JPS63295183A

JPS63295183A - 研削砥石

Info

Publication number: JPS63295183A
Application number: JP12711587A
Authority: JP
Inventors: Togo Suzuki; 鈴木　東吾
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1987-05-26
Filing date: 1987-05-26
Publication date: 1988-12-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は、例えばサイリスタ用のペレットをシ’）　：
＋７　（Ｓ　ｉ）　＋７　二一ハよりトレパニ／グ（ｔ
ｒｅｐｐａｎｉｎｇ；切抜く０）　するときに用いられ
る研削砥石に関する。

（従来の技術）一般に、大電力制御用のサイリスタ（ｔｈｙｒｉｓｔｅ
ｒ）の素材は、円筒状のダイヤモンド砥石によるトレパ
ニングにより得られている。すなわち、第６図に示すよ
う番こ、まず、８１ウエーハ（入）を接着剤により基台
（Ｂ）に固定し、トレパニング用ダイーヤモンド砥石（
Ｃ）を矢印（Ｄ）方向に送りながら回転させることによ
り円板状のベレット（Ｂ）を切抜いていた。

しかしながら、従来の砥石（Ｃ）では、切り代が閉じて
いるので、研削屑の排出を円滑に行うことが困難である
。このため、砥石（Ｃ）の刃部にスパイラル状の溝を設
け、研削屑の排出を容易にするようにしている。しかし
、砥石（Ｃ）に研削屑排出溝を設けると、刃厚が厚くな
り、切り代が増えてしまう。その結果、Ｓｉウエーノ・
（人）の材料損が大きくなり、コスト高の一因となって
いる。

（発明が解決しようとする問題点）本発明は、上記問題点を勘案してなされたもので、薄肉
で、しかも、研削屑の排出が容易表トレパニング用の研
削砥石を提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段と作用）一端部が刃先部
となりている円筒状の研削部と、この研削部の他端部に
同軸に連結された軸状の取付部とからなり、研削部には
、ポケット状の溝部と、この溝部の刃先側角部の面取り
形状となりている逃げ部が設けられ、研削屑の排出を促
進させるものである。

（実施例）以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。

第１図は、この実施例のトレパニング用の研削砥石（１
）を示している。この研削砥石（１）は、例えば外径４
０−２高さ５−９厚さ０．２５箇の有底円筒状をなす研
削部（２）と、この研削部（２）の底部に同軸に連結さ
れ駆動源に取付けられる軸部（３）とからなっている。

しかして、研削部（２）は、第２図に示すように、８０
０メッシ為程度のダイアモンド砥粒（４）・・・と、こ
のダイアモンド砥粒を分散保持する例えばＮｌにッケル
）などからなる結合剤となっている０また、研削部（２
）の開口端部には、福が例えば２〜４■、高さが例えば
３〜５鰭の矩形状の溝（５）・・・が、例えば３個１等
配して設けられている０これら溝（５）・・・の刃先（
６）部位回転方向前進側には、三角形切欠状の逃げ（７
）・・・が設けられている０これらの逃げ（７）・・・
は、溝（５）・・・側から反対側に向って次第に閉じる
よう設けられている。

しかして、上記構成の研削砥石（１）を用いて、基台（
８）に固着されたＳｉウェーハ（９）をトレパニングす
る場合、まず、軸部（３）を駆動源に取付け、矢印（Ｉ
ｎ方向に回転させながら、矢印（Ｘυ方向に送る。する
と、平坦刃先（６）によｊ７ｓｉウエーノｆ９）は、矢
印αυ方向に切込まれリング状の凹部α２が形成される
。これにともない生成した研削屑ａｊ・・・は、逃げ（
７）・・・から溝（５）・・・方向Ｉこ移動する０そし
て、いったん溝（５）・・・に滞留した研削屑０・・・
は、外部に円滑に排出される０このよう・に、この実施例の研削砥石（１）は、溝（５
）・・・及び逃げ（７）・・・が形成されているため、
生成した研削屑ａ３・・・の排出が円滑に行われるｏし
たがって、加工前進側で生じた切屑αｊ・・・が、その
まま後部の目詰りを惹起することがない０よって、トレ
パエ／グ加工精度及び能率が向上するとともに、砥石寿
命が長くなる。

なお、上記実施例においては、逃げは、溝の片側のみに
設けられているが、第３図に示すように、両側に設けて
もよい０さらに、溝形状は、矩形に限ることなく例えば
半円状（第４図参照）等、任意でよい。同じく、逃げの
形状も、三角形状でなく、第５図ｉこ示すような長方形
状でもよい０〔発明の効果〕本発明の研削砥石は、トレパニング加工中に生成した研
削屑の排出を円滑に行うことができる０したがって、目
詰りが発生しにくくなることによす、トレパニング加工
精度及び能率が向上するとともに、砥石寿命が長くなる
０

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の研削砥石の構成図。第２図は同じく要部拡大図、第３図乃至第５図は本発明
の他の実施例の研削砥石を示す図、第６図は従来技術の
説明図である０（１）・・・研削砥石、（２）・・・研削部。（３）・・・軸部（取付部）。（５）・・・溝、（６）・・・刃先。（７）・・・逃げ、　　　　　　ｔ１３・・・切削屑。代理人　弁理士　則　近　憲　佑同　　松山光之第１図１１４図第５図

Claims

【特許請求の範囲】

一端部が刃先部となっている円筒状の研削部と、この研
削部の他端部に連結された軸状の取付部とを具備しトレ
パニング加工を行う研削砥石において、上記研削部の一
端部には、上記研削部の径方向に連通する溝部と、上記
溝部に連設され上記溝部の上記刃先部側角部の面取り形
状となっている逃げ部とが設けられていることを特徴と
する研削砥石。