JPH07107729B2 - 磁気ギヤツプの形成方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はトラック幅精度の優れた磁気ギャップの形成方
法に関するものである。

従来の技術 VTRなどに用いる磁気ヘッドは例えば第８図に示すよう
に、ガラスを充填した溝13を形成したフェライトなどか
らなるコアブロック11、12をギャップ面15で突き合わ
せ、一点鎖線から切断しヘッドチップ14を得る。ヘッド
のトラック幅は溝13で規制されるコアのギャップ突き合
わせ部分の重なり幅になる。また第９図のようにコアブ
ロック11、12を突き合わせた後、トラック幅を規制する
溝16を加工することにより両コアの突き合わせのズレの
ないヘッドを製造する方法も考えられている。

発明が解決しようとする問題点 ２つのコアブロックにトラック幅を規制する溝を形成後
突き合わせる方法では、加工精度上全体に渡って溝のピ
ッチを同じにするのは困難であり、中央で完全に合わせ
たとしても両端では数μｍのズレを生じることが多い。
一方コアブロックをギャップ面で接合した後溝加工をす
る方法では、コアブロックのどの位置でもトラックの突
き合わせのズレは生じないが、トラック幅が10μｍ以下
の狭トラックになると溝加工時にコアが欠けることが多
くなり、歩留まり良くヘッドを製造できない。

問題点を解決するための手段 リング型磁気ヘッドの片方のコアになる第一の強磁性膜
と非磁性体が交互に積層された基板のギャップ形成面を
平坦に研磨した後、前記第一の強磁性膜のみをエッチン
グにより凹ませ、その上にギャップ膜を形成し、さらに
他方のコアになる第二の強磁性膜を形成した後その上を
平坦化することにより前記第二の強磁性膜を前記非磁性
体で規制される前記第一の強磁性膜に対向する部分のみ
残す。

作用 第１の強磁性膜の厚さで決められるトラック幅に、第１
の強磁性膜を挟持する非磁性材を利用して第２の強磁性
膜を合わせることにより、いかなるトラック幅において
も精度良く一致したギャップ突き合わせを形成すること
ができる。従って積層される強磁性膜の数が多い場合に
も強磁性膜や非磁性材の厚さに関係なく、完全に対向し
たギャップ突き合わせが得られる。

実施例 本発明の実施例について第１図から第５図に従って説明
する。

先ず第１図に示すように、非磁性材１上にパーマロイや
センダストなどの第１の強磁性膜２を形成した基板を複
数枚積層し、所定のコアブロック形状になるように切断
して、ギャップ面となる面３をラッピングなどの手段に
より平坦化する。

次に第２図に示すように、このギャップ面３から、エッ
チングにより第１の強磁性膜２のみを選択的にエッチン
グして、溝４を形成する。エッチングの手段は非磁性材
１と第１の強磁性膜２の組み合わせにより、例えばパー
マロイをサファイアで挟んだものでは、Arガスを用いた
イオンミリングで、Mn−Znフェライトを結晶化ガラスで
挟んだものでは、硫酸とリン酸をグリセリンと混合した
液中で電解エッチングにより、例えば３〜５μｍエッチ
ングする。エッチングの条件を適当に選べばエッチング
面はギャップ面として十分な表面荒さにできる。

さらに第３図に示すように、ギャップ膜５になるSiO₂な
どの非磁性膜を形成した後、対向する磁気コアになる第
２の強磁性膜６を溝４の深さより厚く形成する。

第４図は第２の強磁性膜６の上に有機膜７をスピンコー
トなどの方法で表面が平坦化するように塗布した図であ
る。この表面からイオンミリングでエッチングすること
により、第２の強磁性膜６を分離、平坦化すれば、第５
図の構造がえられる。これは良く知られたエッチバック
法である。この平坦化には、エッチバック法だけでな
く、ラッピングなどの機械的研磨法も用いることができ
るのは明らかである。

さらにこの平坦化面に第３の強磁性膜８と非磁性材９か
らなる巻線窓加工されたコアブロックを接合し、第５図
の一点鎖線で切断し、Ａ−Ａ断面を示すと第６図の構造
が得られる。第２の強磁性膜６の巻線窓10に対向する部
分は切り欠かれているが、これは第３図で示した第２の
強磁性膜６を形成する時にこの部分をマスクしても良い
し、第５図で示した平坦化後にエッチングなどの手段に
より取り除いても良い。

上記ギャップの形成方法を用いたヘッドとしては、第６
図に示したようなバルク型のヘッドだけでなく、第７図
に示すような薄膜型のヘッドも同じ第５図のギャップか
ら作ることができるが、この場合には前記ヘッドの場合
のように短冊状のコアブロックではなく平板状のコアプ
レートの方が後の薄膜加工プロセスを行いやすい。第７
図はヘッドの中央で切断した斜視図であり、17は非磁性
材、18はAlやCuなどの非磁性導体のコイルであり、19は
第３の強磁性膜である。記録媒体摺動面には第１と第２
の強磁性膜が露出して、第３の強磁性膜は出ないので第
３の強磁性膜19の幅は寸法精度を要しない。

発明の効果 本発明によれば、磁気ヘッドの磁気ギャップ接合面にお
ける磁気コアの突き合わせは、第１の強磁性材を挟持す
る非磁性材によって規制されるので、非常に精度良く一
致する。さらにトラック幅の大きさも、第一の強磁性膜
の厚さによって決まるので、２〜３μｍの狭トラック幅
の場合でも精度の良い値が得られる。またギャップは、
ギャップ膜と第二の強磁性膜の積層により形成されるの
で、ギャップ長は正確に目標値を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図は、本発明の磁気ギャップの形成方法を
説明するための断面図、第６図は、本発明の磁気ギャッ
プの形成方法を用いて作ったヘッドの形状を示す斜視断
面図、第７図は、本発明の磁気ギャップの形成方法を用
いて作った他のヘッドの形状を示す斜視断面図、第８図
及び第９図は、従来の磁気ギャップの形成方法を示す正
面図である。 １……非磁性材、２……第１の強磁性膜、３……ギャッ
プ面、４……溝、５……ギャップ膜、６……第２の強磁
性膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】リング型磁気ヘッドの片方のコアになる第
   一の強磁性膜と非磁性体が交互に積層された基板のギャ
   ップ形成面を平坦に研磨した後、前記第一の強磁性膜の
   みをエッチングにより凹ませ、その上にギャップ膜を形
   成し、さらに他方のコアになる第二の強磁性膜を形成し
   た後その上を平坦化することにより、前記第二の強磁性
   膜を前記非磁性体で規制される前記第一の強磁性膜に対
   向する部分のみ残すことを特徴とする磁気ギャップの形
   成方法。