JPS6098302A - 光学式変位測定装置 - Google Patents
光学式変位測定装置Info
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- JPS6098302A JPS6098302A JP20595683A JP20595683A JPS6098302A JP S6098302 A JPS6098302 A JP S6098302A JP 20595683 A JP20595683 A JP 20595683A JP 20595683 A JP20595683 A JP 20595683A JP S6098302 A JPS6098302 A JP S6098302A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/30—Grating as beam-splitter
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
座業上の利用分野
本発明は、九の干渉を利用してスケールの移動を検出す
るようにした光学式変位測定装置の改良に関するもので
ある。
るようにした光学式変位測定装置の改良に関するもので
ある。
背景技術とその問題点
従来、移動する回折格子の位置変化を元の干渉を利用し
て検出するようにした光学式変位測定装置には以下のよ
うな２種類の干渉計が使用されている。
て検出するようにした光学式変位測定装置には以下のよ
うな２種類の干渉計が使用されている。
その１つは特開昭４７−１００３４ｑ公報に示されてい
るようが構成のもので、この干渉計は第１図に示される
ようにスケールとして使用される回折格子１．一対のミ
ラー２，３、可干渉性光源４およびフォトディテクタ５
を含んでおり、入射光６に基ぎ移動信号を作成する２つ
の干渉尤のうちの一方は１次もしくは高次モードの回折
光７Ａから成り、他方は０次モードの回折光７Ｂから成
っている。
るようが構成のもので、この干渉計は第１図に示される
ようにスケールとして使用される回折格子１．一対のミ
ラー２，３、可干渉性光源４およびフォトディテクタ５
を含んでおり、入射光６に基ぎ移動信号を作成する２つ
の干渉尤のうちの一方は１次もしくは高次モードの回折
光７Ａから成り、他方は０次モードの回折光７Ｂから成
っている。
この干渉計はスケールとして使用される回折格子の移動
方向と直交する２方向の変位には無関係に、その回折格
子の格子ベクトル方向のみの変位を検出する性質ビ有し
、回折尤間の角度１８０Ｄ以内と大きくとることができ
るため後述の他のものよりも格子のピッチが細（とれる
ので分解能馨上げ易い利点を備えている。また検出信号
は回折格子として体積型のホログラム等の高効率の格子
を使用できることから後述のものよりも太ぎくとれ５不
要の回折光等による悪影響７防げるので第１図において
入射光６の約半分の量を信号光として得ることができる
。
方向と直交する２方向の変位には無関係に、その回折格
子の格子ベクトル方向のみの変位を検出する性質ビ有し
、回折尤間の角度１８０Ｄ以内と大きくとることができ
るため後述の他のものよりも格子のピッチが細（とれる
ので分解能馨上げ易い利点を備えている。また検出信号
は回折格子として体積型のホログラム等の高効率の格子
を使用できることから後述のものよりも太ぎくとれ５不
要の回折光等による悪影響７防げるので第１図において
入射光６の約半分の量を信号光として得ることができる
。
しかしながらこの干渉計の欠点は、光源４からの入射光
の波長の変化に弱く波長の変化がそのまま測定誤差とし
て表れ易いことである。向えば第２図に示すように、光
源４からの入射光６の波長が変化すると０次モードの九
の方向７Ｂは変化しないが１次モードの九の方向はその
影＊Ｖ受けて実線位置７Ａから点線位置７ Ａ’へ変化
し、これに伴い回転角Ｗも変化するようになる。よって
干渉丁べぎ２つの元ビームの間の方向が変化するので干
渉計がくずれて検出信号の変調率が低下し遂には干渉信
号を得るのが不可能になる。
の波長の変化に弱く波長の変化がそのまま測定誤差とし
て表れ易いことである。向えば第２図に示すように、光
源４からの入射光６の波長が変化すると０次モードの九
の方向７Ｂは変化しないが１次モードの九の方向はその
影＊Ｖ受けて実線位置７Ａから点線位置７ Ａ’へ変化
し、これに伴い回転角Ｗも変化するようになる。よって
干渉丁べぎ２つの元ビームの間の方向が変化するので干
渉計がくずれて検出信号の変調率が低下し遂には干渉信
号を得るのが不可能になる。
またこの干渉言ｌは第３図に示すように、回折格子１乞
格子ベクトルと直交する上下方向に対して開位置から（
５１位置へ移動しても測定誤差が生じないという性質を
有しているが、回折格子ｌか移動して同位置にあると２
つの光ビームが干渉を始めるまでの元路長に変化を来た
して光路差７’＆生ずるようＶＣするので、Δλの波長
変化が生じたとするとＤ＝（Δλ／λ）（ｌ／λ）・２
・Ｐの測定誤差を生ずるようになる。（なお、λは光源
波長、Ｐは格子ピッチである） よってこの測定誤差を避けるには回折格子１輛位置ケ固
定丁ればよいが、このようにすると回折格子１の位置移
動によって回折格子１の上下動に因る元路長の変化をキ
ャンセＪ１１／させるという性質を充分に利用すること
かできなくなるため、実用上波長の不安定な光源を用い
ることはできなくなる。このためこの干渉計を使用した
変位測定１ｆｆｌでは波長安定性に優れたＨｅ −Ｎｅ
レーザ等が光源として採用されている。しかしＨｅ −
Ｎｅレーザは発熱量が多いため熱膨張等の影響を避ける
関係で光源と干渉計とは分離して構成する必要があり、
測定装置が大型化すると共に調整が難かしいという問題
が生じるので実用上大変工匠となる。
格子ベクトルと直交する上下方向に対して開位置から（
５１位置へ移動しても測定誤差が生じないという性質を
有しているが、回折格子ｌか移動して同位置にあると２
つの光ビームが干渉を始めるまでの元路長に変化を来た
して光路差７’＆生ずるようＶＣするので、Δλの波長
変化が生じたとするとＤ＝（Δλ／λ）（ｌ／λ）・２
・Ｐの測定誤差を生ずるようになる。（なお、λは光源
波長、Ｐは格子ピッチである） よってこの測定誤差を避けるには回折格子１輛位置ケ固
定丁ればよいが、このようにすると回折格子１の位置移
動によって回折格子１の上下動に因る元路長の変化をキ
ャンセＪ１１／させるという性質を充分に利用すること
かできなくなるため、実用上波長の不安定な光源を用い
ることはできなくなる。このためこの干渉計を使用した
変位測定１ｆｆｌでは波長安定性に優れたＨｅ −Ｎｅ
レーザ等が光源として採用されている。しかしＨｅ −
Ｎｅレーザは発熱量が多いため熱膨張等の影響を避ける
関係で光源と干渉計とは分離して構成する必要があり、
測定装置が大型化すると共に調整が難かしいという問題
が生じるので実用上大変工匠となる。
一方その他のものとしては特開昭５７−１９０２０２号
公報、特開昭５７−１９０２０３号公報および実開昭５
７−８１５１０号公報に示されているような構成の干渉
計が知られている。これらが上記第１の干渉計と異なっ
ている点は、第１のものが１次もしくは高次モードの回
折光および０次モードの回折光との間の干渉を利用して
移動検出を行っているのに対し、これら第２のものはプ
ラスとマイナスの同次回折光同士の干渉を利用して移動
検出を行うという点にある。第４図はこれら第２の干渉
ｓ十の孕−成を示すもので第１図と同一部分は同一番号
で示し、８はハーフミラ−である。
公報、特開昭５７−１９０２０３号公報および実開昭５
７−８１５１０号公報に示されているような構成の干渉
計が知られている。これらが上記第１の干渉計と異なっ
ている点は、第１のものが１次もしくは高次モードの回
折光および０次モードの回折光との間の干渉を利用して
移動検出を行っているのに対し、これら第２のものはプ
ラスとマイナスの同次回折光同士の干渉を利用して移動
検出を行うという点にある。第４図はこれら第２の干渉
ｓ十の孕−成を示すもので第１図と同一部分は同一番号
で示し、８はハーフミラ−である。
これら第２のものは干渉用ビームがいずれも回折光であ
るために、光源４からの元の波長が変化しても変化前の
実線位置および変化羨の点砂位匝で示されるように回折
光７Ａ、７［３は共に回転角変化を起こ丁ような経路を
通るので、２つのビームの通過経路の長さを一致さ−ビ
ておけば第１のものと異なって検出信号が劣化したり、
ａ＋ｌＩ定誤差が生じにくいという利点を有し、しが
もそれと同符に回折格子１か格子ベクトルと直交する上
下方向に移動してもｄ１１１定誤差乞住することはない
。
るために、光源４からの元の波長が変化しても変化前の
実線位置および変化羨の点砂位匝で示されるように回折
光７Ａ、７［３は共に回転角変化を起こ丁ような経路を
通るので、２つのビームの通過経路の長さを一致さ−ビ
ておけば第１のものと異なって検出信号が劣化したり、
ａ＋ｌＩ定誤差が生じにくいという利点を有し、しが
もそれと同符に回折格子１か格子ベクトルと直交する上
下方向に移動してもｄ１１１定誤差乞住することはない
。
このためこの第２の干渉計乞使用した変位測定装置では
光源として波長の不安定な十専体レーザ等を採用するこ
とができ、半４体レーザは前記Ｈｅ−Ｎｅレーザに比較
してホ型でしかも発熱量が少ないという利点を有してい
る。
光源として波長の不安定な十専体レーザ等を採用するこ
とができ、半４体レーザは前記Ｈｅ−Ｎｅレーザに比較
してホ型でしかも発熱量が少ないという利点を有してい
る。
したがって列えば半専体レーザをｉ＃ｌとして用いろこ
とにより元部と干渉計との一体化を計ることができるの
で測定装ｆを／Ｊ＼型化することができ、またこれに伴
い面倒な調整を不要とすることができる。
とにより元部と干渉計との一体化を計ることができるの
で測定装ｆを／Ｊ＼型化することができ、またこれに伴
い面倒な調整を不要とすることができる。
しかしながらこの第２の干渉計の場合は、九源４からの
入射光に対して検出信号が太ぎくとれないという欠点が
ある。これはプラスとマイナスの同次回折光間の干渉を
利用している関係上、第１の干渉計のように回折効率の
良い体積型ホログラムやブレーズ格子を使用することが
できないことに原因しているものである。第５図に示す
ように各々２度ずつ回折させた場合には、その最大出力
（検出信号）は入射光６のパワーの加％程度であり、こ
の場合は第１のものに比べ検出糸の信号増幅率を大さく
とる必要があるために測定装置の応答速度を低下させる
おそれが生ずる。
入射光に対して検出信号が太ぎくとれないという欠点が
ある。これはプラスとマイナスの同次回折光間の干渉を
利用している関係上、第１の干渉計のように回折効率の
良い体積型ホログラムやブレーズ格子を使用することが
できないことに原因しているものである。第５図に示す
ように各々２度ずつ回折させた場合には、その最大出力
（検出信号）は入射光６のパワーの加％程度であり、こ
の場合は第１のものに比べ検出糸の信号増幅率を大さく
とる必要があるために測定装置の応答速度を低下させる
おそれが生ずる。
また回折光と０次元の間の角度は９０以下Ｋ ａｌｊ限
されるため格子ピッチは第１図のものよりも細かくとれ
ないので、回折回数が同じ場合には分解能は上げに＜＜
１ｊる。さらに信号とは無関係の強い０次元および格子
の種類によっては多くの高次元が発生し易くなるために
、小型の測定装置χ得る場合の障害となるおそれがある
。
されるため格子ピッチは第１図のものよりも細かくとれ
ないので、回折回数が同じ場合には分解能は上げに＜＜
１ｊる。さらに信号とは無関係の強い０次元および格子
の種類によっては多くの高次元が発生し易くなるために
、小型の測定装置χ得る場合の障害となるおそれがある
。
以上のような従来Ｍの他にさらに特開昭５７−２０７８
０５号公報に示されているような構成のものも知られて
いるが、これにおいても透過型の場合は入射角と回折角
とが等しくないこと、また反射型の場合には共通のブレ
ーズ角を持たないこと等の理由によって、スケールとし
て回折効率の太ぎな回折格子を使用しにくいので第２の
ものと同様な欠点ン有している。
０５号公報に示されているような構成のものも知られて
いるが、これにおいても透過型の場合は入射角と回折角
とが等しくないこと、また反射型の場合には共通のブレ
ーズ角を持たないこと等の理由によって、スケールとし
て回折効率の太ぎな回折格子を使用しにくいので第２の
ものと同様な欠点ン有している。
発明のａ髄
本発明は以上の問題に対処してなされたもので。
可干渉性元諒と、この可干渉性元源から出射したビーム
を２分するビームスプリッタと、２分されたビームが入
射さ几る回折格子と、この回折格子による２つの回折光
が入射され再びこの回折九乞上記回折格子に出射する反
射器と、上記２つの回折光によるビームスプリッタにお
ける干渉九を検出するための検出器とを含み、上記反射
器′ｆ！：経た２つの回折九ケ上記ビームスグリツタで
干渉さ−じることによりこの干渉強度馨上記検出器で測
定させて回折格子の位置変化をめるように構成して従来
欠点な除去するようにした九学式変位測定装置を提供す
るものである。
を２分するビームスプリッタと、２分されたビームが入
射さ几る回折格子と、この回折格子による２つの回折光
が入射され再びこの回折九乞上記回折格子に出射する反
射器と、上記２つの回折光によるビームスプリッタにお
ける干渉九を検出するための検出器とを含み、上記反射
器′ｆ！：経た２つの回折九ケ上記ビームスグリツタで
干渉さ−じることによりこの干渉強度馨上記検出器で測
定させて回折格子の位置変化をめるように構成して従来
欠点な除去するようにした九学式変位測定装置を提供す
るものである。
実施列
以下図面を参照して本発明実施し！Ｉを説明する。
第６図は本発明実施的による九学式変位測定鉄ｕｌＹ示
すイア４成図で、１１はスケールとして使用される回折
格子１２．１３は一対のミラー、２２．２３はその他の
一対のミラー、１４は可干渉性光臨、１５はフォトデテ
クタ、冴は上記回折格子１から出射した尤ビームを２分
するためのビームスプリッタ、部は上記回折格子１１の
法線である。
すイア４成図で、１１はスケールとして使用される回折
格子１２．１３は一対のミラー、２２．２３はその他の
一対のミラー、１４は可干渉性光臨、１５はフォトデテ
クタ、冴は上記回折格子１から出射した尤ビームを２分
するためのビームスプリッタ、部は上記回折格子１１の
法線である。
以上の構成において上記可干渉性元源１４から出射され
てビームスプリッタ潤に入射された九１６はミラー１２
に向かう光１６Ａとミラー１３へ向かう九１６Ｂとに２
分される。各光ビーム１６．Ａ、１６Ｂは上記ミラー１
２．１３’に介して法線５を挾んで等しい角度で回折格
子１１に入射する。回折格子１１は紙面上格子ベクトル
が水平方向に向くように設置され、スケールとして用い
られる回折格子１１の変位測定方向とその格子ベクトル
の方向は一致し、上記ミラー１２を紅た元と一ム１６Ａ
はさらに他のミラー２２に入射されるように回払される
と共にミラー１３を経た光ビーム１６ Ｂ ｋ′よさら
に他のミラー乙に入射されるように回折される。この時
各々の入射光１６Ａ。
てビームスプリッタ潤に入射された九１６はミラー１２
に向かう光１６Ａとミラー１３へ向かう九１６Ｂとに２
分される。各光ビーム１６．Ａ、１６Ｂは上記ミラー１
２．１３’に介して法線５を挾んで等しい角度で回折格
子１１に入射する。回折格子１１は紙面上格子ベクトル
が水平方向に向くように設置され、スケールとして用い
られる回折格子１１の変位測定方向とその格子ベクトル
の方向は一致し、上記ミラー１２を紅た元と一ム１６Ａ
はさらに他のミラー２２に入射されるように回払される
と共にミラー１３を経た光ビーム１６ Ｂ ｋ′よさら
に他のミラー乙に入射されるように回折される。この時
各々の入射光１６Ａ。
１６ Ｂの回折光１７Ａ、１７Ｂの元軸は互いに他方の
入射光の元軸と一致するように回折される。
入射光の元軸と一致するように回折される。
次にミラーη、２３ｉＣよって反射され定回折Ｘ１７Ａ
、１７Ｂは再度回１ノｒ格子１１ｖｃ入射するが、ここ
でも再び回折されてミラー２２から入射した回折％１７
Ａはミラー１２へまたミラーＺ３から入射した回折光１
７ Ｂはミラー１３へ各々入射され、各々ここで反射さ
れてビームスプリッタ２４に戻る。そしてこのヒ″−ム
スブリツタ２Ａにおいてミラー１２ヲ紅た尤ビームの透
過九とミラー１３を経た元ビームの反射器σつ元軸が一
致して干渉が行われるので、フォトデテクタ１５によっ
てその干渉強度ン検出することによりスケールとして用
いられる回折格子Ｊ１の変位測定が行われる。この時検
出イ］りと回折格子の亥位量とは次のように関係ずけら
れる。
、１７Ｂは再度回１ノｒ格子１１ｖｃ入射するが、ここ
でも再び回折されてミラー２２から入射した回折％１７
Ａはミラー１２へまたミラーＺ３から入射した回折光１
７ Ｂはミラー１３へ各々入射され、各々ここで反射さ
れてビームスプリッタ２４に戻る。そしてこのヒ″−ム
スブリツタ２Ａにおいてミラー１２ヲ紅た尤ビームの透
過九とミラー１３を経た元ビームの反射器σつ元軸が一
致して干渉が行われるので、フォトデテクタ１５によっ
てその干渉強度ン検出することによりスケールとして用
いられる回折格子Ｊ１の変位測定が行われる。この時検
出イ］りと回折格子の亥位量とは次のように関係ずけら
れる。
原点上にさしかかったミラー１２．１３を経た２つの入
射ビームの複素振幅Ｅｊ、Ｅｚ（時間変動項は除く）は
入射角ンθとすると、 Ｅ１＝ Ａ、 ｅｊ （ｋｓｉｎθ会ｚ ｋｃｏｓθ−
Ｙ−ｙｌｌ） −−（ＩＩＥ２ ：Ａ２ｅ” ”０θａ
ｘ−ｋＣｏｓσ・ｙ １２） ・旧・・（２１で表わさ
れる。ここでｋは使用充源のうしの波鉄。
射ビームの複素振幅Ｅｊ、Ｅｚ（時間変動項は除く）は
入射角ンθとすると、 Ｅ１＝ Ａ、 ｅｊ （ｋｓｉｎθ会ｚ ｋｃｏｓθ−
Ｙ−ｙｌｌ） −−（ＩＩＥ２ ：Ａ２ｅ” ”０θａ
ｘ−ｋＣｏｓσ・ｙ １２） ・旧・・（２１で表わさ
れる。ここでｋは使用充源のうしの波鉄。
グー、０２は各々ビームスプリッタで分割された時点を
Ｏとし、この点より回折格子へ入射するまツ硯路による
位相の変化ン示し又いる。
Ｏとし、この点より回折格子へ入射するまツ硯路による
位相の変化ン示し又いる。
また回折格子１１の透ホ率Ｔは、
’Ｉ’＝ｃＯ５（Ｋｘ−ψ） ・−・−（３１で表わさ
れる。ここで１（は回折格子の格子ベクトル２π／Ｊ（
Ｊ回折格子の波長）、ψは格子の位相ン示している。
れる。ここで１（は回折格子の格子ベクトル２π／Ｊ（
Ｊ回折格子の波長）、ψは格子の位相ン示している。
ここで格子ベクトルＫ ７１前記回折の条件に合うよう
に、に＝２ｋｓｉｎθとして上記＋３１式を改めると。
に、に＝２ｋｓｉｎθとして上記＋３１式を改めると。
で表わされる。
さて回折光は上記ｇ、 ＊ ＥｚとＴとの積で表わされ
るが各々の１次回折元をそれぞれＥｌ３ ＋ Ｅ２１と
すると。
るが各々の１次回折元をそれぞれＥｌ３ ＋ Ｅ２１と
すると。
Ｅｚ １＝ Ａ１１ （６１（１＜ｓｉｎθ・ｘ−ｋｃ
０３Ｕ・ｙ ０３＋ψ月・・・（５） Ｅ２１ ＝ Ａ２１ （６ｒ （ｋｓｉｎＵａｘ ｋｃ
ｏｓ＊ ｙ−ｙＩ２−ψ） ）−＋６）で表わされる。
０３Ｕ・ｙ ０３＋ψ月・・・（５） Ｅ２１ ＝ Ａ２１ （６ｒ （ｋｓｉｎＵａｘ ｋｃ
ｏｓ＊ ｙ−ｙＩ２−ψ） ）−＋６）で表わされる。
格子として体積型のホログラムを用いればＯ次回折九と
１次回折元以外の元はほとんど表われず３つの１次回折
元は各々他方の入射ビームとその進行方向が一致してお
りその位相Ｐは。
１次回折元以外の元はほとんど表われず３つの１次回折
元は各々他方の入射ビームとその進行方向が一致してお
りその位相Ｐは。
Ｐ＝−メｌ十ψ−（−ダ２−ψ）＝メ２〜０１＋２９・
・・（７）で表わされる値だけ異なっている。
・・（７）で表わされる値だけ異なっている。
これらの回折光がミラーρ、２３によって反射されて回
折格子１１へ入射されるまでの位相の変化ン各々グ３．
〆４とすると５回折格子１１へ戻って入射する直前のビ
ームの複素伽幅Ｅ１２ｙ Ｅ２□は。
折格子１１へ入射されるまでの位相の変化ン各々グ３．
〆４とすると５回折格子１１へ戻って入射する直前のビ
ームの複素伽幅Ｅ１２ｙ Ｅ２□は。
Ｅｌ ２ ”” ＡＸ ２ （ｅ ｉ（ｋｓｉｎθ・ｘ
＋ｋｃｏｓθ−ｙ−ダニ−０３士ψ）ノ・・・（８） Ｅ２２ ＝Ａ２２ ｉ ６ ’ （ｋｓｉｎσ＋＋ｘ＋
ｋｃｏ５σ”ｊ−ｐｆ２ Ｊ’４ ９’））・・・１９
１ で表わされ、再び回折格子１１へ入射して回折されたビ
ームの１次回折光の複素振幅をＥ１３ｓ Ｅｚ３とする
と上記式ｆ５７． （６７と同様に。
＋ｋｃｏｓθ−ｙ−ダニ−０３士ψ）ノ・・・（８） Ｅ２２ ＝Ａ２２ ｉ ６ ’ （ｋｓｉｎσ＋＋ｘ＋
ｋｃｏ５σ”ｊ−ｐｆ２ Ｊ’４ ９’））・・・１９
１ で表わされ、再び回折格子１１へ入射して回折されたビ
ームの１次回折光の複素振幅をＥ１３ｓ Ｅｚ３とする
と上記式ｆ５７． （６７と同様に。
Ｅｌ３ ＝＝ Ａ１３ （ｅｉ（ｋｓｌＢ” ’ Ｘ
＋ｋｃｏｓθ”ｙ 鳩−ｌ、＋２ｒｐ）７・・・（１の Ｅｚ ３ ：Ａ２３ （ｅ’ （ｋｓｌｎθ＊ ｘ＋ｋ
ｃｔｒ山ｙ−１２−０，４２９’ ） ）・・・ （１
１ン で表わされる。さらに１次回折光の６に注目してるると
再び入射時と同経路を経て逆方向へ進んでいく波である
ことがｓｓｇれる・ これらの波がビームスプリラタムへ入射するとミラー１
２を経た充は直進し、ミラー１３ン経た元は反射され丸
軸を等しくするか、この時までの位相の変化を各々Ｊ’
ｓ ｔ ｙｉ６とすると干渉を始める２つのビームの複
素振幅を”’１４ｓ Ｅｚ４とするとｉ””’ ＝ Ａ
１４ （ｅ Ｉ（ｋｓｊｌｌθ・ｘ＋ｋｃｏｓＤ−ｙ−
ｌ、−ｅ、−Ｏ，＋２（Ｐ） ）・・・ １１９） ”’２４ ＝ Ａ２４ （ｅｌ（１（ｓｉｎ０’ Ｘ＋
ｋｃｏ５θ”Ｙ １２Ｊ’４ ｇ６２’ｆ’））・・・
（１３） で表わされる。
＋ｋｃｏｓθ”ｙ 鳩−ｌ、＋２ｒｐ）７・・・（１の Ｅｚ ３ ：Ａ２３ （ｅ’ （ｋｓｌｎθ＊ ｘ＋ｋ
ｃｔｒ山ｙ−１２−０，４２９’ ） ）・・・ （１
１ン で表わされる。さらに１次回折光の６に注目してるると
再び入射時と同経路を経て逆方向へ進んでいく波である
ことがｓｓｇれる・ これらの波がビームスプリラタムへ入射するとミラー１
２を経た充は直進し、ミラー１３ン経た元は反射され丸
軸を等しくするか、この時までの位相の変化を各々Ｊ’
ｓ ｔ ｙｉ６とすると干渉を始める２つのビームの複
素振幅を”’１４ｓ Ｅｚ４とするとｉ””’ ＝ Ａ
１４ （ｅ Ｉ（ｋｓｊｌｌθ・ｘ＋ｋｃｏｓＤ−ｙ−
ｌ、−ｅ、−Ｏ，＋２（Ｐ） ）・・・ １１９） ”’２４ ＝ Ａ２４ （ｅｌ（１（ｓｉｎ０’ Ｘ＋
ｋｃｏ５θ”Ｙ １２Ｊ’４ ｇ６２’ｆ’））・・・
（１３） で表わされる。
また干渉ｉｇＩ度Ｉは。
Ｉ ＝ （ＥＩｊ 十Ｅ２４ ） （Ｅｌ４ ＋Ｅ２４
）−（Ａ１４ ＋Ａ ２４ ＋２ｃｏｓＡｕ ・Ａ２
ｒｔ （１２＋１４＋ｔ２ｆ６−ダＪＪ’ａ−＄５−４
ψ月・・・（１４）”ｌＥわ’３ｔｔ、る。コＣテＣ＝
（＄２十ｇ４＋ｍｓ −ｌ １−Ｉｓ−〇５）はスケ
ールとしての回折格子が移動しても変化しない定数であ
り、２つのビームの経路の長さ馨等しくとっておけばＣ
＝Ｏとなりその時の干渉強度Ｉは。
）−（Ａ１４ ＋Ａ ２４ ＋２ｃｏｓＡｕ ・Ａ２
ｒｔ （１２＋１４＋ｔ２ｆ６−ダＪＪ’ａ−＄５−４
ψ月・・・（１４）”ｌＥわ’３ｔｔ、る。コＣテＣ＝
（＄２十ｇ４＋ｍｓ −ｌ １−Ｉｓ−〇５）はスケ
ールとしての回折格子が移動しても変化しない定数であ
り、２つのビームの経路の長さ馨等しくとっておけばＣ
＝Ｏとなりその時の干渉強度Ｉは。
で表わされる。これｙ５するとスケールの位相変化の４
＠の位相変化が干渉イｌに表われるゆがわがり、ここで
スケールの変位量ケｊとすると回折格子の位相ψは。
＠の位相変化が干渉イｌに表われるゆがわがり、ここで
スケールの変位量ケｊとすると回折格子の位相ψは。
ψ＝ ｌ ａ １ｓ＝ｌｌ ｍ ２１Ｃｓｉｎθ＝ Ｉ
Ｉ ｗ２ 倫−ｌｌ５ｉｎ （／ −（１６）で表わさ
れ、この時干渉信号の１周期に相当するで表わされる。
Ｉ ｗ２ 倫−ｌｌ５ｉｎ （／ −（１６）で表わさ
れ、この時干渉信号の１周期に相当するで表わされる。
−ＩＩＭＪとしてλ−７８００１．θ＝４５°に設定し
たとすると、上記式（１７）から、Ｌ＝ ０．７８／
８ ・５ｉｎ４５°合０．７８／８ Ｘ Ｏ，７０７勺
０．１３８μｍが得られる。
たとすると、上記式（１７）から、Ｌ＝ ０．７８／
８ ・５ｉｎ４５°合０．７８／８ Ｘ Ｏ，７０７勺
０．１３８μｍが得られる。
この値ン目安にした場合中数分の１の分局を行うことに
よりおよそ１／ｌＯＯμｍの変位測定が可能となる。ま
た２つのビームの経路の長さ乞等しく設定すると光源の
波長が変化しても各々のビームの経路での位相変化は等
しくなりＣ−０となって光源の波長変化に不変の干渉信
号が得られ、また発振波長幅が大きく干渉性の低い光源
を使用したとしてもＣが不さい場合には干渉信号を得る
ことかでざる。
よりおよそ１／ｌＯＯμｍの変位測定が可能となる。ま
た２つのビームの経路の長さ乞等しく設定すると光源の
波長が変化しても各々のビームの経路での位相変化は等
しくなりＣ−０となって光源の波長変化に不変の干渉信
号が得られ、また発振波長幅が大きく干渉性の低い光源
を使用したとしてもＣが不さい場合には干渉信号を得る
ことかでざる。
本発明？！１１１定装置においては、上記事実からも明
らかなように、光源の波長が変化しても２つの干渉ビー
ムの光路長は等しく変化し、結果的に光路差Ｃが常にＯ
となるように構成されており、またスケール（回折格子
）の上下移動によってもこの関係が保たれるよ５に構成
されている。
らかなように、光源の波長が変化しても２つの干渉ビー
ムの光路長は等しく変化し、結果的に光路差Ｃが常にＯ
となるように構成されており、またスケール（回折格子
）の上下移動によってもこの関係が保たれるよ５に構成
されている。
第８図シエその具体例乞示すもので、光源１４の波長が
変化した場合を示し光路は点線のように変化するが、２
つのビームは対称的に元路が変化するために結果的に光
路長の差には変化が住じず出力端での角度後部が等しく
なるため干渉計はくすれない。
変化した場合を示し光路は点線のように変化するが、２
つのビームは対称的に元路が変化するために結果的に光
路長の差には変化が住じず出力端での角度後部が等しく
なるため干渉計はくすれない。
なお図では２度目の回折を生ずる位置が回折格子上で移
動しているが、波長変化前に比べて左右対称に変化して
いるためにキャンセルされて検出信号に位相変化は生じ
ない。
動しているが、波長変化前に比べて左右対称に変化して
いるためにキャンセルされて検出信号に位相変化は生じ
ない。
またビームスプリッタ囚から出射される干渉ビームの位
置が若干ずれるが、波長変化幅が小さく１場合には非常
に小さいのでフォトデテクタ１５がその変化幅に比べて
太きければなんら問題は生じなし）。
置が若干ずれるが、波長変化幅が小さく１場合には非常
に小さいのでフォトデテクタ１５がその変化幅に比べて
太きければなんら問題は生じなし）。
第９図はまた回ｖｒ格子１１が上下移動した場合を示し
、この場合νＣも位置が囚からｔＢｌに移動することに
より光路が点線のように変化しても上記波長変化の場合
と同様に回折位置の変化は対称的に行おれるためにキャ
ンセルされる。
、この場合νＣも位置が囚からｔＢｌに移動することに
より光路が点線のように変化しても上記波長変化の場合
と同様に回折位置の変化は対称的に行おれるためにキャ
ンセルされる。
第７図は本発明の他の実施列ン示′ｆ構成図であり、一
対のεシー３３．３４によって回折九を反射させてビー
ムスプリッタ１５で干渉を生じさせるように構成したも
のである。
対のεシー３３．３４によって回折九を反射させてビー
ムスプリッタ１５で干渉を生じさせるように構成したも
のである。
第１（）図および第１１図はこの実施例において５′ｅ
源１４の波長変化が生じた場合および回折格子１１の移
動が生じた場合の約を示し、第８図および第９図と同じ
理由によって変化はキャンセルされるので開鎖は生じな
い。
源１４の波長変化が生じた場合および回折格子１１の移
動が生じた場合の約を示し、第８図および第９図と同じ
理由によって変化はキャンセルされるので開鎖は生じな
い。
本発明による測定装置の他の特徴として２つのビームの
入射角θと回折角θ′とが、大きすが等しいことが挙げ
られ、これにより２つのビームの回折が ｋ ｓｉｎθ−ｋ ｓｉｎθ’＝ Ｋｘ＝ Ｋ −（１
８）から成るＧｒａｔｉｎｇ Ｅｑｕａｔｉｏｎ の他
に、ｋｃｏｓＯｋｃｏｓｆ）’＝ Ｋｙ ＝ ０ （”
−”−θ’ ）−（１９）を満足させることができる。
入射角θと回折角θ′とが、大きすが等しいことが挙げ
られ、これにより２つのビームの回折が ｋ ｓｉｎθ−ｋ ｓｉｎθ’＝ Ｋｘ＝ Ｋ −（１
８）から成るＧｒａｔｉｎｇ Ｅｑｕａｔｉｏｎ の他
に、ｋｃｏｓＯｋｃｏｓｆ）’＝ Ｋｙ ＝ ０ （”
−”−θ’ ）−（１９）を満足させることができる。
有する格子による２つの回折がいずれもブラック条件ン
満足している事を示している。よって体積型ホログラム
を使用することにより高い回折動車ン上げることができ
る。
満足している事を示している。よって体積型ホログラム
を使用することにより高い回折動車ン上げることができ
る。
第１２図は体積型ホログラム表面いた時のホログラム内
部ン示ｆ概略図で、あは可干渉平面波、３６は記録材料
、３７はホログラム内肱大図である。ホログラム表面に
約し格子面は垂直に位置しており、材料の選択によって
０μｍの回折格子で１００％近い回折効率を上げる事も
可能である。ま１こ格子面が垂直になっているのでホロ
グラム製作中に起き易い材料変形によりおこる格子ピッ
チの変化が少なくなるのでスケールの製作が容易となる
。
部ン示ｆ概略図で、あは可干渉平面波、３６は記録材料
、３７はホログラム内肱大図である。ホログラム表面に
約し格子面は垂直に位置しており、材料の選択によって
０μｍの回折格子で１００％近い回折効率を上げる事も
可能である。ま１こ格子面が垂直になっているのでホロ
グラム製作中に起き易い材料変形によりおこる格子ピッ
チの変化が少なくなるのでスケールの製作が容易となる
。
第１３図シエ第７図の実施例の具体的な構成ン示す配置
図で、４］シ工牛導体レーザ、４２．４３は歯元用レン
ズ、４４は偏光ビームスプリッタ、４５シま分波用グレ
ーティング、４６．４７．４８はλ／４板、４９．５０
は偏九板、５１．５２．５３はフォトディテクタで各々
ｓｉｎ波用、モニタ用、ｃｏｓ波用、図、５５はミラー
、５６は体この例においては光源としては半導体レーザ
４】ン用い、ビームスプリッタとしては偏向ビームスプ
リッタン用いた構成を示し、λ／４板によって入射ビー
ムと信号元とを分離するようにしている。
図で、４］シ工牛導体レーザ、４２．４３は歯元用レン
ズ、４４は偏光ビームスプリッタ、４５シま分波用グレ
ーティング、４６．４７．４８はλ／４板、４９．５０
は偏九板、５１．５２．５３はフォトディテクタで各々
ｓｉｎ波用、モニタ用、ｃｏｓ波用、図、５５はミラー
、５６は体この例においては光源としては半導体レーザ
４】ン用い、ビームスプリッタとしては偏向ビームスプ
リッタン用いた構成を示し、λ／４板によって入射ビー
ムと信号元とを分離するようにしている。
また信号九はその格子ベクトルの回ぎがスケール用ホロ
グラムと直交するようＶＣ置かれたグレーティング８２
により３つに分波され、■信号とＣＯＳ佃号およびモニ
タ信号ｙＬ−得るようにしている。
グラムと直交するようＶＣ置かれたグレーティング８２
により３つに分波され、■信号とＣＯＳ佃号およびモニ
タ信号ｙＬ−得るようにしている。
この構成によれば入射光のうち回折効率の２乗の元がイ
ｇ号九として得られるため、例えは回折効率（イ）％の
スケールを用いれは入射光の８０％の強度ン持つ信号九
を得る事かでざる。また半導体レーザに対する戻り元が
ノイズの原因となる事が知られているがこの場合はとん
ど戻り元はない。
ｇ号九として得られるため、例えは回折効率（イ）％の
スケールを用いれは入射光の８０％の強度ン持つ信号九
を得る事かでざる。また半導体レーザに対する戻り元が
ノイズの原因となる事が知られているがこの場合はとん
ど戻り元はない。
発明の効果
以上述べて明らかなように本発明によれば、可干渉性光
源と、この可干渉性光源から出射したビー ムｙｇ Ｚ
分１−るビームスプリッタと、２分されたビームが入
射される回折格子と、こり回折格子による２つの回折元
が入射され古びこの回折九を上記回折格子に出射する反
射器と、上記２つの回折尤によるビームスプリッタにお
ける干渉九を検出するための検出器とを含み、上記反射
器を経た２つの回折九ン上記ゲームスプリッタで干渉さ
せることによりこの干渉強度を上記検出器で測定させて
回折格子の位置変化ン求めるように構成したものである
から、次のような効果が得られる。
源と、この可干渉性光源から出射したビー ムｙｇ Ｚ
分１−るビームスプリッタと、２分されたビームが入
射される回折格子と、こり回折格子による２つの回折元
が入射され古びこの回折九を上記回折格子に出射する反
射器と、上記２つの回折尤によるビームスプリッタにお
ける干渉九を検出するための検出器とを含み、上記反射
器を経た２つの回折九ン上記ゲームスプリッタで干渉さ
せることによりこの干渉強度を上記検出器で測定させて
回折格子の位置変化ン求めるように構成したものである
から、次のような効果が得られる。
ｌ、使用光源の波長の変化に対し検出信号の劣化や測定
誤差ケ生じない。
誤差ケ生じない。
２、格子ベクトルと直交する２方向への変位に無関係な
測定ン行うことができる。
測定ン行うことができる。
３、体積型ホログラム等の回折効率の高い回折格子をス
ケールとして使用し、良質の検出信号を得る事ができる
。
ケールとして使用し、良質の検出信号を得る事ができる
。
４．０次元と１次元間の角度を大き（とることかでざる
ので分解能が上がる。
ので分解能が上がる。
第１図乃至第５図はいずれも従来例ン示す構成図、第６
図乃至第１２図はいずれも本発明実施例を示−ｆ構成図
、第１３図は本発明実施例を示す配置図である。 １１・・・回折格子（スケール、１２．１３．２２．２
３．３３゜讃・・・ミラー、１４・・・可干渉性光源、
１５・・・フォトデテクタ、２４・・・ビームスプリッ
タ。 特許出願人 ソニーマグネスケール株式会社条１図 竿５図 第６図 値７時 鍍９図 ｊｊ ”１４ 手続補正書 １．事件の表示 昭和５８年特許）願 第２０５９５６号３ 補正をする
者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 ソニーマグネスクール株式会社４代理人〒１０
５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ビル５
、補正の対象 明＃Ｉ誉の発明の詳細な説明の欄 （１） 本願明細書第８頁第１７行乃至第１８行「上記
２つの・・・・・・における」乞削除する。 （２）同頁第１９行「紅た」を「経て再度回折された」
に補正する。 手続補正書 ２、発明の名称 光学式変位測定装置 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 ソニーマグネスケール株式会社４、代理人〒１
０５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ビル電
話（０３）４５５−８７４６番 ５、補正の対象 ｌ、 明ａ書第５Ｒ第１７行目の「および」を「とＪに
訂正する。 ２ 明細書第７頁第１６行目のｒ９０以下」￥「９０′
以下」−に訂正する０ ３、 明細書第８頁第３行目乃至第１Ｏ行目の記載暑絢
除する◇ ４、 明Ｍ曹第８頁８１！１７行目乃至第１９行目の記
載を「上記回折格子に出射する反射器と、干渉光を検出
するＬめの検出器とン含み、上記反射器￥経て再度回折
された」に訂正する。 ５、 明細書第９負第１１行目の「上記回折格子ｌ」ン
「上記回折格子１１Ｊに訂正する。 ６、明細書第１２頁第８行目の「３つの」を「２つの」
に訂正する。 ７、 明細書第１４頁第６行目の記載馨下記のように訂
正づ−る。 ” Ｉ Ａ’ 十Ａ２＋２Ａ Ａ ｃｏｓｃｌ 十ｌ
十〇１４ ２４ １４２４ ２ ４ ６ ８、 明細書第１４頁第１３行目の記載Ｙ下記のように
訂正１−る。 ２ ２ ■＝（Ａ１４ ＋Ａ ２４ ＋２ Ａ □４ ・Ａ２４
ｃｏｓ （ａψ）ト・・αω９、 明細書第１４頁第
１８行目の記載χ下記のように訂正する。 ２π ψ＝ ｌ −に＝Ａ ・２ ｋｓｉｎθ＝ノ・２・二１
・５１ｆｌＯ・・・α０１０、明細書第１７頁第５行目
の「ビームスプリッタ１５」を「ビームスグリラタム」
に訂正する。′１１６ 明細書第１９頁第６行目乃至第
７行目の「グレーティング８２Ｊ￥ｒグレーテイング４
５」に訂正する。 １２、明、ｍ書第頷頁第４行目の「上記ゲームスプリッ
タ」χ「上記ビームスプリッタ」に訂正する。 １３、明細魯第幻頁第１９行目乃至第別行月の記載ｒ下
記のように訂正する。 「図、第６図乃至第１１図はいずれも本発鴫実施例χ示
′″ｆ構成図、第１２図は本発明実施的ン示す回折格子
の作成図、第１３図は本発明実施例〉示す配姐図」 １４、明ＩＩＩＩ曹第２１頁第２行目のｌ’−ｎ・・・
回折格子（」を「１１・・・回折格子、」に訂正する。 １５、図面の第６図および第１０図ン別紙のように訂正
する。 手続補正書鴎式） １．事件の表示 昭和５８年ｔ＃許願 第２０５９５６号２ 発明の名称 光字式変位測定装置 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 ソニーマグネスケール株式会社４代理人〒１０
５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ビル電
話（０３）４５５−８７４６番 昭和５９年１１月１３日（発送日） ６ 補正の対象 昭和５９年ｌＯ月１日付畑出の手続補正告の補正の対象
の欄 ７ 補正の内容 別紙の通り 手続補正書 昭和５９年１０月１ 日 特許庁長′ビ 志貴 学 殿 １ 事件の表示 昭和５８年軸訂覇 第２０５９５６号 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 ソニーマグネスケール株式会社４代理人〒１０
５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ビル電
話（０３）４５５−８７４６番 氏名 （７２３８）弁理士永田武三ｔ！β５ 補正の対
象 ６ 補正の内容
図乃至第１２図はいずれも本発明実施例を示−ｆ構成図
、第１３図は本発明実施例を示す配置図である。 １１・・・回折格子（スケール、１２．１３．２２．２
３．３３゜讃・・・ミラー、１４・・・可干渉性光源、
１５・・・フォトデテクタ、２４・・・ビームスプリッ
タ。 特許出願人 ソニーマグネスケール株式会社条１図 竿５図 第６図 値７時 鍍９図 ｊｊ ”１４ 手続補正書 １．事件の表示 昭和５８年特許）願 第２０５９５６号３ 補正をする
者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 ソニーマグネスクール株式会社４代理人〒１０
５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ビル５
、補正の対象 明＃Ｉ誉の発明の詳細な説明の欄 （１） 本願明細書第８頁第１７行乃至第１８行「上記
２つの・・・・・・における」乞削除する。 （２）同頁第１９行「紅た」を「経て再度回折された」
に補正する。 手続補正書 ２、発明の名称 光学式変位測定装置 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 ソニーマグネスケール株式会社４、代理人〒１
０５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ビル電
話（０３）４５５−８７４６番 ５、補正の対象 ｌ、 明ａ書第５Ｒ第１７行目の「および」を「とＪに
訂正する。 ２ 明細書第７頁第１６行目のｒ９０以下」￥「９０′
以下」−に訂正する０ ３、 明細書第８頁第３行目乃至第１Ｏ行目の記載暑絢
除する◇ ４、 明Ｍ曹第８頁８１！１７行目乃至第１９行目の記
載を「上記回折格子に出射する反射器と、干渉光を検出
するＬめの検出器とン含み、上記反射器￥経て再度回折
された」に訂正する。 ５、 明細書第９負第１１行目の「上記回折格子ｌ」ン
「上記回折格子１１Ｊに訂正する。 ６、明細書第１２頁第８行目の「３つの」を「２つの」
に訂正する。 ７、 明細書第１４頁第６行目の記載馨下記のように訂
正づ−る。 ” Ｉ Ａ’ 十Ａ２＋２Ａ Ａ ｃｏｓｃｌ 十ｌ
十〇１４ ２４ １４２４ ２ ４ ６ ８、 明細書第１４頁第１３行目の記載Ｙ下記のように
訂正１−る。 ２ ２ ■＝（Ａ１４ ＋Ａ ２４ ＋２ Ａ □４ ・Ａ２４
ｃｏｓ （ａψ）ト・・αω９、 明細書第１４頁第
１８行目の記載χ下記のように訂正する。 ２π ψ＝ ｌ −に＝Ａ ・２ ｋｓｉｎθ＝ノ・２・二１
・５１ｆｌＯ・・・α０１０、明細書第１７頁第５行目
の「ビームスプリッタ１５」を「ビームスグリラタム」
に訂正する。′１１６ 明細書第１９頁第６行目乃至第
７行目の「グレーティング８２Ｊ￥ｒグレーテイング４
５」に訂正する。 １２、明、ｍ書第頷頁第４行目の「上記ゲームスプリッ
タ」χ「上記ビームスプリッタ」に訂正する。 １３、明細魯第幻頁第１９行目乃至第別行月の記載ｒ下
記のように訂正する。 「図、第６図乃至第１１図はいずれも本発鴫実施例χ示
′″ｆ構成図、第１２図は本発明実施的ン示す回折格子
の作成図、第１３図は本発明実施例〉示す配姐図」 １４、明ＩＩＩＩ曹第２１頁第２行目のｌ’−ｎ・・・
回折格子（」を「１１・・・回折格子、」に訂正する。 １５、図面の第６図および第１０図ン別紙のように訂正
する。 手続補正書鴎式） １．事件の表示 昭和５８年ｔ＃許願 第２０５９５６号２ 発明の名称 光字式変位測定装置 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 ソニーマグネスケール株式会社４代理人〒１０
５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ビル電
話（０３）４５５−８７４６番 昭和５９年１１月１３日（発送日） ６ 補正の対象 昭和５９年ｌＯ月１日付畑出の手続補正告の補正の対象
の欄 ７ 補正の内容 別紙の通り 手続補正書 昭和５９年１０月１ 日 特許庁長′ビ 志貴 学 殿 １ 事件の表示 昭和５８年軸訂覇 第２０５９５６号 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 ソニーマグネスケール株式会社４代理人〒１０
５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ビル電
話（０３）４５５−８７４６番 氏名 （７２３８）弁理士永田武三ｔ！β５ 補正の対
象 ６ 補正の内容
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 可干渉性光源と、この可干渉性光源から出射しに
ビームを２分するビームスプリッタと、２分されたビー
ムが入射される回折格子と、この回折格子による２つの
１次回折光を再び上記回折格子に入射させる第１の反射
器と、上記回折格子により再度回折された２つの工次回
折元どうしを上記ビームスプリッタにより干渉させその
干渉九を検出するための検出器とを含み、上記干渉九の
干渉強度を上記検出器で測定させて回折格子の位置変化
を検出するように構成したことを特徴とする光学式変位
測定装置。 ２、 上記回折格子に対しビームスブリット側に位置す
る第２の反射器７有することを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の光学式変位測定装置。 ３、前記回折格子が格子ベクトルの方向とｎ１１」定方
向とを一致させた体積型ホログラムから成る特許請求の
範囲第１項記載の力学式変位測定装置。 ４゜前記光源として半導体レーザが使用された特許請求
の範囲第１項記載の光学式変位測定装置。 ５、前記第１の反射器が前記回折格子の下方に配置され
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学式
変位測定装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20595683A JPS6098302A (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | 光学式変位測定装置 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0235248B2 (ja) | 1990-08-09 |
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