JPS63289402A - ロ−ドセル - Google Patents
ロ−ドセルInfo
- Publication number
- JPS63289402A JPS63289402A JP12522687A JP12522687A JPS63289402A JP S63289402 A JPS63289402 A JP S63289402A JP 12522687 A JP12522687 A JP 12522687A JP 12522687 A JP12522687 A JP 12522687A JP S63289402 A JPS63289402 A JP S63289402A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- resistors
- cut
- mesh
- cut portions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008642 heat stress Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電子式秤量計等に用いられるロードセルに関
し、特に、複数の歪ゲージをブリッジ回路により構成し
たロードセルに関する。
し、特に、複数の歪ゲージをブリッジ回路により構成し
たロードセルに関する。
従来のロードセルにおいては、有機絶縁膜上に形成した
ブリッジ回路の平衡をとるために、微小抵抗体片を多数
並列及び直列に接続したゼロ点補正用抵抗体の各素片を
超音波法で切断したり、又は矩形のゼロ点補正用抵抗体
の内部を切削して調整できる構造となっていた。
ブリッジ回路の平衡をとるために、微小抵抗体片を多数
並列及び直列に接続したゼロ点補正用抵抗体の各素片を
超音波法で切断したり、又は矩形のゼロ点補正用抵抗体
の内部を切削して調整できる構造となっていた。
上述した従来のロードセルは、以下に述べる様な問題が
あった。
あった。
超音波法でその抵抗値を調整する場合、下地の有機絶縁
膜も切削されるので、その有機膜か薄いと起歪体表面を
削って、ショート原因となる金属片や金属粒を発生させ
る事がある。逆に、絶縁膜を厚くした場合、ゲージ率の
低下や荷重印加後のゼロ点移動か問題となる。
膜も切削されるので、その有機膜か薄いと起歪体表面を
削って、ショート原因となる金属片や金属粒を発生させ
る事がある。逆に、絶縁膜を厚くした場合、ゲージ率の
低下や荷重印加後のゼロ点移動か問題となる。
また、レーサー法で切削する場合、レーサー光束内のエ
ネルキー分布を調整する事で、有機膜を切削する事なく
、抵抗体内部の切削を行なう事が可能であるが、急激な
熱膨張を伴なうので切削部周辺の抵抗体膜と有機膜の間
で密着不良を起こす事かあった。
ネルキー分布を調整する事で、有機膜を切削する事なく
、抵抗体内部の切削を行なう事が可能であるが、急激な
熱膨張を伴なうので切削部周辺の抵抗体膜と有機膜の間
で密着不良を起こす事かあった。
本発明の目的は、これらの問題を解決し、抵抗体膜と有
機絶縁膜との密着を保ちながら、抵抗値の調整を容易に
できるようにしたロードセルを提供することにある。
機絶縁膜との密着を保ちながら、抵抗値の調整を容易に
できるようにしたロードセルを提供することにある。
本発明の構成は、複数の起歪部にそれぞれ複数のゲージ
抵抗体を備え、これら各ゲージ抵抗体にそれぞれに接続
される複数のゼロ点補正用抵抗体を前記起歪部以外の個
所に各々設けてブリッジ回路を形成したロードセルにお
いて、前記各ゼロ点補正用抵抗体がメツシュ形状に形成
され、このメツシュ形状の一部を切断することによりそ
の抵抗値を可変てきるようにしたことを特徴とする。
抵抗体を備え、これら各ゲージ抵抗体にそれぞれに接続
される複数のゼロ点補正用抵抗体を前記起歪部以外の個
所に各々設けてブリッジ回路を形成したロードセルにお
いて、前記各ゼロ点補正用抵抗体がメツシュ形状に形成
され、このメツシュ形状の一部を切断することによりそ
の抵抗値を可変てきるようにしたことを特徴とする。
本発明のロードセルは、ゼロ点補正用抵抗体をメツシュ
形状にし、切削する時にはその、メツシュの個々の片を
切断してブリッジ回路の平衡をとるので、レーザー光照
射時の熱ストレスによる抵抗体膜と有機絶縁股間の密着
性不良を抑制する事ができる。
形状にし、切削する時にはその、メツシュの個々の片を
切断してブリッジ回路の平衡をとるので、レーザー光照
射時の熱ストレスによる抵抗体膜と有機絶縁股間の密着
性不良を抑制する事ができる。
このメツシュの個々の片の幅は、広すぎると熱ストレス
の影響を受けて密着性不良となるか、充分に幅の狭いも
のにすると、熱膨張に伴なう寸法の変位量が少なくなる
ので熱ストレスの影響をほとんど受けず、良好な密着性
か確保てきる。
の影響を受けて密着性不良となるか、充分に幅の狭いも
のにすると、熱膨張に伴なう寸法の変位量が少なくなる
ので熱ストレスの影響をほとんど受けず、良好な密着性
か確保てきる。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明一実施例のゼロ補正用抵抗体の平面図で
ある。ポリイミド樹脂からなる絶縁股上に、レーザー光
を用いて切削されるメツシュ状切削部４の幅を６０μｍ
にしたゼロ点補正用抵抗体２が窒化クンタルにより形成
されている。この抵抗体２は、一対の導体１の間に設け
られ、メツシュ状切削部４を設けたもので、このメツシ
ュ上の一部を切削した切削部分３を適当に入れてその抵
抗値を可変するものである。
ある。ポリイミド樹脂からなる絶縁股上に、レーザー光
を用いて切削されるメツシュ状切削部４の幅を６０μｍ
にしたゼロ点補正用抵抗体２が窒化クンタルにより形成
されている。この抵抗体２は、一対の導体１の間に設け
られ、メツシュ状切削部４を設けたもので、このメツシ
ュ上の一部を切削した切削部分３を適当に入れてその抵
抗値を可変するものである。
本実施例は、第２図に示すようなブリッジ回路の平衡を
とる為に、ゲージ抵抗体Ｒ１〜Ｒ４に接続されるゼロ点
補正用抵抗体２（Ｒ＋ｔ〜Ｒ４ｔ ＞のメツシュ状抵抗
体を切削して調整する。図のゼロ点補正用抵抗体Ｒ１，
とＲ２ｔおよびＲ３，とＲ４，は、それぞれ切削したと
きブリッジバランスを逆方向にシフトさせるので、初期
状態により、いづれかを選んで切削する。例えば、Ｒ□
、とＲ２ｔを切削する場合は切削量をＲ，ｔとＲ２ｔで
半々に分担させて＋Ｊ［する事で容易にブリッジの平衡
をとれる。
とる為に、ゲージ抵抗体Ｒ１〜Ｒ４に接続されるゼロ点
補正用抵抗体２（Ｒ＋ｔ〜Ｒ４ｔ ＞のメツシュ状抵抗
体を切削して調整する。図のゼロ点補正用抵抗体Ｒ１，
とＲ２ｔおよびＲ３，とＲ４，は、それぞれ切削したと
きブリッジバランスを逆方向にシフトさせるので、初期
状態により、いづれかを選んで切削する。例えば、Ｒ□
、とＲ２ｔを切削する場合は切削量をＲ，ｔとＲ２ｔで
半々に分担させて＋Ｊ［する事で容易にブリッジの平衡
をとれる。
以上説明した様に本発明はメツシュ状の抵抗体の一部を
切削するゼロ点補正用抵抗体を有するので、抵抗膜と有
機絶縁股間の充分な密着性を確保しながら、抵抗体を容
易に補正できるロードセルを実現することができる。
切削するゼロ点補正用抵抗体を有するので、抵抗膜と有
機絶縁股間の充分な密着性を確保しながら、抵抗体を容
易に補正できるロードセルを実現することができる。
第１図は本発明の一実施例のロードセルに用いられるゼ
ロ点補正用抵抗体の平面図、第２図は第１図のロードセ
ルに用いるブリッジ回路の回路図である。 １・・・導体、２・・・抵抗体、３・・・切削部分、４
・・・メツシュ状切削部。
ロ点補正用抵抗体の平面図、第２図は第１図のロードセ
ルに用いるブリッジ回路の回路図である。 １・・・導体、２・・・抵抗体、３・・・切削部分、４
・・・メツシュ状切削部。
Claims (1)
- 複数の起歪部にそれぞれ複数のゲージ抵抗体を備え、こ
れら各ゲージ抵抗体にそれぞれに接続される複数のゼロ
点補正用抵抗体を前記起歪部以外の個所に各々設けてブ
リッジ回路を形成したロードセルにおいて、前記各ゼロ
点補正用抵抗体がメッシュ形状に形成され、このメッシ
ュ形状の一部を切断することによりその抵抗値を可変で
きるようにしたことを特徴とするロードセル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12522687A JPS63289402A (ja) | 1987-05-21 | 1987-05-21 | ロ−ドセル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12522687A JPS63289402A (ja) | 1987-05-21 | 1987-05-21 | ロ−ドセル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63289402A true JPS63289402A (ja) | 1988-11-25 |
Family
ID=14904953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12522687A Pending JPS63289402A (ja) | 1987-05-21 | 1987-05-21 | ロ−ドセル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63289402A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115265890A (zh) * | 2021-04-29 | 2022-11-01 | 布朗潘有限公司 | 深度计密封件 |
| CN117889999A (zh) * | 2024-03-14 | 2024-04-16 | 锐马（福建）电气制造有限公司 | 一种六维力传感器零点补偿方法及系统 |
-
1987
- 1987-05-21 JP JP12522687A patent/JPS63289402A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115265890A (zh) * | 2021-04-29 | 2022-11-01 | 布朗潘有限公司 | 深度计密封件 |
| CN117889999A (zh) * | 2024-03-14 | 2024-04-16 | 锐马（福建）电气制造有限公司 | 一种六维力传感器零点补偿方法及系统 |
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