JPS6334066A - 超砥粒砥石のツル−イング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、超砥粒砥石のツルーイング方法に係り、特に
、メタルボンド砥石、レジノイドボンド砥石など砥粒間
に気孔のない超砥粒砥石のツルーイングに好適なツルー
イング方法に関するものである。

〔従来技術〕

Ａ系砥粒やＣ系砥粒から成る普通砥石のように、砥粒間
に気孔が形成されている砥石は、ドレッサを用いてツル
ーイングとドレッシングを同時に行なうことができる。

これに対し、ダイアモンド砥粒やＣＢＮ砥粒を樹脂ある
いは金属で結合し、砥粒間に気孔のない超砥粒砥石のツ
ルーイングとドレッシングは、超砥粒砥石で軟鋼製の工
具を研削することにより、同時に行なうことができる。

しかし、このようなツルーイング方法では、超砥粒砥石
の消耗が大きく、高価な超砥粒砥石の寿命が短くなるの
で、−膜内ではない。

このため、一般には、たとえば「ファインセラミック」
、（マシニスト出版、１９８４年１０月２５日発行、第
１２９頁〜第１３２頁）に示される如く、ツルーイング
とドレッシングを２工程に分けて行なっている。

すなわち、ツルーイングは、高速回転する超砥粒砥石に
、ブレーキ機構で負荷を与えられた普通砥石を押付け、
普通砥石を低速でつれ回りさせ、超砥粒砥石と普通砥石
の速度差による接触面のすべりによって、普通砥石で超
砥粒砥石を削ることによシ行なわれる。

一方、ドレッシングは、直方体に形成した普通砥石を押
当てるステック法や、遊離砥粒を用いるスラリー法、ラ
ッピング法により行なわれる。

そして、上記ツルーイングに使用する普通砥石は、超砥
粒砥石の砥粒の粒度により選定されるが、その選定基準
の一例を示すと第１表の通りである。

第　　１　　表 上述のように、超砥粒砥石を普通砥石でツルーイングし
た場合、超砥粒砥石のツルーイング面は極めて滑らかな
面になるため、後工程としてドレッシングが必要となる
。そして、ツルーイングとドレッシングを自動化するこ
とは困難であるため、作業性が悪く、シかも危険な作業
である。また、手作業であるため、ドレッシング品質の
ばらつきが大きく、超砥粒砥石の切れ味のばらつきも大
きくなるなどの問題点があった。

本発明の目的は、上記した問題点に鑑み、超砥粒砥石の
消耗を大きくすることなく、ツルーイングとドレッシン
グを同時に行なえるようにしたツルーイング方法を提供
するにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本発明においては、超砥粒砥
石のツルーイング工具として、その砥粒が超砥粒砥石の
砥粒の粒度番号に対し、三分の二より大きな粒度番号の
Ａ系砥粒もしくはＣ系砥粒から成る普通砥石を用いるこ
とを特徴とする。

〔作　　用〕

そして、このような普通砥石をツルーイング工具として
用いることにより、ツルーイング時に、普通砥石の砥粒
が超砥粒砥石の砥粒の間にくい込み、超砥粒砥石の結合
剤の研削することによシ、同時にドレッシングを行なえ
るようにした。

したがって、超砥粒砥石の消耗音大きくすることなく、
ツルーイングとドレッシングを同時に行なうことができ
る。

〔実　施　例〕

以下、本発明の一実施例を図面にしたがって説明する。

第１図ないし第３図は本発明の一実施例を示すもので、
同図において、１は超砥粒砥石で、砥粒２が結合材３で
結合されている。４はツルーイング工具として使用され
る普通砥石で　砥粒５が結合剤６で結合でれると共に、
それらの間に気孔７が形成石れている。

８はドレッシング装置９を備えた研削盤、１０は研削盤
８のテーブルで、回転可能に支持されている。１１はテ
ーブル１０に内定された真空チャック、１２は真空チャ
ックに保持てれた被研削物。

超砥粒砥石１は、図示しないスピンドルによって、その
研削面がテーブル１０の回転軸を横切るように配置され
ている。

１３はドレッサボディ。１４はドレッサボディ１３に摺
動可能に支持され、モータ１５によって昇降されるドレ
ッサヘッド。１６はドレッサヘッド１４に回転可能に支
持されたスピンドル。

普通砥石４は、スピンドル１６に超砥粒砥石１の研削面
と対向するように支持されている。

このような構成で、被加工物１２と超砥粒砥石１を各々
回転嘔せると共に、超砥粒砥石１を下降させて切込みを
与え、被カロエ物１２の研削を行なう。

一方、普通砥石４は、所定の間隔で上下に移動させ、超
砥粒砥石１の研削面に接触させるか、あるいは、被加工
物１２よシ若干（数〜１０μｍ）高くなるように位置決
めして、研削加工中常時超砥粒砥石１と接触させてツル
ーイングとドレッシングを同時に行なう。

このとき、ツルーイング工具として使用する普通砥石４
を構成する砥粒５の粒度番号が、超砥粒砥石１を構成す
る砥粒２の粒度番号の三分の二よシ大きいものを使用す
ると、第１図に示す如く、超砥粒砥石１の砥粒２間に普
通砥石４の砥粒５がくい込み、超砥粒砥石１の結合剤３
を削るので、ツルーイングとドレッシングを同時に行な
うことができる。

このようにして、ツルーイングとドレッシングを行なっ
た効果を、５インチシリコンウェハの研削時における法
線研削抵抗で比較すると、第３図のようになる。

超砥粒砥石１として、÷１２００のダイアモンド砥粒で
構成てれたダイアモンド砥石を用い、研削条件は 砥石回転数　　　　　３０００ｆＰｌ 砥石切込み速度　　　０．０５＃ＥＩＩＩ／一テーブル
回転数　　　５ｏｏｒｐａ 研　削　液　　　　　水道水 とした。

第３図のＡは、従来例の場合を示し、Ｃ４００の砥粒で
構成嘔れた普通砥石４でツルーイングされたダイアモン
ド砥石１で、５インチシリコンウェハを研削した時の法
線研削抵抗で、約３０＃ｆである。

また、第３図のＢも従来例を示すもので、前記入のダイ
アモンド砥石１を、Ｃ５００の砥粒をポリエチレングリ
コールで固めたスティックでドレッシングしたダイアモ
ンド砥石１で研削した時の法線研削抵抗で、約１５０ｆ
である。

また、第３図のＣは、比較例を示すものであり、Ｃ６０
０の砥粒で構成された普通砥石４でツルーイングされた
ダイアモンド砥石１で、５インチシリコンウェハを研削
した時の法線研削抵抗で、約２９却ｆである。

また、第３図のり、Ｅは、各々ｃｓｏｏ。

Ｃ１００Ｏの砥粒で構成された普通砥石によりツルーイ
ングされたダイアモンド研１石１で、５インチシリコン
ウェハを研削した時の法線研削抵抗で、１８＃ｆ、１２
＃ｆである。

すなわち、第３図のＣ，Ａに示すように、超砥粒砥石１
の砥粒２の粒度番号（１２００）の五分の一１三分の−
の粒度番号（６００，４００）の砥粒５から成る普通砥
石４でツルーイングした場合には、研削時の法線研削抵
抗が大きく、ドレッシングが必要になる。

これに対し、第３図のり、Ｅに示すように、超砥粒砥石
１の砥粒２の粒度番号（１２００）の三分の二、三分の
四の粒度番号（８００，１０００）の砥粒５から成る普
通砥石４でツルーイングした場合の法線研削抵抗第３図
のＢに示すスティックでドレッシングした場合の法線研
削抵抗に近い値いとなる。したがって、ツルーイングと
同時にドレッシング効果が得られていることが明らかで
ある。

なお、ツルーイングと同時にドレッシングを行なうこと
による超砥粒砥石１の形状精度の劣下は認められず、良
好な結果を得ることができた。

〔発明の効果〕

以上述べた如く、本発明によれば、超砥粒砥石のツルー
イング工具として、砥粒の粒度番号が、超砥粒砥石の砥
粒の粒度番号の三分の二より大きな普通砥石を用いるよ
うにしたので、超砥粒砥石の消耗を大きくすることなく
、ツルーイングとドレッシングを同時に行なうことがで
きる。また、ツルーイングとドレッシングが同時に行な
えるので、自動化が容易であり、超砥粒砥石の切れ味の
ばらつきもなくすことができるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、超砥粒砥石とツルーイング工具の関係を示す
模式図、第２図は、研削盤の一例を示す要部の正面図、
第３図は、本発明の実験結果を示す特性図である。 １・・・超砥粒砥石、 ４・・・普通砥石。 ／）、 代理人弁理士　　小　川　勝　男　− 茅１図 ＄２起

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、Ａ系砥粒あるいはＣ系砥粒などから成る普通砥石を
   、高速回転する超砥粒砥石に押付けて低速でつれ回りさ
   せツルーイングを行なう超砥粒砥石のツルーイング方法
   において、砥粒の粒度番号が、ツルーイングされる超砥
   粒砥石を構成する砥粒の粒度番号の三分の二より大きい
   普通砥石をツルーイング工具として用いることを特徴と
   する超砥粒砥石のツルーイング方法。