JPS6332960Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は油拡散真空ポンプに係り、特にポンプ
異常を検知してポンプを停止させる機能を有する
油拡散真空ポンプに関する。

〔考案の技術的背景とその問題点〕

通常、油拡散真空ポンプは、ボイラ内の作動油
をヒータにより蒸発させて、ケーシング内部のジ
エツト装置のノズルから噴出させ、気体を上記蒸
気の噴流により補助真空側へ運ぶことにより排気
を行うもので、上記噴流は冷却パイプにより冷却
されたケーシング壁面に衝突して凝結し上記ボイ
ラに戻される。

上記ポンプにおいて、冷却パイプに冷却水が流
れなくなつたり、作動油がなくなつたりあるいは
大気圧状態でヒータをONにした場合等異状が生
じると、ポンプ温度が急激に上昇しポンプに損傷
を与えてしまう。

そのため、従来冷却水がなくなつた場合の保護
手段として、圧力式または流動式の断水リレーを
取付け、冷却水断水時にポンプを停止させるよう
にしたものがあるが、急激に冷却水が流れなくな
つた場合にのみ有効で、徐々に冷却水が流れなく
なつた場合には適正に作動しないという欠点を有
している。さらに、バイメタル式のサーモスイツ
チを上記冷却パイプに取付けるようにしたものも
あるが、バイメタル式では信頼性に欠けサーモス
イツチが冷却パイプ表面に付着する水滴によりシ
ヨートしたり漏電したりする危険性が高かつた。

また、作動油がなくなつたり、大気圧状態でヒ
ータをONにした場合の保護手段として、バイメ
タル式のサーモスイツチをボイラ外部に取付け、
ボイラ内部が異常高温になつたときにポンプを停
止させるようにしたものがあるが、サーモスイツ
チがボイラ外部に取付けられているためボイラの
検知温度に誤差が生じやすく、しかも、サーモス
イツチが常時高温にさらされているため故障しや
すいという欠点を有している。

〔考案の目的〕

本考案は上記した点に鑑みてなされたもので、
ポンプの異状を確実に検知することのできる油拡
散真空ポンプを提供することを目的とするもので
ある。

〔考案の概要〕 上記目的達成のため本考案の油拡散真空ポンプ
は、円筒状ケーシングの外周面に冷却パイプが巻
き付けられ、上記ケーシングの下端部分に加熱ヒ
ータが取り付けられたボイラを有する油拡散真空
ポンプにおいて、上記冷却パイプおよびボイラ内
部の温度を検知する熱電対をそれぞれ設け、これ
ら各熱電対が直列に接続されるとともに上記各熱
電対による検知温度の和が正常運転時より10〜20
℃高くなつたときにポンプを停止させる温度調節
器を設けたことをその特徴としている。

〔考案の実施例〕

以下、本考案の実施例を図面を参照して説明す
る。

本実施例においては、上端に開口１を有するほ
ぼ円筒状のケーシング２の外周面に冷却水が導通
される冷却パイプ３が巻き付けられており、上記
ケーシング２の下端部分には、加熱ヒータ４が取
付けられてボイラ５を形成している。また、ケー
シング２の内部には、斜め下方に指向されたノズ
ル６を有するジエツト装置７が設けられ、ケーシ
ング２の側面には、補助真空用配管８が接続され
ている。さらに、上記ボイラ５の底面から内側面
に延びるパイプ９が設けられ、このパイプ９の内
部には熱電対１０が挿入されている。また、上記
冷却パイプ３にも熱電対１１が取付けられてお
り、上記各熱電対１０，１１は直列に温度調節器
１２に接続されている。この温度調節器１２は、
正常運転時におけるボイラ５の内部温度と、冷却
パイプ３の温度とを加えた温度より10〜20℃高い
温度に熱電対１０，１１の検知温度が達した場合
にポンプを停止させるように設定されている。

本実施例においては、ケーシング２の開口１に
被排気容器（図示せず）を接続するとともに、補
助真空用配管８にメカニカルブースタポンプ等の
補助真空ポンプ（図示せず）を接続して、真空排
気を行うものであり、真空排気時には冷水パイプ
３に冷却水を流しヒータ４をONにする。このヒ
ータ４の加熱によりボイラ５の内部で作動油１３
を蒸発させて、ジエツト装置７のノズル６から噴
出させ、気体を下方へ運ぶことにより排気を行な
う。

そして、冷却パイプ３あるいは加熱ヒータ４の
異状により温度が上昇して、各熱電対１０，１１
による検知温度が温度調節器１２の設定温度を超
えると、温度調節器１２のリレーが作動してポン
プを停止させる。

したがつて、ポンプ異状時に確実にポンプを停
止させることができ、ポンプの信頼性を大幅に高
めることができる。

〔考案の効果〕

以上述べたように本考案の油拡散真空ポンプ
は、冷却パイプおよびポイラ内部の温度を検知す
る熱電対を、温度調節器に直列に接続し、上記温
度調節器により上記各熱電対による検知温度が正
常運転時より10〜20℃高くなつたときにポンプを
停止させるように構成したので、ポンプ異状時に
確実にポンプを停止させることができる。また、
熱電対によりボイラ内部温度を検知するようにし
たので、検知温度に誤差がなく、しかも、サーモ
スイツチ等のような故障が生じることがないの
で、信頼性を大幅に高めることができ、さらに、
２ケ所の検知温度を１台の温度調節器で制御する
ため経済的であり、構造も簡単である等の効果を
奏する。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示す縦断面図であ
る。 １……開口、２……ケーシング、３……冷却パ
イプ、４……加熱ヒータ、５……ボイラ、６……
ノズル、７……ジエツト装置、８……補助真空用
配管、９……パイプ、１０，１１……熱電対、１
２……温度調節器、１３……作動油。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 円筒状ケーシングの外周面に冷却パイプが巻き
   付けられ、上記ケーシングの下端部分に加熱ヒー
   タが取付けられたボイラを有する油拡散真空ポン
   プにおいて、上記冷却パイプおよびボイラ内部の
   温度を検知する熱電対をそれぞれ設け、これら各
   熱電対が直列に接続されるとともに上記各熱電対
   による検知温度の和が正常運転時より10〜20℃高
   くなつたときにポンプを停止させる温度調節器を
   設けたことを特徴とする油拡散真空ポンプ。