JPH01180509A - レーザ走査装置 - Google Patents

レーザ走査装置

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JPH01180509A
JPH01180509A JP63005794A JP579488A JPH01180509A JP H01180509 A JPH01180509 A JP H01180509A JP 63005794 A JP63005794 A JP 63005794A JP 579488 A JP579488 A JP 579488A JP H01180509 A JPH01180509 A JP H01180509A
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JP
Japan
Prior art keywords
scanning
polygon mirror
deflector
correction data
rotating polygon
Prior art date
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Pending
Application number
JP63005794A
Other languages
English (en)
Inventor
Masao Kinoshita
雅夫 木下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP63005794A priority Critical patent/JPH01180509A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ走査装置、たとえばレーザビームプリン
タ等に用いられるレーザ走査!kkK関するもので、%
に、低速高精度モード、高速中稍度モードというよりに
ピッチ、走査速度を切換えることができるレーザ走査装
置に関する。
〔共通的技術〕
一般に、レーザ走査装置は、高速なレーザ走査とそれに
直交する方向への照射体の移動を付なう。
照射体の移動は通常、連続的に行なわれるため。
レーザ光が照射体を一回走査する間にも、照射体は、レ
ーザ走査方向と直角方向に、わずかではあるが移動する
ことになる。
すなわち、レーザ走査と、照射体の移動方向が真に直交
しているならは、−回の走査中の照射体の移動分だけ直
交がすれることになる。そのためレーザ走査と照射体の
移動力向を直交かられずかだけずらし、−回の走査中の
照14体の柊動分を相殺するようにしている。
〔従来の技術〕
従来の技術としては、レリえば特開昭59−29220
号公報に示されるようにレーザ走査機構がある。
従来のレーザ走査袈mは、光ビームを変調する光質vI
4器と、その元ビームを回転力向(以下主定食方向とい
う)K偏向する回転多面境と、偏向された元ビームを集
光する感光媒体面上に焦点をもった走査レンズと、感光
媒体を主走査方向と垂直方向に送る(以下副走査方向と
いう)送り機構から成る千面走査機榊において、前記−
転多面誂の回転軸に対する面倒れおよび走査レンズによ
る感元媒体上での走査ビームの収差′に補正するために
、回転多面鏡の誂向位置に応じたパルスを出力するエン
コーダート、エンコーダーカラのパルスヲ積算する積算
器と、積算器で示された回転多LIIli腕の@面位置
の口倒れと走査レンズの収差による感元媒体上でのゆが
みを補正するための補正+1ft=格納した記憶部と、
読み出されたディジタルの補正値をアナログに変換する
ディジタル・アナロクflit器と、ディジタル[相]
アナログ変換器の出力によp元ビーム′fr偏向するた
めの音響光学偏向器とを含んで構成される。
次に従来のレーザ走査装置について図面を参照して訃細
に説明する。
m2図は、従来のレーザ走査装置の一例を示す斜視図で
おる。
光源51からの元ビームを光変調器52によシ変調した
あと音響光学偏向器57を通して、光ビーム拡大元学系
53で元ビームを拡大する。そのあとロータリエンコー
ダ58で逆面の位置が検出できるようにした回転多l1
iLl誂54で主走査し、走査レンズ55で集光して、
感光媒体56上に投影する。このとき、ロータリエンコ
ーダ58からのパルス信号により、後述する方法で補正
(ロ)路59よシ、音響元学偏向器57に1回転多面鏡
の而倒れや走査レンズの収差を補正する補正信号が出力
ちれる。
次に補正tgIgを詐細に続開する。
第3図#i第2図に示す補正回路59のフロック図であ
る。ロータリエンコーダ58からのパルス信号は補正回
路の入力端子66に人力され、波形整形回路60全通し
て積算器61で極算される。
この積算された信号はあら°かじめ回転多面鏡64の鏡
面ごとの面倒れや走査レンズの収差を補正する補正値を
記憶したメモリからなる記憶部62をアクセスするメモ
リアドレス信号となる。I!e憶部62から読み出され
たエンコーダの位置に応じた補正1直はディジタル・ア
ナログ変換器63でアナログ信gK変換され、信号中の
高周波分を除去するためにローパスフィルタ64を通シ
、出力飽子67へ補正信号として出力嘔れる。タイばン
グ・コントローラ65は、第2LV中のエンコーダ58
からのパルス信号をもとに、積算器61.記憶部62、
ディジタル・アナログ変換器63のIHJ M劃−を行
う。
この出力端子6701g号は第2図に示す音響光学偏向
器57に補正信号として加えられる。音響光学偏向器5
7は人力信号に応じて第2図中の光変調器52を逼った
元ビームを副走査方向Yへ偏向し1回転多面虎の面倒れ
や走査レンズの収差を補正する。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来のレーザ走査装置は1回転多囲撓の圓倒れ
や走査レンズの収差を補正する情態は有するが、ビ、チ
や走査速度を切換えた場合に生ずる照射体と走査光との
相体位置の1れを補正する機能を鳴していないため、走
査条件を変えると直又度が変化するという欠点かあった
〔間勉点を解決まるだめの+殺〕
本発明のレーザ走査装置は、1g1転多闇境に照射する
レーザ光を回転多面鏡の回転軸方向に微小角贋偏向可能
な偏向器と、前記レーザ光を前記回転多囲誂によシ回転
軸に直角方向に偏向走査する回転多面続装置と、この偏
向走査されたレーザ光を照射体上に結像する結像レンズ
と、 14il記照射体を偏向走査方向とは直角方向に
連続的に移動させる移動手段と、照射体の複数の移動速
度の設定をする移動制御部と、前記回転多面鏡装置の複
数の回転速度を設定し1回転角度信号を発生する回転多
面鏡制御部とb nil記回転多而鏡面回転軸にえjす
る囲倒れ及び結像レンズによる照射体上での走査光の走
査と直角方向の位置ずれに、照射体の移動速度及び回転
多面鏡の回転速度の2つのた査条件によシ決まる照射体
と走査光との相対位置のずれを加えた補正データを各走
査条件ご−とに格納するメモリと、メモリから各走査条
件に対応する鞠正データを読み込み、前記回転角度信号
に応じた補正データにより前8C偏向器を駆動する偏向
器駆動装置とを含んで構成される。
〔実施例〕
次に1本発明の実九例について1図面を参照して詳細に
説明する。
第1図は1本発明の一実施例を示す斜視図でろる。
第1図に示すレーザた食装置は、レーザ発振器lから出
射されたレーザ光11をオン、オフする光変調器2と、
変調もれたレーザ光11の元軸を微小角度場同fiJ能
な偏向器3と、変調・偏向されたレーザ光11のビーム
径を拡大するビームエクスパンダ4と、ビーム径の拡大
したレーザ光11を、偏向器3で偏向した方向と直角方
向に回転走置する回転多面鏡5と1回転走査するレーザ
光11を一軸テープル8上の感光媒体10上にに元する
結像レンズ7と、−軸チーフル8?走査−12と直角方
向に駆動するモータ9と、モータ9を複数の回転速度で
回転制御可能なナープル制御部21と回転多面鏡5を回
転させる回転多面鏡装置6と。
回転多面鏡装置6を複数の回転速度で回転制御可能で、
かつ1回転角度信号Sを発生する回転多囲鏡制#m22
と1回転多面撓50回転軸に対する而倒れ及び結像レン
x7による熱射体lO上での走査線12の走査と直角方
向の位置ずれに、照射体i0の移動速度及び回転多面鏡
5の回転速度の2つの走査条件により決まる照tlr体
1oと走査光との相対位置ずれを加えた補正データDl
 a D* a・・・を各走査条件ごとに格納するメモ
リ24と、メモリ24から各走査条件に対応する補正デ
ータDiを読み込み1回転角度信号Sに応じた補正デー
タによシ、偏向器3を駆動する偏向器aA動装置23と
、テーブル制@都21.回転多曲銚匍j(2)部22゜
偏向器駆動装置23を統括制御する中央制御装置25と
からなる。
中央制御装置25から走査条件を設定し、チー7″ル割
##21によりテーブル8をおる速度で駆動し、また1
回転多面−制御部22によシ1回転多囲礎5をある速度
で駆動する。
一方、偏向器駆動装置#!、23は設定した走査条件に
合う、補正データDiをメモリ24がら耽み込み、1転
多而攪5の回転位置を回転角度信号SVCよジ確認しな
がら、その回転位置に応じた補正データにより、偏向器
3を駆動する。
とのよl:L、て、走査条件に応じて補正データを入れ
換えることにより、走査条件を変えても。
照射体と走査光との相対位置ずれを補正することができ
る。
上記実施例で、照射体の移動を一軸テーブルで行なって
いるが1回転ドラムに照射体を巻き付け。
回転ドラムの回転によシ、照射体を移動させて(なんら
問題はない。
〔発明の効果〕
本発明のレーザ走査装置は、照射体の移動速度及び回転
多面鏡の回転速度の2つの走査条件にょシ決まる照射体
と走査光との相対位置のずれを補正するデータを持ち、
走査時に榴正を行なうため。
走査条件を変えても位置ずれを起こさす的交度が変化す
ることがないという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第19は本発明の一実施例を示す斜視図、第2図は従来
の−fUを示す斜視図、第3図は第2図に示す補正回路
のプロ、り図である。 ■・・・・・・レーザ発振器、2・・・・・・光変調器
、3・・・・・・偏向器、4・・・・・・ビームエクス
パンダ、5・・・・・・回転多面鏡、6・・・・・・回
転多面鏡鏡装置、7・・・・・・結像レンズ、8・・・
・・・−軸テー7゛ル、9・・・・・・モータ、10・
・・・・・照射体、11・・・・・・レーザ元、12・
・・・・・走査線。 21・・・・・・テーブル制御部、22・・・・・・回
転多面鍵制御4部、23・・・・・・偏向器駆動装置、
24・・・・・・メモリ。 25・・・・・・中央制御装置。 代理人 弁理士  内 原   音 毒  哨 〜 第 2 酊 第 3  M

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 回転多面鏡に照射するレーザ光を回転多面鏡の回転軸方
    向に微小角度偏向可能な偏向器と、前記レーザ光を前記
    回転多面鏡により回転軸に直角方向に偏向走査する回転
    多面鏡装置と、この偏向走査されたレーザ光を照射体上
    に結像する結像レンズと、前記照射体を偏向走査方向と
    は直角方向に連続的に移動させる移動手段と、照射体の
    複数の移動速度の設定をする移動制御部と、前記回転多
    面鏡装置の複数の回転速度を設定し回転角度信号を発生
    する回転多面鏡制御部と、前記回転多面鏡の回転軸に対
    する面倒れ及び結像レンズによる照射体上での走査光の
    走査と直角方向の位置ずれに照射体の移動速度及び回転
    多面鏡の回転速度の2つの走査条件により決まる照射体
    と走査光との相対位置のずれを加えた補正データを各走
    査条件ごとに格納するメモリと、前記メモリから各走査
    条件に対応する補正データを読み込み前記回転角度信号
    に応じた補正データにより前記偏向器を駆動する偏向器
    駆動装置とを含むことを特徴とするレーザ走査装置。
JP63005794A 1988-01-13 1988-01-13 レーザ走査装置 Pending JPH01180509A (ja)

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JP63005794A JPH01180509A (ja) 1988-01-13 1988-01-13 レーザ走査装置

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JP63005794A JPH01180509A (ja) 1988-01-13 1988-01-13 レーザ走査装置

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JPH01180509A true JPH01180509A (ja) 1989-07-18

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55166643A (en) * 1979-05-24 1980-12-25 Eocom Corp Equipment for making art work used for printed circuit board
JPS5915217A (ja) * 1982-07-17 1984-01-26 Canon Inc 光走査装置
JPS62142663A (ja) * 1985-12-17 1987-06-26 Ricoh Co Ltd 光プリンタ−における変倍方法

Patent Citations (3)

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