JPH05232318A - 反射形ホログラムスケール - Google Patents

反射形ホログラムスケール

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JPH05232318A
JPH05232318A JP3024679A JP2467991A JPH05232318A JP H05232318 A JPH05232318 A JP H05232318A JP 3024679 A JP3024679 A JP 3024679A JP 2467991 A JP2467991 A JP 2467991A JP H05232318 A JPH05232318 A JP H05232318A
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hologram
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scale
grating
dry plate
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Hideki Tsuchiya
秀樹 土谷
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Sony Magnescale Inc
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 反射形ホログラムスケールを構成するホログ
ラム格子および反射膜に指紋、ほこり、傷等が付かない
ようにする。 【構成】 ホログラム乾板１を構成するスケール基材２
上に形成されたホログラム格子３と保護基材７を構成す
る基材５上に形成された反射膜６とを対面させ、その状
態で、ホログラム乾板１と保護基材７とを貼り合わせる
ようにしている。このため、ホログラム格子３と反射膜
６ともにスケール基材２と基材５とによって保護され
る。したがって、ホログラム格子３と反射膜６とは空気
中に露出することがなくなるので、ホログラム格子３お
よび反射膜６に指紋やゴミが付くことがなくしかも傷が
付くこともない。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、移動量検出装
置、測長機あるいは変位測定装置に適用して好適な反射
形ホログラムスケールに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、光学式の精密な変位測定装置
としてホログラムスケールを利用することが知られてい
る。このホログラムスケールとして、例えば、特開昭第
６３−７５５１８号公報に開示されたホログラムスケー
ルを掲げることができる。
【０００３】このホログラムスケールは、図４に示すよ
うに、ガラス基板３１の表面に等ピッチの回折スリット
３２を設け、ガラス基板３１の裏面に蒸着ミラー３３を
設けた反射形ホログラムスケールである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示す反射形ホログラムスケールでは、回折スリット３２
および蒸着ミラー３３ともに空気中に露出した状態にさ
れているので、その回折スリット３２に指紋、ゴミある
いは液体等が付き易く、また蒸着ミラー３３に傷が付き
易いという問題があった。
【０００５】このように回折スリット３２に指紋、ゴミ
あるいは液体等が付いたり、蒸着ミラー３３に傷が付い
たりすると回折スリット３２に入射する光による回折光
が発生しなかったり、ガラス基板３１に入射した１次回
折光が蒸着ミラー３３により反射されなくなったりする
不都合が発生し、変位を測定することができなくなると
いう問題があった。また、回折スリット３２に付いた指
紋、ゴミあるいは液体等を除去しようとする場合に回折
スリット３２に傷が付き易いという問題があった。
【０００６】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであり、ホログラム格子および反射膜に指紋やゴミ
が付かず、しかも傷も付かない反射形ホログラムスケー
ルを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明反射形ホログラム
スケールは、例えば、図１に示すように、スケール基材
２上にホログラム格子３が形成されたホログラム乾板１
と、基材５上に反射膜６が形成された保護基材７とを備
え、ホログラム乾板１と保護基材７とを貼り合わせるに
際し、ホログラム格子３が形成された面と反射膜６が形
成された面とを貼り合わせるようにしたものである。
【０００８】また、本発明反射形ホログラムスケール
は、例えば、図２に示すように、スケール基材１２上に
反射膜６が形成され、この反射膜６上に感光層が設けら
れ、この感光層にホログラム格子３が形成されたホログ
ラム乾板１１と、保護基材１５とを備え、ホログラム乾
板１１と保護基材１５とを貼り合わせるに際し、ホログ
ラム格子３が形成された面と保護基材１５とを貼り合わ
せるようにしたものである。
【０００９】
【作用】本発明反射形ホログラムスケールによれば、ホ
ログラム乾板１を構成するスケール基材２上に形成され
たホログラム格子３と保護基材７を構成する基材５上に
形成された反射膜６とが対面するようにして、ホログラ
ム乾板１と保護基材７とを貼り合わせるようにしたの
で、ホログラム格子３と反射膜６とがスケール基材２と
基材５とによって保護される。したがって、ホログラム
格子３と反射膜６とは空気中に露出することがなくなる
ので、ホログラム格子３および反射膜６に指紋やゴミが
付くことがなくしかも傷が付くこともない。
【００１０】また、本発明反射形ホログラムスケールに
よれば、ホログラム乾板１１を構成するスケール基材１
２上に反射膜６が形成され、その反射膜６上に形成され
たホログラム格子３に保護基材１５を貼り合わせるよう
にしたので、ホログラム格子３と反射膜６とがスケール
基材１２と保護基材１５によって保護される。したがっ
て、ホログラム格子３と反射膜６とは空気中に露出する
ことがなくなるので、ホログラム格子３および反射膜６
に指紋やゴミが付くことがなくしかも傷が付くこともな
い。
【００１１】
【実施例】以下、本発明反射形ホログラムスケールの一
実施例について図面を参照して説明する。
【００１２】Ａ．第１の実施例 図１は第１の実施例にかかる反射形ホログラムスケール
の断面構成を示すものである。図１において、１はホロ
グラム乾板であり、このホログラム乾板１はガラス等の
光透過材料よりなるスケール基材２を有している。この
スケール基材２に感光層が設けられ、この感光層に干渉
縞が露光記録された後、現像処理によりホログラム格子
３が形製される。
【００１３】一方、ガラス、金属またはプラスチック等
の基材５に銀ＡｇまたはクロムＣｒ等の反射膜６が形成
されて保護基材７が作製される。
【００１４】そして、上記ホログラム乾板１のホログラ
ム格子３が形成された面と保護基材７の反射膜６が形成
された面とを接着材８により接着することで反射形ホロ
グラムスケール９が作製される。接着材８の屈折率はガ
ラスの屈折率に略同じものに選択している。
【００１５】図１例のように作製された反射形ホログラ
ムスケール９は、ホログラム格子３と反射膜６とがスケ
ール基材２と基材５とによって保護される。したがっ
て、ホログラム格子３と反射膜６とは空気中に露出する
ことがなくなるので、ホログラム格子３および反射膜６
に指紋やゴミが付くことがなくしかも傷も付くこともな
い。なお、図１例において、光入射側はスケール基材２
側にされる。
【００１６】Ｂ．第２の実施例 図２は第２の実施例にかかる反射形ホログラムスケール
の断面構成を示すものである。なお、図２において、図
１と対応するものには同一の符号を付けその詳しい説明
を省略する。図２において、１１はホログラム乾板であ
り、このホログラム乾板１１はスケール基材１２を有し
ている。スケール基材１２の材質はガラス、金属または
プラスチック材等が選択される。光透過性を有していて
もいなくともよい。このスケール基材１２に反射膜６が
形成され、この反射膜６上に感光層が設けられる。この
感光層に干渉縞が露光記録された後、現像処理によりホ
ログラム格子３が形成される。
【００１７】そして、上記ホログラム乾板１１のホログ
ラム格子３が形成された面と保護基材１５とを接着材８
により接着することで反射形ホログラムスケール１９が
作製される。保護基材１５はガラス等の光透過材料によ
り形成される。光の入射側として機能するからである。
【００１８】図２例のように作製された反射形ホログラ
ムスケール１９は、ホログラム格子３と反射膜６とがス
ケール基材１２と保護基材１５とによって保護される。
したがって、ホログラム格子３と反射膜６とは空気中に
露出することがなくなるので、ホログラム格子３および
反射膜６に指紋やゴミが付くことがなくしかも傷も付く
ことがない。
【００１９】上述の図１例を変位検出装置に適用した例
を図３に示す。図２例を適用するためには反射形ホログ
ラムスケール９を反射形ホログラムスケール１９に代替
すればよい。ただし、反射形ホログラムスケール９を選
択したときには光の入射方向はスケール基材２側にさ
れ、反射形ホログラムスケール１９を選択したときには
保護基材１５側にされる。
【００２０】図３において、半導体レーザ２１から出射
した光は偏光ビームスプリッタ２２で２分割され、２分
割された光はλ／４板２３，２３を通過して反射形ホロ
グラムスケール９に入射する。入射した光はホログラム
格子３により回折され、回折された光が反射膜６によっ
て反射する。反射した回折光は再びホログラム格子３に
より回折され、λ／４板２３，２３および偏光ビームス
プリッタ２２を通じてフォトデテクタ２４に入射する。
この場合、反射形ホログラムスケール９が矢印Ｘ方向に
移動することで、フォトデテクタ２４で検出される光の
光量がホログラム格子３の格子ピッチに基づき変調され
るので、この光量変調情報によりホログラムスケール９
のＸ方向の移動量を測定することができる。
【００２１】なお、本発明は上述の実施例に限らず本発
明の要旨を逸脱することなく種々の構成を採り得ること
はもちろんである。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明反射形ホロ
グラムスケールによれば、ホログラム乾板を構成するス
ケール基材上に形成されたホログラム格子と保護基材を
構成する基材上に形成された反射膜とを対面させて、上
記ホログラム乾板と保護基材とを貼り合わせたので、ホ
ログラム格子と反射膜とがスケール基材と基材とによっ
て保護される。したがって、ホログラム格子と反射膜と
は空気中に露出することがなくなるので、ホログラム格
子および反射膜に指紋やゴミが付くことがなくしかも傷
が付くこともない。
【００２３】また、本発明反射形ホログラムスケールに
よれば、ホログラム乾板を構成するスケール基材上に反
射膜が形成され、その反射膜上に形成されたホログラム
格子に保護基材を貼り合わせるようにしたので、ホログ
ラム格子と反射膜とがスケール基材と保護基材によって
保護される。したがって、ホログラム格子と反射膜とは
空気中に露出することがなくなるので、ホログラム格子
および反射膜に指紋やゴミが付くことがなくしかも傷が
付くこともない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による反射形ホログラムスケールの一実
施例の構成を示す断面図である。
【図２】本発明による反射形ホログラムスケールの他の
実施例の構成を示す断面図である。
【図３】図１例に示す反射形ホログラムスケールを変位
検出装置に適用した例を示す線図である。
【図４】従来の技術による反射形ホログラムスケールの
断面図である。
【符号の説明】
１，１１ ホログラム乾板 ２，１２ スケール基材 ３ ホログラム格子 ５ 基材 ６ 反射膜 ７，１５ 保護基材 ８ 接着材 ９，１９ 反射形ホログラムスケール
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年５月１１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２０】図３において、半導体レーザ２１から出射
した光は偏光ビームスプリッタ２２で２分割され、２分
割された光はλ／４板２３，２３を通過して反射形ホロ
グラムスケール９に入射する。入射した光はホログラム
格子３により回折され、回折された光が反射膜６によっ
て反射する。反射した回折光はホログラム格子３を通過
し、λ／４板２３，２３および偏光ビームスプリッタ２
２を通じて２つの光の干渉光がフォトデテクタ２４に入
射する。この場合、反射形ホログラムスケール９が矢印
Ｘ方向に移動することで、フォトデテクタ２４で検出さ
れる干渉光がホログラム格子３の格子ピッチに基づき変
調されるので、ホログラムスケール９のＸ方向の移動量
を測定することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 スケール基材上にホログラム格子が形成
    されたホログラム乾板と、 基材上に反射膜が形成された保護基材とを備え、 上記ホログラム乾板と上記保護基材とを貼り合わせるに
    際し、上記ホログラム格子が形成された面と上記反射膜
    が形成された面とを貼り合わせるようにしたことを特徴
    とする反射形ホログラムスケール。
  2. 【請求項２】 スケール基材上に反射膜が形成され、こ
    の反射膜上に感光層が設けられ、この感光層にホログラ
    ム格子が形成されたホログラム乾板と、 保護基材とを備え、 上記ホログラム乾板と上記保護基材とを貼り合わせるに
    際し、上記ホログラム格子が形成された面と上記保護基
    材とを貼り合わせるようにしたことを特徴とする反射形
    ホログラムスケール。
JP3024679A 1991-02-19 1991-02-19 反射形ホログラムスケール Pending JPH05232318A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3024679A JPH05232318A (ja) 1991-02-19 1991-02-19 反射形ホログラムスケール
US07/833,751 US5258861A (en) 1991-02-19 1992-02-11 Reflection type hologram scale
DE4204878A DE4204878B4 (de) 1991-02-19 1992-02-18 Anordnung zum Erfassen der Verschiebungsgröße einer Hologrammskala vom Reflexionstyp

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JP3024679A JPH05232318A (ja) 1991-02-19 1991-02-19 反射形ホログラムスケール

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