JP2017096917A - フローセンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(全体構成)
本発明の実施形態に係るフローセンサについて、図面を参照して説明する。図1に示すように、フローセンサ10は、発熱体14と、前記発熱体14の両側にそれぞれ配置された測温体としての第1測温体16及び第2測温体18とが表面に形成された基板12を備える。フローセンサ10は、流体である気体が流れる流路28(図2)において、下流側に第1測温体16、上流側に第2測温体18を配置するように設けられる。基板12は、絶縁体、例えばSi、Al2O3、樹脂などで形成することができる。本実施形態の場合、基板12は、平面視矩形状のSiO2基板と、当該SiO2基板上に設けられた表面層13とで構成されている。表面層13は、耐腐食性を有する材料、例えばポリイミド等の熱硬化性樹脂や、セラミックスで形成するのが好ましい。
次に配線部22の製造方法を、図3を参照して説明する。なお、説明の便宜上、配線部22を1個製造する場合について説明する。まず、SiO2基板31上に表面層13Aを有する基板を用意する(図3A)。次いで図3Bに示すようにホトレジスト32を選択的に形成する。その後、図3Cに示すように、スパッタ法により金属膜34を形成する。次いで、ホトレジスト32をアセトンなどの有機溶媒を用いて除去する。同時にホトレジスト32上に形成された金属膜34もリフトオフにより除去する(図3D)。最後に、形成された開口部36の表面層13を例えばフッ酸によるエッチングにより除去して溝38を形成する(図3E)。そうすると膜応力により、中央部分が前記基板12表面から凸となる山形状を有し両持ち梁構造の配線部22を得ることができる。
上記のように構成されたフローセンサ10は、発熱体14の電極21間に電力が供給されると、発熱体14の抵抗体20が電気抵抗によって加熱される。抵抗体20は、配線部22が接続部24に比べ電気抵抗が大きくなるように形成されており、さらに短絡部26を介して接続部24に接続されている。これにより抵抗体20は、中央部分を中心に温度が高くなる。
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。上記実施形態の場合、膜応力によって中央部分が前記基板12表面から凸となる山形状を有する配線部22を形成する場合について説明したが、本発明はこれに限らない。
12 基板
13 表面層
13B 仮硬化樹脂層
14 発熱体
16 第1測温体(測温体)
18 第2測温体(測温体)
20 抵抗体
22 配線部
24 接続部
26 短絡部
41 山形状部
Claims (11)
- 発熱体と、前記発熱体の両側にそれぞれ配置された測温体とが表面に形成された基板を備えるフローセンサにおいて、
前記発熱体及び前記測温体は、配線部と、前記配線部の端部に形成された接続部とを有する抵抗体を含み、
前記抵抗体は前記接続部において前記基板に固定されており、
前記配線部は中央部分が前記基板の表面から凸となる山形状である
ことを特徴とするフローセンサ。 - 前記抵抗体は、
2個の前記配線部の一端同士が接続された前記接続部を有し、
2個の前記配線部と前記接続部の間に2個の前記配線部同士を電気的に接続する短絡部が形成されていることを特徴とする請求項1記載のフローセンサ。 - 前記基板は表面に耐腐食性材料で形成された表面層が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のフローセンサ。
- 前記接続部は、台形状であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のフローセンサ。
- 前記短絡部は、前記接続部側の幅が広い線状であることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項記載のフローセンサ。
- 前記配線部は、中細り形状であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載のフローセンサ。
- 前記配線部は、中太り形状であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載のフローセンサ。
- 前記配線部は、圧縮応力が作用する第1の膜と、前記第1の膜の上に積層された引張り応力が作用する第2の膜とを含むことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項記載のフローセンサ。
- 基板の表面層上に抵抗体が形成されたフローセンサの製造方法において、
スパッタ法を用いて金属膜を前記表面層上に蒸着する工程と、
前記金属膜の周囲の前記表面層を選択的に除去し、膜応力により中央部分が前記基板の表面から凸となる山形状である前記抵抗体を形成する工程と
を備えることを特徴とするフローセンサの製造方法。 - 基板の表面層上に抵抗体が形成されたフローセンサの製造方法において、
山形状部を有する前記表面層を形成する工程と、
スパッタ法を用いて金属膜を前記表面層上に蒸着する工程と、
前記金属膜の周囲の前記表面層を選択的に除去し、中央部分が前記基板の表面から凸となる山形状である前記抵抗体を形成する工程と
を備えることを特徴とするフローセンサの製造方法。 - 基板の表面層上に抵抗体が形成されたフローセンサの製造方法において、
熱硬化性樹脂を塗布して熱硬化温度より低い仮硬化温度で加熱し、仮硬化樹脂層を形成する工程と、
スパッタ法を用いて金属膜を前記仮硬化樹脂層上に蒸着する工程と、
前記金属膜の周囲の前記仮硬化樹脂層を選択的に除去する工程と、
熱硬化温度より高い本硬化温度で加熱して前記表面層を得ると共に、前記熱硬化性樹脂の熱収縮により中央部分が前記基板の表面から凸となる山形状である前記抵抗体を形成する工程と
を備えることを特徴とするフローセンサの製造方法。
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