JPS63266606A - 磁気ギヤツプの形成方法 - Google Patents
磁気ギヤツプの形成方法Info
- Publication number
- JPS63266606A JPS63266606A JP10039987A JP10039987A JPS63266606A JP S63266606 A JPS63266606 A JP S63266606A JP 10039987 A JP10039987 A JP 10039987A JP 10039987 A JP10039987 A JP 10039987A JP S63266606 A JPS63266606 A JP S63266606A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferromagnetic film
- gap
- film
- magnetic
- ferromagnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 19
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 44
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 34
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- 102000010970 Connexin Human genes 0.000 description 1
- 108050001175 Connexin Proteins 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 description 1
- 210000003976 gap junction Anatomy 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はトラック幅精度の優れた磁気ギャップの形成方
法に関するものである。
法に関するものである。
従来の技術
ＶＴＲなどに用いる磁気ヘッドは例えば第８図に示すよ
うに、ガラスを充填した溝１３を形成したフェライトな
どからなるコアブロック１１．１２をギャップ面１５で
突き合わせ、一点鎖線から切断しヘッドチップ１４を得
る。ヘッドのトラック幅は溝１３で規制されるコアのギ
ャップ突き合わせ部分の重なり幅になる。また第９図の
ようにコアブロック１１．１２を突き合わせた後、トラ
ック幅を規制する溝１６を加工することにより両コアの
突き合わせのズレのないヘッドを製造する方法も考えら
れている。
うに、ガラスを充填した溝１３を形成したフェライトな
どからなるコアブロック１１．１２をギャップ面１５で
突き合わせ、一点鎖線から切断しヘッドチップ１４を得
る。ヘッドのトラック幅は溝１３で規制されるコアのギ
ャップ突き合わせ部分の重なり幅になる。また第９図の
ようにコアブロック１１．１２を突き合わせた後、トラ
ック幅を規制する溝１６を加工することにより両コアの
突き合わせのズレのないヘッドを製造する方法も考えら
れている。
発明が解決しようとする問題点
２つのコアブロックにトラック幅を規制する溝を形成後
突き合わせる方法では、加工精度上全体に渡って溝のピ
ッチを同じにするのは困難であり、中央で完全に合わせ
たとしても両端では数μｍのズレを生じることが多い。
突き合わせる方法では、加工精度上全体に渡って溝のピ
ッチを同じにするのは困難であり、中央で完全に合わせ
たとしても両端では数μｍのズレを生じることが多い。
一方コアブロックをギャップ面で接合した後溝加工をす
る方法では、コアブロックのどの位置でもトラックの突
き合わせのズレは生じないが、トラック幅が１０μｍ以
下の狭トラツクになると溝加工時にコアが欠けることが
多くなり、歩留まり良くヘッドを製造できない。
る方法では、コアブロックのどの位置でもトラックの突
き合わせのズレは生じないが、トラック幅が１０μｍ以
下の狭トラツクになると溝加工時にコアが欠けることが
多くなり、歩留まり良くヘッドを製造できない。
問題点を解決するための手段
リング型磁気ヘッドの片方のコアになる第一の強磁性膜
と非磁性体が交互に積層された基板のギャップ形成面を
平坦に研磨した後、前記第一の強磁性膜のみをエツチン
グにより凹ませ、その上にギャップ膜を形成し、さらに
他方のコアになる第二の強磁性膜を形成した後その上を
平坦化することにより前記第二の強磁性膜を前記非磁性
体で規制される前記第一の強磁性膜に対向する部分のみ
残す。
と非磁性体が交互に積層された基板のギャップ形成面を
平坦に研磨した後、前記第一の強磁性膜のみをエツチン
グにより凹ませ、その上にギャップ膜を形成し、さらに
他方のコアになる第二の強磁性膜を形成した後その上を
平坦化することにより前記第二の強磁性膜を前記非磁性
体で規制される前記第一の強磁性膜に対向する部分のみ
残す。
作用
第１の強磁性膜の厚さで決められるトラック幅に、第１
の強磁性膜を挟持する非磁性材を利用して第２の強磁性
膜を合わせることにより、いがなるトラック幅において
も精度良（一致したギャップ突き合わせを形成すること
ができる。従って積層される強磁性膜の数が多い場合に
も強磁性膜や非磁性材の厚さに関係な（、完全に対向し
たギャップ突き合わせが得られる。
の強磁性膜を挟持する非磁性材を利用して第２の強磁性
膜を合わせることにより、いがなるトラック幅において
も精度良（一致したギャップ突き合わせを形成すること
ができる。従って積層される強磁性膜の数が多い場合に
も強磁性膜や非磁性材の厚さに関係な（、完全に対向し
たギャップ突き合わせが得られる。
実施例
本発明の実施例について第１図から第５図に従って説明
する。
する。
先ず第１図に示すように、非磁性材１上にパーマロイや
センダストなどの第１の強磁性膜２を形成した基板を複
数枚積層し、所定のコアブロック形状になるように切断
して、ギャップ面となる面３をラッピングなどの手段に
より平坦化する。
センダストなどの第１の強磁性膜２を形成した基板を複
数枚積層し、所定のコアブロック形状になるように切断
して、ギャップ面となる面３をラッピングなどの手段に
より平坦化する。
次に第２図に示すように、このギャップ面３から、エツ
チングにより第１の強磁性膜２のみを選択的にエツチン
グして、溝４を形成する。エツチングの手段は非磁性材
１と第１の強磁性膜２の組み合わせにより、例えばパー
マロイをサファイアで挟んだものでは、Ａｒガスを用い
たイオンミリングで、Ｍｎ−Ｚｎフェライトを結晶化ガ
ラスで挟んだものでは、硫酸とリン酸をグリセリンと混
合した液中で電解エツチングにより、例えば３〜５μｍ
エツチングする。エツチングの条件を適当に選べばエツ
チング面はギャップ面として十分な表面荒さにできる。
チングにより第１の強磁性膜２のみを選択的にエツチン
グして、溝４を形成する。エツチングの手段は非磁性材
１と第１の強磁性膜２の組み合わせにより、例えばパー
マロイをサファイアで挟んだものでは、Ａｒガスを用い
たイオンミリングで、Ｍｎ−Ｚｎフェライトを結晶化ガ
ラスで挟んだものでは、硫酸とリン酸をグリセリンと混
合した液中で電解エツチングにより、例えば３〜５μｍ
エツチングする。エツチングの条件を適当に選べばエツ
チング面はギャップ面として十分な表面荒さにできる。
さらに第３図に示すように、ギャップ膜５になる５ｉｎ
２などの非磁性膜を形成した後、対向する磁気コアにな
る第２の強磁性膜６を溝４の深さより厚く形成する。
２などの非磁性膜を形成した後、対向する磁気コアにな
る第２の強磁性膜６を溝４の深さより厚く形成する。
第４図は第２の強磁性膜６の上に有機膜７をスピンコー
ドなどの方法で表面が平坦化するように塗布した図であ
る。この表面からイオンミリングでエツチングすること
により、第２の強磁性膜６を分離、平坦化すれば、第５
図の構造かえられる。これは良く知られたエッチバック
法である。
ドなどの方法で表面が平坦化するように塗布した図であ
る。この表面からイオンミリングでエツチングすること
により、第２の強磁性膜６を分離、平坦化すれば、第５
図の構造かえられる。これは良く知られたエッチバック
法である。
この平坦化には、エッチバック法だけでなく、ラッピン
グなどの機械的研磨法も用いることができるのは明らか
である。
グなどの機械的研磨法も用いることができるのは明らか
である。
さらにこの平坦化面に第３の強磁性膜８と非磁性材９か
らなる巻線窓加工されたコアブロックを接合し、第５図
の一点鎖線で切断し、Ａ−Ａ断面を示すと第６図の構造
が得られる。第２の強磁性膜６の巻線窓１０に対向する
部分は切り欠かれているが、これは第３図で示した第２
の強磁性膜６を形成する時にこの部分をマスクしても良
いし、第５図で示した平坦化後にエツチングなどの手段
により取り除いても良い。
らなる巻線窓加工されたコアブロックを接合し、第５図
の一点鎖線で切断し、Ａ−Ａ断面を示すと第６図の構造
が得られる。第２の強磁性膜６の巻線窓１０に対向する
部分は切り欠かれているが、これは第３図で示した第２
の強磁性膜６を形成する時にこの部分をマスクしても良
いし、第５図で示した平坦化後にエツチングなどの手段
により取り除いても良い。
上記ギャップの形成方法を用いたヘッドとしては、第６
図に示したようなバルク型のヘッドだけでな（、第７図
に示すような薄膜型のヘッドも同じ第５図のギャップか
ら作ることができるが、この場合には前記ヘッドの場合
のように短冊状のコアブロックではな（平板状のコアプ
レートの方が後の薄膜加工プロセスを行いやすい。第７
図はヘッドの中央で切断した斜視図であり、１７は非磁
性材、１８はＡＩやＣｕなとの非磁性導体のコイルであ
り、１９は第３の強磁性膜である。記録媒体摺動面には
第１と第２の強磁性膜が露出して、第３の強磁性膜は出
ないので第３の強磁性膜１９の幅は寸法精度を要しない
。
図に示したようなバルク型のヘッドだけでな（、第７図
に示すような薄膜型のヘッドも同じ第５図のギャップか
ら作ることができるが、この場合には前記ヘッドの場合
のように短冊状のコアブロックではな（平板状のコアプ
レートの方が後の薄膜加工プロセスを行いやすい。第７
図はヘッドの中央で切断した斜視図であり、１７は非磁
性材、１８はＡＩやＣｕなとの非磁性導体のコイルであ
り、１９は第３の強磁性膜である。記録媒体摺動面には
第１と第２の強磁性膜が露出して、第３の強磁性膜は出
ないので第３の強磁性膜１９の幅は寸法精度を要しない
。
発明の効果
本発明によれば、磁気ヘッドの磁気ギャップ接合面にお
ける磁気コアの突き合わせは、第１の強磁性材を挟持す
る非磁性材によって規制されるので、非常に精度良く一
致する。さらにトラック幅の大きさも、第一の強磁性膜
の厚さによって決まるので、２〜３μｍの狭トラツク幅
の場合でも精度の良い値が得られる。またギャップは、
ギャップ膜と第二の強磁性膜の積層により形成されるの
で、ギャップ長は正確に目標値を実現できる。
ける磁気コアの突き合わせは、第１の強磁性材を挟持す
る非磁性材によって規制されるので、非常に精度良く一
致する。さらにトラック幅の大きさも、第一の強磁性膜
の厚さによって決まるので、２〜３μｍの狭トラツク幅
の場合でも精度の良い値が得られる。またギャップは、
ギャップ膜と第二の強磁性膜の積層により形成されるの
で、ギャップ長は正確に目標値を実現できる。
第１図〜第５図は、本発明の磁気ギャップの形成方法を
説明するための断面図、第６図は、本発明の磁気ギャッ
プの形成方法を用いて作ったヘッドの形状を示す斜視断
面図、第７図は、本発明の磁気ギャップの形成方法を用
いて作った他のヘッドの形状を示す斜視断面図、第８図
及び９図は、従来の磁気ギャップの形成方法を示す正面
図である。 １・・・非磁性材、２・・・第１の強磁性膜、３・・・
ギャップ面、４・・・溝、５・・・ギャップ膜、６・・
・第２の強磁性膜。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ばか１名第１図 第５図 第７図 第８図
説明するための断面図、第６図は、本発明の磁気ギャッ
プの形成方法を用いて作ったヘッドの形状を示す斜視断
面図、第７図は、本発明の磁気ギャップの形成方法を用
いて作った他のヘッドの形状を示す斜視断面図、第８図
及び９図は、従来の磁気ギャップの形成方法を示す正面
図である。 １・・・非磁性材、２・・・第１の強磁性膜、３・・・
ギャップ面、４・・・溝、５・・・ギャップ膜、６・・
・第２の強磁性膜。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ばか１名第１図 第５図 第７図 第８図
Claims (1)
- リング型磁気ヘッドの片方のコアになる第一の強磁性膜
と非磁性体が交互に積層された基板のギャップ形成面を
平坦に研磨した後、前記第一の強磁性膜のみをエッチン
グにより凹ませ、その上にギャップ膜を形成し、さらに
他方のコアになる第二の強磁性膜を形成した後その上を
平坦化することにより、前記第二の強磁性膜を前記非磁
性体で規制される前記第一の強磁性膜に対向する部分の
み残すことを特徴とする磁気ギャップの形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10039987A JPH07107729B2 (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | 磁気ギヤツプの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10039987A JPH07107729B2 (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | 磁気ギヤツプの形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63266606A true JPS63266606A (ja) | 1988-11-02 |
| JPH07107729B2 JPH07107729B2 (ja) | 1995-11-15 |
Family
ID=14272906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10039987A Expired - Lifetime JPH07107729B2 (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | 磁気ギヤツプの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07107729B2 (ja) |
-
1987
- 1987-04-23 JP JP10039987A patent/JPH07107729B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07107729B2 (ja) | 1995-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4775909A (en) | Magnetic head using a magnetic thin film and first, second and third core members | |
| JPS6050611A (ja) | 多素子薄膜磁気ヘツド | |
| US4425701A (en) | Methods of making magnetic recording heads | |
| KR100274098B1 (ko) | 자기 기록/판독 헤드 및 그 제조 방법 | |
| EP0443460B1 (en) | Method for manufacture of magnetic head | |
| US5276959A (en) | Method of manufacturing a magnetic tape head | |
| JPS63266606A (ja) | 磁気ギヤツプの形成方法 | |
| US4868972A (en) | Method for manufacturing a magnetic head for performing high density recording and reproducing | |
| KR960005114B1 (ko) | 자기 헤드 | |
| JPS6361405A (ja) | 薄膜積層型磁気ヘツドの製造方法 | |
| JP3718916B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH03130912A (ja) | 複合型浮動磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH02763B2 (ja) | ||
| JPH04353607A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH03198210A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS58222427A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH07201009A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS6334708A (ja) | 磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPH0580722B2 (ja) | ||
| JPS6226618A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS62234217A (ja) | 磁気ヘツド製造方法 | |
| JPS6342327B2 (ja) | ||
| JPH0447885B2 (ja) | ||
| JPS63288407A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH04325904A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 |