JPS63502497A - 金型を清掃するための方法と複合物 - Google Patents

Abstract

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Description

【発明の詳細な説明】 金型を清掃するための方法と複合物 光里■牙互 本発明は一般的に装置清掃に関し、より詳しくは合成樹脂材料から有用な製品を 成形する際に用いられる金型から合成樹脂汚染や残留物を清掃するための方法と そのための複合物に関する。

先丘孜歪至に敗 エポキシ樹脂のような熱硬化性コンパウンドから有用な製品を形成するために圧 縮成形用金型、トランスファ成形用金型あるいはその他の熱盤を有するタイプの 金型の使用は比較的古く且つよく発展された技術であＬ大抵の装置の場合と同様 に、金型は周期的に清掃されなければならず、この事は今日の金型の多（が複雑 な形態のために非常に長く時間を要する仕事である。金型清掃に関連する諸問題 の完全な理解のために、半導体製品の形成に通常用いられる特殊のタイプの金型 に対する議論が以下に述べられる。

集積回路パッケージの製造において、複数の個別集積回路チップが、一般的に「 リードフレーム」と称せられる薄い金属ストリップ上に、間隔をあけて一直線に 並べる関係で結合される。通常は２つであるこのようなリードフレームが加熱さ れたトランスファタイプの金型セットの底部金型上の間隔をあけた平行位置に置 かれ、金型セットの上部金型は底部金型の直上の正確に規定された位置へ下方に 移動され、２個の金型は互いに締付けられる。底部金型には中央に整列された複 数の材料受入れキャビティの列が設けられ、キャビティのそれぞれは複数のチャ ンネルを有し、前記チャンネルは「ランナー」と称せられて、そこから延びて底 部金型の上方に開口する同じ数の凹部に連通ずる。上部金型には、複数の個別集 積回路チップのそれぞれをそれ自身のチャンバ内に取囲むために底部金型の凹部 と協働する下方に開口した凹部が形成される。上部金型の中には複数の垂直穴が 形成され、垂直穴のそれぞれは底部金型の中央に配置された材料受入れキャビテ ィの異る１つと一直線に揃えられ、プランジャが複数の穴のそれぞれに取外し可 能且つ摺動可能に載置される。

成形作動を実施するために、複数のプランジャは上部金型の垂直穴から外され、 通常はペレット形状であるエポキシ樹脂材料が複数の穴を通って底部金型の材料 受入れキャビティの中へ下方へ落下させられる。複数のプランジャは上部金型の 穴の中へ再挿入され、下方に向いた力が穴の中に加えられる。両方の金型から熱 と共にプランジャによって与えられた圧力がエポキシ樹脂ペレットを溶融した状 態に変え、その事が溶融した材料を複数のランナーを経て金型のチャンバの中へ 流す。この事が行われると、溶融した樹脂は硬化を開始し、短い時間の後に、複 数の個別集積回路チップのそれぞれは、封入プロセスの開始に先立ってチップが その中に配置されるチャンバの形態にしたがってその形状が作られている凝固し たパッケージに封入される。

硬化ステップが完了すると、底部金型と上部金型は分離され、金型の両方に設け られた突出ピン機構がリードフレームを金型から突出するため、に作動される。

それからリードフレームはカル除去、リードフレームトリミングからパッケージ 分離等を含む後続の処理の対象となる。

全ての製造作業と同様に、前記の製品封入ステップは繰返して行われ、後述する ように、金型は周期的に、時には８時間の作動時間当り２あるいは３回程清掃さ れなければならない。

それぞれの成型作業、すなわち当業界において通常称せられる「ショット」の後 に、幾分かのエポキシ樹脂の残留物が金型に残されて、金型の汚染すなわちしみ を作る。もし金型が適当な間隔で清掃されなければ、金型汚染が成形された製品 上に許容できない仕上状態を生ずる。許容できない仕上状態は典型的には仕上げ られた製品上に、すなわち前述の例では集積回路パッケージの外側表面上に、曇 リスボンドの形で表れる。汚染を除くために金型を清掃する必要に加えて、ある 場合には、金型自身の不正確のためにぼり状の残留物が２個の金型ハーフの分割 表面上に蓄積され、それがリードフレームの厚さを変更する等を行う。

−ｍ的に成形産業において、特に半導体分野において、現在基本的には４種類の 先行技術の金型清掃技術が用いられている。これらの先行技術の中の３つは、成 形作動中に残されたエポキシ残留物に対して固有の親和性を有し、かくして金型 を清掃するのに用いられるメラミン配合成形コンパウンドを特に利用する。

これら先行技術の金型清掃技術の中の最初の１つにおいて、粉末状態におけるメ ラミン成形コンパウンドの圧縮グレードが、金型の分割表面が可能な限り均一な 層でおおわれるように、底部金型上にまかれる。それから金型が閉じられ、例え ば上部金型が底部金型の直上に置かれ、２つの金型は通常の生産使用中に与えら れる力よりも相当に低い力で一緒に締付けられる。清掃作業中に圧縮力を伴って 加熱されている状態の金型は粉末状のメラミンコンパウンドを溶融し、金型セッ トの内側形態に一致して流し、真後メラミンコンパウンドは硬化する。硬化作業 が完了すると金型は開かれて突出ピン機構が分割表面、キャビティ、ランナーお よび金型のその他の凹んだ表面から成形された層を外すために作動される。しか しながら成形された層が一枚のピースとして外される保障はなく、事実一枚のピ ースとしての取外しは非常にまれにしか生じない。この事は成形に先立って、粉 末状メラミンが成形表面の多数の穴や多様に凹んだ部分に流れることおよび突出 ピンが金型の複数の穴、複数のキャビティおよび他の凹んだ表面の全てに設けら れていないことのためである。したがって硬化したメラミン層は複数のピースに 破れて多数のピースが金型の中に残ることになる。残存している硬化したメラミ ンの複数のピースを金型を損傷させないように柔かい材料から作られた特別の器 具でえぐり出すことが必要になる場合が非常に多くある。加えて清掃作業の開始 時における粉末メラミンの過剰な量および／又は不均一な分布と、それに続（締 （＝ｊけ力の付与から金型の損傷が生ずることになる。かかる例において、金型 はずれることになり、その事が金型の整合を狂わせ、多分金型が破壊する。この 第１の金型清掃技術に伴う他の問題は、粉末メラミンが加熱された金型上にまか れた時に粉末メラミンは直ちに溶融を開始し、金型セットが閉じられて互いに締 め付けられる前に硬化を開始することである。

この事はメラミンコンパウンドの金型清掃能力の減少を生ずる。この早すぎる溶 融と硬化に関する問題を最小にするために、時には金型セットはその正常な生産 温度より幾分低く冷却することが意途的に許される。この事は早すぎる溶融と硬 化問題を完全には解消しないけれども問題を最小にする。しかし低温になった成 形温度はメラミンの硬化時間を明らかに増加し、かくして清掃作業の速度を落す ことになる。

前述の金型清掃作業は、金型セットが完全に清掃される迄、通常３回から６回の 間で数回繰返えされる。硬化したメラミンが通常複数のピースに割れ、その内の 幾つかは金型の外にえぐりとられることが必要である場合に、金型清掃作業が完 了した時を決定するために硬化したメラミンを検査することは不可能ではないが 困難である。したがって硬化したメラミンを検査するのとは反対に、金型自体が 視覚的に検査されることが必要であり、この事は金型の多数のキャビティ、ラン ナーおよび他の表面によって困難である。さらに粉末化メラミンの流出および硬 化したメラミンの破断のために、硬化したメラミンの検査は適切な突出ビンの引 込みに対する金型自体の検査よりむしろ不可能である。

しばしば用いられる２番目の金型清掃技術は通常「プレフォーム」方法と称せら れる。この技術において、メラミンは底部金型表面上に置かれる複数の固体に圧 縮されるかそうでなければ形成される。金型セットによって与えられる熱および 圧縮力がプレフォームを溶融し、溶融したメラミンを金型の分割表面上に拡げさ せ且つ金型のキャビティ、ランナーおよび他の凹んだ表面に流れさせる。プレフ ォームの使用は前述の粉末化メラミン技術と比較して金型の分割表面の改良され た均一なコーティングを提供する。しかしながら金型から取除く際の硬化メラミ ンの破断、えぐり取りの必要性、視覚による検査および前述の第１の技術に伴う 他のコントロール問題はこの第２番目、すなわちプレフォーム方法に対しても同 様である。

先行技術の第３番目の金型清掃技術は時々用いられており、この技術はトランス ファ成形作業に対して適したタイプのメラミン成形コンパウンドの異ったグレー ドを利用する。トランスファメラミン成形コンパウンドはエポキシ成形コンパウ ンドが金型の中に置かれるのと正確に同じ方法で金型セントの中に置かれ、清掃 手順はエポキシ成形すなわち生産作業と正確に同じである。このトランスファタ イプ金型清掃技術はその金型清掃能力の点では前述の圧縮清掃作業に比べて決し て有効ではない。トランスファ成形清掃技術が完全な締付は力が成型セットに与 えられて達成される場合には、トランスファグレードのメラミンは金型セットの 分割表面に到達せず、したがってこれらの表面を清掃することができない。この 金型清掃技術が正常なトランスファ成形方法で用いられる場合には、その清掃は 金型中に仮のリードフレームを配置して実施されなければならない。又トランス ファグレートメラミン成形コンパウンドは突出しピン、浮遊キャビティ等のよう な移動する金型成分をしばしばさえぎったり、そうでなければ妨害する粘度を有 する。又トランスファメラミン成形コンパウンド清掃技術は、金型ハーフの分割 表面を清掃するために何か他の清掃手段と組合されることを必要とする。

金型を清掃するための４番目の先行技術の方法はＮ−Ｐｙｒｏｌのような適当な 洗浄剤中で、分解された金型セットの汚染部分を処理することによって実施され る。この技術が極度の長い期間の間合型を使用状態の外におくことにおいて、こ の技術は生産工程の最終において用いることを除けば勿論受入れることのできな いものである。

主里■盟叉 本発明により、新しい有用な複合物および方法が合成樹脂汚染および残留物をか かる樹脂から有用な製品を製造する際に用いられる金型の外へ清掃するために開 示される。この新しい物品および方法はトランスファ用金型、圧縮用金型および 熱盤を有する他の夕、イブの金型を清掃する際に有用であることが見出されてい る。

本発明の複合物は、後で未硬化マントとして参照される形状に金型清掃用成形可 能コンパウンドでコートされているキャリヤシートを含む。このキャリヤシート はポリエステルのような合成樹脂のシートの形状をし、その厚さは非圧縮状態で 約３鶴であり、さらに清掃されることになる金型セットの分割表面にほぼ適合す るような大きさに作られている。これより前に議論されたメラミンのような金型 清掃用成形可能コンパウンドは水と混合されて、メラミン約５０％、水約５０％ のエマルジョンあるいはスラリーを形成する。キャリヤシートは、キャリヤシー トの上に希望されるコーティング層を提供するために、成形コンパウンドスラリ ー中を通過させられたり、スラリーに浸したり、あるいは浮べられたりする。

前述のように形成されたスラリーはキャリヤシートに接着するだろう。そして適 当なコーティング層がその上に配置された時にキャリヤシートは複数のローラの 間を通されて、その結果コーティング層は均一に形成された厚さになる。その上 々に下げることによるような適当な乾燥プロセスを受ける。

乾燥された時に、前述のように未硬化マットとして参照されるような物品は本発 明の金型清掃プロセスに用いたるための準備がととのう。

分離された状態において清掃されることになる金型セット、例えば底部金型から 上部金型が持上げられている状態の金型セットに対して、未硬化マントが底部金 型の分離表面上に置かれる。それから上部金型が底部金型上に下降されて戻され 、それから上部金型と底部金型は、生産用成形作業においてそれらの上に通常用 いられる締付は力に比して減少した締付け力で互いに締付けられる。金型からの 熱と圧縮力との組合せが金型清掃用成形可能コンパウンドを溶融させて金型セッ トの多様なキャビティ、ランナーおよび他の凹部に流れさせ、そして比較的薄い 層が金型セットの分離表面に係合して残る。

金型清掃用成形可能コンパウンドが硬化された時に、金型ハーフは分離されて、 金型セットの突出ピン機構が金型セットから硬化されたマットを除（ために作動 される。硬化された金型清掃用コンパウンドはそのコンパウンドが金型表面に対 して有するよりもより大きいキャリヤシートに対する親和力を持りヒ共に、埋没 されたキャリヤシートによって与えられる支持および剛直化効果によって、硬化 されたマットが単一の構造体として金型から容易且つ完全に除かれることになる 。

本発明の前述の複合物および方法は幾つかの理由のために、金型を清掃するのに 従来必要とされた時間と労働を実質的に減少することが見出されている。第１に は、本発明は清掃されることになる金型セットに金型清掃用成形可能コンパウン ドを置くために高度に簡略化した手段を提供する。例えば、ベースの金型上に未 硬化のマットを置（ことはベース金型の上に粉末化したコンパウンドをまくこと よりはるかに簡単であり、未硬化マントが用いられた時にコンパウンドのかけら や不均一な分布はない。２番目には、硬化されたマントが破られてない一体のピ ースとして金型セットから外されるので、取外されずに成形された小片やピース をぼりおこすために生ずる先行技術の問題が解消される。３番目には、硬化され たマットは一片のピースになって金型の外に運ばれるので、金型損傷の跡、不完 全に引込められている突出ビン等を視覚的に容易に検査することができる。４番 目には、取除かれた金型汚染や残留物が硬化されたマントの多様な表面上に明ら かに示されることにおいて、金型の清掃程度が硬化されたマットの視覚検査によ って容易に決定される。そして５番目には、金型清掃用コンパウンドの早すぎる 溶融と硬化についての先行技術の問題が解消されるか、あるいは少（とも実質的 に減少される。この事は未硬化マントが非常に早い時間で置くことができること およびより重要な点としてキャリヤシートそれ自身の熱吸収あるいは熱絶縁性に よる。

したがって、樹脂から成形製品を値ｉする際に用いられるの新規且つ有用な複合 物を提供するのが本発明の目的である。

清掃用成形可能コンパウンドの簡単且つ速やかな配置と、金型セット清掃作業中 でのコンパウンド流と金型表面との改良された一致と、金型セット清掃作業の最 終時期における金型セットからの速やか且つ完全な取外しを提供する前述のよう な性質を有する複合物を提供することである。

本発明の他の目的は、清掃されることになる金型セットの簡単な配置および清掃 作業中でのコンパウンド流と金型との改良された一致性を提供し且つ其後の清掃 作業において一体の構造体として容易に外され、さらに金型損傷と清掃度を視覚 的に検査することが簡単である剛性化した硬化マットを提供する未硬化マントを 形成するために、金型清掃用成形可能コンパウンドで均一にコートされるかある いはコンパウンド中に埋没されるキャリヤシートを有する、前述の性能を具備し た新規且つ改良された複合物を提供することである。

本発明の他の目的は樹脂から成形製品を製造する際に用いられる金型から樹脂汚 染および残留物を清掃するための新規且つ改良された方法を提供することである 。

本発明の他の目的は、前述のような未硬化マットの形成と、清掃されることにな る熱い金型セットの分割表面の間に未硬化マントを挿入し、生産時の成形作業中 に通常用いられる力に比較して減少された力である締付は力で金型セットを締付 けし、金型セット中で金型清掃用成形可能コンパウンドを硬化し、清掃されてい る金型セントから剛性化された硬化マットとして硬化マットを外し、金型損傷と 金型清掃度に対して硬化マットを視覚で検査することを含む前述の性能を有する 新規且つ改良された方法を提供することにある。

本発明の前述およびその他の目的と本発明自身は添付図面に関連した下記の説明 からより完全に理解されるであろう。

凹皿ｑ証垂友脱皿 第１図は、エマルジョンが金型清掃用成形可能コンパウンドと水から形成されて いる、本発明の方法の第１ステツプを示す斜視図である。

第２図は、キャリヤシートがコーティング目的のためにエマルジョンに浮ばされ る本発明の方法の次のステップを示す斜視図である。

第３図は、キャリヤシート上に金型清掃用成形可能コンパウンドの均一な厚さコ ーティング層を提供するために、コーティングされたキャリヤシートが適切なサ イジング装置に通される本発明の方法の他のステップの斜視図である。

第４図は均一な厚さを有するコーティングされたキャリヤシートが本発明の複合 物の製造を完成するために乾燥される本発明の方法の他のステップの斜視図であ る。

第５図は多様なそ゛の特徴を示すために一部が切欠されている本発明の複合物の 拡大斜視図である。

第６図は本発明の複合物と方法を用いることによって清掃されるとよいタイプの 代表的な、金型セットの分解図であって、図中複合物は金型セットと分離した関 係で示される。

第７図は、第６図に示された金型セットが組合され且つ複合物がその配置位置に おいて示されている組合された金型ヘッドの横断面である。

第８図は、金型セット清掃作業中に金型清掃用成形可能コンパウンドの硬化が其 後に生ずる複合物の外観を示す複合物の斜視図である。

第９図は第８図の線９−９による拡大断面図である。

ましい　の晋■ 複数の図面に対して特に関連して、第１図〜第４図は本発明の複合物を作るため の各種ステップを図示し、同時に複合物は第５図に最も良く示され、複合物は第 ５図において総括的に参照番号１０によって示される。

第１図は複合物１０を製造するための第１ステツプを示し、適切な容器１３中で スラリー１２すなわちエマルジョンが混合されている。スラリー１２は約５０％ の金型？Ｎ掃用成形可能コンパウンド１４と水素液体、すなわち水１６の混合物 である。前記混合比率は全く満足であると見出されているまさに示唆された比率 であって、しかしその比率は希望に応じて変更されてもよい。適当な攪拌装Ｗ１ ８が最初の混合を完成し、且つスラリーの希望する乳化された状態を維持するた めに用いられる。

従来から良く知られるように、例えばエポキシ樹脂のようなある種の合成樹脂製 成形材料はこのような材料を有用な製品に形成する際に用いられる金型に残留物 を残す。他の合成樹脂成形材料は汚染せずすなわち金型中に残留物を残さない。

事実、前の成形作業の結果として汚染されている金型の中に成形作業が行われる ことによって現実に金型を綺麗にする。

合成樹脂成形材料の一般的な後者のタイプは複合物１０を形成する際に用いられ るタイプであり、このような樹脂が「金型清掃用成形可能コンパウンド」として 本明細書において一般的に参照される。この目的のために一般的に用いられる特 定の金型清掃用成形可能コンパウンドは、Ｍｏｒｔｏｎ　Ｔｈ１ｏｋｏｌＩｎｃ 、の一部門である米国１１１ｉｎｏｉｓ州、６００９８Ｊｏｏｄｓｔｏｃｋ、１ ２７５Ｌａｋｅ　ＡｖｅｎｕｅのＭｏｒｔｏｎ　Ｃｈｅｍｔｃａ１社から供給さ れてＰｏ、Ｉｙｓｅｔコンパウンド１５ノド９２として知られるメラミン樹脂の 圧縮グレードである。Ｐｏ１ｙｓｅｔコンパウンド１５８／９２は複合物１０の 形成に用いられ且つ本発明の方法に用いられるのに理想的である急速硬化、非摩 耗性セルロース充填、アミノ成形コンパウンドである。コンパウンド１５８／９ ２は粒状化あるいは粉末化した形態で利用可能であり且つ汚染除去の容易な視覚 認識のために白色のような淡色で利用可能である。したがってこの特定の形態に おけるコンパウンド１５８／９２は本発明の方法の前述の第１ステツプを達成す るのに用いられるより好ましい金型清掃用成形可能コンパウンド１４である。

この方法の次のステップは、これから後に詳細に説明されるように、清掃される ことになる金型によって決定されるような所定の大きさにキャリヤシート２０を 切断するあるいはキャリヤシート２０を形成することである。

それからキャリヤシート２０は、キャリヤシート２０の全ての表面にスラリーコ ーティング層を浸透させる、すなわち堆積させるために第２図に示されるように 、スラリー１２の中に浸す、あるいは浮かべさせられる。

キャリヤシートは、織物あるいは布帛状特性を有する不織キャリヤシートを提供 するために、ポリエステルのような適当な樹脂から形成されることがより好まし い。キャリヤシート２０がこのような材料から形成され、前述の特性を具備する 時に、金型清掃用成形可能コンパウンド１４はキャリヤシート２０に接着し、そ のシートが合宿に議論されたような目標とする目的に対して理想的に適合するこ とが見出されている。さらに未圧縮状態で約３ｍｍの厚さを有するキャリヤシー ト２０が大抵の、あるいは全ての金型清掃作業において良好に作用することが見 出されている。

キャリヤシート２０に前述のような方法でスラリーコーティング層２２が設けら れた時に、キャリヤシート２０は、第３図に示される一対のローラのような適当 なサイジング装置２４に通される、すなわち処理される。サイジング装置２４は 、キャリヤシート２０の互いに反対側の平たい表面に均一な厚さでスラリーコー ティング層２２を平たくする、スクリードする、すなわち提供するために用いら れる。

前述のサイジングステップの完成の際のスラリーコーティング層２２の厚さは清 掃されることになる金型によって決定される。他方において、金型の各種キャビ ティ、ランナー、ゲートおよびその他の凹部の数およびサイズが、どれだけの量 の金型清掃用成形可能コンパウンド１４が金型を適切に清掃するために必要とさ れるかを決定する。

複合物１０を製造する最後のステップはスラリーコーティング層２２とキャリヤ シート２０を乾燥するステップであり、そのステップは多数の公知の方法の何れ かで達成されればよい。例えば第４図に示されるように、スラリーコーティング 層２２と包み込まれたキャリヤシート２０上に適当なノズル２６から空気が向け られてもよい。この方法での空気乾燥が用いられた時には、比較的に暖かい空気 が乾燥プロセスの最初の段階で用いられて、それから乾燥作業が進むにつれて空 気温度が徐々に下げられると好ましい。

乾燥ステップが完了すると、複合物１０は金型清掃作業において用いるための準 備がととのう。複合物ｌＯが後述される金型清掃プロセスの間にある種の変化を 受けることはこの説明が進むにつれて明らかになるであろう。したがって記述上 の目的のために、金型清掃を目的として用いられる前の複合物１０は以下におい て未硬化マット１０として参照される。

第５図において最も良く示されるように、未硬化マット１０は、金型清掃用成形 可能コンパウンド１４の乾燥したコーティングＮ２８の中に包み込まれたキャリ ヤシートを有する比較的に平滑な平たい構造体である。

前述したように、未硬化マット１０は圧縮用金型、トランスファ用金型およびそ の他熱盤タイプの金型のような各種のタイプの金型に用いることができる。本発 明の金型を清掃する方法の明瞭な理解を確実なものにするために、代表的なトラ ンスファタイプの金型セットが第６図および第７図に示され、以下説明される。

図示した金型セントは、集積回路チップ（図示せず）が適切なパンケージ内に包 み込まれるカプセル化プロセスを達成するために特別に設計された底部金型３０ と上部金型３２を含む。従来技術において良く知られているように、複数の個別 集積回路チップ（図示せず）は、通常は「リードフレーム」として参照される薄 くて細長い金属ストリップ（図示せず）上に、−直線に間隔をあけて並べた関係 で結合される。底部金型３０と上部金型３２は２本のこのようなリードフレーム を収容するように設計されて、その上に載置された複数のチップから成る封入成 形を完成する。

底部金型３０は従来技術において良く知られている方法で金型の上方表面に載置 された底部ダイ３４を有する金型べ−ス３３を具備する。ダイ３４は中央に一列 に配置された材料受入れキャビティ３５の列を規定するために機械加工すなわち 形成され、キャビティ３５は複数のランナー３６を有し、ランナー３６はキャビ ティ３５から延びて４本の別箇の上方が開口した凹部３８の内側端縁部と連通ず る。複数の凹部３８は中央キャビティ３５の両側において長手方向に延びた列と して配置され、それぞれの凹部３８はその反対側の端縁部から延びる換気通路３ ９を有する。

チャンバ４０がダイ３４の下方で金型ベース３０の中に形成され、突出機構４２ がその中に配置される。突出機構４２はそれぞれの成形サイクルの完了に際して 底部金型から完成した製品を排出するために従来技術で公知の方法で作動する。

この目的のために、突出機構４２は複数の中央に配置された突出ピン４４（１個 のみ図示）を有し、材料受入れキャビティ３５のそれぞれに対してこのような中 央配置の突出ピン４４の１つが配置される。突出機構４２はさらに複数の補助突 出ピン４６を含み、一対の補助突出ピン４６が中央配置の突出ピン４４のそれぞ れの両側に配置される。図示されるように、中央配置の突出ピン４４はダイ３４ を通って上方に延び、複数の材料受入れキャビティ３５のそれぞれ１つの底部を 提供する。補助突出ピン４６はダイ３４を通って上方に延び、ダイの上部表面と 同一平面の最上端部を有する。ダイ３４の上部表面と、その上部表面と同一平面 である金型ベース３３の側方に配置された複数の上部表面とが協働して、底部金 型の分割表面４８として通常参照される表面を形成する。

前記突出機構４２が図示されたその引込まれた位置から突出位置へ作動された時 に、複数の中央突出ピン４４は中央キャビティ３５中で上方に動き、複数の補助 突出ピン４６も中央突出ピンと同時に上方に動き、その結果それら突出ピンの上 端は底部金型３０の分割表面４８上に延びる。

上部金型３２には上部ダイ５２を有する金型ベース５０が設けられ、上部ダイ５ ２は金型ベースの下方表面に載置されている。上部ダイ５２の下方に向いた表面 と金型ベース５０の側方に配置された複数の表面とが協働して、上部金型３２の 分割表面５４を形成する。上部ダイ５２には中央に延びる複数の開口部５５から 成る列が形成され、開口部５５のそれぞれは、上部金型３２と底部金型３０が第 ７図に示されるように閉じた位置にある時に、底部金型３０の材料受入れキャビ ティ３５の個々のキャビティと一直線に揃うように配置される。上部ダイ５２に は、上部ダイ５２の開口部５５の両側に列となって配置されており、且つ下方に 開口した複数の凹部５６が形成されている。複数の凹部５６のそれぞれは、２つ の金型が第７図に示すように閉じられた時に、底部金型の複数の凹部３８の個々 の凹部に一直線に揃えられる。

第７図に示されるように、複数の開口部５５（その内の１つが第７図に示される ）ルよ上部金型３２を通って形成される穴５８の下方端によって輪郭が規定され 、プランジャ６０が穴の中に取外し可能且つ摺動可能に配置される。

チャンバ６２がダイ５２の上方で金型ベース５０内に形成され、突出機構６４が チャンバ内に設けられる。突出機構６４が複数の突出ピン（１本が図示される） から成る２本の間隔をあけた列を有し、前記突出ピン６５の従属端が図示された その引込み位置において上部金型３２の分割表面５４と同一平面であるように突 出ピン６５は金型ベース５０と上部ダイを通って下方に延びる。底部金型３０の 突出機構４２の場合と同様に、上部金型３２の突出機構６４は、上部金型から成 形された製品を排出するために延ばされた位置へ動かされる。

通常の成形作業において、これ迄に説明したリードフレーム（図示せず）の一対 は、複数の個別集積回路チップ（図示せず）のそれぞれが前記複数の凹部の異っ た１個の上に置かれている複数の凹部列の個別の列に前記リードフレームが重な るように、底部金型３０の分割表面４８上に並んだ関係で配置される。それから 上部金型３２が、回路チップ（図示せず）のそれぞれが底部金型と上部金型の一 直線に揃えられた異る凹部３８　、５６によってそれぞれ規定された間隔で配置 されるように、底部金型３０の直上に配置される。

このように組合された時に、底部金型３０と上部金型３２は第７図で６８で示さ れるような適当な手段によって一緒に締付けられる。前述したプランジャ６０が 上部金型３２から引出され、通常はベレット形状（図示せず）であるエポキシ成 形用コンパウンドが上部金型を経て底部金型３０の材料受入れ中央キャビティ３ ５のそれぞれの中へ落される。それからプランジャ６０は再挿入され、下向きの 力がプランジャ６０に与えられる。金型の熱とそれに加わる力とがエポキシ成形 用コンパウンドの状態を固体から溶融状態に変え、プランジャ６０によって与え られた力が溶融したエポキシ樹脂を、複数のキャビティ３５から複数のランナー ３６を経て底部金型の凹部３８と上部金型の凹部５６によって輪郭が規定された 複数の空間に流す。硬化処理に際して、溶融したエポキシ材料は固体状態に戻り 、包み込まれた製品（図示せず）は前述の方法で排出され、開かれたすなわち分 離した成型ハーフを形成する。

前述の成形サイクルは引続いた生産計画に基づいて繰返えされ、前に議論したよ うに両方の金型は周期的に清掃されることが必要となる。本発明の金型清掃方法 を達成するために、未硬化マット１０が底部金型の分割表面４８上に置かれる。

前述したように、キャリヤシート２０は清掃されることになる特定の金型セット において用いるために適した所定の大きさに切断される０図示された例において 、キャリヤシート２０は、第６図において破線７０として示されるように、下部 ダイ３４の上方表面を完全におおうように切断される。

それから上部金型３２が底部金型３０の直上に置かれて、未硬化マット１０が、 第７図に示されるように、底部金型３０の分割表面４８と上部金型３２の分割表 面５４の間にはさみ込まれる。このようにして組合された時に、２つの金型は締 付は手段６８の作動によって行われるように互いに締付けられ、たりしその締付 は力は通常の成形作業の間に与えられる力と比較して減少した値である。

通常の成形作業の場合と同様に、金型の熱は未硬化マット１０上の乾燥したコー ティング層２８を溶融状態に変え、溶融した金型清掃用成形可能コンパウンドは 、互いに締付けられた金型によってコンパウンドの上に与えられた圧縮力の結果 として、金型３０と金型３２の各種のキャビティ、ランナーおよびその他の凹部 の中に流れる。溶融したコンパウンドの全てが金型の各種の凹部やキャビティの 中に絞り出される訳ではない事は理解されよう。これらのコンパウンドの幾分か は金型の分割表面４８　、５４を清掃するためにキャリヤシート２０上に置かれ たま＼留まる。

金型清掃用成形可能コンパウンドが硬化すると、コンパウンドは固体状態に戻り 、量産作動の成形された製品についての前述の排出と全く同じ方法で金型から排 出される準備がととのう。この状態が達成されると、金型の締付けは解除され、 金型は開放され、底部金型３０の突出機構４２と上部金型３２の突出機構６４が 作動される。この事が行われると、複合物は「硬化」マットＩＯＡとして参照さ れるとよい物品に今や変化している。第８図および第９図に示されるように、硬 化マツ）ＩＯＡは今や剛性が付された構造体であり、その中に埋没されたキャリ ヤシート２０のために破断に対して補強されている。

硬化マットＩＯＡはマットがその中で硬化される金型セットの反転した正確な像 である。云い換えれば硬化マットＬＯＡの上方表面７１はそれぞれの位置におい てブロック形状の突出部７２を有し、それぞれの位置で溶融したコンパウンドは 上部金型３２の複数の凹部５６と上部金型の複数の開口部５５の区域における実 質的に円柱形の突出部７４に流れ込む。硬化マットＩＯＡの反対側表面７５には 同様に第９図に示されるブロック形状の突出部７６のような適切な形状をした突 出部が設けられる。硬化マットＩＯＡの反対側の面７５の他の突出部（図示せず ）は底部金型３０中夫に配置された材料受入れキャビティ３５の列、ランナー３ ６および排気通路３９の形態に合致する。

前述のように、溶融した唐゛形用コンパウンド１４は金型ハーフの分割表面間で 絞られる。未硬化成形材料の例えば絞られる前の当初の厚さは第９図において破 線７８で示される。

絞り出しのために、前述の金型清掃作業の間での底部金型の各種凹部やキャビテ ィをおおっていない硬化マントＩＯＡの区域および上部金型の各種凹部やキャビ ティをおおっていない硬化マントＩＯＡの区域は減少された厚さになり、金型の 分割表面４８　、５４を清掃し、各種の突出部が金型の各種の凹部、キャビティ その他の凹部を清掃する。

金型清浄用成形可能コンパウンド１４が量産時の成形作業によって金型中に残さ れた汚染や残留物に対して自然な親和性を有することにおいて、前述の方法によ って金型から清掃された汚染や残留物は硬化マン）ＩＯＡの表面上に配置される 。

したがって取除かれた汚染および残留物は成形用コンパウンド１４が淡色である ために硬化マットＩＯＡの表面上に容易に明らかである。さらに、硬化マットＩ ＯＡは金型マットの内側形態の正確な反転像であるので、硬化マットが汚染と残 留物の除去のために視覚的に検査されると同時に、金型の損傷を視覚的に検査す ることができる。

汚染された金型セットの適切な清掃は、前述の金型清掃作業が複数回実施される ことを必要とするだろう。その回数は清掃されている特定の金型セットの汚染の 程度によって決定される。金型セットの完全な清掃は容易に決定される。硬化マ ツ）ＩＯＡが視覚的に検査されて除去される汚染および残留物が無いことが見出 された時に綺麗な硬化マントＩＯＡを作るところの特定の清掃作業が必要とされ る最後の清掃作業となるであろう。

本発明の諸原理は図示された実施例において今や明らかにされているが、本発明 の実現化において用いられ、そうでなければ本発明の諸原理から逸脱することな しに特に特定の環境と作動要求に対して採用される構造、配置、性質、材料およ び成分の多くの修正は当業者にとって当然明らかである。

したがって添付された複数の請求の範囲は本発明の真の技術思想と範囲での限定 のみの範囲でこのような修正をカバーし且つ包含することを息遣するものである 。

１原調査報告 ＡＮＮＥＸ　Ｔｏ　”Ｉ：ｈＥ　ＩＮＴＥＲＮＡＴＩＯＮＡＬ　５ＥＡＲＣｊ！ 　ＲＩＪ’ＯＲＴ　ＯＮｅｐｏｒｔ

Claims (31)

【特許請求の範囲】
1. １．金型セットにおける成形作業の対象とされている際に、金型セットの分割表 面および凹んだ表面から汚染物を清掃するために、前記金型セットの分割表面間 にさしはさんで配置されるための複合物であって、平たいキャリヤシートと該キ ャリヤシートの互いに反対側の表面上の未硬化の清掃用成形可能コンパウンドの コーティング層から成る複合物。
2. ２．前記キャリヤシートが、該キャリヤシートに布帛状特性を提供するようなタ イプの合成樹脂から形成される請求の範囲第１項記載の複合物。
3. ３．前記キャリヤシートが合成樹脂から形成された不織シートである請求の範囲 第１項記載の複合物。
4. ４．前記キャリヤシートが布帛状特性を有する不織ポリエステルから成る請求の 範囲第１項記載の複合物。
5. ５．前記コーティング層がメラミンの圧縮グレードから形成される請求の範囲第 １項記載の複合物。
6. ６．前記コーティング層が急速硬化非摩耗性セルロース充填アミノ成形用コンパ ウンドから形成される請求の範囲第１項記載の複合物。
7. ７．前記金型清掃用成形可能コンパウンドのコーティング層が淡色から成る請求 の範囲第１項記載の複合物。
8. ８．前記金型清掃用成形可能コンパウンドのコーティング層が白色である請求の 範囲第１項記載の複合物。
9. ９．金型セットにおける成形作業の対象とされている際に、金型セットの分割表 面および凹んだ表面から汚染物を清掃するために、前記金型セットの分割表面間 にさしはさんで配置されるための複合物を製造するための下記のステップから成 る方法； （ａ）金型清掃用成形可能コンパウンドと水系液体からスラリーを混合するステ ップ、 （ｂ）キャリヤシートを前記スラリー中に浸して、前記金型清掃用成形可能コン パウンドのスラリーコーティング層を前記キャリヤシートの互いに反対側の表面 上に堆積するステップ、 （ｃ）その上にスラリーコーティング層を有する前記キャリヤシートをサイジン グ処理して、前記スラリーコーティング層に均一な所定の厚さを与えるステップ 、（ｄ）前記複合物の製造を完成するために前記ステップ（ｃ）に続いて前記ス ラリーコーティング層を乾燥するステップ。
10. １０．前記ステップ（ａ）に用いられる金型清掃用成形可能コンパウンドがメラ ミンの圧縮グレードである請求の範囲第９項記載の複合物を製造する方法。
11. １１．前記ステップ（ａ）に用いられる金型清掃用成形可能コンパウンドが粒状 のメラミン圧縮グレードである請求の範囲第９項記載の複合物を製造する方法。
12. １２．前記ステップ（ａ）に用いられる金型清掃用成形可能コンパウンドが急速 硬化非摩耗性セルロース充填アミノ成形コンパウンドである請求の範囲第９項記 載の複合物を製造する方法。
13. １３．前記ステップ（ａ）に用いられる金型清掃用成形可能コンパウンドが粒状 の急速硬化非摩耗性セルロース充填アミノ成形コンパウンドである請求の範囲第 ９項記載の複合物を製造する方法。
14. １４．前記金型清掃用成形可能コンパウンドが淡色から成る請求の範囲第９項記 載の複合物を製造する方法。
15. １５．前記金型清掃用成形可能コンパウンドが白色である請求の範囲第９項記載 の複合物を製造する方法。
16. １６．前記ステップ（ａ）のスラリーが約５０％の金型清掃用成形可能コンパウ ンドと約５０％の水系溶液の割合で混合されている請求の範囲第９項記載の複合 物を製造する方法。
17. １７．前記キャリヤシートが、該キャリヤシートに布帛状特性を与えるタイプの 合成樹脂から形成される請求の範囲第９項記載の複合物を製造する方法。
18. １８．前記キャリヤシートが合成樹脂の不織シートである請求の範囲第９項記載 の複合物を製造する方法。
19. １９．前記キャリヤシートが布帛状特性を有する不織ポリエステルから成る請求 の範囲第９項記載の複合物を製造する方法。
20. ２０．金型セットの分割表面および凹んだ表面から汚染を清掃するための下記の ステップから成る方法；（ａ）未硬化マットを形成するために、キャリヤシート を未硬化の金型清掃用成形可能コンパウンドのコーティング層に埋込むステップ 、 （ｂ）清掃されることになる加熱された金型セットの分割表面間にさしはさまれ る位置に前記未硬化マットを置くステップ、 （ｃ）前記未硬化マットに絞り力を与えるために前記金型セットに圧縮力を与え 、前記金型の熱と協働する前記絞り力が前記未硬化マットの前記金型清掃用成形 可能コンパウンドを溶融させて、前記金型セットの分割表面および凹んだ表面に −致するように流させるステップ、 （ｄ）前記未硬化マットをステップ（ｃ）で与えられた−致した形態を有する硬 化マットに変化するために、ステップ（ｃ）に続いて前記未硬化マットの前記金 型清掃用成形可能コンパウンドを硬化するステップ、 （ｅ）前記金型セットから前記硬化マットを外すステップ。
21. ２１．前記埋込みステップがさらに下記のステップを含んで成る請求の範囲第２ ０項記載の方法； （ａ）前記金型清掃用成形可能コンパウンドと水系液体のスラリーを混合するス テップ、 （ｂ）前記金型清掃用成形可能コンパウンドのスラリーコーティングにおける前 記キャリヤシートの埋込みのために前記キャリヤシートを前記スラリーに浮べる ステップ、（ｃ）前記スラリーコーティング層の均一な厚さを平たん化して与え るために、前記キャリヤシートが埋込まれている前記スラリーコーティングをサ イジングするステップ、（ｄ）前記キャリヤシートが埋込まれている前記スラリ ーコーティングを乾燥して、前記未硬化マットの製造を完了するステップ。
22. ２２．前記スラリーの混合において用いられる金型清掃用成形可能コンパウンド がメラミンの圧縮グレードである請求の範囲第２１項記載の方法。
23. ２３．前記スラリーの混合において用いられる金型清掃用成形可能コンパウンド が粒状のメラミン圧縮グレードである請求の範囲第２１項記載の方法。
24. ２４．前記スラリーの混合に用いられる金型清掃用成形可能コンパウンドが急速 硬化非摩耗性セルロース充填アミノ成形コンパウンドである請求の範囲第２１項 記載の方法。
25. ２５．前記スラリーの混合に用いられる金型清掃用成形可能コンパウンドが粒状 の急速硬化非摩耗性セルロース充填アミノ成形コンパウンドである請求の範囲第 ２１項記載の方法。
26. ２６．前記金型清掃用成形可能コンパウンドが淡色から成る請求の範囲第２１項 記載の方法。
27. ２７．前記金型清掃用成形可能コンパウンドが白色である請求の範囲第２１項記 載の方法。
28. ２８．前記スラリーが約５０％の金型清掃用成形可能コンパウンドと約５０％の 水系溶液で混合されている請求の範囲第２１項記載の方法。
29. ２９．前記埋込まれたキャリヤシートが、該キャリヤシートに布帛状特性を提供 するタイプの合成樹脂から形成される請求の範囲第２０項記載の方法。
30. ３０．前記埋込まれたキャリヤシートが合成樹脂の不織シートである請求の範囲 第２０項記載の方法。
31. ３１．前記埋込まれたキャリヤシートが布帛状特性を有する不織ポリエステルか ら成る請求の範囲第２０項記載の方法。