JPS63317728A - 歪ゲ−ジ式ロ−ドセル - Google Patents

歪ゲ−ジ式ロ−ドセル

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JPS63317728A
JPS63317728A JP15496287A JP15496287A JPS63317728A JP S63317728 A JPS63317728 A JP S63317728A JP 15496287 A JP15496287 A JP 15496287A JP 15496287 A JP15496287 A JP 15496287A JP S63317728 A JPS63317728 A JP S63317728A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は起歪体の主軸方向又はねじり方向又は該両方向
の偏荷重による出力誤差を補正した歪ゲージ式ロードセ
ルに関する。
〔従来技術〕
従来、上下ビーム型の起歪体の起歪部に貼付けられると
共にホイートストンブリッジに組み込まれた複数の歪ゲ
ージを具備する歪ゲージ式ロードセルの偏荷重による出
力誤差を補正する方法としては、下記の方法がある。
■上下ビームの起歪部の一部を取り去り起歪部の断面形
状を変えて偏荷重に対して不感になるようにする。
■また、歪ゲージを予め傾ける等して補正可能な出力応
答を発生し得る様にし、補償手段として抵抗器をブリッ
シジ回路上に付加する方法がある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら上記■及び■の方法はいずれも下記のよう
な欠点があった。
■について、 a)上下ビームの起歪部を削り取って行くため設計通り
の出力が得られず、個々のロードセルの出力のバラツキ
が大きくなる。
b)起歪部を削り取って行くため起歪体の強度が弱くな
る。
C)メカニカル的シンメトリ−を崩しているため、ねじ
り程度が一定にならず皿の四隅のストッパークリアラン
スが一定にならない。
d)ロードセルの製造を無人化工程しにくい。
e)零点が大幅にずれる。
f)何回も繰り返し調整確認する必要がある。
■について、 a)所定の抵抗値が得にくく補正精度が粗くなる。
b)ロードセルの製造を無人化工程しにくい。
C)零点が大幅にずれる。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、上記問題点
を除去し、起歪体の主軸方向の偏荷重又はねじれ方向の
偏荷重又はその両方の偏荷重による出力誤差を容易に補
正することができる歪ゲージ式ロードセルを提供するこ
とにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点を解決するため本発明は、起歪体の所定位置
に貼付けられると共にホイートストンブリッジに組み込
まれた複数の歪ゲージの前記起歪体主軸方向に折り返し
往復するパターンの任意部分に該パターンが数個所にわ
たり短絡され、それを切離すことによって抵抗値を必要
量変える抵抗値調整個所を設け、予め測定された前記起
歪体の主軸方向の偏荷重の誤差に応じて選択される所定
の歪ゲージの抵抗値を必要量変えるこiによって偏荷重
の誤差を補正して歪ゲージ式ロードセルを構成した。
また、起歪体の所定位置に貼付けられると共にホイート
ストンブリッジに組み込まれた複数の歪ゲージの前記起
歪体主軸方向に折り返し往復するパターンと主軸に対し
てある角度を持って折り返し往復するパターンの少なく
とも上記いずれかのパターンの任意部分にパターンの任
意部分が数個所にわたり短絡され、それを切離すことに
よって抵抗値を必要量変える抵抗値調整個所設け、起歪
体の主軸方向の誤差の補正に対しては予め測定されたロ
ードセルの主軸方向の誤差に応じて、ねじれ方向の偏荷
重の誤差の補正に対しては予め測定きれた起歪体のねじ
れ方向の誤差に応じて、主軸方向及びねじれ方向の偏荷
重の誤差の補正に対しては予め測定された前記起歪体の
主軸方向とねじれ方向の誤差に応じて選択される所定の
パターン部分の抵抗値を必要量変えることによって、偏
荷重による出力誤差を補正した歪ゲージ式ロードセルを
構成した。
〔作用〕
歪ゲージ式ロードセルを上記の如く構成することにより
、所定の歪ゲージのパターンの必要個所に設けられた抵
抗値調整個所を切断し、抵抗値を変えることによって主
軸方向の偏荷重又はねじれ方向の偏荷重又はその両方を
も容易にしかも予め1回の偏荷重の誤差測定をするだけ
で高精度に偏荷重の補正が行な得る。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は、本発明の第1の実施例である歪ゲージ式ロー
ドセルに用いる歪ゲージ2の形状を示す図である。歪ゲ
ージは図示するように、起歪体の起歪部に貼り付けた際
主軸方向に折り返し往復するパターン10が形成され、
該パターン104の任意部分にパターンを短絡し、切離
すことによって端子101と端子102と間の抵抗値を
必要量変える抵抗値調整個所103が設けられている。
a! 即ち抵抗値調整個所103を切り矯すことにより、端子
101と端子102との間の抵抗値が増加する。上記構
成の歪ゲージ2を用いた歪ゲージ式ロードセルを説明す
る。
上記形状の歪ゲージZA、Zlt ZC,ZDを第3図
に示すように上下ビームB+、B*を具備する起歪体1
0の起歪部に貼り付けてロードセルを構成している。
なお、第3図において、(a)は平面図、(b)は側面
図、(C)は底面図である。
第11図(a)、(b)に示す上下にビームB3.B、
を有する起歪体10の起歪部に歪ゲージZA! Z!I
I ZCI Zllを貼り付けた構造の所謂ダブルビー
ム型のロードセルは、第12図に示すようにブリッジに
組んで出力を取り出すために、原理的には仮に起歪体1
0に曲げモーメントやねじりモーメントが働いた場合に
おいても、これらが歪ゲージに与える変化を相殺するか
ら、曲げモーメントやねじりモーメントに不感なロード
セルとなっている。なお、第12図において、1は増幅
器、2はA/D変換器、3はCPUである。
しかしながら実際には起歪体10の加工にバラツキが生
じたり、その他歪ゲージの感度バラツキや歪ゲージの非
対象等から無視できない誤差が生じる。そこで、従来よ
り上記■又は■に示すような四隅調整方法が実施されて
いるが、いずれも上記のような欠点を有している。以下
本発明の詳細な説明する。
先ず、一般的に知られている内容としてロードセルの結
線に利用されるホイートストンブリッジの隣り合う辺の
等量の変化は、相殺される性質がある。ロードセルの出
力をV。UT、入力をVINとし、ゲージZA、Zs、
ZCt zDのそれぞれの抵抗値をRA、Ri、Re、
RDとすると、第12図の回路では、 VOUT=VP  VQ =v+H(Ro/(RA+Ro)−Rc/(Rm+Rc
))  (1)となる。
今仮ニ個々ノ歪ゲージZA、Z1.zc、zDの抵抗値
が全てRの値から、歪ゲージZA、Z!+の抵抗値がΔ
Rの変化をしたとすると、 ■。UT=VIN (R/ (2RA+ΔR)−R/(
2R+ΔR))=0 となって、歪ゲージZA、Zlの抵抗値がRの時と出力
は変わらない。また、歪ゲージZl、ZCの抵抗値がΔ
Rの変化をしたとすると、 VOL+T=VIN (R/ 2R(R+ΔR> /(
2R+2ΔR))=VIN (1/2−1/2 ) = 0 となって、隣り合う辺の変化は相殺されることが証明さ
れる。
今ここで、起歪体の主軸方向のモーメント即ち ゛ロー
ドセルの曲げモー、メントが増す方向を正の偏荷重の方
向とすると、第11図(a)のX方向の正の偏荷重に対
して出力が減少する固有の誤差特性を有するロードセル
があったとする。この場合、第1図に示す歪ゲージを第
3図に示すように起歪体10の起歪部に貼り付け、第6
図に示すように配線した場合、第5図(a)の計量皿1
1のm点における出力を■。、0点における出力を■。
とすると、補正前は第6図に示すようにV、<V。
と表わせる。歪ゲージz8(歪ゲージZcでも良い)の
抵抗値調整個所103を切り離し歪ゲージZ11の抵抗
値を増すと、計量皿11のm点への負荷における曲げモ
ーメントMのみ捉えて見れば、歪ゲージZA、Zll共
曲げモーメントMに対し第5図(c)に示すように引張
力Tを受けるが、抵抗値の大きい歪ゲージz8の方が抵
抗値の増加の絶対値も大きく、また歪ゲージ2c、2ゎ
は曲げモーメントに対し圧縮力Cを受けるものの抵抗値
が等しい。
従って、第6図の8点の電位V、はP点の電位vPより
小さくなり、出力VM ’ = Vp ’ −Vs ’
 ハ増加し、V M ’ = V O′とすることがで
きる。
なお、第5図(b)は起歪体1oに曲げモーメントが作
用しない場合を示し、歪ゲージZ A 、 Z cは圧
縮力Cが作用し、歪ゲージZl、ZDは引張力Tが作用
する。
歪ゲージZcの抵抗値調整個所103を切り離した場合
は、歪ゲージzcは曲げモーメントMに対して圧縮力C
を受けるから、歪ゲージzDに比べて抵抗値の減少の絶
対値は大きく8点における電位v5の方がP点における
電位■、より小さくなる。従って、第7図に示すように
v、’=vo’とすることができる。
上記歪ゲージZi、Zcの抵抗値調整個所403部を過
度に切り離した場合は、歪ゲージZA又は歪ゲージZD
の抵抗値調整個所103を切り離せば、逆方向の補正が
行なえ、過度な補正状態からvM’:vo’とすること
ができる。
第2図は本発明の第2の実施例である歪ゲージ式ロード
セルに用いる歪ゲージ2の形状を示す図である。歪ゲー
ジ2は起歪体に貼付けられた場合、前記起歪体主軸方向
に折り返し往復するパターン203と、主軸に対してあ
る角度を持って折り返し往復するパターン204,20
5と、該パターン204,205の任意部分にパターン
を短絡し、切離すことによって端子201と端子202
と間の抵抗値を必要量変える抵抗値調整個所206.2
07が形成されている。即ち抵抗値調整個所206.2
07を切り離すことにより、端子201と端子202と
の間の抵抗値が増加する。上記形状の歪ゲージZA、Z
、zc、Zaを第4図に示すように起歪体10の起歪部
に貼り付けてロードセルを構成する。なお、第4図にお
いて、(a)は平面図、(b)は側面図、(c)は底面
図である。
第11図のX方向、y方向の正の偏荷重に対して出力が
減少する固有の誤差特性を有するロードセルがあったと
する。この場合、上記第2図に示す形状の歪ゲージZを
、第4図に示すように起歪体10の起歪部に貼り付け、
第8−1図(a)のm + Q点における出力をVMQ
、 0点における出力をV。とすると、vMQくv。で
あり、歪ゲージ2゜のし側の抵抗値調整個所207(第
2図参照)を切り離すと、歪ゲージz!lのL側の、パ
ターン205は第8−2図(c)に示すように主軸方向
にもねじり方向へも引張応力Tを得て歪ゲージZAに比
べて抵抗値を増す。従って、第9図の8点の電位■5゛
はP点の電位VP’に比べて下がり出力V、、’ =v
、’−v、’は増加する。
なお、第8−1図において、(a)は本実施例の歪ゲー
ジ式ロードセルを用いた荷重計の概略を示す側面図、(
b)は起歪体10に曲モーメントMが作用しない場合の
状態を示す側面図、(c)は起歪体10に曲モーメント
Mが作用した場合の状態を示す側面図である。また、第
8−2図において、(a)は第8−1図(a)のX矢視
図、(b)は起歪体10にねじりモーメントQが作用す
る場合の第8−1図(a)の2矢視図、同図(c)、(
d)、(e)はそれぞれその平面、側面、底面図を示す
また、第4図及び第8−2図においては、起歪体10の
主軸に対してある角度をもって折り返し往復するパター
ンにおいて、支点側から重点側を見て右側をR側、左側
をL側とする。
話を分かり易くするために、仮に歪ゲージZsのL側の
抵抗値調整個所207を切り離した時に曲げモーメント
による出力誤差とをねじりモーメントによる出力誤差が
1:1の対応で補正されると、上記抵抗値調整個所20
7(第2図参照)を適当に切り離すことによって、第1
0図の如くvMQ’:vo’とすることができる。
しかしながら一般には、曲げモーメントによる出力誤差
やねじりモーメントによる出力誤差の生じ方はまちまち
で、符号さえそれぞれ異なる。
従って、上記2つのモーメントによる出力誤差が1=1
の対応で補正されることはごくまれである。その場合、
仮にねじりモーメントに対してより大きく補正要素を持
つ場合は、歪ゲージz8のR側の抵抗値調整個所206
(第2図、第4図参照)を切り離せば結果として曲げモ
ーメントの補正要素が強くなる。また、曲げモーメント
に対しより大きく補正要素を持つ場合は、歪ゲージZA
のR側の抵抗値調整個所207を補助的に必要なだけ切
り離せば、結果としてねじりモーメントの補正要素が強
くなる。こうして上記適当な切り離しをすることによっ
てVMo”申V0°とすることができる。
また、上記のままでは零出力は補正前と比べて大シ茄れ
てしまう。ロードセルの性能としては、零出力も大きな
要素となるため、前記の処置でモーメントの補正が正確
に行なえても、逆に短所をその補正のために作ってしま
うことになる。従来技術では、この問題が未解決であっ
たが、本実施例では、更にこの問題にも対処できる。図
示はしないが、歪ゲージ2に主軸方向と主軸に対してあ
る角度をなすパターンを形成し、この両パターンに抵抗
値調整個所を設けた歪ゲージを使用して説明する。
今、話しをわかり易くするために、歪ゲージ2、と歪ゲ
ージZAにてモーメント補正と零点修正を行なうものと
する。この際、相方の歪ゲージ28,2.の抵抗値の変
化が等しければ零点はかわらないから、 Δrll+ΔrllL−(ΔrAt、+ΔrA*)=O
・−・−・−<z)となる。
ここで、Δr、・・・・歪ゲージ2.の主軸方向パター
ンの抵抗値調整幅 Δrst、・・・・歪ゲージ2つの左側斜めパターンの
抵抗値調整幅 ΔrAL・・・・歪ゲージZAの左側斜めパターンの抵
抗値調整幅 ΔrA11・・・・歪ゲージzAの右側斜めパターンの
抵抗値調整幅 更に、主軸方向の偏荷重に対し、主軸方向のパターンの
抵抗値調度化による偏荷重補正効果と斜めパターンの抵
抗値変化による偏荷重補正効果が同じ抵抗変化に対し、
1:aの比を持って調整効果を有するものとすると、 (Δr、+ aΔrllt)  a(ΔrAL+ΔrA
II)=Δr8・・・・(3) ここで、Δrfは、主軸方向の偏荷重同時に出力がマイ
ナスする誤差を補正するのに必要な主軸方向のパターン
の抵抗値調整幅。さらにねじり方向の偏荷重の時に出力
がマイナスする誤差を補正するのに必要な斜めパターン
の抵抗値調整幅をΔr、とすると、 ΔrRt、−ΔrAL+ΔrAIl−Δr、     
 −(4)さらに条件を簡略化して、具体的数値を入れ
て説明すると、 i)歪ゲージzAの斜めパターンは左右を等しく調整す
ることとする(ΔrAL=ΔrAll=ΔrAzとおく
)。
i)Δr、=、0 、015Ω、Δr、=0.03Ωa
=0.5と仮定する。
上記(2)、(3)、(4)式はそれぞれΔr、l+Δ
r、L−2ΔrA□=0・・・・・・・・(5)Δr、
l+o、5ΔZ”5t−0,5・2△rA、= 0.0
15・= ・(6)Δr!l=0.03・・・・・・・
・(7)また、(6)式は Δr、+o、5Δriot−ΔrAz=0.015  
 =・・”(6)’(5)、(6)’ 、(7)式によ
り Δr@”ΔrlL=ΔrAL=ΔrAR=0.03Ωと
なり、それぞれ抵抗調整個所を0.03Ωつづ増やして
やれば主軸方向、ねじり方向の偏荷重の誤差を補正しつ
つ零点を変えない補正方法が得られる。
また、モーメント補正と零点補正を主軸方向と主軸に対
してある角度をなすパターンの両方に抵抗値調整個所を
持つ歪ゲージにて説明したが、主軸に対しある角度をな
すパターンのみに抵抗値調整個所を持つ歪ゲージでも可
能である。この場合は、Δrllに変えて1 / 2 
a (ΔrIL°+Δr、11)、、、・但し1Δri
t’l=lΔrll*’lを用いれば等価である。
また、歪ゲージz8のL側の抵抗値調整個所207を切
り離すかわりに、歪ゲージZcのL側の抵抗値調整個所
207を切り離しても同様の効果が得られる。上記の場
合、曲げモーメント、ねじリモーメントに対し、歪ゲー
ジZcのL側の抵抗パターン205は主軸方向にもねじ
り方向へも圧縮応力Cを得て、抵抗値を減じる。従って
8点の電位v%は下がり、出力vM、’は大きくなる。
よって各モーメントに対して出力誤差が1:1の対応で
補正されると、vMQ”=y。’とすることができる。
また、1:1に対応する場合も前記歪ゲージz8のL側
の抵抗値調整個所207を切り離す場合において説明し
たと同様の論理でりv2゜l = V o lとするこ
とができる。
また、主軸に対するある角度をなすパターンが歪ゲージ
の片側にしかない場合や、主軸に対しある感度をなすパ
ターンが歪ゲージの両側にあっても、抵抗値調整個所が
歪ゲージの片側のパターンにしかない場合でも前記論理
の応用から適宜必要な歪ゲージの抵抗値調整個所を切り
離すことにより目的を達成することができる。また、過
度な補正をした時などで短絡させてもとの状態に戻して
もよい。また、上記実施例では、4枚の歪ゲージZA、
ZI+ ZC+ Zoがアクチブゲージであったが、そ
の内の2枚をダミー抵抗に置き換えてブリッシジを形成
してもよい。
また、上記実施例ではダブルビーム型ロードセルで説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく剪断型
ロードセルやコラム型ロードセルなど他の歪ゲージ式ロ
ードセルであっても良い。
また、主軸方向にある角度を持って折り返し往復するパ
ターンのある角度とは曲げモーメントによる誤差を最も
効率よく調整できる角度、例えば30″〜45″が適当
でI所、それ以外であっても良い。
また、第2図の歪ゲージ2とは直角方向に異なるパター
ンであってもよいが、この場合は上記実施例と異なるこ
とに注意しきえすれば何らさしつかえない。抵抗値調整
個所の調整の感度変化は1.2,4,8.16・・・・
といった倍々で増える調整要素が効果的であるが、とく
にこれに限定されない。
抵抗値調整として歪ゲージのパターンを切り離す以外の
他の方法としては、予め歪ゲージのパターンを半田ブリ
ッジしやすい形状に端子部を近接して設けておき、半田
ブリッジによって抵抗値を減じてモーメント感度を調節
してもよい。
また、歪ゲージのパターン幅や厚みをトリミング等の手
法で減じて抵抗値を増加きせ、調整しても良い。よって
歪ゲージパターンの任意部分の抵抗値調整個所の抵抗値
並びに調整手段には限定されない。
以上説明したように上記実施例に示す歪ゲージ式ロード
セルは、偏荷重による誤差に対する補正が極めてf7R
単にできると共に、起歪体の力学的バランスを崩すこと
なく高精度に調整を行なうことが可能である。
また、最近徐々に出始めた薄膜ロードセル(良導体から
なる起歪体には、ポリミド等の高分子樹)脂やセラミッ
クコーティングなどを施したり、アルミニウム起歪体の
場合はアルマイト等の処理をして絶縁被膜を形成し、ア
クチブなどでパターン化してロードセルを形成するもの
。絶縁体でなるものとしては、セラミックの起歪体など
もある。
この場合は直接薄膜を形成できる。)は、極力人手を省
いてIC製造技術の応用でロードセルを作成し、コスト
ダウンを計ろうとするもので、従来技術では曲げモーメ
ントやねじりモーメントの補正が無人化しにいく傾向に
あったが、上記実施例の場合は曲げモーメントやねじり
モーメントの誤差の大きさによって、歪ケージパターン
の抵抗値調整個所のどことどこを切り離せばよいのかを
コンピュータ等に入力して−おくことは極めて容易であ
るので、こうした無人化への工程に移行する際に極めて
都合良く、抵抗値調整個所の切り離しもレーザートリミ
ング等の手法であれば、IC技術の延長線上で行なうこ
とが可能となる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、下記のような極め
て優れた効果が得られる。
■所定の歪ゲージのパターンの必要個所に設けられた抵
抗値調整個所を調整し、抵抗値を変えることによって主
軸方向の偏荷重又はねじれ方向の偏荷重又はその両方を
も容易にしかも予め1回の偏荷重の誤差測定をするだけ
で高精度に偏荷重の補正が行なことができる。
■歪ゲージ式ロードセルの製造工程の無人化に大きく寄
与する。
■歪ゲージは主軸に対しある角度をもって折り返し、往
復するパターンに抵抗値調整個所を持つ場合は、零点を
ずらすことなくモーメントの補正を行なうことができる
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明に係る歪ゲージ式ロードセル
に用いる歪ゲージの形状を示す図、第3図(a)、(b
)、(C)はそれぞれ本発明に係る歪ゲージ式ロードセ
ルの平面、側面、底面図、第4図(a)、(b)、(c
)はそれぞれ本発明に係る歪ゲージ式ロードセルの平面
、側面。 底面図、第5図(a)、(b)、(c)はそれぞれ第3
図に示すロードセルの動作を示す図、第6図は第5図(
a)のm点に荷重が作用した場合の補正前の出力状態を
示す図、第7図はその補正後の出力状態を示す図、第8
−1図(a)、(b)、(C)はそれぞれ第4図に示す
ロードセルの動作を示す図、第8−2図(a)、(b)
、(C)、(d)、(e)はそれぞれ第4図に示すロー
ドセルの動作を示す図、第9図は第8−1図(a)のm
 + q点に荷重が作用した場合の補正前の出力状態を
示す図、第10図はその補正後の出力状態を示す図、第
11図は通常の歪ゲージ式ロードセルを用いた荷重計の
概略構造を示す図で、同図(a)は平面図、同図(b)
は側面図、第12図は歪ゲージの結線状態を示す回路図
である。 図中、2・・・・歪ゲージ、101.102・・・・端
子、103・・・・抵抗値調整個所、104・・・・パ
ターン、201,202・・・・端子、203,204
.205・・・・パターン、206.207・・・・抵
抗値調整個所、ZA 、ZB、ZC,Zo・・・・歪ゲ
ージ。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)起歪体の所定位置に貼付けられると共にホイート
    ストンブリッジに組み込まれた複数の歪ゲージの前記起
    歪体主軸方向に折り返し往復するパターンの任意部分に
    抵抗値調整個所を設け、予め測定された前記起歪体の主
    軸方向の偏荷重の誤差に応じて選択される所定の歪ゲー
    ジの抵抗値を必要量変えることによって上記偏荷重の誤
    差を補正したことを特徴とする歪ゲージ式ロードセル。
  2. (2)前記歪ゲージのパターンの任意部分が数個所にわ
    たり短絡或いは短絡を切離すことによって抵抗値を必要
    量変える抵抗値調整個所を持つことを特徴とする特許請
    求の範囲第(1)項記載の歪ゲージ式ロードセル。
  3. (3)起歪体の所定位置に貼付けられると共にホイート
    ストンブリッジに組み込まれた複数の歪ゲージの前記起
    歪体主軸方向に折り返し往復するパターンと主軸に対し
    てある角度を持って折り返し往復するパターンの少なく
    とも上記いずれかのパターンの任意部分に抵抗値調整個
    所を設け、主軸方向の偏荷重の誤差の補正に対しては予
    め測定された上記起歪体の主軸方向の誤差に応じて、ね
    じれ方向の偏荷重の誤差の補正に対しては予め測定され
    た前記起歪体のねじれ方向の誤差に応じて、主軸方向及
    びねじれ方向の偏荷重の誤差の補正に対しては予め測定
    された前記起歪体の主軸方向とねじれ方向の誤差に応じ
    て選択される所定のパターン部分の抵抗値を必要量変え
    ることによって、前記偏荷重の誤差を補正したことを特
    徴とする歪ゲージ式ロードセル。
  4. (4)前記歪ゲージのパターンの任意部分が数個所にわ
    たり短絡或いは短絡を切離すことによって抵抗値を必要
    量変える対抗値調整個所を持つことを特徴とする特許請
    求の範囲第(3)項記載の歪ゲージ式ロードセル。
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