JP5849103B2 - 干渉ヘテロダイン光学エンコーダシステム - Google Patents
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Description
一部の実施において、検出器は測定ビームと基準ビームとの間の干渉に基づいて干渉強度信号を測定するように構成される。
一部の実施において、干渉計は測定再帰反射器を含み、測定再帰反射器においては、エンコーダスケールは、測定再帰反射器に測定ビームを回折させ、測定再帰反射器から戻る測定ビームを受け取り、それから、偏光ビーム分割要素に戻すように測定ビームを回折させる。干渉計は偏光ビーム分割要素を含む偏光ビーム分割器を有することが出来る。干渉計はさらに偏光ビーム分割要素に戻るように基準ビームを再帰反射させるための基準再帰反射器を含むことが出来る。
1つ以上の実施形態の詳細が添付の図面と以下の記載とにおいて述べられる。他の特徴と他の利点とが、記載、図面、および特許請求の範囲から明らかである。
干渉ヘテロダイン光学エンコーダシステム
図1を参照すると、干渉ヘテロダイン光学エンコーダシステム100の例は、光源モジュール120(例えば、レーザを含む)と、光学アセンブリ110と、測定対象101と、検出器モジュール130(例えば、偏光子や検出器を含む)と、電子プロセッサ150とを含む。一般的に、光源モジュール120は光源を含み、ビーム成形光学系(例えば、光平行光学系)、光誘導構成要素(例えば、光ファイバ導波路)、および/または偏光管理光学系(例えば、偏光子および/または波長板)などの他の構成要素を含むことも出来る。光学アセンブリ110の様々な実施形態が以下で記載される。光学アセンブリは「エンコーダヘッド」とも呼ばれる。デカルト座標系が参考のために示される。
角度をつけられたビームの誤差補正
一部の実施形態において、周期誤差は測定ビームと基準ビームとの間の分離角度を増加させることによって最小化されることが出来る。例えば、図3は、ビーム混合によって引き起こされる非線形性や周期誤差などの、非線形性や周期誤差を抑制するためのヘテロダイン光学エンコーダシステム300の概略図である。エンコーダシステム300の基本動作原理は図1に示されたシステム100の基本動作原理と同様である。しかしながら、エンコーダシステム300は測定ビームと基準ビームとの間の分離を高めるために測定ビームと基準ビームとの間の伝播角度の差を導入したり除去したりする1つ以上の偏光光学系を含む。これは、測定ビームと基準ビームとの偏光に加えて測定ビームと基準ビームとの伝播角度によって測定ビームと基準ビームとが区別されることを可能にすることにより、ゴーストビームと偏光混合効果とによって作り出される周期誤差の大きさを減らす。
I(t,ν,x)=exp[i(ft+πvx/R)] (2)
として表されることが出来るように、(実際には、ビームプロフィールは変わり得るが)ビームプロフィールは検出器の開口に渡って完全に平坦であると仮定され、ここで、fはヘテロダイン周波数であり、xは干渉縞に対して直交する線形座標であり、信号強度は1に正規化された。合計信号は検出器の全面積に関する積分であり、方程式
ここで、
x(r,θ)=rcos(θ) (5)
である。
ヘテロダイン信号は
リソグラフィツール用途
リソグラフィツールはコンピュータチップなどの大規模集積回路を製造する際に使用されるリソグラフィ用途において特に有用である。リソクラフィは半導体製造業界にとって鍵となる技術駆動輪である。オーバレイの改善は22nm以下の線幅(設計ルール)にするための5つの最も困難な問題のうちの1つである。例えば、the International Technology Roadmap for Semiconductors、pp.58−59(2009)を参照されたい。M.S.Hibbs、「System overview of optical steppers and scanners」、Microlithography、K.Suzuki、B.Smith、Eds.、pp.46−47(CRC Press、Boca Raton、2007)もまた参照されたい。
Claims (33)
- エンコーダ干渉システムであって、
異なる周波数を有する第1のビームと第2のビームとを受け取るように配置された干渉計であって、前記干渉計は、測定経路に沿って前記第1のビームを方向付けて測定ビームを画定し、基準経路に沿って前記第2のビームを方向付けて基準ビームを画定する少なくとも1つの偏光ビーム分割要素を含む、前記干渉計と、
少なくとも一度、前記測定ビームを回折させるように配置されたエンコーダスケールと、
前記測定ビームが前記エンコーダスケールから回折された後に、前記測定ビームと前記基準ビームとを受け取るように配置された検出器と、
前記測定ビームと前記基準ビームとが前記検出器に到達する前に、前記測定ビームと前記基準ビームとを受け取るように配置されるとともに、前記第1のビームのスプリアス回折部分を受け取って前記検出器から離れるように屈折させるように配置された出力構成要素とを備え、前記スプリアス回折部分は、前記エンコーダスケールからの回折の結果として前記検出器に向う前記測定ビームの経路とは異なる経路に進む第1のビームの一部分を含む、エンコーダ干渉システム。 - 前記出力構成要素は、複屈折出力構成要素である、請求項1に記載のシステム。
- 前記複屈折出力構成要素は、プリズムペアを含む、請求項2に記載のシステム。
- 前記プリズムペアにおける第1のプリズムは、複屈折くさびであり、前記プリズムペアにおける第2のプリズムは、ガラスくさびである、請求項3に記載のシステム。
- 線形偏光子と、
出力光ファイバレンズと、
前記出力構成要素から前記検出器まで前記測定ビームと前記基準ビームとを結合するための出力ファイバと
をさらに備える、請求項1に記載のシステム。 - 前記異なる周波数を有する前記第1のビームと前記第2のビームとを生成するように構成された供給源をさらに備え、前記供給源は、前記第1のビームと前記第2のビームとが実質的に直交する偏光を有するようにさらに構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記供給源は、前記異なる周波数を生成するために、音響光学変調器、電子光学変調器、またはゼーマン分割レーザを含む、請求項6に記載のシステム。
- 前記供給源は、前記第1のビームと前記第2のビームとの間の伝播方向に角度差を導入するための入力構成要素を含む、請求項6に記載のシステム。
- 前記入力構成要素は、複屈折入力構成要素である、請求項8に記載のシステム。
- 前記入力構成要素は、プリズムペアを含む、請求項8に記載のシステム。
- 前記供給源はさらに、
前記干渉計に向かって前記第1のビームと前記第2のビームとを運ぶための入力偏光保存ファイバの対と、
入力ファイバから前記入力構成要素まで前記第1のビームと前記第2のビームとを結合するための入力光ファイバレンズと
を含む、請求項8に記載のシステム。 - 前記入力構成要素と前記出力構成要素とは、共通の複屈折構成要素の異なる部分に対応する、請求項8に記載のシステム。
- 前記出力構成要素は、前記測定ビームと前記基準ビームとを互いに結合するようにさらに構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記検出器は、前記測定ビームと前記基準ビームとの間の干渉に基づいて干渉強度信号を測定するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記エンコーダスケールは、一次元の回折格子を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記干渉計は、測定再帰反射器を含み、前記エンコーダスケールは、前記測定ビームを前記測定再帰反射器へ回折させ、前記測定再帰反射器から戻る前記測定ビームを受け取り、前記偏光ビーム分割要素に戻るように前記測定ビームを回折させる、請求項1に記載のシステム。
- 前記ビーム分割要素は、偏光ビームスプリッタであり、前記干渉計はさらに、前記偏光ビームスプリッタに戻るように前記基準ビームを再帰反射させるための基準再帰反射器を含む、請求項16に記載のシステム。
- 前記第1のビームと前記第2のビームとは第1の組の入力ビームを画定し、前記干渉計はさらに、第2の測定ビームと第2の基準ビームとを画定する第2の組の入力ビームを受け取るように配置され、前記エンコーダスケールは、少なくとも一度、前記第2の測定ビームを回折させるように配置され、前記システムはさらに、前記第2の測定ビームが前記エンコーダスケールから回折された後に、前記第2の測定ビームと前記第2の基準ビームとを受け取るように配置された第2の検出器を備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記第2の測定ビームと前記第2の基準ビームとが前記第2の検出器に到達し、前記第2の検出器から離れるように前記第2の組の入力ビームのスプリアス部分を屈折させる前に、前記第2の測定ビームと前記第2の基準ビームとを受け取るように配置された第2の出力構成要素をさらに備える、請求項18に記載のシステム。
- 前記干渉計はさらに第2の測定再帰反射器を備え、前記エンコーダスケールは、前記第2の測定ビームを前記第2の測定再帰反射器へ回折させ、前記第2の測定再帰反射器から戻る前記第2の測定ビームを受け取って、前記偏光ビーム分割要素に戻るように前記第2の測定ビームを回折させる、請求項18に記載のシステム。
- 前記第2の検出器は、前記第2の測定ビームと前記第2の基準ビームとの間の干渉に基づいて、第2の干渉強度信号を測定するように構成される、請求項18に記載のシステム。
- 第1の干渉強度信号と第2の干渉強度信号とに基づいて、少なくとも2つの自由度に沿った前記エンコーダスケールの位置の変化を決定するための信号処理システムをさらに備える、請求項21に記載のシステム。
- 前記第1のビームと前記第2のビームとは、前記偏光ビーム分割要素上に衝突する前に伝播角度の差を有する、請求項1に記載のシステム。
- 前記伝播角度の差は、約0.1ミリラジアンと約10ミリラジアンとの間である、請求項23に記載のシステム。
- 前記伝播角度の差は、約0.5ミリラジアンと約5ミリラジアンとの間である、請求項24に記載のシステム。
- 前記入力光ファイバレンズと前記入力構成要素とが結合して、前記第1のビームと前記第2のビームとの間の前記伝播方向の角度差が約0.1ミリラジアンと約10ミリラジアンとの間になるようにする、請求項11に記載のシステム。
- 前記角度差は約0.5ミリラジアンと約5ミリラジアンとの間である、請求項26に記載のシステム。
- 前記ビーム分割要素は、ビーム分割インタフェースを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記ビーム分割要素は、プリズムキューブである、請求項1に記載のシステム。
- 前記ビーム分割要素は、回折光学要素を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記ビーム分割要素は、複屈折要素を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記供給源は、前記第1のビームと前記第2のビームとの両方が、線形の偏光、円形の偏光、または楕円形の偏光を有するように構成されている、請求項6に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つの偏光ビーム分割要素は、回折されたビームがリトロウ条件を満たさないように前記第1のビームを前記エンコーダスケールに向けるように配置されている、請求項1に記載のシステム。
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