JPS63311121A - エンコ−ダ− - Google Patents
エンコ−ダ−Info
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- JPS63311121A JPS63311121A JP62148207A JP14820787A JPS63311121A JP S63311121 A JPS63311121 A JP S63311121A JP 62148207 A JP62148207 A JP 62148207A JP 14820787 A JP14820787 A JP 14820787A JP S63311121 A JPS63311121 A JP S63311121A
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- light
- grating
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- luminous flux
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- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 16
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はエンコーダーに関し、特に移動物体に取付けた
回折格子に可干渉性光束を入射させ該回折格子からの回
折光を互いに干渉させて干渉縞を形成し、干渉縞の明暗
の縞を計数することによって回折格子の移動量、即ち移
動物体の移動量を測定するロータリーエンコーダーやリ
ニアエンコーダー等のエンコーダーに関するものである
。
回折格子に可干渉性光束を入射させ該回折格子からの回
折光を互いに干渉させて干渉縞を形成し、干渉縞の明暗
の縞を計数することによって回折格子の移動量、即ち移
動物体の移動量を測定するロータリーエンコーダーやリ
ニアエンコーダー等のエンコーダーに関するものである
。
（従来の技術）
近年ＮＣ工作機械や半導体焼付装置等の鯖密機械におい
ては１μｍ以下（サブミクロン）の単位で測定すること
のできる鯖密な測定器が要求されている。従来よりサブ
ミクロンの単位で測定することのできる測定器としては
、レーザー等の可干渉性光束を用い、移動物体からの回
折光より干渉縞を形成させ、該干渉縞を利用したロータ
リーエンコーダーやリニアエンコーダーが良く知られて
いる。
ては１μｍ以下（サブミクロン）の単位で測定すること
のできる鯖密な測定器が要求されている。従来よりサブ
ミクロンの単位で測定することのできる測定器としては
、レーザー等の可干渉性光束を用い、移動物体からの回
折光より干渉縞を形成させ、該干渉縞を利用したロータ
リーエンコーダーやリニアエンコーダーが良く知られて
いる。
第６図は従来のリニアエンコーダーの一例の構成図であ
る。同図において１はレーザー、２はコリメーターレン
ズ、３は不図示の移動物体に取付けた格子ピッチｄの回
折格子であり、例えば矢印の方向に速度■で移動してい
る。５□、５２は各々属波長板、４．．４２は回折格子
３の傾きによって生ずる再回折光の軸すれを防止する為
のダハプリズム、又はコーナーキューブ反射鏡、６はビ
ームスプリッタ−１７，，７２は偏光板で各々偏光軸は
互いに直交しており、更に属波長板５、．５２の偏光軸
と４５度の角度をなすように配置されている。８．．８
２は各々受光素子である。
る。同図において１はレーザー、２はコリメーターレン
ズ、３は不図示の移動物体に取付けた格子ピッチｄの回
折格子であり、例えば矢印の方向に速度■で移動してい
る。５□、５２は各々属波長板、４．．４２は回折格子
３の傾きによって生ずる再回折光の軸すれを防止する為
のダハプリズム、又はコーナーキューブ反射鏡、６はビ
ームスプリッタ−１７，，７２は偏光板で各々偏光軸は
互いに直交しており、更に属波長板５、．５２の偏光軸
と４５度の角度をなすように配置されている。８．．８
２は各々受光素子である。
同図においてレーザー１からの光束はコリメーターレン
ズ２により略平行光束となり回折格子３に入射する。回
折格子３で回折された正と負のｍ次の回折光は％波長板
５１．５２を介してコーナーキューブ反射鏡４□、４２
で反射させて、回折格子３に再度人射し再び正と負のｍ
次の回折光となって重なり合いビームスプリッタ−６で
２光束に分割されて偏光板７．．７２を介して受光素子
８□、８２に入射する。
ズ２により略平行光束となり回折格子３に入射する。回
折格子３で回折された正と負のｍ次の回折光は％波長板
５１．５２を介してコーナーキューブ反射鏡４□、４２
で反射させて、回折格子３に再度人射し再び正と負のｍ
次の回折光となって重なり合いビームスプリッタ−６で
２光束に分割されて偏光板７．．７２を介して受光素子
８□、８２に入射する。
ここて受光素子８．．８２に入射する光束はイ波長板５
゜、５２と偏光板７．．７２の組み合わせによフて互い
に９０度の位相差がつけられ、回折格子３の移動方向の
弁別に用いられている。そして受光素子８．．８２で受
光される干渉縞の明暗の縞を計数することにより回折格
子３の移動量を求めている。
゜、５２と偏光板７．．７２の組み合わせによフて互い
に９０度の位相差がつけられ、回折格子３の移動方向の
弁別に用いられている。そして受光素子８．．８２で受
光される干渉縞の明暗の縞を計数することにより回折格
子３の移動量を求めている。
第６図に示すリニアエンコーダーは光束の回折格子３へ
の再入射をダハプリズムやコーナーキューブ反射鏡等の
反射手段を用いて行っている。これによりレーザー１の
波長が例えば周囲温度変化等により変化し、回折格子３
からの回折角度か変化しても必ず同じ角度で再度回折格
子３を照射し、２つの再回折光が必す重なり合うように
し、受光素子８．．８２からの出力信号のＳ／Ｎ比を良
好に維持している。
の再入射をダハプリズムやコーナーキューブ反射鏡等の
反射手段を用いて行っている。これによりレーザー１の
波長が例えば周囲温度変化等により変化し、回折格子３
からの回折角度か変化しても必ず同じ角度で再度回折格
子３を照射し、２つの再回折光が必す重なり合うように
し、受光素子８．．８２からの出力信号のＳ／Ｎ比を良
好に維持している。
しかしながらダハプリズムやコーナーキューブ反射鏡等
の反射手段を配置する際には０次の回折光を遮らない位
置に配置する必要がある。例えば回折格子３の格子ピッ
チが３．２μｍ、レーザー１の使用波長が０．７８μｍ
とし第１次回折光を利用したとすれば回折角度は５ｉｎ
−’ （０，７８／３．２） ＝ １４．２度となる。
の反射手段を配置する際には０次の回折光を遮らない位
置に配置する必要がある。例えば回折格子３の格子ピッ
チが３．２μｍ、レーザー１の使用波長が０．７８μｍ
とし第１次回折光を利用したとすれば回折角度は５ｉｎ
−’ （０，７８／３．２） ＝ １４．２度となる。
０次回折光と反射手段を分離するための回折格子３の光
束入射位置での法泉（０次回折光方向）と例えば１５ｍ
ｍ離れた位置に配置したとすると反射手段を回折格子３
から１５／１ａｎ１４．２０＝５９ （ｍｍ）離れた位
置に配置しなければならない。従ってダハプリズムやコ
ーナーキューブ反射鏡を用いると装置全体がどうしても
大型化してしまうか、又、一般にダハプリズムやコーナ
ーキューブ反射鏡は加工精度か高く製作が難しい等の欠
点がある。
束入射位置での法泉（０次回折光方向）と例えば１５ｍ
ｍ離れた位置に配置したとすると反射手段を回折格子３
から１５／１ａｎ１４．２０＝５９ （ｍｍ）離れた位
置に配置しなければならない。従ってダハプリズムやコ
ーナーキューブ反射鏡を用いると装置全体がどうしても
大型化してしまうか、又、一般にダハプリズムやコーナ
ーキューブ反射鏡は加工精度か高く製作が難しい等の欠
点がある。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は従来のダハプリズムやコーナーキューブ反射鏡
等を用いる代わりに焦点面近傍に反射鏡を配置した集光
系を用いることにより装置全体の小型化、及び製作上の
容易さを図フたエンコーター、例えばロータリーエンコ
ーダーやリニアエンコーダーの提供を目的とする。
等を用いる代わりに焦点面近傍に反射鏡を配置した集光
系を用いることにより装置全体の小型化、及び製作上の
容易さを図フたエンコーター、例えばロータリーエンコ
ーダーやリニアエンコーダーの提供を目的とする。
（問題点を解決するための手段）
可干渉性光束を回折格子に入射させ、該回折格子からの
回折光を再度前記回折格子に入射させ、該回折格子から
の回折光より干渉縞を形成し、該干渉縞の明暗の縞を計
数することにより前記回折格子の移動量を測定するエン
コーダーにおいて、前記回折格子の格子ピッチをＰ、該
可干渉性光束の波長をλ、ｍを整数、該可干渉性光束の
前記回折格子への入射角度なθっとしたとき θ１．ｌ”＝ ５ｉｎ−１（ｍλ／Ｐ）なる式を満足
し、かつ前記回折格子からのｍ次回折光を焦点面近傍に
反射面を設けた集光系を介して前記回折格子に再度入射
させるようにしたことである。
回折光を再度前記回折格子に入射させ、該回折格子から
の回折光より干渉縞を形成し、該干渉縞の明暗の縞を計
数することにより前記回折格子の移動量を測定するエン
コーダーにおいて、前記回折格子の格子ピッチをＰ、該
可干渉性光束の波長をλ、ｍを整数、該可干渉性光束の
前記回折格子への入射角度なθっとしたとき θ１．ｌ”＝ ５ｉｎ−１（ｍλ／Ｐ）なる式を満足
し、かつ前記回折格子からのｍ次回折光を焦点面近傍に
反射面を設けた集光系を介して前記回折格子に再度入射
させるようにしたことである。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例の光学系の概略図である。同
図において第６図に示す要素と同一のものには同符番を
付しである。第１図において９は偏光ビームスプリッタ
−１１０，，１０□は反射鏡、１１は端面結像型の屈折
率分布型の光学部材て、一方の端に反射膜１２が施され
ている。光学部材１１と反射膜１２より集光系２０を構
成している。
図において第６図に示す要素と同一のものには同符番を
付しである。第１図において９は偏光ビームスプリッタ
−１１０，，１０□は反射鏡、１１は端面結像型の屈折
率分布型の光学部材て、一方の端に反射膜１２が施され
ている。光学部材１１と反射膜１２より集光系２０を構
成している。
本実施例ではレーザー１からの可干渉性光束をコリメー
ターレンズ２によて略平行光束とし、偏光ビームスプリ
ッタ−９に入射させ直線偏光の透過光束と同じく直線偏
光の反射光束の２つの光束に分割している。このときレ
ーザー１の出射光束の直線偏光方位が偏光ビームスプリ
ッタ−９に対して４５度となるようにレーザー１の取付
位置を調整している。これにより偏光ビームスプリッタ
−９からの透過光束と反射光束の強度比が略１：１とな
るようにしている。
ターレンズ２によて略平行光束とし、偏光ビームスプリ
ッタ−９に入射させ直線偏光の透過光束と同じく直線偏
光の反射光束の２つの光束に分割している。このときレ
ーザー１の出射光束の直線偏光方位が偏光ビームスプリ
ッタ−９に対して４５度となるようにレーザー１の取付
位置を調整している。これにより偏光ビームスプリッタ
−９からの透過光束と反射光束の強度比が略１：１とな
るようにしている。
そして偏光ビームスプリッタ−９からの反射光束と透過
光束を属波長板５８，５□を介して円偏光とし、反射鏡
１０．．１０２で反射させて回折格子３に入射させる際
、対象とする回折格子３からのｍ次回折光が回折格子３
から略垂直に反射するように入射させている。
光束を属波長板５８，５□を介して円偏光とし、反射鏡
１０．．１０２で反射させて回折格子３に入射させる際
、対象とする回折格子３からのｍ次回折光が回折格子３
から略垂直に反射するように入射させている。
即ち回折格子３の格子ピッチをＰ、可干渉性光束の波長
を人、ｍを整数とし、可干渉性光束の回折格子３への入
射角度なθ。とじたときθ。’＝ ５ｉｎ−１（ｍ入
／ Ｐ ）−−−−−−（１）となるように入射させて
いる。
を人、ｍを整数とし、可干渉性光束の回折格子３への入
射角度なθ。とじたときθ。’＝ ５ｉｎ−１（ｍ入
／ Ｐ ）−−−−−−（１）となるように入射させて
いる。
回折格子３から略垂直に射出したｍ次回折光を光学部材
１１に入射させている。光学部材１１の焦点面近傍には
反射膜１２が施されているので、入射した光束は第２図
に示すように反射膜１２で反射した後、元の光路を戻り
光学部材１１から射出し、再度回折格子３に入射する。
１１に入射させている。光学部材１１の焦点面近傍には
反射膜１２が施されているので、入射した光束は第２図
に示すように反射膜１２で反射した後、元の光路を戻り
光学部材１１から射出し、再度回折格子３に入射する。
そして回折格子３で再度回折されたｍ次の反射回折光は
元の光路を戻り、反射鏡１０．．１０２で反射し、％波
長板５１，５□を透過し偏光ビームスプリッタ−９に再
入射する。
元の光路を戻り、反射鏡１０．．１０２で反射し、％波
長板５１，５□を透過し偏光ビームスプリッタ−９に再
入射する。
このとき再回折光は％波長板５．，５２を往復している
ので、偏光ビームスプリッタ−９で最初反射した光束は
再入射するときは偏光ビームスプリッタ−９に対して偏
光方位が９０度異なっている為、透過するようになる。
ので、偏光ビームスプリッタ−９で最初反射した光束は
再入射するときは偏光ビームスプリッタ−９に対して偏
光方位が９０度異なっている為、透過するようになる。
逆に偏光ビームスプリッタ−９で最初透過した光束は再
入射したとき反射されるようになる。
入射したとき反射されるようになる。
こうして偏光ビームスプリッタ−９で２つの回折光を重
なり合わせ属波長板５３を介した後、円偏光とし、ビー
ムスプリッタ−６で２つの光束に分割し、各々偏光板７
１，７２を介した後、直線偏光とし受光素子８□、８２
に各々人射させている。
なり合わせ属波長板５３を介した後、円偏光とし、ビー
ムスプリッタ−６で２つの光束に分割し、各々偏光板７
１，７２を介した後、直線偏光とし受光素子８□、８２
に各々人射させている。
尚、（１）式の角度θ。は回折光が集光系２０に人射し
、再度回折格子３に入射出来る程度の範囲内であれば良
いことを示している。
、再度回折格子３に入射出来る程度の範囲内であれば良
いことを示している。
本実施例においてｍ次の回折光の位相は回折格子が１ピ
ツチ移動すると２ｍπだけ変化する。
ツチ移動すると２ｍπだけ変化する。
従って受光素子８．．８２からは正と負のｍ次の回折を
２回ずつ受けた光束の干渉を受光している為、回折格子
が格子の１ピッチ分移動すると４ｍ個の正弦波信号が得
られる。
２回ずつ受けた光束の干渉を受光している為、回折格子
が格子の１ピッチ分移動すると４ｍ個の正弦波信号が得
られる。
例えば回折格子３のピッチ３．２μｍ、回折光として１
次（ｍ＝ １ ）を利用したとすれば回折格子３が３．
２μｍ移動したとき受光素子８□、８２からは４個の正
弦波信号が得られる。即ち正弦波１個当りの分解能とし
て回折格子３のピッチのイ即ち３．２７４＝ ０．８μ
ｍが得られる。
次（ｍ＝ １ ）を利用したとすれば回折格子３が３．
２μｍ移動したとき受光素子８□、８２からは４個の正
弦波信号が得られる。即ち正弦波１個当りの分解能とし
て回折格子３のピッチのイ即ち３．２７４＝ ０．８μ
ｍが得られる。
又、イ波長板５１． ２．５３及び偏光板７１．７２の
組み合わせによって受光素子８．。
組み合わせによって受光素子８．。
８２からの出力信号間に９０度の位相差をつけ、回折格
子３の移動方向も判別出来るようにしている。尚、単に
移動量のみを測定するのであれば受光素子は１つでも良
く、又、属波長板５３、ビームスプリッタ−６は不要で
ある。
子３の移動方向も判別出来るようにしている。尚、単に
移動量のみを測定するのであれば受光素子は１つでも良
く、又、属波長板５３、ビームスプリッタ−６は不要で
ある。
本実施例における集光系２０は焦点面近傍に反射面を配
置している為に例えばレーザー光の発振波長の変化に伴
う回折角が微少変化して集光レンズへの入射角が多少変
化しても、略同じ光路で戻すことができる。これにより
２つの正と負の回折光を重なり合わせ受光素子８．．８
２の出力信号のＳ／Ｎ比の低下を防止している。
置している為に例えばレーザー光の発振波長の変化に伴
う回折角が微少変化して集光レンズへの入射角が多少変
化しても、略同じ光路で戻すことができる。これにより
２つの正と負の回折光を重なり合わせ受光素子８．．８
２の出力信号のＳ／Ｎ比の低下を防止している。
又、本実施例では可干渉性光束の回折格子３への入射角
度を前述の如く設定すると共に集光系を用いることによ
り装置全体の小型化を図っている。
度を前述の如く設定すると共に集光系を用いることによ
り装置全体の小型化を図っている。
例えば回折格子３の格子ピッチ３．２μｍ、レーザー１
の波長を０．７８μとすれば、±１次の回折光の回折角
度は先に述べたように１４．２度である。そこで光学部
材１１として直径２ｍｍ程度の屈折率分左型レンズを用
いて、±１次の回折光のみを反射させる場合、回折格子
３から、レンズ１１までの距離は２／１ａｎ１４．２０
＝ ７．９ｍｍとなり、８ｍｍ程度離せばよく、装置全
体を極めて小型に構成することができる。
の波長を０．７８μとすれば、±１次の回折光の回折角
度は先に述べたように１４．２度である。そこで光学部
材１１として直径２ｍｍ程度の屈折率分左型レンズを用
いて、±１次の回折光のみを反射させる場合、回折格子
３から、レンズ１１までの距離は２／１ａｎ１４．２０
＝ ７．９ｍｍとなり、８ｍｍ程度離せばよく、装置全
体を極めて小型に構成することができる。
尚、本実施例では光学部材１１として屈折率分布型レン
ズを用いているが、第３図のように集光レンズ１３と反
射鏡１４の組み合わせで構成しても良い。
ズを用いているが、第３図のように集光レンズ１３と反
射鏡１４の組み合わせで構成しても良い。
又、本実施例においては反射回折光を用いているが第４
図のように集光系２０を配置して透過回折光を利用して
も良い。
図のように集光系２０を配置して透過回折光を利用して
も良い。
第５図は本発明の別の実施例である。同図において第１
図の要素と同一要素には同符番な付しである。第５図に
おいて１５は偏光プリズムで、第１図の実施例における
偏光ビームスプリッタ−９と同一の機能を有するもので
ある。又、１６は折り返しプリズムで、第１図の実施例
における反射鏡１０□、１０２の組み合わせと同一の機
能を有している。
図の要素と同一要素には同符番な付しである。第５図に
おいて１５は偏光プリズムで、第１図の実施例における
偏光ビームスプリッタ−９と同一の機能を有するもので
ある。又、１６は折り返しプリズムで、第１図の実施例
における反射鏡１０□、１０２の組み合わせと同一の機
能を有している。
本実施例ではレーザー１からの光束をコリメーターレン
ズ２により略平行光とし、偏光プリズム１５に入射させ
ている。偏光プリズム１５に入射させた光束は反射面１
５ａ、１５ｂで反射させた後、偏光ビーム分割面１５ｃ
で反射光束Ｌ１と透過光束Ｌ２の２つの光束に分割して
いる。反射光束Ｌ１と透過光束Ｌ２は各々反射面１５ａ
、１５ｄで反射し、面１５ｂより射出して、イ波長板５
１．５□を透過した後、折り返しプリズム１６で所定角
度屈折させ、回折格子３に前述の条件を満足するように
各々入射させている。
ズ２により略平行光とし、偏光プリズム１５に入射させ
ている。偏光プリズム１５に入射させた光束は反射面１
５ａ、１５ｂで反射させた後、偏光ビーム分割面１５ｃ
で反射光束Ｌ１と透過光束Ｌ２の２つの光束に分割して
いる。反射光束Ｌ１と透過光束Ｌ２は各々反射面１５ａ
、１５ｄで反射し、面１５ｂより射出して、イ波長板５
１．５□を透過した後、折り返しプリズム１６で所定角
度屈折させ、回折格子３に前述の条件を満足するように
各々入射させている。
そして回折格子３て回折した所定次数の回折光を集光系
２０を介し、再度回折格子３に入射させ、回折格子３か
らの２つの再回折光を折り返しプリズム１６と偏光プリ
ズム１５を介し重ね合わせた後、第１図の実施例と同様
に％波長板５３を透過させ、ビームスプリッタ−６で２
つの光束に分割して各々偏光７’７．．７２を介した後
、受光素子８１．８２で各々受光している。
２０を介し、再度回折格子３に入射させ、回折格子３か
らの２つの再回折光を折り返しプリズム１６と偏光プリ
ズム１５を介し重ね合わせた後、第１図の実施例と同様
に％波長板５３を透過させ、ビームスプリッタ−６で２
つの光束に分割して各々偏光７’７．．７２を介した後
、受光素子８１．８２で各々受光している。
尚、以上の各実施例ではリニアエンコーダーについて説
明したがロータリーエンコーダーについても全く同様に
適用することができる。
明したがロータリーエンコーダーについても全く同様に
適用することができる。
（発明の効果）
本発明によれば前述の如く可干渉性光束の回折格子への
入射角を設定すると共に焦点面近傍に反射面を配置した
集光系を利用することにより、装置全体の小型化及び製
作上の容易さを図った高精度のエンコーダーを達成する
ことができる。
入射角を設定すると共に焦点面近傍に反射面を配置した
集光系を利用することにより、装置全体の小型化及び製
作上の容易さを図った高精度のエンコーダーを達成する
ことができる。
第１図は本発明の一実施例の光学系の概略図、第２図、
第３図は各々第１図の一部分の光学作用の説明図、第４
図は第１図の実施例において一部変更したときの部分説
明図、第５図は本発明の他の実施例の光学系の概略図、
第６図は従来のリニアエンコーダーの説明図である。 図中、１はレーザー、２はコリメーターレンズ、３は回
折格子、４１，４□はコーナーキューブ反射鏡、５□、
５゜、５３は％波長板、６はビームスプリッタ−１７゜
、７２は偏光板、８ ＋ 、 ８２は受光素子、９は偏
光ビームスプリッター、１０□、１０２は反射鏡、２ｏ
は集光系である。 特許出願人 キャノン株式会社 ￥ １ 図 ８嘗 ￥２図 第３図 第 ４ 図 第 ５ 図 １、。Ｌｌ ’５ＣＬ２．５ａ １５し
５３２ ５＋
Ｂ２堕 １２ ９ｍ −一−−−−−−−−て］
第３図は各々第１図の一部分の光学作用の説明図、第４
図は第１図の実施例において一部変更したときの部分説
明図、第５図は本発明の他の実施例の光学系の概略図、
第６図は従来のリニアエンコーダーの説明図である。 図中、１はレーザー、２はコリメーターレンズ、３は回
折格子、４１，４□はコーナーキューブ反射鏡、５□、
５゜、５３は％波長板、６はビームスプリッタ−１７゜
、７２は偏光板、８ ＋ 、 ８２は受光素子、９は偏
光ビームスプリッター、１０□、１０２は反射鏡、２ｏ
は集光系である。 特許出願人 キャノン株式会社 ￥ １ 図 ８嘗 ￥２図 第３図 第 ４ 図 第 ５ 図 １、。Ｌｌ ’５ＣＬ２．５ａ １５し
５３２ ５＋
Ｂ２堕 １２ ９ｍ −一−−−−−−−−て］
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 可干渉性光束を回折格子に入射させ、該回折格子からの
回折光を再度前記回折格子に入射させ、該回折格子から
の回折光より干渉縞を形成し、該干渉縞の明暗の縞を計
数することにより前記回折格子の移動量を測定するエン
コーダーにおいて、前記回折格子の格子ピッチをＰ、該
可干渉性光束の波長をλ、ｍを整数、該可干渉性光束の
前記回折格子への入射角度をθ＿ｍとしたときθ＿ｍ≒
ｓｉｎ＾−＾１（ｍλ／Ｐ） なる式を満足し、かつ前記回折格子からのｍ次回折光を
焦点面近傍に反射面を設けた集光系を介して前記回折格
子に再度入射させるようにしたことを特徴とするエンコ
ーダー。
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| JP62148207A JPH073344B2 (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | エンコ−ダ− |
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| JPH073344B2 JPH073344B2 (ja) | 1995-01-18 |
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Legal Events
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |