JPS6110999U - 油拡散真空ポンプ - Google Patents

油拡散真空ポンプ

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JPS6110999U
JPS6110999U JP9530084U JP9530084U JPS6110999U JP S6110999 U JPS6110999 U JP S6110999U JP 9530084 U JP9530084 U JP 9530084U JP 9530084 U JP9530084 U JP 9530084U JP S6110999 U JPS6110999 U JP S6110999U
Authority
JP
Japan
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vacuum pump
oil diffusion
diffusion vacuum
thermocouple
boiler
Prior art date
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JP9530084U
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JPS6332960Y2 (ja
Inventor
忠太郎 平出
Original Assignee
株式会社 徳田製作所
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Publication date
Application filed by 株式会社 徳田製作所 filed Critical 株式会社 徳田製作所
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示す縦断面図である。 1・・・開口、2・・・ケーシング、3・・・冷却パイ
プ、4・・・加熱ヒータ、5・・・ボイラ、6・・・ノ
ズル、7・・・ジェット装置、8・・・補助真空用配管
、9・・・パイプ、1.0,11・・・熱電対、12・
・・温度調節器、13・・・作動油。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 円筒状ケーシングの外周面に冷却パイプが巻き付けられ
    、上記ケーシングの下端部分に加熱ヒータが取付けられ
    たボイラを有する油拡散真空ポンプにおいて、上記冷却
    パイプおよびボイラ内部の温度を検知する熱電対をそれ
    ぞれ設け、これら各熱電対が直列に接続されるとともに
    上記各熱電対による検知温度の和が正常運転時より10
    〜20°C高くなったときにポンプを停止させる温度調
    節器を設けたことを特徴とする油拡散真空ポンプ。
JP9530084U 1984-06-27 1984-06-27 油拡散真空ポンプ Granted JPS6110999U (ja)

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JP9530084U JPS6110999U (ja) 1984-06-27 1984-06-27 油拡散真空ポンプ

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JPS6110999U true JPS6110999U (ja) 1986-01-22
JPS6332960Y2 JPS6332960Y2 (ja) 1988-09-02

Family

ID=30654359

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