JPS6345086B2 - - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は一般に印刷回路基板の製造に係り、特
に、印刷回路基板用のアートワークを作る装置及
び方法に係る。
に、印刷回路基板用のアートワークを作る装置及
び方法に係る。
印刷回路基板の製造において、回路基板に導電
性リードパターンを形成する際には、アートワー
クマスターが一般的に使用される。リードパター
ンは至近離間された非常に多数の比較的細いリー
ドを含む。これらのリードは明確に区別して形成
されねばならず、従つて解像度及び精度の高いア
ートワークマスターが必要とされる。これまで、
アートワークマスターは写真によつて作られてお
り、そして公知のレーザ装置では一般にこの様な
アートワークの作成に必要な高い精度が得られて
いない。
性リードパターンを形成する際には、アートワー
クマスターが一般的に使用される。リードパター
ンは至近離間された非常に多数の比較的細いリー
ドを含む。これらのリードは明確に区別して形成
されねばならず、従つて解像度及び精度の高いア
ートワークマスターが必要とされる。これまで、
アートワークマスターは写真によつて作られてお
り、そして公知のレーザ装置では一般にこの様な
アートワークの作成に必要な高い精度が得られて
いない。
そこで、本発明の一般的な目的は、レーザビー
ムを用いて印刷回路基板用のアートワークを作る
新規で且つ改良された装置及び方法を提供するこ
とである。
ムを用いて印刷回路基板用のアートワークを作る
新規で且つ改良された装置及び方法を提供するこ
とである。
本発明の別の目的は、公知のレーザ技術で可能
であつた以上に精密なアートワークを作ることの
できる上記特徴の装置及び方法を提供することで
ある。
であつた以上に精密なアートワークを作ることの
できる上記特徴の装置及び方法を提供することで
ある。
本発明の別の目的は、装置の或る要素に色収差
やその他の像歪があつても入力データと出力像と
の間に正確な関係を維持する上記特徴の装置及び
方法を提供することである。
やその他の像歪があつても入力データと出力像と
の間に正確な関係を維持する上記特徴の装置及び
方法を提供することである。
これらの目的及び他の目的は、本発明によれ
ば、製造さるべきアートワークを定めるデータに
基いてレーザビームを変調する様な装置及び方法
を提供することによつて達成される。変調された
ビームは出力媒体に向けられ、そして該媒体を走
査するために偏向され、該媒体にアートワークの
像を形成する。基準ビームがレーザビームと共に
偏向されそして基準マスクに向けられて基準信号
を与える。この基準信号はレーザビームの位置を
定め、そしてレーザビームの変調と、出力媒体上
でのレーザビームの位置との間に同期を与えるの
に用いられる。装置の或る要素によつて非直線性
や色収差やその他の像歪が導入されても入力デー
タと出力像との間に正確な関係を維持する様に補
償が与えられる。
ば、製造さるべきアートワークを定めるデータに
基いてレーザビームを変調する様な装置及び方法
を提供することによつて達成される。変調された
ビームは出力媒体に向けられ、そして該媒体を走
査するために偏向され、該媒体にアートワークの
像を形成する。基準ビームがレーザビームと共に
偏向されそして基準マスクに向けられて基準信号
を与える。この基準信号はレーザビームの位置を
定め、そしてレーザビームの変調と、出力媒体上
でのレーザビームの位置との間に同期を与えるの
に用いられる。装置の或る要素によつて非直線性
や色収差やその他の像歪が導入されても入力デー
タと出力像との間に正確な関係を維持する様に補
償が与えられる。
以下、添付図面を参照して本発明を詳細に説明
する。
する。
要約すれば、製造さるべきアートワークを定め
るデータが磁気テープに記憶されそしてコンピユ
ータのメモリへ読み出される。このコンピユータ
からのデータに基いて変調されたレーザビームに
よつてラスタ形態で走査される出力媒体にアート
ワークの像が形成される。好ましい実施例では、
出力像の大きさが17.8インチ×24.2インチ（45.2
cm×61.5cm）であり、１インチ当たりに走査線は
1000本あり、そして各走査線における１インチ当
たりのピクセル数は1000個である。従つて像領域
全体に亘りいずれの走査方向にも0.001インチ
（0.025mm）ごとにアドレスできる。適当な出力媒
体としては、ジアゾフイルムやハロゲン化銀フイ
ルムやガラスプレートが含まれる。適当なレーザ
により、印刷回路基板に直接像を形成することも
できる。
るデータが磁気テープに記憶されそしてコンピユ
ータのメモリへ読み出される。このコンピユータ
からのデータに基いて変調されたレーザビームに
よつてラスタ形態で走査される出力媒体にアート
ワークの像が形成される。好ましい実施例では、
出力像の大きさが17.8インチ×24.2インチ（45.2
cm×61.5cm）であり、１インチ当たりに走査線は
1000本あり、そして各走査線における１インチ当
たりのピクセル数は1000個である。従つて像領域
全体に亘りいずれの走査方向にも0.001インチ
（0.025mm）ごとにアドレスできる。適当な出力媒
体としては、ジアゾフイルムやハロゲン化銀フイ
ルムやガラスプレートが含まれる。適当なレーザ
により、印刷回路基板に直接像を形成することも
できる。
装置全体はキヤビネツト２１で包囲される。こ
のキヤビネツト２１は第１区分２２を有し、この
区分はコンピユータ、テープデツキ、電源及びそ
の他の電子成分を収容し、ドア２３によつてこれ
らの成分へアクセスすることができる。又、キヤ
ビネツト２１は第２区分２４も有し、この区分は
装置のレーザ、光学、走査及びキヤリジ組立体を
収容し、適当なアクセスドア（図示せず）も設け
られている。キーボード端末装置２６によつてコ
ンピユータと通信することができ、このキーボー
ド装置２６はキヤビネツトの外部から操作できる
様にキヤビネツト区分２２から突出したシエルフ
２７に装着されている。
のキヤビネツト２１は第１区分２２を有し、この
区分はコンピユータ、テープデツキ、電源及びそ
の他の電子成分を収容し、ドア２３によつてこれ
らの成分へアクセスすることができる。又、キヤ
ビネツト２１は第２区分２４も有し、この区分は
装置のレーザ、光学、走査及びキヤリジ組立体を
収容し、適当なアクセスドア（図示せず）も設け
られている。キーボード端末装置２６によつてコ
ンピユータと通信することができ、このキーボー
ド装置２６はキヤビネツトの外部から操作できる
様にキヤビネツト区分２２から突出したシエルフ
２７に装着されている。
レーザ、光学、走査及びキヤリジ組立体は、振
動や熱による変動を減少して印刷回路のアートワ
ークに要する精度を得られる様にするためどつし
りしたテーブル２９によつて支持される。好まし
い実施例では、このテーブルは花こう岩で作ら
れ、そして約８−10インチ（20−25cm）厚みの水
平に延びたスラブ３１を備え、このスラブ３１は
脚３２及び水平どりブロツク３３によつて支持さ
れる。スラブ３１の上面３４は高度に光沢仕上げ
され、そしてその全面に亘つて0.001インチ
（0.025mm）或いはそれ以上の平坦さを有してい
る。
動や熱による変動を減少して印刷回路のアートワ
ークに要する精度を得られる様にするためどつし
りしたテーブル２９によつて支持される。好まし
い実施例では、このテーブルは花こう岩で作ら
れ、そして約８−10インチ（20−25cm）厚みの水
平に延びたスラブ３１を備え、このスラブ３１は
脚３２及び水平どりブロツク３３によつて支持さ
れる。スラブ３１の上面３４は高度に光沢仕上げ
され、そしてその全面に亘つて0.001インチ
（0.025mm）或いはそれ以上の平坦さを有してい
る。
装置の光学成分及び走査成分を支持する小テー
ブル３６，３７がベーステーブル３４に装着され
る。テーブル３６はしばしば光学テーブルと呼ば
れ、花こう岩の水平に延びたスラブを備え、この
スラブは１ビーム形態の鋼フレーム部材３８によ
つて支持される。テーブル３７はしばしば走査テ
ーブルと呼ばれ、これも又花こう岩の水平に延び
たスラブを備え、このスラブは鋼の側部フレーム
３９によつて支持される。従つて、テーブル３
６，３７はベーステーブル上の固定位置にしつか
りと支持される。
ブル３６，３７がベーステーブル３４に装着され
る。テーブル３６はしばしば光学テーブルと呼ば
れ、花こう岩の水平に延びたスラブを備え、この
スラブは１ビーム形態の鋼フレーム部材３８によ
つて支持される。テーブル３７はしばしば走査テ
ーブルと呼ばれ、これも又花こう岩の水平に延び
たスラブを備え、このスラブは鋼の側部フレーム
３９によつて支持される。従つて、テーブル３
６，３７はベーステーブル上の固定位置にしつか
りと支持される。
アートワークの像を形成すべき出力媒体を保持
するためキヤリジ組立体４１がベーステーブルに
装着される。この組立体はテーブル３１の上面に
固定されたガイドレール４２を備え、このレール
は走査テーブル３７の下でテーブル３１の長手方
向に延びる。好ましい実施例においては、このガ
イドレールも花こう岩で作られ、そしてキヤリジ
４３が長手方向に移動する様にこのレールに装着
される。このキヤリジ４３はモータ４４及び親ネ
ジ４６によつて駆動される。出力媒体を保持する
ため非常に精密な平坦面４８を有したプラテン４
７がキヤリジに装着される。
するためキヤリジ組立体４１がベーステーブルに
装着される。この組立体はテーブル３１の上面に
固定されたガイドレール４２を備え、このレール
は走査テーブル３７の下でテーブル３１の長手方
向に延びる。好ましい実施例においては、このガ
イドレールも花こう岩で作られ、そしてキヤリジ
４３が長手方向に移動する様にこのレールに装着
される。このキヤリジ４３はモータ４４及び親ネ
ジ４６によつて駆動される。出力媒体を保持する
ため非常に精密な平坦面４８を有したプラテン４
７がキヤリジに装着される。
可干渉性の（コヒレントな）書き込み放射ビー
ムを発生するレーザ５１が第１図に示した様に走
査テーブル３７の後方でテーブル３１に装着され
る。ジアゾ及びハロゲン化銀フイルムを露光する
１つの好ましい実施例においては、レーザ５１が
Coherent、Inc.型CR−15アルゴンレーザより成
る。このレーザはこれに供給される作動電力に変
動があつてもその出力を比較的一定に維持する。
ムを発生するレーザ５１が第１図に示した様に走
査テーブル３７の後方でテーブル３１に装着され
る。ジアゾ及びハロゲン化銀フイルムを露光する
１つの好ましい実施例においては、レーザ５１が
Coherent、Inc.型CR−15アルゴンレーザより成
る。このレーザはこれに供給される作動電力に変
動があつてもその出力を比較的一定に維持する。
レーザ５１の出力は適当な既知の設計の音響−
光学変調器５２へ送られ、この変調器５２はこれ
に印加された入力信号に基いて書き込みビームの
強さを変える。この変調器から、書き込みビーム
はベーステーブルに装着された方向転換ミラー
（図示せず）へ送られ、そして光学テーブル３６
の孔５３を経て上記へ送られ、光学テーブル３６
に装着された第２の方向転換ミラー５４へと送ら
れる。このミラー５４から、ビームは水平方向に
向けられそして紫外線減衰器／フイルタ５６に通
される。次いでビームは球状ミラー５７へ送られ
そしてパラボラ状ミラー５８へ送られそこで集束
されて0.001インチ（0.025mm）以下の最終的なス
ポツトサイズにされる。このミラー５８から、ビ
ームはダイクロイツクビーム合成器５９へ送ら
れ、そこで基準ビームと合成されそして共通の経
路６１に沿つて走査組立体へと向けられる。
光学変調器５２へ送られ、この変調器５２はこれ
に印加された入力信号に基いて書き込みビームの
強さを変える。この変調器から、書き込みビーム
はベーステーブルに装着された方向転換ミラー
（図示せず）へ送られ、そして光学テーブル３６
の孔５３を経て上記へ送られ、光学テーブル３６
に装着された第２の方向転換ミラー５４へと送ら
れる。このミラー５４から、ビームは水平方向に
向けられそして紫外線減衰器／フイルタ５６に通
される。次いでビームは球状ミラー５７へ送られ
そしてパラボラ状ミラー５８へ送られそこで集束
されて0.001インチ（0.025mm）以下の最終的なス
ポツトサイズにされる。このミラー５８から、ビ
ームはダイクロイツクビーム合成器５９へ送ら
れ、そこで基準ビームと合成されそして共通の経
路６１に沿つて走査組立体へと向けられる。
基準ビームを発生するためHeNeレーザ６２が
テーブル３６に装着される。このレーザ６２によ
つて発生されたビームは対物レンズ６３及びビー
ム伸張器６４を経て方向転換ミラー６６へと水平
に送られ、このミラー６６はビームをダイクロイ
ツクミラー５９へ送り、書き込みビームと合成さ
せる。
テーブル３６に装着される。このレーザ６２によ
つて発生されたビームは対物レンズ６３及びビー
ム伸張器６４を経て方向転換ミラー６６へと水平
に送られ、このミラー６６はビームをダイクロイ
ツクミラー５９へ送り、書き込みビームと合成さ
せる。
ダイクロイツクミラー５９からの合成された書
き込み及び基準ビームは走査テーブル３７の下面
に装着された圧電ミラー６９に当たる。このため
の適当なミラーBurleigh Inc.型式PZ−90ミラー
組立体である。この組立体は120゜離間された３つ
の圧電スタツク即ち管にマウントされたミラーよ
り成る。これらの圧電スタツクに適当な制御電圧
を印加することによりミラーをそのレンジ内の所
望角度まで傾斜することができる。本発明では、
ビーム路６１及びキヤリジ４３の移動方向に対し
て直角である水平軸７１に２つのスタツクが整列
される様に圧電ミラーが向けられる。これら２つ
のスタツクは基準電位に保持され、そして軸７１
に対する傾斜角を制御するために制御信号が第３
スタツクへ印加される。
き込み及び基準ビームは走査テーブル３７の下面
に装着された圧電ミラー６９に当たる。このため
の適当なミラーBurleigh Inc.型式PZ−90ミラー
組立体である。この組立体は120゜離間された３つ
の圧電スタツク即ち管にマウントされたミラーよ
り成る。これらの圧電スタツクに適当な制御電圧
を印加することによりミラーをそのレンジ内の所
望角度まで傾斜することができる。本発明では、
ビーム路６１及びキヤリジ４３の移動方向に対し
て直角である水平軸７１に２つのスタツクが整列
される様に圧電ミラーが向けられる。これら２つ
のスタツクは基準電位に保持され、そして軸７１
に対する傾斜角を制御するために制御信号が第３
スタツクへ印加される。
合成されたビームは圧電ミラー６９からスキヤ
ナ７２へ向けられる。このスキヤナは本発明の譲
受人に譲渡された1978年９月13日出願の米国特許
出願第941763号に開示された型式のものである。
簡単に説明すれば、このスキヤナはピラミツド状
ミラー７３と、平坦ミラー７４，７６より成る２
重ルーフミラーとを備えている。ピラミツド状ミ
ラーは軸方向に傾斜した３つの平らな反射小面を
有し、そして駆動モータ７７によつて比較的高速
度でその軸のまわりで回転される。スキヤナはテ
ーブル３７の上面の固定位置に装着される。ミラ
ー６９からのビームは回転する小面の１つに当た
り、そしてミラー７４に向つて反射される。この
ミラー７４はビームをミラー７６へ反射し、そし
てこのミラー７６はそのビームが初めに反射され
たのと同じ回転小面へビームを反射して戻す。次
いでビームはスキヤナから平らなフイールドレン
ズ７９へと反射され、このレンズは走査テーブル
の上面の固定位置に装着される。スキヤナ７２及
びレンズ７９から出て来るビームは側部から側部
へと水平にスイープし、垂直方向の角度変位は実
質的にない。
ナ７２へ向けられる。このスキヤナは本発明の譲
受人に譲渡された1978年９月13日出願の米国特許
出願第941763号に開示された型式のものである。
簡単に説明すれば、このスキヤナはピラミツド状
ミラー７３と、平坦ミラー７４，７６より成る２
重ルーフミラーとを備えている。ピラミツド状ミ
ラーは軸方向に傾斜した３つの平らな反射小面を
有し、そして駆動モータ７７によつて比較的高速
度でその軸のまわりで回転される。スキヤナはテ
ーブル３７の上面の固定位置に装着される。ミラ
ー６９からのビームは回転する小面の１つに当た
り、そしてミラー７４に向つて反射される。この
ミラー７４はビームをミラー７６へ反射し、そし
てこのミラー７６はそのビームが初めに反射され
たのと同じ回転小面へビームを反射して戻す。次
いでビームはスキヤナから平らなフイールドレン
ズ７９へと反射され、このレンズは走査テーブル
の上面の固定位置に装着される。スキヤナ７２及
びレンズ７９から出て来るビームは側部から側部
へと水平にスイープし、垂直方向の角度変位は実
質的にない。
レンズ７９からのビームはダイクロイツクビー
ムスプリツタ８１に当たり、このビームスプリツ
タ８１は書き込みビームを下方にキヤリジ組立体
へと反射しそして基準ビームをミラー８２へと通
す。ビームスプリツタ８１及びミラー８２はテー
ブル３７に固定されたフレーム８３によつて一定
位置に装着される。平らなフイールドレンズと、
ビームスプリツタと、キヤリジ組立体との相対位
置は、キヤリジに保持された出力媒体の上面が平
らなフイールドレンズの焦点面にある様な位置で
ある。
ムスプリツタ８１に当たり、このビームスプリツ
タ８１は書き込みビームを下方にキヤリジ組立体
へと反射しそして基準ビームをミラー８２へと通
す。ビームスプリツタ８１及びミラー８２はテー
ブル３７に固定されたフレーム８３によつて一定
位置に装着される。平らなフイールドレンズと、
ビームスプリツタと、キヤリジ組立体との相対位
置は、キヤリジに保持された出力媒体の上面が平
らなフイールドレンズの焦点面にある様な位置で
ある。
ミラー８２から基準ビームは基準マスク８６へ
向けられる。以下で詳細に述べる様に、基準マス
クを通る光はオプチカルフアイバ束によつて集め
られ、そして光検出器ないしは光電子増倍管８８
によつて感知され、出力媒体上での書き込みビー
ムの位置に相当する基準信号を与える。基準マス
クは走査テーブル３７の下面の固定位置であつて
且つレンズ７９の焦点面に支持される。
向けられる。以下で詳細に述べる様に、基準マス
クを通る光はオプチカルフアイバ束によつて集め
られ、そして光検出器ないしは光電子増倍管８８
によつて感知され、出力媒体上での書き込みビー
ムの位置に相当する基準信号を与える。基準マス
クは走査テーブル３７の下面の固定位置であつて
且つレンズ７９の焦点面に支持される。
さて第２図乃至第６図には、キヤリジ組立体が
詳細に示されている。駆動モータ４４はガイドレ
ール４２のスロツト９１に装着され、このスロツ
ト９１はガイドレールの長手方向に延びそして一
般的に長方向の断面をしている。親ネジ４６はキ
ヤリジに固定されたナツト９２にネジ込まれる。
キヤリジを実質的に無摩擦で移動できる様にする
ためキヤリジはテーブル３１の高度に光沢仕上げ
された面にのせられた空気式支持体９３によつて
垂直に支持される。図示された様に、これらの支
持体９３はポスト９６によつてキヤリジの下面に
連結された円形パツド９４を備えている。キヤリ
ジの各コーナーに同様の支持体９３が設けられて
いる。キヤリジとガイドレールとの間に更に別の
空気式支持体９７が設けられている。これらの支
持体９７はガイドレールの長手方向に延びた垂直
側面９９に対向した一般的に長方向のパツド９８
を備えている。パツド９８は装着ブラケツト１０
１によつてキヤリジの下面へ固定され、そしてこ
こに示す実施例ではキヤリジの両端に支持体９７
が設けられている。
詳細に示されている。駆動モータ４４はガイドレ
ール４２のスロツト９１に装着され、このスロツ
ト９１はガイドレールの長手方向に延びそして一
般的に長方向の断面をしている。親ネジ４６はキ
ヤリジに固定されたナツト９２にネジ込まれる。
キヤリジを実質的に無摩擦で移動できる様にする
ためキヤリジはテーブル３１の高度に光沢仕上げ
された面にのせられた空気式支持体９３によつて
垂直に支持される。図示された様に、これらの支
持体９３はポスト９６によつてキヤリジの下面に
連結された円形パツド９４を備えている。キヤリ
ジの各コーナーに同様の支持体９３が設けられて
いる。キヤリジとガイドレールとの間に更に別の
空気式支持体９７が設けられている。これらの支
持体９７はガイドレールの長手方向に延びた垂直
側面９９に対向した一般的に長方向のパツド９８
を備えている。パツド９８は装着ブラケツト１０
１によつてキヤリジの下面へ固定され、そしてこ
こに示す実施例ではキヤリジの両端に支持体９７
が設けられている。
プラテン４７は調整可能なストツパ１０３及び
液圧シリンダ１０４によつてキヤリジ４３の長手
方向に位置設定される。又、プラテン４７は調整
可能なストツパ１０６及び液圧シリンダ１０７に
よつて横方向に位置設定される。ストツパはキヤ
リジに装着され、そしてプラテンがキヤリジの所
望位置にある時にプラテンの端壁及び側壁に係合
する様に配置される。シリンダもキヤリジに装着
され、ストツパに対してプラテンを圧着するため
ストツパと反対側に配置される。
液圧シリンダ１０４によつてキヤリジ４３の長手
方向に位置設定される。又、プラテン４７は調整
可能なストツパ１０６及び液圧シリンダ１０７に
よつて横方向に位置設定される。ストツパはキヤ
リジに装着され、そしてプラテンがキヤリジの所
望位置にある時にプラテンの端壁及び側壁に係合
する様に配置される。シリンダもキヤリジに装着
され、ストツパに対してプラテンを圧着するため
ストツパと反対側に配置される。
キヤリジに対して垂直方向にプラテンの位置を
調整する手段も設けられている。この手段はプラ
テンのコーナーに向つてキヤリジに装着された液
圧作動シリンダ１０９を備えている。各シリンダ
は出力シヤフト１１１を有し、これはプラテンの
下部にネジ込まれる。作動装置の本体はキヤリジ
に固定されたブラケツト１１２，１１３に装着さ
れる。これらの装着ブラケツトはキヤリジの穴１
１４，１１６を通じて延び、ブラケツト１１２は
プラテンの１端でプラテン上に配置された水平フ
ランジ１１７を備えている。これらのフランジは
調整可能なストツパ１１８，１１９を支持し、然
してこれらストツパはプラテンの上面に係合して
プラテンを垂直方向に位置定めする。プラテンの
他端では、同様に調整可能なストツパ１２１，１
２２が、キヤリジに固定された装着ブラケツト１
２３に取り付けられる。これらストツパ１２１，
１２２は対で配置され、ストツパ１１９，１２２
はストツパ１１８，１２１の内側に配置される。
内側のストツパ１１９，１２２は取り外し可能な
バー１２４，１２６に支持され、これらバーはネ
ジや位置設定ドエルピン（図示せず）の如き適当
な手段によつてフランジ１１７及びブラケツト１
２３の内端に取り外し可能に装着される。好まし
い実施例では、ストツパ１１８−１１９，１２１
−１２２は、出力媒体の上面を平らなフイールド
レンズの焦点面に配置する様にプラテンを正確に
整列させることのできるマイクロメータを構成す
る。対にされたストツパは例えば0.007インチ
（0178mm）フイルム及び0.250インチ（6.35mm）ガ
ラスといつた色々な厚みの媒体に対して調整でき
る様にする。取り外し可能な内側ストツパは色々
な長さの媒体を受け容れることができる様にす
る。
調整する手段も設けられている。この手段はプラ
テンのコーナーに向つてキヤリジに装着された液
圧作動シリンダ１０９を備えている。各シリンダ
は出力シヤフト１１１を有し、これはプラテンの
下部にネジ込まれる。作動装置の本体はキヤリジ
に固定されたブラケツト１１２，１１３に装着さ
れる。これらの装着ブラケツトはキヤリジの穴１
１４，１１６を通じて延び、ブラケツト１１２は
プラテンの１端でプラテン上に配置された水平フ
ランジ１１７を備えている。これらのフランジは
調整可能なストツパ１１８，１１９を支持し、然
してこれらストツパはプラテンの上面に係合して
プラテンを垂直方向に位置定めする。プラテンの
他端では、同様に調整可能なストツパ１２１，１
２２が、キヤリジに固定された装着ブラケツト１
２３に取り付けられる。これらストツパ１２１，
１２２は対で配置され、ストツパ１１９，１２２
はストツパ１１８，１２１の内側に配置される。
内側のストツパ１１９，１２２は取り外し可能な
バー１２４，１２６に支持され、これらバーはネ
ジや位置設定ドエルピン（図示せず）の如き適当
な手段によつてフランジ１１７及びブラケツト１
２３の内端に取り外し可能に装着される。好まし
い実施例では、ストツパ１１８−１１９，１２１
−１２２は、出力媒体の上面を平らなフイールド
レンズの焦点面に配置する様にプラテンを正確に
整列させることのできるマイクロメータを構成す
る。対にされたストツパは例えば0.007インチ
（0178mm）フイルム及び0.250インチ（6.35mm）ガ
ラスといつた色々な厚みの媒体に対して調整でき
る様にする。取り外し可能な内側ストツパは色々
な長さの媒体を受け容れることができる様にす
る。
プラテン４７は一般的に中空の構造体であり、
上壁１３１、下壁１３２、端壁１３３及び側壁１
３４を有している。第３図に拡大して示された様
にピンホール１３６が上壁を貫通して延びてお
り、出力媒体はこれらピンホールを通して真空が
作られることによつてプラテンの上面に対して平
らに保持される。
上壁１３１、下壁１３２、端壁１３３及び側壁１
３４を有している。第３図に拡大して示された様
にピンホール１３６が上壁を貫通して延びてお
り、出力媒体はこれらピンホールを通して真空が
作られることによつてプラテンの上面に対して平
らに保持される。
出力媒体をプラテンに正確に配置しそして温度
変化が生じてもこの位置を保持する手段が設けら
れている。この手段はインバー（Invar）バー１
３８によつて支持された揃えピン１３７を含み、
バー１３８は走査装置の中心線にあるピン１３９
によつてプラテンの上壁に取り付けられる。上記
バーはプラテンの上壁の下面に配置され、そして
揃えピンは該ピン自体よりも若干大きな直径をし
た穴１４１を通して延びる。バー１３８は装置の
通常作動温度において熱膨調係数が実質的にゼロ
である。それ故、プラテン自体が熱膨張又は収縮
を受けたとしても揃えピンの位置は走査装置の垂
直中心線に対して正確に固定保持される。同様
に、これらの揃えピンが係合される穴を有した出
力媒体も相対的に固定位置に保持される。
変化が生じてもこの位置を保持する手段が設けら
れている。この手段はインバー（Invar）バー１
３８によつて支持された揃えピン１３７を含み、
バー１３８は走査装置の中心線にあるピン１３９
によつてプラテンの上壁に取り付けられる。上記
バーはプラテンの上壁の下面に配置され、そして
揃えピンは該ピン自体よりも若干大きな直径をし
た穴１４１を通して延びる。バー１３８は装置の
通常作動温度において熱膨調係数が実質的にゼロ
である。それ故、プラテン自体が熱膨張又は収縮
を受けたとしても揃えピンの位置は走査装置の垂
直中心線に対して正確に固定保持される。同様
に、これらの揃えピンが係合される穴を有した出
力媒体も相対的に固定位置に保持される。
さて第７図を参照すれば、製造さるべきアート
ワークを定めるデータは磁気テープに記憶され
る。好ましい実施例では、データは入力原稿を走
査することによつて作られるが、所望ならば電子
的に作ることもできる。いずれの場合も、データ
は像の所定の空間位置に配置される画素を表わす
様に空間的にコード化される。像の各画素ごとに
別々のビツトを記憶するのではなく、データは圧
縮されそして圧縮フオーマツトで記憶される。第
７図に参照番号１５１で示されたテープからデー
タはPDP−11の様なコンピユータ１５２のメモ
リへ読み込まれる。端末装置２６がコンピユータ
へ接続されており、そしてコンピユータからのデ
ータは圧縮解除装置１５３へ付与され、この装置
は圧縮されたデータを、像の各画素に対して１ビ
ツトづつの直列フオーマツトに変換する。
ワークを定めるデータは磁気テープに記憶され
る。好ましい実施例では、データは入力原稿を走
査することによつて作られるが、所望ならば電子
的に作ることもできる。いずれの場合も、データ
は像の所定の空間位置に配置される画素を表わす
様に空間的にコード化される。像の各画素ごとに
別々のビツトを記憶するのではなく、データは圧
縮されそして圧縮フオーマツトで記憶される。第
７図に参照番号１５１で示されたテープからデー
タはPDP−11の様なコンピユータ１５２のメモ
リへ読み込まれる。端末装置２６がコンピユータ
へ接続されており、そしてコンピユータからのデ
ータは圧縮解除装置１５３へ付与され、この装置
は圧縮されたデータを、像の各画素に対して１ビ
ツトづつの直列フオーマツトに変換する。
圧縮解除されたデータは、像データに加えて、
状態制御及び同期情報を含む16ビツトの前置き部
を各走査線の始めに備えている。本装置は前置き
部比較器１５４を備え、この比較器は圧縮解除装
置１５３からデータを受け取り、前置き部をチエ
ツクし、そして像データをバツフア１５６，１５
７へ付与する。又、この比較器は同期信号SYNC
をフレーム基準発生器１５８へ与える。この発生
器１５８はバツフア選択信号SEL BUF及び
BUFをこれらバツフア１５６，１５７へ送り、
その１方へデータを読み込み然してその他方から
データを読み出す様にこれらバツフアを制御す
る。データバツフアの出力はマルチプレクサ１５
９の入力に接続され、いずれのバツフアからデー
タを読み出すかを決定するためマルチプレクサの
選択入力SELECTにSEL BUF信号が印加され
る。マルチプレクサ１５９の出力は変調器５２の
入力へ印加され、像データに基いて書き込みビー
ムが変調される。
状態制御及び同期情報を含む16ビツトの前置き部
を各走査線の始めに備えている。本装置は前置き
部比較器１５４を備え、この比較器は圧縮解除装
置１５３からデータを受け取り、前置き部をチエ
ツクし、そして像データをバツフア１５６，１５
７へ付与する。又、この比較器は同期信号SYNC
をフレーム基準発生器１５８へ与える。この発生
器１５８はバツフア選択信号SEL BUF及び
BUFをこれらバツフア１５６，１５７へ送り、
その１方へデータを読み込み然してその他方から
データを読み出す様にこれらバツフアを制御す
る。データバツフアの出力はマルチプレクサ１５
９の入力に接続され、いずれのバツフアからデー
タを読み出すかを決定するためマルチプレクサの
選択入力SELECTにSEL BUF信号が印加され
る。マルチプレクサ１５９の出力は変調器５２の
入力へ印加され、像データに基いて書き込みビー
ムが変調される。
圧縮解除装置から前置き部比較器及びデータバ
ツフアへのデータの付与は、4.5MHzの如き適当
な周波数で作動する自走マスタークロツク１６１
によつて制御される。データは出力媒体上での書
き込みビームの位置に相当する基準クロツク信号
の制御の下でデータバツフアからクロツク出力さ
れて変調器へと与えられる。この基準クロツク信
号は基準クロツク発生器１６２によつて発生さ
れ、この発生器１６２は光電子増倍管８８から基
準信号を受け取る。この基準信号は基準マスクを
通過する基準ビームからの光線によつて発生され
そして光電子増倍管によつて検出される。基準ビ
ーム及び書き込みビームは共通の経路に沿つて向
けられそしてスキヤナによつて一緒に偏向される
ので、基準信号は書き込みビームと厳密に位置が
同期される。基準信号の各パルスは出力媒体上で
の所定の距離（例えば、0.003インチ）に相当す
る。基準クロツク発生器は書き込みビームの
0.001インチ（0.025mm）の移動ごとに基準クロツ
クパルスを与える様に基準信号の割合を増加す
る。
ツフアへのデータの付与は、4.5MHzの如き適当
な周波数で作動する自走マスタークロツク１６１
によつて制御される。データは出力媒体上での書
き込みビームの位置に相当する基準クロツク信号
の制御の下でデータバツフアからクロツク出力さ
れて変調器へと与えられる。この基準クロツク信
号は基準クロツク発生器１６２によつて発生さ
れ、この発生器１６２は光電子増倍管８８から基
準信号を受け取る。この基準信号は基準マスクを
通過する基準ビームからの光線によつて発生され
そして光電子増倍管によつて検出される。基準ビ
ーム及び書き込みビームは共通の経路に沿つて向
けられそしてスキヤナによつて一緒に偏向される
ので、基準信号は書き込みビームと厳密に位置が
同期される。基準信号の各パルスは出力媒体上で
の所定の距離（例えば、0.003インチ）に相当す
る。基準クロツク発生器は書き込みビームの
0.001インチ（0.025mm）の移動ごとに基準クロツ
クパルスを与える様に基準信号の割合を増加す
る。
第８図に示された様に、基準マスク８６はその
長さに沿つて複数個の不透明領域１６６と透過領
域１６７とが交互に配置されたレチクル１６４を
備えている。不透明領域は透過領域を形成する透
明媒体上に離間された不透明バーより成る。レン
ズ７９及びダイクロイツクビームスプリツタ８１
は色収差を有すると分つており、これは走査線の
両端程基準ビームを書き込みビームよりも若干遠
くに偏向せしめる。エラーの大きさは走査線の両
端において0.001インチ（0.025mm）程度である。
このエラーを補償するため、透明領域はレチクル
上に非リニアな形態で配置されている。これらの
領域は配列体全体に亘つて均一な巾であるが、こ
れら領域間の間隔は配列体の両端程広くなる。換
信すれば、第８図に若干誇張されて示された様
に、不透明バーがレチクルの中央よりもその側部
程広くなつている。レンズ及びビームスプリツタ
に色収差があるにも拘らず、この修正により、基
準クロツク信号と書き込みビームの位置との間に
正確な関係が確保される。
長さに沿つて複数個の不透明領域１６６と透過領
域１６７とが交互に配置されたレチクル１６４を
備えている。不透明領域は透過領域を形成する透
明媒体上に離間された不透明バーより成る。レン
ズ７９及びダイクロイツクビームスプリツタ８１
は色収差を有すると分つており、これは走査線の
両端程基準ビームを書き込みビームよりも若干遠
くに偏向せしめる。エラーの大きさは走査線の両
端において0.001インチ（0.025mm）程度である。
このエラーを補償するため、透明領域はレチクル
上に非リニアな形態で配置されている。これらの
領域は配列体全体に亘つて均一な巾であるが、こ
れら領域間の間隔は配列体の両端程広くなる。換
信すれば、第８図に若干誇張されて示された様
に、不透明バーがレチクルの中央よりもその側部
程広くなつている。レンズ及びビームスプリツタ
に色収差があるにも拘らず、この修正により、基
準クロツク信号と書き込みビームの位置との間に
正確な関係が確保される。
電気回路及び光学要素における伝送遅延も出力
媒体上での像形成に位置エラーを生じ勝ちである
ことが分つている。このエラーは、所与のデータ
ビツトを造影すべき位置に書き込みビームがある
時に基準クロツク信号が発生されるために生じ
る。基準クロツク信号がデータバツフア及びマル
チプレクサに達する時までに、データは変調器に
達しそして変調されたビームは出力媒体に達し、
このビームはそのクロツクパルスが発生された時
にそれがあつた位置から移動してしまう。このエ
ラーの影響は走査線に亘るビームの速度を非リニ
アにすることによつて補償される。以下で詳細に
述べる様に、ビーム速度は各走査線の中央程増加
しそしてその両端程に減少する。従つて、比較的
一定の伝送遅延により、走査線の両端よりもその
中央程像の位置エラーが大きくされる。このエラ
ーは、データビツトを造影すべき位置にビームが
達する時より前に基準クロツクパルスが生じる様
に基準クロツクパルスを発生することによつて回
避される。出力媒体は最小ビーム速度におけるエ
ラーを補償する様にシフトされ、そして既に発生
されたクロツクパルスは速度の変化を補償する様
に進み方向に位相シフトされる。この位相シフト
を行なう手段が基準クロツク発生器に含まれてい
る。
媒体上での像形成に位置エラーを生じ勝ちである
ことが分つている。このエラーは、所与のデータ
ビツトを造影すべき位置に書き込みビームがある
時に基準クロツク信号が発生されるために生じ
る。基準クロツク信号がデータバツフア及びマル
チプレクサに達する時までに、データは変調器に
達しそして変調されたビームは出力媒体に達し、
このビームはそのクロツクパルスが発生された時
にそれがあつた位置から移動してしまう。このエ
ラーの影響は走査線に亘るビームの速度を非リニ
アにすることによつて補償される。以下で詳細に
述べる様に、ビーム速度は各走査線の中央程増加
しそしてその両端程に減少する。従つて、比較的
一定の伝送遅延により、走査線の両端よりもその
中央程像の位置エラーが大きくされる。このエラ
ーは、データビツトを造影すべき位置にビームが
達する時より前に基準クロツクパルスが生じる様
に基準クロツクパルスを発生することによつて回
避される。出力媒体は最小ビーム速度におけるエ
ラーを補償する様にシフトされ、そして既に発生
されたクロツクパルスは速度の変化を補償する様
に進み方向に位相シフトされる。この位相シフト
を行なう手段が基準クロツク発生器に含まれてい
る。
第９図に示された様に、基準クロツク発生器
は、位相検出器１７１、電圧制御式発振器１７
２、Ｎで分割するカウンタ１７３、及び遅延回路
網１７４より成る位相固定ループ（Phase
locked loop）を備えている。光電子増倍管８８
からの基準信号は位相比較器の１方の入力に印加
され、位相比較器の出力は電圧制御式発振器の入
力に接続されている。この発振器の出力はカウン
タ１７３の入力へ接続され、そしてこのカウンタ
の出力は遅延回路の入力へ接続される。遅延回路
の出力は位相比較器の第２入力へ接続される。基
準クロツク信号は電圧制御式発振器の出力に現わ
れる。カウンタ１７３の容量は回路で与えるべき
倍率に基いて選択され、基準クロツクの割合は光
電子増倍管からの入力信号の割合のＮ倍である。
進み方向の位相シフトの程度はループにおける遅
延の程度によつて決定され、そしてここに示す１
実施例においては0.5乃至0.7MS程度の遅延によ
り4.5MHzの周波数において14ラジアン程度の位
相シフトが与えられる。この位相シフトにより、
基準クロツク信号はこれが実際上生じるよりも前
に現われ、従つて装置に電気及び光学的な遅延が
あつても各データビツトは適正な位置に造影され
る。
は、位相検出器１７１、電圧制御式発振器１７
２、Ｎで分割するカウンタ１７３、及び遅延回路
網１７４より成る位相固定ループ（Phase
locked loop）を備えている。光電子増倍管８８
からの基準信号は位相比較器の１方の入力に印加
され、位相比較器の出力は電圧制御式発振器の入
力に接続されている。この発振器の出力はカウン
タ１７３の入力へ接続され、そしてこのカウンタ
の出力は遅延回路の入力へ接続される。遅延回路
の出力は位相比較器の第２入力へ接続される。基
準クロツク信号は電圧制御式発振器の出力に現わ
れる。カウンタ１７３の容量は回路で与えるべき
倍率に基いて選択され、基準クロツクの割合は光
電子増倍管からの入力信号の割合のＮ倍である。
進み方向の位相シフトの程度はループにおける遅
延の程度によつて決定され、そしてここに示す１
実施例においては0.5乃至0.7MS程度の遅延によ
り4.5MHzの周波数において14ラジアン程度の位
相シフトが与えられる。この位相シフトにより、
基準クロツク信号はこれが実際上生じるよりも前
に現われ、従つて装置に電気及び光学的な遅延が
あつても各データビツトは適正な位置に造影され
る。
ビームの水平方向速度に変動があつても走査線
に亘つて出力媒体の露光を均一に保持する様に書
き込みビームの強さを調整する手段も設けられて
いる。走査ミラー７３が比較的一定の角速度で回
転する状態では、書き込みビームの水平方向速度
が走査線の両端程減速する傾向となる。それによ
り生じる露光の増加を補償するため、走査線の両
端程ビームの強さを減少する手段が設けられてい
る。この手段は強度修正回路１７６を備え、この
回路はビームの水平方向速度に比例した信号が生
じる位置で基準クロツク発生器の位相固定ループ
１６９に接続される。この比例信号は位相比較器
１７１の出力に生じ、第９図に波形１７７で示さ
れている。強度修正回路は入力キヤパシタ１７８
及び増巾器１７９を備えている。この増巾器の出
力信号は走査線の両端程減少する電圧であり、こ
の電圧は走査線全体に亘り露光を均一に保持する
様に書き込みビームの強さを変えるため変調器５
２へ印加される。
に亘つて出力媒体の露光を均一に保持する様に書
き込みビームの強さを調整する手段も設けられて
いる。走査ミラー７３が比較的一定の角速度で回
転する状態では、書き込みビームの水平方向速度
が走査線の両端程減速する傾向となる。それによ
り生じる露光の増加を補償するため、走査線の両
端程ビームの強さを減少する手段が設けられてい
る。この手段は強度修正回路１７６を備え、この
回路はビームの水平方向速度に比例した信号が生
じる位置で基準クロツク発生器の位相固定ループ
１６９に接続される。この比例信号は位相比較器
１７１の出力に生じ、第９図に波形１７７で示さ
れている。強度修正回路は入力キヤパシタ１７８
及び増巾器１７９を備えている。この増巾器の出
力信号は走査線の両端程減少する電圧であり、こ
の電圧は走査線全体に亘り露光を均一に保持する
様に書き込みビームの強さを変えるため変調器５
２へ印加される。
再び第７図を参照すれば、フレーム基準発生器
１５８はスキヤナ同期信号SCANNER SYNCを
発生し、これはスキヤナモータ７７を同期するの
に用いられる。スキヤナモータは位相固定ループ
１８２において位相比較器１８３、電圧制御式発
振器１８４、増巾器１８５及びエンコーダ１８６
に接続される。SCANNER SYNC信号は位相比
較器の１方の入力に印加され、そしてこの位相比
較器の出力は電圧制御式発振器の入力へ接続され
る。この発振器の出力はスキヤナモータに駆動信
号を与える増巾器１８５の入力へ接続される。エ
ンコーダ１８６はシヤフト位置エンコーダであ
り、これはミラー７３が新たな走査を開始する位
置にある時にインデツクス信号INDEXを与え
る。このINDEX信号は位相比較器の第２入力へ
印加される。
１５８はスキヤナ同期信号SCANNER SYNCを
発生し、これはスキヤナモータ７７を同期するの
に用いられる。スキヤナモータは位相固定ループ
１８２において位相比較器１８３、電圧制御式発
振器１８４、増巾器１８５及びエンコーダ１８６
に接続される。SCANNER SYNC信号は位相比
較器の１方の入力に印加され、そしてこの位相比
較器の出力は電圧制御式発振器の入力へ接続され
る。この発振器の出力はスキヤナモータに駆動信
号を与える増巾器１８５の入力へ接続される。エ
ンコーダ１８６はシヤフト位置エンコーダであ
り、これはミラー７３が新たな走査を開始する位
置にある時にインデツクス信号INDEXを与え
る。このINDEX信号は位相比較器の第２入力へ
印加される。
スキヤナ同期信号SCANNER SYNCは位相固
定ループ１８７の入力にも印加され、この位相固
定ループはSCANNER SYNCパルスの割合の適
当な倍率（例えば10倍）の信号を与え、そしてこ
の回路の出力はプリセツト式カウンタ１８８のク
ロツク入力に接続される。このカウンタの出力は
スキヤナ同期信号SCANNER SYNCと同期され
たキヤリジクロツク信号CARRIAGE CLOCKで
あり、これはキヤリジの移動を制御するのに用い
られる。キヤリジの速度はこのキヤリジクロツク
信号CARRIAGE CLOCKの周波数に比例する。
定ループ１８７の入力にも印加され、この位相固
定ループはSCANNER SYNCパルスの割合の適
当な倍率（例えば10倍）の信号を与え、そしてこ
の回路の出力はプリセツト式カウンタ１８８のク
ロツク入力に接続される。このカウンタの出力は
スキヤナ同期信号SCANNER SYNCと同期され
たキヤリジクロツク信号CARRIAGE CLOCKで
あり、これはキヤリジの移動を制御するのに用い
られる。キヤリジの速度はこのキヤリジクロツク
信号CARRIAGE CLOCKの周波数に比例する。
前記した様に、本装置は種々様々な出力媒体に
用いることができ、出力媒体を別のものに変える
と所与の像を形成するのに一般的に異なつた露光
時間が必要とされる。例えば、ハロゲン化銀フイ
ルムは像を形成するのに２分の露光しか必要でな
いが、ジアゾフイルムは同じ像を形成するのに80
分もの露光を必要とする。所望の露光レンジを与
えるため、キヤリジの速度は可変であり且つ走査
線が繰り返される。キヤリジの速度はカウンタ１
８８のプリセツト入力に印加される遅速信号
SLOWNESSによつて制御される。この信号はキ
ヤリジクロツク信号CARRIAGE CLOCKを遅速
係数Ｎだけ減少せしめそして各走査がＮ回繰り返
される。従つて遅速係数１の場合にはキヤリジが
その最大速度で移動しそして各線は１回だけ走査
される。遅速係数が10の場合にはキヤリジの速度
が最大速度1/10に減少され、各線が同じデータで
10回走査される様に走査が繰り返される。
用いることができ、出力媒体を別のものに変える
と所与の像を形成するのに一般的に異なつた露光
時間が必要とされる。例えば、ハロゲン化銀フイ
ルムは像を形成するのに２分の露光しか必要でな
いが、ジアゾフイルムは同じ像を形成するのに80
分もの露光を必要とする。所望の露光レンジを与
えるため、キヤリジの速度は可変であり且つ走査
線が繰り返される。キヤリジの速度はカウンタ１
８８のプリセツト入力に印加される遅速信号
SLOWNESSによつて制御される。この信号はキ
ヤリジクロツク信号CARRIAGE CLOCKを遅速
係数Ｎだけ減少せしめそして各走査がＮ回繰り返
される。従つて遅速係数１の場合にはキヤリジが
その最大速度で移動しそして各線は１回だけ走査
される。遅速係数が10の場合にはキヤリジの速度
が最大速度1/10に減少され、各線が同じデータで
10回走査される様に走査が繰り返される。
キヤリジモータ４４は、アツプ／ダウンカウン
タ１８９、デジタル−アナログコンバータ１９
０、増巾器１９１、及びエンコーダ１９２より成
るループによつてキヤリジクロツク信号
CARRIAGE CLOCKと同期して駆動される。キ
ヤリジクロツク信号はカウンタのアツプカウント
入力へ印加され、そしてこのカウンタの出力はデ
ジタル−アナログコンバータの入力へ接続され
る。アナログ出力信号はキヤリジモータの駆動信
号を与えるために増巾される。エンコーダ１９２
はキヤリジの位置に相当する信号を与えるためリ
ニアスケールを有するレチクルを備えている。こ
の信号はカウンタ１８９のダウンカウント入力へ
印加される。
タ１８９、デジタル−アナログコンバータ１９
０、増巾器１９１、及びエンコーダ１９２より成
るループによつてキヤリジクロツク信号
CARRIAGE CLOCKと同期して駆動される。キ
ヤリジクロツク信号はカウンタのアツプカウント
入力へ印加され、そしてこのカウンタの出力はデ
ジタル−アナログコンバータの入力へ接続され
る。アナログ出力信号はキヤリジモータの駆動信
号を与えるために増巾される。エンコーダ１９２
はキヤリジの位置に相当する信号を与えるためリ
ニアスケールを有するレチクルを備えている。こ
の信号はカウンタ１８９のダウンカウント入力へ
印加される。
第１０図を参照すれば、データの付与を、像形
成の始めのキヤリジ及びスキヤナの位置と同期す
る手段も設けられている。キヤリジ位置エンコー
ダ１９２からの信号はプリセツト式カウンタ１９
３の入力へ印加され、像形成を開始すべき位置に
相当するカウントが親指操作ホイールスイツチ１
９４によつてこのカウンタのプリセツト入力に印
加される。カウンタ１９３の出力はフリツプ−フ
ロツプ１９５の入力に接続されそしてこのフリツ
プ−フロツプの出力は第２フリツプ−フロツプ１
９６の１方の入力へ接続される。スキヤナ位置エ
ンコーダ１８６からのINDEX信号はフリツプ−
フロツプ１９６の第２入力に印加される。作動
中、カウンタ１９３は、スイツチ１９４でセツト
された位置にキヤリジが達するまでキヤリジ位置
エンコーダからのパルスをカウントする。このカ
ウントに達すると、フリツプ−フロツプ１９５，
１９６がセツトされ、スキヤナ位置エンコーダ１
８６からの次のインデツクス（INDEX）信号が
フリツプ−フロツプ１９６をしてGO信号を比較
器１５２へ付与せしめ、データの付与を開始せし
める。
成の始めのキヤリジ及びスキヤナの位置と同期す
る手段も設けられている。キヤリジ位置エンコー
ダ１９２からの信号はプリセツト式カウンタ１９
３の入力へ印加され、像形成を開始すべき位置に
相当するカウントが親指操作ホイールスイツチ１
９４によつてこのカウンタのプリセツト入力に印
加される。カウンタ１９３の出力はフリツプ−フ
ロツプ１９５の入力に接続されそしてこのフリツ
プ−フロツプの出力は第２フリツプ−フロツプ１
９６の１方の入力へ接続される。スキヤナ位置エ
ンコーダ１８６からのINDEX信号はフリツプ−
フロツプ１９６の第２入力に印加される。作動
中、カウンタ１９３は、スイツチ１９４でセツト
された位置にキヤリジが達するまでキヤリジ位置
エンコーダからのパルスをカウントする。このカ
ウントに達すると、フリツプ−フロツプ１９５，
１９６がセツトされ、スキヤナ位置エンコーダ１
８６からの次のインデツクス（INDEX）信号が
フリツプ−フロツプ１９６をしてGO信号を比較
器１５２へ付与せしめ、データの付与を開始せし
める。
本装置は、出力像の質を低下することのあるそ
の他の多数の潜在的は歪をも補償する。これらの
歪はキヤリジの連続的な移動による走査線の傾斜
や、可能媒体に走査線を繰返した時の像のぼけ
や、キヤリジの不規則な移動による走査線の不適
当な垂直方向位置設定や、スキヤナ７２によつて
与えられる走査線の若干の曲がり等を含む。
の他の多数の潜在的は歪をも補償する。これらの
歪はキヤリジの連続的な移動による走査線の傾斜
や、可能媒体に走査線を繰返した時の像のぼけ
や、キヤリジの不規則な移動による走査線の不適
当な垂直方向位置設定や、スキヤナ７２によつて
与えられる走査線の若干の曲がり等を含む。
第１１図は、走査プロセス中にキヤリジが連続
的に駆動された時に生じる走査線の傾斜を示して
いる。キヤリジは矢印１９７で示された様に上方
に駆動されそして走査はこの図面で見て左から右
へと進むものと仮定する。キヤリジが静止してい
る場合は、点線１９８で示された様に走査線はキ
ヤリジの移動に対して垂直な方向に出力媒体に亘
つて直線状に延びる。然し乍ら、走査プロセス中
にキヤリジが移動される時は、線１９９で示され
た様に走査線が傾斜される。傾斜の程度はキヤリ
ジとスキヤナとの相対速度の関数であり、線の間
隔が0.001インチ（0.025mm）の場合、走査線の右
側に向つて配置される点は、それが配置さるべき
ところよりも約0.001インチ（0.025mm）だけ下と
なる。
的に駆動された時に生じる走査線の傾斜を示して
いる。キヤリジは矢印１９７で示された様に上方
に駆動されそして走査はこの図面で見て左から右
へと進むものと仮定する。キヤリジが静止してい
る場合は、点線１９８で示された様に走査線はキ
ヤリジの移動に対して垂直な方向に出力媒体に亘
つて直線状に延びる。然し乍ら、走査プロセス中
にキヤリジが移動される時は、線１９９で示され
た様に走査線が傾斜される。傾斜の程度はキヤリ
ジとスキヤナとの相対速度の関数であり、線の間
隔が0.001インチ（0.025mm）の場合、走査線の右
側に向つて配置される点は、それが配置さるべき
ところよりも約0.001インチ（0.025mm）だけ下と
なる。
第１２図は、スキヤナ７２によつて走査線へ導
入される若干の曲りを示している。第１２図にお
いて、所望の直線トレースが点線２０１で示され
ており、そしてスキヤナによつて生じた若干曲つ
たトレースが線２０２で誇張されて示されてい
る。実際のトレースは走査線の両端及び中央では
所望路にあるが、中央と各端との間では曲つた経
路に沿つてずらされている。走査線の長さが17.8
インチ（45.2cm）の場合は、最大のずれが0.004
インチ（0.1mm）乃至0.006インチ（0.15mm）程度
である。
入される若干の曲りを示している。第１２図にお
いて、所望の直線トレースが点線２０１で示され
ており、そしてスキヤナによつて生じた若干曲つ
たトレースが線２０２で誇張されて示されてい
る。実際のトレースは走査線の両端及び中央では
所望路にあるが、中央と各端との間では曲つた経
路に沿つてずらされている。走査線の長さが17.8
インチ（45.2cm）の場合は、最大のずれが0.004
インチ（0.1mm）乃至0.006インチ（0.15mm）程度
である。
これら４つの歪を補償する手段が第１３図に示
されている。この手段はプリセツト式のダウンカ
ウンタ２０６を備え、このクロツク入力にはスキ
ヤナINDEX信号が印加されそしてそのプリセツ
ト入力はSLOWNESS信号が印加される。従つ
て、このカウンタはＮで分割するカウンタとして
働き、スキヤナINDEX信号を遅速係数で分割す
る。カウンタ２０６のオーバーフロー出力は第２
のプリセツト式ダウンカウンタ２０７のロード入
力へ接続される。キヤリジ位置信号はこのカウン
タ２０７のクロツク入力へ印加され、そしてこの
カウンタの重み付けされた出力は加算器２０８の
１方の入力へ接続される。走査線間の所望の間隔
に相当する一定のSCAN SPACING信号は加算
器の第２入力に印加され、そして加算器の出力は
カウンタ２０７のプリセツト入力へ接続される。
通常のキヤリジ移動（SLOWNESS＝１）の場合
は加算器２０８のカウントが各走査線の開始にカ
ウンタ２０７へロードされる。キヤリジが移動す
るにつれて、キヤリジ位置エンコーダにより発生
されるパルスはその走査線の終りに達するまでカ
ウンタ２０７及び加算器２０８のカウントを減少
する。次の走査線の始めに、加算器に残つている
カウントがカウンタ２０７へ送られ、従つて１つ
の走査線間隔に相当する量だけカウンタの出力を
高める。従つて、各々の走査が進むにつれて、カ
ウンタ２０７の出力における信号のレベルが減少
し、そしてこの信号から導出された制御信号が圧
電ミラー６９へ印加されて、傾斜を補償する様に
書き込みビームを偏向する。
されている。この手段はプリセツト式のダウンカ
ウンタ２０６を備え、このクロツク入力にはスキ
ヤナINDEX信号が印加されそしてそのプリセツ
ト入力はSLOWNESS信号が印加される。従つ
て、このカウンタはＮで分割するカウンタとして
働き、スキヤナINDEX信号を遅速係数で分割す
る。カウンタ２０６のオーバーフロー出力は第２
のプリセツト式ダウンカウンタ２０７のロード入
力へ接続される。キヤリジ位置信号はこのカウン
タ２０７のクロツク入力へ印加され、そしてこの
カウンタの重み付けされた出力は加算器２０８の
１方の入力へ接続される。走査線間の所望の間隔
に相当する一定のSCAN SPACING信号は加算
器の第２入力に印加され、そして加算器の出力は
カウンタ２０７のプリセツト入力へ接続される。
通常のキヤリジ移動（SLOWNESS＝１）の場合
は加算器２０８のカウントが各走査線の開始にカ
ウンタ２０７へロードされる。キヤリジが移動す
るにつれて、キヤリジ位置エンコーダにより発生
されるパルスはその走査線の終りに達するまでカ
ウンタ２０７及び加算器２０８のカウントを減少
する。次の走査線の始めに、加算器に残つている
カウントがカウンタ２０７へ送られ、従つて１つ
の走査線間隔に相当する量だけカウンタの出力を
高める。従つて、各々の走査が進むにつれて、カ
ウンタ２０７の出力における信号のレベルが減少
し、そしてこの信号から導出された制御信号が圧
電ミラー６９へ印加されて、傾斜を補償する様に
書き込みビームを偏向する。
キヤリジがその正しい位置にない場合には、キ
ヤリジ位置パルスがそれに応じて変位され、そし
て走査線はキヤリジ位置エラーを補償するに相当
する量だけシフトされる。
ヤリジ位置パルスがそれに応じて変位され、そし
て走査線はキヤリジ位置エラーを補償するに相当
する量だけシフトされる。
キヤリジが遅い速度（例えばSLOWNESS＝
10）で移動する時は、加算器２０８からのカウン
トが各走査線の始めにカウンタ２０７へ転送され
ない。この転送はSLOWNESS信号によつて決定
された割合で生じ、例えばSLOWNESS（遅速）
係数10の場合は10本の走査線ごとに生じる。カウ
ンタ２０８の出力は減少し続け、像形成ビーム
を、出力媒体の同じトラツク即ち線に沿つて10本
の次々の走査線に対して走査せしめる。従つて、
傾斜及びキヤリジ位置エラーに対して修正がなさ
れると同時に遅速によるぼけ歪も除去される。
10）で移動する時は、加算器２０８からのカウン
トが各走査線の始めにカウンタ２０７へ転送され
ない。この転送はSLOWNESS信号によつて決定
された割合で生じ、例えばSLOWNESS（遅速）
係数10の場合は10本の走査線ごとに生じる。カウ
ンタ２０８の出力は減少し続け、像形成ビーム
を、出力媒体の同じトラツク即ち線に沿つて10本
の次々の走査線に対して走査せしめる。従つて、
傾斜及びキヤリジ位置エラーに対して修正がなさ
れると同時に遅速によるぼけ歪も除去される。
スキヤナ７２によつて走査線に導入される曲が
りを補償するため、走査の各点において必要とさ
れる補償の程度が決定され、そして必要な修正電
圧を定めるデータがリードオンリメモリ
（ROM）２１１に記憶される。このROMに対す
るアドレス信号は基準クロツク信号によつてクロ
ツクされるアドレスカウンタ２１２に与えられ
る。従つて、線に沿つて走査が進むについて修正
信号データがROMから読み出されそしてこれを
用いて圧電ミラー６９の修正信号が与えられる。
りを補償するため、走査の各点において必要とさ
れる補償の程度が決定され、そして必要な修正電
圧を定めるデータがリードオンリメモリ
（ROM）２１１に記憶される。このROMに対す
るアドレス信号は基準クロツク信号によつてクロ
ツクされるアドレスカウンタ２１２に与えられ
る。従つて、線に沿つて走査が進むについて修正
信号データがROMから読み出されそしてこれを
用いて圧電ミラー６９の修正信号が与えられる。
カウンタ２０７及びROM２１１の出力は別の
加算器２１６の入力へ接続され、この加算器は追
従及び屈曲走査修正信号を合成して１つの信号を
作り、この信号はデジタル−アナログコンバータ
２１７によつてアナログ信号に変換される。この
アナログ信号はミラー駆動装置２１８を経て圧電
ミラーへ印加される。従つて、ミラーは、ビーム
を垂直方向（即ち、キヤリジの移動方向）に変位
してキヤリジの移動軸に垂直な直線状の均一離間
されたぼけのない走査線を維持する様にビームを
偏向する様傾斜される。
加算器２１６の入力へ接続され、この加算器は追
従及び屈曲走査修正信号を合成して１つの信号を
作り、この信号はデジタル−アナログコンバータ
２１７によつてアナログ信号に変換される。この
アナログ信号はミラー駆動装置２１８を経て圧電
ミラーへ印加される。従つて、ミラーは、ビーム
を垂直方向（即ち、キヤリジの移動方向）に変位
してキヤリジの移動軸に垂直な直線状の均一離間
されたぼけのない走査線を維持する様にビームを
偏向する様傾斜される。
本発明の装置の操作及び使用並びに本発明の方
法は次の様に要約できる。アートワークの像が形
成さるべき出力媒体はプラテン４７に配置し、そ
して第１図に示した様にキヤリジをそのスタート
位置に戻す。次いでキヤリジ駆動モータ４４を付
勢し、そして像形成を開始すべき位置にキヤリジ
が来た時に、テープ及びコンピユータからのデー
タの付与を開始する。レーザ５１からの書き込み
ビームをテープからのデータに基いて変調し、そ
してこのビームを出力媒体に亘つて走査して所望
の像を形成する。書き込みビームと同時にレーザ
６２からの基準ビームを偏向しそして基準マスク
８６へと向け、変調器へのデータ付与を制御する
基準クロツク信号を作る。前記した様に、印刷回
路アートワークとして充分な精度を持つた像の形
成を妨げることのある色収差やその他の歪に対し
て補償を行なう。
法は次の様に要約できる。アートワークの像が形
成さるべき出力媒体はプラテン４７に配置し、そ
して第１図に示した様にキヤリジをそのスタート
位置に戻す。次いでキヤリジ駆動モータ４４を付
勢し、そして像形成を開始すべき位置にキヤリジ
が来た時に、テープ及びコンピユータからのデー
タの付与を開始する。レーザ５１からの書き込み
ビームをテープからのデータに基いて変調し、そ
してこのビームを出力媒体に亘つて走査して所望
の像を形成する。書き込みビームと同時にレーザ
６２からの基準ビームを偏向しそして基準マスク
８６へと向け、変調器へのデータ付与を制御する
基準クロツク信号を作る。前記した様に、印刷回
路アートワークとして充分な精度を持つた像の形
成を妨げることのある色収差やその他の歪に対し
て補償を行なう。
電子制御及びデータ出力シーケンスが第１４図
のタイミング図に示されている。この図面におい
ては圧縮解除されたデータが波形２２１で示され
ている。データの各走査線の始めに前置きワード
に沖答してSCANNER SYNCパルス（波形２２
２）が発生される。装置が適正に同期された時に
は、スキヤナINDEXパルス（波形２２３）が
SCANNER SYNCパルスと一致し、そしてSEL
BUF信号（波形２２４）がこれら２つのパルス
と同期される。SEL BUF信号はいずれのバツフ
アにデータを読み込むか及びいずれのバツフアか
らデータを読み出すかを決定し、そして基準クロ
ツク信号（波形２２６）は選択されたバツフアか
ら変調器へのデータの付与を制御する。
CARRIAGE CLOCK信号（波形２２７）は
SCANNER SYNC信号と同期されそしてその倍
数である。例えば各SCANNER SYNCパルスに
対しCARRIAGE CLOCKパルスは10個ある。基
準クロツクパルスに応答して変調器へ付与される
像データが波形２２８で表わされている。
のタイミング図に示されている。この図面におい
ては圧縮解除されたデータが波形２２１で示され
ている。データの各走査線の始めに前置きワード
に沖答してSCANNER SYNCパルス（波形２２
２）が発生される。装置が適正に同期された時に
は、スキヤナINDEXパルス（波形２２３）が
SCANNER SYNCパルスと一致し、そしてSEL
BUF信号（波形２２４）がこれら２つのパルス
と同期される。SEL BUF信号はいずれのバツフ
アにデータを読み込むか及びいずれのバツフアか
らデータを読み出すかを決定し、そして基準クロ
ツク信号（波形２２６）は選択されたバツフアか
ら変調器へのデータの付与を制御する。
CARRIAGE CLOCK信号（波形２２７）は
SCANNER SYNC信号と同期されそしてその倍
数である。例えば各SCANNER SYNCパルスに
対しCARRIAGE CLOCKパルスは10個ある。基
準クロツクパルスに応答して変調器へ付与される
像データが波形２２８で表わされている。
本発明は多数の重要な特徴及び効果を与える。
ベーステーブル及びその他の支持構造体はどつし
りとした構造体であるから光学部品は非常に安定
であり且つ振動もない。種々様々な出力媒体を容
易に受け容れることができ、本装置によつて作ら
れたアートワークは像領域全体に亘つて均一且つ
高品質である。本装置は像領域のいかなる点にお
いても且ついかなるパターン密度ででも0.002イ
ンチ（0.050mm）という線巾及び間隔を作ること
ができる。出力像領域における形状及び間隔は入
力データで定められた寸法の0.001インチ（0.025
mm）以内である。走査方向に平行又は垂直な線に
対しては、エツジの不規則性ないしは解像度が±
0.0005インチ（0.013mm）未満である。これは線
上の最も内側の点と最も外側の点との間の横方向
変位を測定することによつて決定されたものであ
る。
ベーステーブル及びその他の支持構造体はどつし
りとした構造体であるから光学部品は非常に安定
であり且つ振動もない。種々様々な出力媒体を容
易に受け容れることができ、本装置によつて作ら
れたアートワークは像領域全体に亘つて均一且つ
高品質である。本装置は像領域のいかなる点にお
いても且ついかなるパターン密度ででも0.002イ
ンチ（0.050mm）という線巾及び間隔を作ること
ができる。出力像領域における形状及び間隔は入
力データで定められた寸法の0.001インチ（0.025
mm）以内である。走査方向に平行又は垂直な線に
対しては、エツジの不規則性ないしは解像度が±
0.0005インチ（0.013mm）未満である。これは線
上の最も内側の点と最も外側の点との間の横方向
変位を測定することによつて決定されたものであ
る。
以上の説明より、印刷回路基板のアートワーク
を作る新規で且つ改良された装置及び方法が提供
されたことが明らかであろう。好ましい実施例に
ついてのみ説明したが、本発明の範囲から逸脱せ
ずに或る種の変型がなされ得ることが当業者に明
らかであろう。
を作る新規で且つ改良された装置及び方法が提供
されたことが明らかであろう。好ましい実施例に
ついてのみ説明したが、本発明の範囲から逸脱せ
ずに或る種の変型がなされ得ることが当業者に明
らかであろう。
第１図は印刷回路のアートワークを製造するた
めの本発明による装置の１実施例を示した部分破
断概略斜視図、第２図は第１図の２−２線に沿つ
た部分正面図、第３図は第２図の３−３線に沿つ
た部分平面図、第４図は第２図の４−４線に沿つ
た部分側面図、第５図は第３図の５−５線に沿つ
た部分断面図、第６図は第３図の６−６線に沿つ
た部分断面図、第７図は第１図の装置の機能ブロ
ツク図、第８図は第１図の装置の基準マスクのレ
チクルを示した概略平面図、第９図は第７図の装
置の基準クロツク発生器及び像修正回路を示した
ブロツク図、第１０図は第１図の装置のキヤリジ
及びスキヤナ同期回路を示したブロツク図、第１
１図及び第１２図は第１図の装置で修正される或
る種の像歪を示した図、第１３図は第１１図及び
第１２図に示された形式の非直線性を補償する回
路のブロツク図、そして第１４図は第７図の装置
のタイミング図である。 ２１……キヤビネツト、２２……キヤビネツト
の第１区分、２４……キヤビネツトの第２区分、
２６……キーボード端末装置、２９……テーブ
ル、３１……スラブ、３２……ペデスタル、３４
……ベーステーブル、３６，３７……小テーブ
ル、４１……キヤリジ組立体、４２……ガイドレ
ール、４３……キヤリジ、４４……モータ、４７
……プラテン、５１……レーザ、５２……音響−
光学変調器、５４……ミラー、５６……紫外線減
衰器／フイルタ、５７，５８……ミラー、５９…
…ダイクロイツクビーム合成器、６１……共通ビ
ーム路、６２……レーザ、６３……レンズ、６４
……ビーム伸張器、６６……ミラー、６９……圧
電ミラー、７２……スキヤナ、８１……ビームス
プリツタ、８２……ミラー、８６……基準マス
ク、８８……光電子増倍管、１０３，１０６……
ストツパ、１０４，１０７……液圧シリンダ、１
１８，１１９，１２１，１２２……ストツパ、１
３７……揃えピン。
めの本発明による装置の１実施例を示した部分破
断概略斜視図、第２図は第１図の２−２線に沿つ
た部分正面図、第３図は第２図の３−３線に沿つ
た部分平面図、第４図は第２図の４−４線に沿つ
た部分側面図、第５図は第３図の５−５線に沿つ
た部分断面図、第６図は第３図の６−６線に沿つ
た部分断面図、第７図は第１図の装置の機能ブロ
ツク図、第８図は第１図の装置の基準マスクのレ
チクルを示した概略平面図、第９図は第７図の装
置の基準クロツク発生器及び像修正回路を示した
ブロツク図、第１０図は第１図の装置のキヤリジ
及びスキヤナ同期回路を示したブロツク図、第１
１図及び第１２図は第１図の装置で修正される或
る種の像歪を示した図、第１３図は第１１図及び
第１２図に示された形式の非直線性を補償する回
路のブロツク図、そして第１４図は第７図の装置
のタイミング図である。 ２１……キヤビネツト、２２……キヤビネツト
の第１区分、２４……キヤビネツトの第２区分、
２６……キーボード端末装置、２９……テーブ
ル、３１……スラブ、３２……ペデスタル、３４
……ベーステーブル、３６，３７……小テーブ
ル、４１……キヤリジ組立体、４２……ガイドレ
ール、４３……キヤリジ、４４……モータ、４７
……プラテン、５１……レーザ、５２……音響−
光学変調器、５４……ミラー、５６……紫外線減
衰器／フイルタ、５７，５８……ミラー、５９…
…ダイクロイツクビーム合成器、６１……共通ビ
ーム路、６２……レーザ、６３……レンズ、６４
……ビーム伸張器、６６……ミラー、６９……圧
電ミラー、７２……スキヤナ、８１……ビームス
プリツタ、８２……ミラー、８６……基準マス
ク、８８……光電子増倍管、１０３，１０６……
ストツパ、１０４，１０７……液圧シリンダ、１
１８，１１９，１２１，１２２……ストツパ、１
３７……揃えピン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 印刷回路基板の製造に使用する装置におい
て、 この回路基板上に形成されるアートワークを表
すデータソースと、 可干渉性放射ビームを与えるレーザー手段と、 前記データによりそのビームを変調する手段
と、 前記ビームの走査する位置において出力媒体を
保持する手段と、 前記変調されたビームによつて出力媒体の走査
を実行し、出力ビームに基づいてアートワークの
像を形成する手段と、 前記ビームの位置を感知し、前記出力媒体に基
づくビーム位置に相当する基準信号を与える手段
と、 前記基準信号に応答して、前記ビームの変調を
前記出力媒体上のビーム位置に同期させる手段
と、 前記基準信号の位相を時間の進む方向に移行
し、前記基準信号の発生と前記出力媒体上の変調
されたビームの到着との間の遅れを補償する手段
と、 を有することを特徴とする装置。 ２ 出力媒体上に像を生ずる装置において、 前記像を形成するデータソースと、 可干渉性の放射書き込みビームを与える手段
と、 与えられるデータ信号により前記書き込みビー
ムを変調する手段と、 基準ビームを与える手段と、 交互に配置された透明領域及び不透明領域を有
する基準マスクと、 前記出力媒体を横切る前記書き込みビーム、及
び前記基準マスクを横切る前記基準ビームを同時
に走査する手段と、 前記基準マスクによつて伝送される基準ビーム
エネルギーに応答して、前記出力媒体上に書き込
みビームの位置に相当する基準信号を与える手段
と、 前記データソースから前記変調手段にデータの
付与を制御する前記基準信号に応答して、前記書
き込みビームの変調と前記出力媒体内で前記ビー
ム位置との間で同期を与える手段と、 そして、前記基準信号の位相を時間の進む方向
に移行してこの装置内の信号伝送遅れを補償し、
その結果前記書き込みビームが前記基準信号で指
示される位置にちようどあるときデータが付与さ
れる手段と、 を有することを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/042,133 US4419675A (en) | 1979-05-24 | 1979-05-24 | Imaging system and method for printed circuit artwork and the like |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55166643A JPS55166643A (en) | 1980-12-25 |
| JPS6345086B2 true JPS6345086B2 (ja) | 1988-09-08 |
Family
ID=21920218
Family Applications (5)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6876980A Granted JPS55166643A (en) | 1979-05-24 | 1980-05-23 | Equipment for making art work used for printed circuit board |
| JP62155250A Pending JPS6323462A (ja) | 1979-05-24 | 1987-06-22 | 出力媒体上に像を形成する装置 |
| JP62155251A Granted JPS6323463A (ja) | 1979-05-24 | 1987-06-22 | 出力媒体上に印刷回路網の像を形成する装置 |
| JP62155249A Pending JPS6323123A (ja) | 1979-05-24 | 1987-06-22 | 印刷回路基板の製造に使用する装置 |
| JP62155252A Granted JPS6323122A (ja) | 1979-05-24 | 1987-06-22 | 出力媒体上に像を形成する装置 |
Family Applications After (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62155250A Pending JPS6323462A (ja) | 1979-05-24 | 1987-06-22 | 出力媒体上に像を形成する装置 |
| JP62155251A Granted JPS6323463A (ja) | 1979-05-24 | 1987-06-22 | 出力媒体上に印刷回路網の像を形成する装置 |
| JP62155249A Pending JPS6323123A (ja) | 1979-05-24 | 1987-06-22 | 印刷回路基板の製造に使用する装置 |
| JP62155252A Granted JPS6323122A (ja) | 1979-05-24 | 1987-06-22 | 出力媒体上に像を形成する装置 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4419675A (ja) |
| JP (5) | JPS55166643A (ja) |
| AU (2) | AU540855B2 (ja) |
| CA (1) | CA1149080A (ja) |
| DE (3) | DE3050984C2 (ja) |
| FR (1) | FR2457620A1 (ja) |
| GB (5) | GB2050750B (ja) |
| IT (1) | IT1130659B (ja) |
| NL (1) | NL8003018A (ja) |
| SE (1) | SE8003860L (ja) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU858529A1 (ru) * | 1980-04-25 | 1984-03-07 | Предприятие П/Я Г-4147 | Умножитель частоты следовани импульсов |
| JPS58102753A (ja) * | 1981-12-16 | 1983-06-18 | 宇部日東化成株式会社 | 積層成形体及びその成形方法 |
| USRE33931E (en) * | 1981-12-21 | 1992-05-19 | American Semiconductor Equipment Technologies | Laser pattern generating system |
| US4464030A (en) * | 1982-03-26 | 1984-08-07 | Rca Corporation | Dynamic accuracy X-Y positioning table for use in a high precision light-spot writing system |
| US4649497A (en) * | 1983-06-03 | 1987-03-10 | John Fluke Mfg. Co., Inc. | Computer-produced circuit board |
| US4584612A (en) * | 1984-02-21 | 1986-04-22 | Dainippon Screen Seizo Kabushiki Kaisha | Picture recording method |
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