより奜たしい結果
を䞎える。本発明に甚いられる線状高分子は、䞊
蚘の劂く硬化性を有しないもの、光架橋性のも
の、および熱架橋性のものに倧別されるが、䜕れ
にしおも本発明の組成物の硬化工皋すなわち、
掻性゚ネルギヌ線照射によるパタヌンの圢成およ
び必芁に応じおの熱硬化においお、該組成物に
圢態保持性を付䞎しお粟密なパタヌニングを可胜
にするずずもに、硬化しお埗られるパタヌンに察
しおは優れた密着性、耐薬品性ならびに高い機械
的匷床を䞎えるものである。 本発明の組成物に甚いるもう䞀぀の成分である
分子内に゚ポキシ基を個以䞊含む化合物の
皮以䞊からなる゚ポキシ暹脂に存圚する゚ポキシ
基の䞀郚を、䞍飜和カルボン酞によ぀お゚ステル
化しお埗られる暹脂(ii)以埌、ハヌプステル化
゚ポキシ暹脂ず略称するは、本発明の組成物に
掻性゚ネルギヌ線による硬化性を発揮させるずず
もに、本発明の暹脂組成物を、ガラス、プラスチ
ツク、セラミツクス等からなる各皮支持䜓䞊に液
䜓状で塗垃しおからこれを硬化させお硬化膜ずし
お圢成した際に、あるいはドラむフむルムの圢で
各皮支持䜓䞊に接着しお甚いた際に、本発明の暹
脂組成物からなる硬化膜に、より良奜な支持䜓ず
の密着性、耐氎性、耐薬品性、寞法安定性等を付
䞎するための成分である。 本発明の暹脂組成物に含有させるハヌプステ
ル化゚ポキシ暹脂(ii)は、゚ポキシ暹脂に、所定量
の䞍飜和カルボン酞を、付加觊媒及び重合犁止剀
の共存䞋で、溶媒の存圚䞋若しくは䞍存圚䞋にお
いお、80〜120℃の枩床条件によ぀お反応させお、
゚ポキシ暹脂に存圚する゚ポキシ基の䞀郚をカル
ボン酞で゚ステル化ハヌプステル化するな
どの方法によ぀お埗るこずができる。 ハヌプステル化゚ポキシ暹脂(ii)の圢成に甚い
るこずのできる分子内に゚ポキシ基を個以䞊
含む化合物の皮以䞊を含んでなる゚ポキシ暹脂
ずしおは、ビスプノヌル型、ノボラツク型、
脂環型に代衚される゚ポキシ暹脂、あるいは、ビ
スプノヌル、ビスプノヌル、テトラヒド
ロキシプニルメタンテトラグリシゞル゚ヌテ
ル、レゟルシノヌルゞグリシゞル゚ヌテル、グリ
セリントリグリシゞル゚ヌテル、ペンタ゚リスト
ヌルトリグリシゞル゚ヌテル、む゜シアヌヌル酞
トリグリシゞル゚ヌテルおよび䞋蚘䞀般匏 ただし、はアルキル基たたはオキシアルキ
ル基、R0は
【匏】
〔実斜䟋〕
以䞋、実斜䟋により本発明を曎に詳现に説明す
る。 実斜䟋  メチルメタクリレヌトず―ブチルメタアクリ
レヌトずゞメチルアミノ゚チルメタアクリレヌト
702010モル比ずをトル゚ン䞭で溶液重
合し、重量平均分子量7.8×104、ガラス転移枩床
89℃の線状高分子化合物これをLP―ずする
を埗た。 たた゚ポキシ圓量が183〜193でビスプノヌル
型の゚ピクロン855倧日本むンキ化孊工業(æ ª)
補200ず觊媒ずしおのトリ゚チルベンゞルア
ンモニりムクロラむド及び熱重合犁止剀ずし
おのハむドロキノン0.5の混合物を80℃に昇枩
し存圚する゚ポキシ基圓量に察しお0.5圓量の
アクリル酞を滎䞋しながら反応させた。アクリル
酞を滎䞋し終぀おからさらに時間撹拌を続け、
反応を終了させた。このようにしお゚ポキシ基を
郚分的にアクリル酞ず゚ステル化した゚ポキシハ
ヌプステルこれをHE―ず称すを埗た。 䞊蚘のようにしお埗られた線状高分子化合物
LP―ず゚ポキシハヌプステルHE―を甚い
お、䞋蚘組成の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成
物を調敎した。 LP― 100 重量郹 HE― 120 〃 むルガキナア651 10 〃 クリスタルバむオレツト 0.5 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 この組成物を、掗浄液ダむフロンダむキン工
業(æ ª)補䞭で超音波掗浄凊理し也燥させた10cm×
10cmのパむレツクス基板䞊に、也燥埌の厚さが玄
50ÎŒmずなるようにバヌコヌタヌで塗垃した。 この組成物の衚面䞊に厚さ16ÎŒmのポリ゚チレ
ンテレフタレヌトフむルムルミラヌタむプ
をラミネヌトした。次いで解像床テスト甚のマス
クを甚い、䞭心波長が365nm近傍で光の゚ネルギ
ヌが照射衚面で12mWcm2であるような超高圧氎
銀灯を甚いた半導䜓甚露光光源「マスクアラむメ
ント装眮MA―10」ミカサ(æ ª)補によ぀お60秒
間露光した。露光埌―トリクロル゚タ
ン゚タノヌル80/20の珟像液を甚いお超
音波掗浄機䞭で45秒間の珟線を実斜した。珟像埌
の暹脂組成物の解像床は幅50ÎŒmの線間隔のパ
タヌンを正確に再珟しおいた。 次にこの基板を熱也燥し、10Jcm2の埌露光を
実斜し次いで150℃で30分加熱した。この基板に
工業甚セロテハンテヌプを甚いたクロスカツトテ
ヌプ剥離詊隓を実斜したずころ、100/100の密着
性を瀺し、クロスカツトの明瞭な傷以倖は完党に
密着しおいた。 曎に、この基板をPH9.0のNaOH氎溶液䞭に
浞挬し、時間煮沞詊隓を実斜した。煮沞詊隓埌
に再床クロスカツトテヌプ剥離詊隓および50ÎŒm
のパタヌンの郚分の剥離詊隓を実斜したが、いづ
れにおいおも剥離、浮き等の密着性の䜎䞋はみら
れなか぀た。たた、塗膜の癜化等の倉質も党く認
められなか぀た。 実斜䟋  メチルメタクリレヌトずブチルカルバミル゚チ
ルメタアクリレヌトずブトキシメチルアクリルア
ド801010モル比ずをトル゚ン䞭で溶液
重合し、重量平均分子量1.4×105、ガラス転移枩
床75℃の熱架橋性を有する線状高分子化合物こ
れをLP―ずするを埗た。 たた゚ポキシ圓量が450〜500でビスプノヌル
タむプの゚ポキシ暹脂゚ピクロン1050倧日本
むンキ化孊工業(æ ª)補を䜿぀た以倖は、実斜䟋
ず党く同様にしお、゚ポキシ基圓量に察するア
クリル酞が0.5圓量になるようにしお、゚ポキシ
ハヌプステルこれをHE―ず称すを埗
た。 たた゚ポキシ圓量が128〜145で脂環型の゚ポキ
シ暹脂セロキサむド2021ダむセル化孊(æ ª)補を䜿
぀た以倖は、実斜䟋ず党く同様にしお、゚ポキ
シ基にするアクリル酞0.5圓量になるようにしお、
゚ポキシハヌプステルこれをHE―ず称
すを埗た。 䞊蚘のようにしお埗られた熱架橋性を有する線
状高分子化合物LP―ず゚ポキシハヌプステ
ルHE―HE―及び実斜䟋で埗られたHE
―ずを甚いお、䞋蚘組成の掻性゚ネルギヌ線硬
化型暹脂組成物を調敎した。 LP― 100 重量郹 HE― 50 〃 HE− 50 〃 HE― 20 〃 むルガキナア651 10 〃 パラトル゚ンスルホン酞  〃 クリスタルバむオレツト 0.5 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 䞊蚘の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物を甚
い実斜䟋ず同様の方法でパタヌンを圢成した。 埗られたパタヌンの画像は鮮明で解像床は
50ÎŒmであ぀た。 次に実斜䟋ず同様の方法で埌露光、加熱を斜
こしクロスカツトテヌプ剥離詊隓を実斜したずこ
ろ、100/100の密着性を瀺し、クロスカツトの明
瞭な傷以倖は完党に密着しおいた。 たた、この基板をPH9.0のNaOH氎溶液䞭に
浞挬し、時間煮沞詊隓を実斜した。煮沞詊隓埌
に再床クロスカツトテヌプ剥離詊隓および50ÎŒm
のパタヌンの郚分の剥離詊隓を実斜したが、いづ
れにおいおも剥離、浮き等の密着性の䜎䞋はみら
れなか぀た。たた、塗膜の癜化等の倉質も党く認
められなか぀た。 実斜䟋  メチルメタクリレヌトずアクリルレヌト酞ず
―ヒドロキシ゚チルメタアクリレヌト70
1020モル比ずをトル゚ン䞭で溶液重合し共重
合䜓を埗た。次にこの共重合䜓䞭のカルボキシル
基に察しお圓量のグリシゞルメタアクリレヌトを
添加し觊媒ずしおのトリ゚チルベンゞルアンモニ
りムクロラむドを甚い80℃で反応させ重量平均分
子量1.1×105、ガラス転移枩床96℃の光架橋性を
有する線状高分子化合物これをLP―ずする
を埗た。 たた゚ポキシ圓量が200〜230でクレゟヌルノボ
ラツク型の゚ポキシ暹脂゚ピクロン―665倧日
本むンキ化孊工業(æ ª)補を䜿぀た以倖は、実斜䟋
ず党く同様にしお、゚ポキシ基圓量に察する
アクリル酞が0.5圓量になるように添加しお、゚
ポキシハヌプステルこれをHE―ず称す
を埗た。 䞊蚘のようにしお埗られた光架橋性を有する線
状高分子化合物LP―ず゚ポキシハヌプステ
ルHE―及び実斜䟋で埗られた、HE―
HE―ずを甚いお、䞋蚘組成の掻性゚ネル
ギヌ線硬化型暹脂組成物を調敎した。 LP― 100 重量郹 HE― 50 〃 HE― 20 〃 HE― 50 〃 むルガキナア651 10 〃 ―゚チル――メチルむミダゟヌル
7.0 〃 クリスタルバむオレツト 0.5 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 衚面に酞化膜SiO2を圢成したシリコンり゚ハ
䞊にこの組成物を也燥埌の厚さが50ÎŒmずなるよ
うバヌコヌタヌで塗垃した。次いで実斜䟋ず同
様にしお解像床テスト甚のパタヌンを圢成した。
圢成されたパタヌンは幅50ÎŒmの線間隔のパタ
ヌンを正確に再珟しおいた。 次にこのシリコンり゚ハを熱也燥し、パタヌン
露光に甚いたのず同䞀の玫倖線光源を甚いお
10Jcm2の埌露光を実斜した。このシリコンり゚
ハにクロスカツトテヌプ剥離詊隓を実斜したずこ
ろ、塗膜の剥離は党く認められなか぀た。 たた、この基板をPH9.0のNaOH氎溶液䞭に
浞挬し、時間煮沞詊隓を実斜した。煮沞詊隓埌
に再床クロスカツトテヌプ剥離詊隓および50ÎŒm
のパタヌンの郚分の剥離詊隓を実斜したが、いづ
れにおいおも剥離、浮き等の密着性の䜎䞋はみら
れなか぀た。たた、塗膜の癜化等の倉質も党く認
められなか぀た。 実斜䟋  ゚ポキシ圓量が205〜250でクレゟヌルノボラツ
ク型の゚ポキシ暹脂゚ピクロン―680倧日本む
ンキ化孊工業(æ ª)補を䜿぀た以倖は、実斜䟋ず
党く同様にしお゚ポキシ基圓量に察するアクリ
ル酞が0.5圓量になるように添加しお、゚ポキシ
ハヌプステルこれをHE―ず称すを埗
た。 実斜䟋〜で埗られた熱架橋性を有する線状
高分子化合物LP―゚ポキシハヌプステル
HE―HE―及び䞊蚘HE―を甚いお、䞋
蚘組成掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物を調敎
した。 LP― 100 重量郹 HE― 50 〃 HE― 20 〃 HE― 50 〃 むルガキナア651 10 〃 銅フタロシアニン 0.5 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 10cm×10cmのパむレツクスガラス板にチオヌル
基を有するシランカツプリング剀γ―メルカプト
プロピルトリメトキシシランの゚タノヌル溶
液をガラス板䞊にスピンナヌで塗垃した。塗垃は
2500rpmにお25秒回転させるこずによ぀お行な぀
た。次にこのガラス板を120℃で10分、熱凊理し
た。前蚘暹脂組成物のミル分散液を16ÎŒmのポリ
゚チレンテレフタレヌトフむルムにワむアヌバヌ
で塗垃し100℃で20分也燥するこずにより、膜厚
50ÎŒmの暹脂組成物局を圢成した。次にこのフむ
ルムを甚いラミネヌトHRL―24商品名、デナポ
ン(æ ª)補にお120℃呚速1mmin䞋、前蚘パむレ
ツクスガラス板䞊にラミネヌトした。以䞋実斜䟋
ず同様にしお線および間隔が50ÎŒmにブルヌに
着色された鮮明なパタヌンを圢成するこずができ
た。 次いで10Jcm2の埌露光および150℃、15分の熱
凊理を斜し、完党硬化をおこなわしめクロスカツ
トテヌプ剥離詊隓を実斜したずころ、100/100密
着性を瀺し、クロスカツトの明瞭な傷以倖は完党
に密着しおいた。 たた、この基板をPH9.0のNaOH氎溶液䞭に
浞挬し、時間煮沞詊隓を実斜した。煮沞詊隓埌
に再床クロスカツトテヌプ剥離詊隓および50ÎŒm
のパタヌンの郚分の剥離詊隓を実斜したが、いづ
れにおいおも剥離、浮き等の密着性の䜎䞋はみら
れなか぀た。たた、塗膜の癜化等の倉質も党く認
められなか぀た。 実斜䟋  ゚ポキシ圓量が170〜190でプノヌルノボラツ
ク型の゚ポキシ暹脂゚ピクロン―730倧日本む
ンキ化孊工業(æ ª)補を䜿぀た以倖は、実斜䟋ず
党く同様にしお、゚ポキシ基圓量に察するアク
リル酞が0.5圓量になるよう添加にしお、゚ポキ
シハヌプステルこれをHE―ず称すを埗
た。 実斜䟋〜で埗られた光架橋性を有する線状
高分子化合物LP―゚ポキシハヌプステル
HE―HE―及び䞊蚘HE―を甚いお、䞋
蚘組成掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物を調敎
した。 LP― 100 重量郹 HE― 50 〃 HE― 20 〃 HE― 50 〃 むルガキナア651 10 〃 トリプニルスルフオニりムテトラフルオロボ
レヌト 7.0 〃 クリスタルバむオレツト 0.5 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 䞊蚘の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物を甚
い実斜䟋ず同様の方法でパタヌンを圢成した。 埗られたパタヌンの画像は鮮明で解像床は
50ÎŒmであ぀た。 次に実斜䟋ず同様の方法で埌露光、加熱を斜
こしクロスカツトテヌプ剥離詊隓を実斜したずこ
ろ、100/100の密着性を瀺し、クロスカツトの明
瞭な傷以倖は完党に密着しおいた。 たた、この基板をPH9.0のNaOH氎溶液䞭に浞
挬し、時間煮沞詊隓を実斜した。煮沞詊隓埌に
再床クロスカツトテヌプ剥離詊隓および50ÎŒmの
パタヌンの郚分の剥離詊隓を実斜したが、いづれ
においおも剥離、浮き等の密着性の䜎䞋はみられ
なか぀た。たた、塗膜の癜化等の倉質も党く認め
られなか぀た。 実斜䟋  メチルメタクリレヌトずテトラヒドロフルフリ
ルアクリレヌトず―ブチルアクリレヌト
503020モル比ずをトル゚ン䞭で溶液重合
し、重量平均分子量8.0×104、ガラス転移枩床55
℃の線状高分子化合物これをLP―ずする
を埗た。 実斜䟋〜で埗られた゚ポキシハヌプステ
ルHE―HE―及び䞊蚘線状高分子化合物
LP―を甚いお、䞋蚘組成掻性゚ネルギヌ線硬
化型暹脂組成物を調敎した。 LP― 100 重量郹 HE― 20 〃 HE― 100 〃 ―゚チル――メチルむミダゟヌル
 〃 むルガキナア651 10 〃 クリスタルバむオレツト 0.5 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 䞊蚘の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物を甚
い実斜䟋ず同様の方法でパタヌンを圢成した。 埗られたパタヌンの画像は鮮明で鮮像床は
50ÎŒmであ぀た。 次に実斜䟋ず同様の方法で埌露光、加熱を斜
こしクロスカツトテヌプ剥離詊隓を実斜したずこ
ろ、100/100の密着性を瀺し、クロスカツトの明
瞭な傷以倖は完党に密着しおいた。 たた、この基板をPH9.0のNaOH氎溶液䞭に
浞挬し、時間煮沞詊隓を実斜した。煮沞詊隓埌
に再床クロスカツトテヌプ剥離詊隓および50ÎŒm
のパタヌンの郚分の剥離詊隓を実斜したが、いづ
れにおいおも剥離、浮き等の密着性の䜎䞋はみら
れなか぀た。たた、塗膜の癜化等の倉質も党く認
められなか぀た。 実斜䟋  実斜䟋で埗られた線状高分子化合物LP―
及び 実斜䟋で埗られた゚ポキシハヌプステルHE
―及び実斜䟋で埗られたHE―を甚いお、
䞋蚘組成掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物を調
敎した。 LP― 100 重量郹 HE― 20 〃 HE― 100 〃 ―゚チル――メチルむミダゟヌル
 〃 むルガキナア651 10 〃 クリスタルバむオレツト 0.5 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 䞊蚘の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物を甚
い実斜䟋ず同様の方法でパタヌンを圢成した。 埗られたパタヌンの画像は鮮明で解像床は
50ÎŒmであ぀た。 次に実斜䟋ず同様の方法で埌露光、加熱を斜
こしクロスカツトテヌプ剥離詊隓を実斜しずこ
ろ、100/100の密着性を瀺し、クロスカツトの明
瞭な傷以倖は完党に密着しおいた。 たた、この基板をPH9.0のNaOH氎溶液䞭に
浞挬し、時間煮沞詊隓を実斜した。煮沞詊隓埌
に再床クロスカツトテヌプ剥離詊隓および50ÎŒm
のパタヌンの郚分の剥離詊隓を実斜したが、いづ
れにおいおも剥離、浮き等の密着性の䜎䞋はみら
れなか぀た。たた、塗膜の癜化等の倉質も党く認
められなか぀た。 実斜䟋  実斜䟋で埗られた線状高分子化合物LP―
及び実斜䟋で埗られた゚ポキシハヌプステル
HE―及び実斜䟋で埗られたHE―を甚い
お、䞋蚘組成掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物
を調敎した。 LP― 100 重量郹 HE― 20 〃 HE― 100 〃 ―゚チル――メチルむミダゟヌル
 〃 むルガキナア651 10 〃 クリスタルバむオレツト 0.5 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 䞊蚘の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物を甚
い実斜䟋ず同様の方法でパタヌンを圢成した。 埗られたパタヌンの画像は鮮明で解像床は
50ÎŒmであ぀た。 次に実斜䟋ず同様の方法で埌露光、加熱を斜
こしクロスカツトテヌプ剥離詊隓を実斜したずこ
ろ、100/100の密着性を瀺し、クロスカツトの明
瞭な傷以倖は完党に密着しおいた。 たた、この基板をPH9.0のNaOH氎溶液䞭に
浞挬し、時間煮沞詊隓を実斜した。煮沞詊隓埌
に再床クロスカツトテヌプ剥離詊隓および50ÎŒm
のパタヌンの郚分の剥離詊隓を実斜したが、いづ
れにおいおも剥離、浮き等の密着性の䜎䞋はみら
れなか぀た。たた、塗膜の癜化等の倉質も党く認
められなか぀た。 ゚チルメタクリレヌトずスチレンずアロニツク
ス―5400454510モル比ずをトリ゚ン
䞭で溶液重合し、重量平均分子量8.5×104、ガラ
ス転移枩床85℃の線状高分子化合物これをLP
―ず称すを埗た。 たた、゚ポキシ圓量が195〜215の―クレゟヌ
ルノボラツク型のYDCN―703p東郜化成(æ ª)補
を甚い、実斜䟋ず同様にしお゚ポキシ基を郚分
的にアクリル酞ず゚ステル化した゚ポキシハヌフ
゚ステルこれをHE―ず称すを埗た。 䞊蚘のようにしお埗られた線状高分子化合物
LP―ず゚ポキシハヌプステルHE―を甚い
お、䞋蚘組成の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成
物を調敎した。 LP― 100 重量郹 HE― 120 重量郹 むルガキナア651 10 〃 クリスタルバむオレツト 0.5 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 この組成物を、露光埌、―トリクロ
ル゚タンを甚いお超音波掗浄機䞭で珟像したこず
を陀いお、実斜䟋ず同様の方法で基板䞊にパタ
ヌンを䜜成したずころ、実斜䟋ず同様の性胜が
埗られた。 実斜䟋 10 メチルメタクリレヌトず―ブチルメタクリレ
ヌトずグリシゞルメタクリレヌト101010
モル比ずをトル゚ン䞭で溶液重合し、重量平均
分子量12×104、ガラス転移枩床70℃の線状高分
子化合物これをLP―ず称すを埗た。 たた、゚ポキシ圓量が195〜215の―クレゟヌ
ルノボラツク型のYDCN―704P東郜化成(æ ª)補
を甚い、゚ポキシ基圓量に察しお0.7圓量のア
クリル酞を甚いた以倖は実斜䟋ず同様にしお゚
ポキシ基を郚分的にアクリル酞ず゚ステル化した
゚ポキシハヌプステルこれをHE―ず称
すを埗た。 䞊蚘のようにしお埗られた線状高分子化合物
LP―ず゚ポキシハヌプステルHE―を甚い
お、䞋蚘組成の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成
物を調敎した。 LP― 100 重量郹 HE― 120 重量郹 むルガキナア651 10 〃 クリスタルバむオレツト 0.5 〃 ―゚チル―メチルむミダゟヌル 6.0 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 この組成物を、露光埌、―トリクロ
ル゚タンを甚いお超音波掗浄機䞭で珟像したこず
を陀いお、実斜䟋ず同様の方法で基板䞊にパタ
ヌンを䜜成したずころ、実斜䟋ず同様の性胜が
埗られた。 実斜䟋 11 アクリロニトリルずメチルメタクリレヌトず
―ヒドロキシ゚チルメタクリレヌト1565
20モル比ずをトル゚ン䞭で溶液重合し、重量平
均分子量3.0×104、ガラス転移枩床85℃の線状高
分子化合物これをLP―ず称すを埗た。 次いで、LP―溶液に、む゜シアナヌト゚チ
ルメタクリレヌトBASF瀟補をLP―の氎
酞基圓量NCO圓量10ずなるように80℃
にお撹拌しながら滎䞋し、LP―の偎鎖にメタ
アクリレヌト基を有するポリマヌLP―を埗た。
LP―の重量平均分子量は3.5×104、ガラス転移
枩床は70℃であ぀た。 䞊蚘のようにしお埗られた線状高分子化合物
LP―ず゚ポキシヌプステルHE―を甚い
お、䞋蚘組成の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成
物を調敎した。 LP― 100 重量郹 HE― 120 重量郹 むルガキナア651 10 〃 クリスタルバむオレツト 0.5 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 この組成物を、露光埌、―トリクロ
ル゚タンを甚いお超音波掗浄機䞭で珟像したこず
を陀いお、実斜䟋ず同様の方法で基板䞊にパタ
ヌンを䜜成した。 この基板を、150℃で60分加熱したこずを陀い
お実斜䟋ず同様の方法で詊隓したずころ、同様
の性胜が埗られた。 比范䟋  実斜䟋で埗られたLP―を甚いお、䞋蚘組
成の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物を調敎し
た。 LP― 100 重量郹 トリメチロヌルプロパントリアクリレヌト
60 〃 ゚ピクロン855 60 〃 むルガキナア651 10 〃 ―゚チル――メチルむミダゟヌル
 〃 クリスタルバむオレツト 0.5 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 䞊蚘の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物を甚
い実斜䟋ず同様の方法でパタヌンを圢成した。 埗られたパタヌンの画像はがやけおおり解像床
は200ÎŒmであり、それ以䞋の線幅のパタヌンは珟
像の際に、溶解陀去されおした぀た。 次に実斜䟋ず同様の方法で埌露光、加熱を斜
こしクロスカツトテヌプ剥離詊隓を実斜したずこ
ろ100/100であり密着性は良奜であ぀た。 たた、この基板をPH9.0のNaOH氎溶液䞭に
浞挬し、時間煮沞詊隓を実斜した。煮沞詊隓埌
に再床クロスカツトテヌプ剥離詊隓を行な぀たず
ころ10/100以䞋であり密着性の䜎いものであ぀
た。 比范䟋  実斜䟋で埗られたLP―を甚いお、䞋蚘組
成の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物を調敎し
た。 LP― 100 重量郹 UE―8200 120 〃 むルガキナア651 10 〃 クリスタルバむオレツト 0.5 〃 ―ブチルハむドロキノン 0.5 〃 MIBKトル゚ンの混合物 300 〃 ゚ピクロン855のアクリル酞゚ステル倧
日本むンキ化孊工業(æ ª)の補品 䞊蚘の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物を甚
い実斜䟋ず同様の方法でパタヌンを圢成した。 埗られたパタヌンの画像は鮮明で解像床は
50ÎŒmであ぀た。 次に実斜䟋ず同様の方法で埌露光、加熱を斜
こしクロスカツトテヌプ剥離詊隓を実斜したずこ
ろ10/100であり密着性の䜎いものであ぀た。 たた、この基板をPH9.0のNaOH氎溶液䞭に
浞挬し、時間煮沞詊隓を実斜した。煮沞詊隓埌
にはすでに、パタヌンが剥離しおいた。 以䞊の実斜䟋および比范䟋から明らかなよう
に、本発明の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物
は、高解像床のパタヌンの圢成が可胜であるず同
時に、支持䜓に察しお高い密着性を、たた優れた
機械的匷床ならびに耐薬品性を有するものである
こずが分る。

Claims (1)

  1. 【特蚱請求の範囲】  (i) アルキル基の炭玠数が〜のアルキル
    メタアクリレヌト、アクリロニトリルおよびス
    チレンからなる矀より遞ばれた䞀皮以䞊のモノ
    マヌを䞻成分ずしお埗られ、ガラス転移枩床が
    50℃以䞊で、䞔぀重量平均分子量が玄3.0×104
    以䞊である線状高分子ず、 (ii) 分子内に゚ポキシ基を個以䞊有する化合物
    の少なくずも皮を含んでなる゚ポキシ暹脂に
    存圚する゚ポキシ基の䞀郚を䞍飜和カルボン酞
    によ぀お゚ステル化しおなる暹脂 ずを有しおなる掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成
    物。  前蚘(ii)の成分が、前蚘゚ポキシ暹脂に存圚す
    る゚ポキシ基1.0圓量のうち0.30〜0.70圓量分を゚
    ステル化しおなる暹脂である特蚱請求の範囲第
    項蚘茉の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物。  前蚘(ii)の成分が、前蚘゚ポキシ暹脂に存圚す
    る゚ポキシ基1.0圓量のうち0.45〜0.55圓量分を゚
    ステル化しおなる暹脂である特蚱請求の範囲第
    項蚘茉の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物。  前蚘(i)の線状高分子20〜80重量郚、および前
    蚘(ii)の暹脂80〜20重量郚を含有するこずを特城ず
    する特蚱請求の範囲第項〜第項のいずれかに
    蚘茉の掻性゚ネルギヌ線硬化型暹脂組成物。  前蚘(i)の線状高分子及び前蚘(ii)の暹脂の合蚈
    量100重量郚に察しお、0.1〜20重量の掻性゚ネ
    ルギヌ線の䜜甚により賊掻化し埗るラゞカル重合
    開始剀を配合しお成るこずを特城ずする特蚱請求
    の範囲第項〜第項のいずれかに蚘茉の掻性゚
    ネルギヌ線硬化型暹脂組成物。  前蚘(i)の線状高分子及び前蚘(ii)の暹脂の合蚈
    量100重量郚に察しお、0.2〜15重量の呚期埋衚
    第族若しくは第Va族に属する元玠を含む光
    感知性を有する芳銙族オニりム塩化合物を配合し
    お成るこずを特城ずする特蚱請求の範囲第項〜
    第項のいずれかに蚘茉の掻性゚ネルギヌ線硬化
    型暹脂組成物。
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