JPS58124100A - 油拡散ポンプ起動確認方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ものである。従来、油拡散ポンプの付いた真空装置で排
気を行う場合、例えば自動真空装置々どでＶ丁・油拡散
ポンプの起動確認をタイマー等で行っていたが、これは
直接的な起動確認方法でないため、タイマーの設定を誤
ると真空計のフィラメントなど全焼損するという欠点が
あった。また、このような誤動作を防止するにはタイマ
ーの設定時間を長くしなければならず、ひいて、真空排
気時間が長くなる欠点もあった。

本発明は、これらの欠点全除去するもので、油拡散ポン
プの排気口部の温度上昇を温度検出器（熱電温度計等）
で検出し、その検知信号をもって直接的に起動確認を行
うようにしたものである。

以下本発明の実施例全図面によって詳細に説明する。第
１図は公知の油拡散ポンプの概略図である。

図に於いて、１は排気口、２は排気口ボート、５はエジ
ェクタージエノト，４は噴流、５は旧、６はヒーター、
７は熱電対である。

いま、油拡散ポンプを起動させるためにヒーター６で油
５を加熱する。加熱された油５が蒸発し始めて油の蒸発
分子がエジエクタージエソト３を通り抜ける際，蒸発分
子の持っていた熱エネルギ□−が運動エネルギーに変換
され、噴流４ｆ：作り。

該噴流４が排気口ボート２の内壁に衝突し、該噴ＩＭ　
４の運動エネルギーが排気口ボート２の内壁に熱エネル
ギーとして蓄えられ、排気口ポート２の精１１度が上昇
する。本発明は、噴流４の運動エネルＡ−が一定になり
だす時、すなわち、排気口ボート２の温度が上昇し一定
に々る間の任意の温度を油拡散ポンプの起動開始時とし
、そのときの温度６熱電対７で検出し、その検知信号を
発生を表示器など８に表わして油拡散ポンプの起動を確
認するものである。

第２図に排気口ボート２の温度と油拡散ポンプ内真空度
及びそれらの時間変化を示したデーターを・示す。排気
口ボート２の温度は１０分位から急激な温度上昇を伴う
と共に、真空度が低くなっていくことがわかる。つまり
この急激な変化が生じたときが油拡散ポンプが起動開始
したことを示す。

また２５分以降は排気口ポートの温度が一定になり、油
拡散ポンプが通常の安定な動作をしていることを示して
いる。

第３図は本発明の他の実施例を示すものである。

本実施例では、油拡散ポンプの排気口ボート２の温度上
昇を第１の温度検出器となる熱電対７で検出すると共に
、油拡散ポンプを冷却する水冷管８又はポンプが設置さ
れた室内に第２の温度検出器９又Ｖｉ９を設置して室温
又は水温を検出し、第１および第２の温度検出器７と、
９又は９との信号出力の差を差動検知器１０で検知し、
その検知信号をもって油拡散ポンプの起動時を確認する
ようにしたものである。この実施例によれば、排気口部
の温度上昇度を明確に検知でき、設定温度を低く抑えて
起動開始時期を正確に捕えることができる。

以上説明したように、本発明に依れば、油拡散ポンプの
排気口部の温度上昇を検出することにより、直接に油拡
散ポンプの起動開始時を確認でき、起動開始時までの真
空度の確認などを全く必要としなくなるため、操作性が
向上し、また真空計の保護回路としての効果をあわせて
有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す油拡散ポンプの概略図
である。第２図は排気口ボートの温度と油拡散ポンプ内
真空度及びそれらの時間変化を示したデータ。第３図は
本発明の他の実施例を示す油拡散ポンプの概略図である
。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １１）　　油拡散ポンプの排気口部の温度上昇を温度検
   圧器により検出し、その検知信号をもって、油拡１１シ
   ボノブの起動開始時を確認することを特徴とする油拡散
   ポンプ起動確認方法。 （２）　　油拡散ポンプの排気口部の温度上昇を温度検
   出器Ｖ・二より検出し、且つ室温もしくは水温をもう一
   方の参照側として温度上昇を他方の温度検出器により検
   出し、前者と後者との差の検知信号をｈって油拡散ポン
   プの起動開始時を確認することヲ」ケ徴とする油拡散ポ
   ンプ起動確認方法。