JPS63261150A - 燃焼制御用センサ - Google Patents
燃焼制御用センサInfo
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- JPS63261150A JPS63261150A JP62095676A JP9567687A JPS63261150A JP S63261150 A JPS63261150 A JP S63261150A JP 62095676 A JP62095676 A JP 62095676A JP 9567687 A JP9567687 A JP 9567687A JP S63261150 A JPS63261150 A JP S63261150A
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Landscapes
- Conductive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、燃焼排ガス等の被測定ガス中の残存酸素濃度
により空気と燃ネ・1の比を検出し、適正な燃焼状態を
at持するために用いる燃焼制御用センサに関するもの
である。
により空気と燃ネ・1の比を検出し、適正な燃焼状態を
at持するために用いる燃焼制御用センサに関するもの
である。
3へ−7
従来の技術
従来、この種のセンサとして、電解質に安定化ジルコニ
アを用い、陽極および陰極として白金を用い、さらに陰
極上にガス拡散層を設けた形のものがある。該センサに
おいては、両極間に印加される電圧によって電解質中を
酸素イオンが移動し、これを電流として取り出すことが
できる。この酸素イオンの移動は陰極J:に設けたガス
拡散層によって結果的に律速されるだめ、出力電流は一
定値まで増加した後飽和する。この飽和電流値は雰囲気
中の酸素濃度に応じた値を示すため、電流値を測定する
ことにより排ガス中の酸素濃度を知ることができ、従っ
て適正々空燃比になるように燃焼を制御することが可能
になる。
アを用い、陽極および陰極として白金を用い、さらに陰
極上にガス拡散層を設けた形のものがある。該センサに
おいては、両極間に印加される電圧によって電解質中を
酸素イオンが移動し、これを電流として取り出すことが
できる。この酸素イオンの移動は陰極J:に設けたガス
拡散層によって結果的に律速されるだめ、出力電流は一
定値まで増加した後飽和する。この飽和電流値は雰囲気
中の酸素濃度に応じた値を示すため、電流値を測定する
ことにより排ガス中の酸素濃度を知ることができ、従っ
て適正々空燃比になるように燃焼を制御することが可能
になる。
こf−LK対して発明者らは、陰極材料として白金にか
えてLnl、、、xAxCol−yMeyO3−δ(L
nはLa、Ce。
えてLnl、、、xAxCol−yMeyO3−δ(L
nはLa、Ce。
Pr、Ndから選ぶ少くとも一種の元素、A (d S
r 。
r 。
Ca、Baから選ぶ少くとも一種の元素、MeはNi。
Fe、Mn、Cr、Vから選ぶ少くとも一種の元素、O
≦X≦1,0≦y≦1.δは酸素欠損量)で表わされる
ペロブスカイト型複合酸化物を用い、かつガス拡散層を
MgOもしくはMgOを主体とする材料で構成する燃焼
制御用センサを提案した。
≦X≦1,0≦y≦1.δは酸素欠損量)で表わされる
ペロブスカイト型複合酸化物を用い、かつガス拡散層を
MgOもしくはMgOを主体とする材料で構成する燃焼
制御用センサを提案した。
白金の場合には電極反応速度が小さいために分極が大き
く、該電極自身の電位が不安定となって相手極に一定の
電位が印加され難い。この点を改善するために表面積を
増加させることが必要となるが、白金は高温でシンタリ
ングを起こしやすいこともあって、均質かつ長期安定性
を有する多孔質電極とすることは極めて困難である。こ
れに対して前記提案のペロブスカイト型複合酸化物を陰
椅材刺として用いると、酸素還元反応に高い触媒作用を
有するため、電極反応に際しての分極が極めて小さく、
安定した電極電位を力える。その結果、陽極にたえず一
定の電位が印加さ八、ばらつきの極めて小さな優れたセ
ンサ特性が得られる。
く、該電極自身の電位が不安定となって相手極に一定の
電位が印加され難い。この点を改善するために表面積を
増加させることが必要となるが、白金は高温でシンタリ
ングを起こしやすいこともあって、均質かつ長期安定性
を有する多孔質電極とすることは極めて困難である。こ
れに対して前記提案のペロブスカイト型複合酸化物を陰
椅材刺として用いると、酸素還元反応に高い触媒作用を
有するため、電極反応に際しての分極が極めて小さく、
安定した電極電位を力える。その結果、陽極にたえず一
定の電位が印加さ八、ばらつきの極めて小さな優れたセ
ンサ特性が得られる。
さらに、ガス拡散層がMgOもしくにMgOを主体とす
る材料から構成されるため、排ガス中の罵SOxと水分
に基づく陰極の触媒能の低下を防止することができ、長
期にわたって安定で優れたセン5ベー。
る材料から構成されるため、排ガス中の罵SOxと水分
に基づく陰極の触媒能の低下を防止することができ、長
期にわたって安定で優れたセン5ベー。
ザ特性を維持することができる。
発明が解決しようとする問題点
燃焼排ガス中の酸素濃度を測定する場合、燃焼条件によ
シ、あるいは異常燃焼などにより、センサ素子が非営々
高温に曝されることがある。該センサの特性を左右する
大きな要素の一つとして、電極と電解質の接触界面の特
性がある。ペロプスカイト型複合酸化物陰極は前述した
ように優れた電極特性を示し熱的にも安定しているが、
960〜1000℃以上になると電解質と反応し、異な
る結晶構造を有する絶縁性物質と力って陰極と電解質の
界面に析出することがある。その結果、イオン導電性が
低下して電極反応に際して分極が大きくなり、電極電位
の安定性が失われる。そのため、センサ特性が劣化した
りばらつきが大きくなって信頼性の乏しいものとなるお
それがある。
シ、あるいは異常燃焼などにより、センサ素子が非営々
高温に曝されることがある。該センサの特性を左右する
大きな要素の一つとして、電極と電解質の接触界面の特
性がある。ペロプスカイト型複合酸化物陰極は前述した
ように優れた電極特性を示し熱的にも安定しているが、
960〜1000℃以上になると電解質と反応し、異な
る結晶構造を有する絶縁性物質と力って陰極と電解質の
界面に析出することがある。その結果、イオン導電性が
低下して電極反応に際して分極が大きくなり、電極電位
の安定性が失われる。そのため、センサ特性が劣化した
りばらつきが大きくなって信頼性の乏しいものとなるお
それがある。
問題点を解決するだめの手段
本発明は、前記の問題点に着目してなされたもので、電
解質と陰極の反応を阻止するために、電解質と陰極との
間に、電解質と陰極の両方に対し6.7 て非反応性でかつ熱的に安定な酸素イオン導電体からな
る中間層を介在させるものである。
解質と陰極の反応を阻止するために、電解質と陰極との
間に、電解質と陰極の両方に対し6.7 て非反応性でかつ熱的に安定な酸素イオン導電体からな
る中間層を介在させるものである。
作 用
電解質と陰極との間に、電解質と陰極の両方に対して非
反応性であシ、かつ熱的に安定な酸素イオン導電体から
なる中間層を介在させることによシ、電解質と陰極の反
応を阻止できる。1だ、中間層自身酸素イオン導電性を
有しており、かつ電解質と陰極の両方と反応しないため
、酸素イオン導電には障害とならない。その結果、ペロ
ブカイト型複合酸化物の酸素還元に対する優れた触媒作
用とそれに基づく電極反応に際しての極めて優れた分極
特性が安定に維持され、均一で安定したセンサ特性が得
られる。
反応性であシ、かつ熱的に安定な酸素イオン導電体から
なる中間層を介在させることによシ、電解質と陰極の反
応を阻止できる。1だ、中間層自身酸素イオン導電性を
有しており、かつ電解質と陰極の両方と反応しないため
、酸素イオン導電には障害とならない。その結果、ペロ
ブカイト型複合酸化物の酸素還元に対する優れた触媒作
用とそれに基づく電極反応に際しての極めて優れた分極
特性が安定に維持され、均一で安定したセンサ特性が得
られる。
実施例
第1図は本発明になるセンサ素子の一実施例を示す模式
的断面図である。1はBmot% Y2O2−92mo
t%Zr○2からなる酸素イオン導電性固体電解質板(
5,5φ×1−)、2は白金ペーストをスクリーン印刷
によってイ・1着させてll′り成シ1.た1≦り隊7
、、、−7 (3t/rm )、3は化学式La0.9Ba0.1A
lO3−δで表わされる酸化物をフレーム溶射によって
付着形成した中間層(1071m)、4は化学式%式% 化物をフレーム溶射によって句着形成した陰極(15t
!zm)、5はMqOを70 mold、 %含む無機
質のガス拡散層(100Iim)、6は陽椿引出端子、
7は陰極引出端子、8はガラス質の気体不透過シールで
ある。比較のため、3の中間層を設けないセンサ素子と
、同じく中間層を設けずかつ陰極が白金からなるセンサ
素子(ガス拡散層にMqOを含まない)をそれぞれ作製
した。
的断面図である。1はBmot% Y2O2−92mo
t%Zr○2からなる酸素イオン導電性固体電解質板(
5,5φ×1−)、2は白金ペーストをスクリーン印刷
によってイ・1着させてll′り成シ1.た1≦り隊7
、、、−7 (3t/rm )、3は化学式La0.9Ba0.1A
lO3−δで表わされる酸化物をフレーム溶射によって
付着形成した中間層(1071m)、4は化学式%式% 化物をフレーム溶射によって句着形成した陰極(15t
!zm)、5はMqOを70 mold、 %含む無機
質のガス拡散層(100Iim)、6は陽椿引出端子、
7は陰極引出端子、8はガラス質の気体不透過シールで
ある。比較のため、3の中間層を設けないセンサ素子と
、同じく中間層を設けずかつ陰極が白金からなるセンサ
素子(ガス拡散層にMqOを含まない)をそれぞれ作製
した。
以上のようにして作製した各センサ素子の出力特性を第
2図に示す。測定は以下のようにして行なった。電気炉
中にセンサ素子を設置して所定の温度になるように温度
制御を行ない、所定濃度の酸素−窒素混合ガスを10
cm/secの流速で流通させた。このとき印加した電
圧に対する出力電流を測定し、一定電圧印加時における
出力電流を酸素濃度に対してプロノトシたものが第2図
であり、例として温度700℃、電圧が1■の場合を示
した。
2図に示す。測定は以下のようにして行なった。電気炉
中にセンサ素子を設置して所定の温度になるように温度
制御を行ない、所定濃度の酸素−窒素混合ガスを10
cm/secの流速で流通させた。このとき印加した電
圧に対する出力電流を測定し、一定電圧印加時における
出力電流を酸素濃度に対してプロノトシたものが第2図
であり、例として温度700℃、電圧が1■の場合を示
した。
なお、各5個のセンサ素子を測定に供した。この図は初
期特性を示しているが、ペロブスカイト型複合酸化物陰
極を用いたセンサば、中間層の有無にかかわらず特性の
ばらつきが小さく均一な出力特性を示すが、白金陰極を
用いたセンサは出力特性のばらつきが大きく、しかも酸
素濃度が高いほど顕著になる。ペロブスカイト型複合酸
化物は酸素還元に対する触媒活性が高く、電極反応にお
ける反応速度が大きいために分極が小さく、はぼ一定の
電位を示す電極となシ、定電圧駆動において相手極に一
定の電位が印加される結果、そこで流れる電流の変化は
酸素濃度の変化を示すものとなる。こうした特性を有す
るセンサ素子であるため、個々のセンサの微細構造の差
異は出力特性に殆んど影響をおよぼさない。中間層を介
在させた場合にも、中間層自身が酸素イオン導電体であ
るため電極特性を損なうことがなく、従ってペロブスカ
イト型複合酸化物陰極を用いたセンサの優れた特性を発
揮する。それに対して白金を陰極に用いた9 、7゜ 場合は反応速度が小さく電極反応に際して分極が大きい
ため、相手極に印加される電位が安定せず、流れる電流
は酸素濃度を正確に示すものとならない。従って、多孔
度や表面積などの要素を含む電極の微細構造の差異が出
力特性のばらつきとなって現われる。微細構造の均一制
御は極めて困難であり、製造歩留、一定品質付力に対す
る大きな障害になるものである。測定はこのほか600
〜900℃の範囲で温度を変えて行なったが、いずれの
場合にも同様の結果を得た。
期特性を示しているが、ペロブスカイト型複合酸化物陰
極を用いたセンサば、中間層の有無にかかわらず特性の
ばらつきが小さく均一な出力特性を示すが、白金陰極を
用いたセンサは出力特性のばらつきが大きく、しかも酸
素濃度が高いほど顕著になる。ペロブスカイト型複合酸
化物は酸素還元に対する触媒活性が高く、電極反応にお
ける反応速度が大きいために分極が小さく、はぼ一定の
電位を示す電極となシ、定電圧駆動において相手極に一
定の電位が印加される結果、そこで流れる電流の変化は
酸素濃度の変化を示すものとなる。こうした特性を有す
るセンサ素子であるため、個々のセンサの微細構造の差
異は出力特性に殆んど影響をおよぼさない。中間層を介
在させた場合にも、中間層自身が酸素イオン導電体であ
るため電極特性を損なうことがなく、従ってペロブスカ
イト型複合酸化物陰極を用いたセンサの優れた特性を発
揮する。それに対して白金を陰極に用いた9 、7゜ 場合は反応速度が小さく電極反応に際して分極が大きい
ため、相手極に印加される電位が安定せず、流れる電流
は酸素濃度を正確に示すものとならない。従って、多孔
度や表面積などの要素を含む電極の微細構造の差異が出
力特性のばらつきとなって現われる。微細構造の均一制
御は極めて困難であり、製造歩留、一定品質付力に対す
る大きな障害になるものである。測定はこのほか600
〜900℃の範囲で温度を変えて行なったが、いずれの
場合にも同様の結果を得た。
次に、第3図にセンサ特性の熱安定性について示す。評
価は以下のようにして行なった。前記の各センサ素子を
空気中で700℃1時間保持−1000℃10分保持の
ザイクルを連続して50回くりかえした。このザイクル
試験の前後に、700℃で酸素10係−窒素90%の混
合ガスを流通させた時の、印加電圧1■に対する出力電
流を測定した。各5個のセンサをこの試験に供した。本
発明になるセンサは特性変化が殆んどなくばらつきも小
さいが、中間層を用いないセンサの場合にはばらつきも
含めて特性の変化が認められた。一方、白金陰極を用い
たセンサの場合にも特性の変化が認められた。中間層を
用いないセンサ素子の電解質と陰極との界面を分析した
ところ、化学式5r2zr04て表わされる物質の存在
が確認された。
価は以下のようにして行なった。前記の各センサ素子を
空気中で700℃1時間保持−1000℃10分保持の
ザイクルを連続して50回くりかえした。このザイクル
試験の前後に、700℃で酸素10係−窒素90%の混
合ガスを流通させた時の、印加電圧1■に対する出力電
流を測定した。各5個のセンサをこの試験に供した。本
発明になるセンサは特性変化が殆んどなくばらつきも小
さいが、中間層を用いないセンサの場合にはばらつきも
含めて特性の変化が認められた。一方、白金陰極を用い
たセンサの場合にも特性の変化が認められた。中間層を
用いないセンサ素子の電解質と陰極との界面を分析した
ところ、化学式5r2zr04て表わされる物質の存在
が確認された。
これは絶縁体であシ、該物質の生成によって分極特性が
悪くなった結果、センサの出力特性が変化したと考えら
れる。一方、白金陰極を用いたセンサにおいては、高温
雰囲気で徐々に白金のシンタリングが進行して表面積が
減少し、触媒活性が低下して分極特性が一層悪化したた
めに出力特性が変化したものである。これに対して中間
層を設けたセンサの場合には、電解質と中間層との界面
および陰極と中間層との界面には結晶構造の異なる物質
の生成は認められず、初期の状態がよく保たれているた
め、電極特性に殆んど変化が生じていない。その結果、
センサの出力特性が安定に維持されたと考えられる。
悪くなった結果、センサの出力特性が変化したと考えら
れる。一方、白金陰極を用いたセンサにおいては、高温
雰囲気で徐々に白金のシンタリングが進行して表面積が
減少し、触媒活性が低下して分極特性が一層悪化したた
めに出力特性が変化したものである。これに対して中間
層を設けたセンサの場合には、電解質と中間層との界面
および陰極と中間層との界面には結晶構造の異なる物質
の生成は認められず、初期の状態がよく保たれているた
め、電極特性に殆んど変化が生じていない。その結果、
センサの出力特性が安定に維持されたと考えられる。
以上の実施例で明らかなように、本発明になるペロブス
カイト型複合酸化物を陰極材料としかつ11、+、、、 電解質と陰極の両方に対して非反応性である酸素イオン
導電体を中間層として用いた燃焼制御用センサは熱的に
も極めて優れた安定tjEを有していることが明らかで
ある。寸た、被測定ガス雰囲気にNOxあるいはSOX
″y″iと水分が共存する場合にも、ガス拡散層に含昇
れるMgOによって効果的に吸収されるため、ペロブス
カイト型複合酸化物の触媒能は殆んど変化ぜず、センサ
特性も安定であることが確かめられている。
カイト型複合酸化物を陰極材料としかつ11、+、、、 電解質と陰極の両方に対して非反応性である酸素イオン
導電体を中間層として用いた燃焼制御用センサは熱的に
も極めて優れた安定tjEを有していることが明らかで
ある。寸た、被測定ガス雰囲気にNOxあるいはSOX
″y″iと水分が共存する場合にも、ガス拡散層に含昇
れるMgOによって効果的に吸収されるため、ペロブス
カイト型複合酸化物の触媒能は殆んど変化ぜず、センサ
特性も安定であることが確かめられている。
実施例ではLnとしてLaを、AとしてSrを、Meと
してFeを用い、かつX−〇、65.y−〇、3とした
ペロブスカイト型複合酸化物を用い、中間層にLa0.
9Ba0.1AIO3−δで表わされるペロブスカイト
型複合酸化物を用い7j場合を示したが、1陰極材利と
して他の元素を用いた場合にも同様の結果を得た。捷/
乙陰極材料にS rMe ’03(Me ’はTi、Z
r、Hfから選ぶ少くとも一種の元素)を添加した場合
、さらにに1微最の白金族元素を添加した場合には、電
極特性の均一性を損うとと々く酸素還元の触媒活性を高
める効果を示す。電解質上しては8 ”OZ % Y2
0s 92 rnoZ % Z r 02を用いたが
、同様の機能を有するものであればこれに限定するもの
でU:ない。中間層材料も同様の機能を有するものであ
れば実施例に限定されるものではない。また、センサの
形態も発明の主旨に反しない限シ任意の形態をとり得る
ものであ勺、作製法も多様な方法を用いることが可能で
ある。
してFeを用い、かつX−〇、65.y−〇、3とした
ペロブスカイト型複合酸化物を用い、中間層にLa0.
9Ba0.1AIO3−δで表わされるペロブスカイト
型複合酸化物を用い7j場合を示したが、1陰極材利と
して他の元素を用いた場合にも同様の結果を得た。捷/
乙陰極材料にS rMe ’03(Me ’はTi、Z
r、Hfから選ぶ少くとも一種の元素)を添加した場合
、さらにに1微最の白金族元素を添加した場合には、電
極特性の均一性を損うとと々く酸素還元の触媒活性を高
める効果を示す。電解質上しては8 ”OZ % Y2
0s 92 rnoZ % Z r 02を用いたが
、同様の機能を有するものであればこれに限定するもの
でU:ない。中間層材料も同様の機能を有するものであ
れば実施例に限定されるものではない。また、センサの
形態も発明の主旨に反しない限シ任意の形態をとり得る
ものであ勺、作製法も多様な方法を用いることが可能で
ある。
発明の効果
以上のように、本発明になる燃焼制御用センサは、陰極
と電解質の反応を防止するだめの中間層を設けた構造を
とっており、極めて優れた出力特性および安定性を示す
とともに、熱的な変質を受けないために、長期にわた多
安定に精度良く燃焼排ガス中の酸素濃度を測定し適正外
燃焼状態に制御できるものである。
と電解質の反応を防止するだめの中間層を設けた構造を
とっており、極めて優れた出力特性および安定性を示す
とともに、熱的な変質を受けないために、長期にわた多
安定に精度良く燃焼排ガス中の酸素濃度を測定し適正外
燃焼状態に制御できるものである。
第1図は本発明になる燃焼制御用センサの一実施例を示
す模式的断面図、第2図はセンサ素子の出力特性図、第
3図はセンサ素子の熱安定性を示す特性図である。 1378、−7 1・・・・・酸素イオン導電性固体電解質、2・・・・
陽極、3・・・・・中間層、4・・・・・陰極、5・・
・・・ガス拡散層、6・・・・・陽極引出端子、7・・
・・・・陰極引出端子、8・・・・・・気体不透過シー
ル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 出
文流存J3、 “パ□ 力 t (中間層 流。 Tjl?rl I+;! 6 ニド2Gi15[J (
5)第3図 I i7″ −8−1
す模式的断面図、第2図はセンサ素子の出力特性図、第
3図はセンサ素子の熱安定性を示す特性図である。 1378、−7 1・・・・・酸素イオン導電性固体電解質、2・・・・
陽極、3・・・・・中間層、4・・・・・陰極、5・・
・・・ガス拡散層、6・・・・・陽極引出端子、7・・
・・・・陰極引出端子、8・・・・・・気体不透過シー
ル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 出
文流存J3、 “パ□ 力 t (中間層 流。 Tjl?rl I+;! 6 ニド2Gi15[J (
5)第3図 I i7″ −8−1
Claims (4)
- (1)酸素イオン導電性固体電解質(以下、電解質とい
う)の一方の面上に白金を主体とする電極を設けてこれ
を陽極とし、前記固体電解質のもう一方の面上に一般式
Ln_1_−_xA_xCo_1_−_yMe_yO_
3_−_δ(LnはLa、Ce、Pr、Ndから選ぶ少
くとも一種の元素、AはSr、Ca、Baから選ぶ少く
とも一種の元素、MeはNi、Fe、Mn、Cr、Vか
ら選ぶ少くとも一種の元素、0≦x≦1、0≦y≦1、
δは酸素欠損量)で表わされるペロブスカイト型複合酸
化物からなる陰極を形成し、前記陰極を形成し、前記陰
極面上にMgOもしくはMgOを主体とする材料からな
るガス拡散層を設け、前記陽極および陰極に電極引出し
端子を設け、さらに陽極、電解質、陰極およびガス拡散
層からなる層状構造体の外周端面を気体不透過状態とし
、前記固体電解質と陰極との間に、熱的に安定でかつ電
解質と陰極の両方に対して非反応性である酸素イオン導
電体からなる中間層を介在させることを特徴とする燃焼
制御用センサ。 - (2)陰極材料にSrMe′O_3(Me′はTi、Z
r、Hfから選ぶ少くとも一種の元素)を0〜80mo
l%、望ましくは40〜70mol%添加することを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の燃焼制御用センサ
。 - (3)陰極材料に少くとも一種の白金族元素を添加する
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項または第2項記
載の燃焼制御用センサ。 - (4)中間層材料がLa_0_._9Ba_0_._1
AlO_3_−_δであることを特徴とする特許請求の
範囲第1項、第2項または第3項記載の燃焼制御用セン
サ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62095676A JPS63261150A (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 燃焼制御用センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62095676A JPS63261150A (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 燃焼制御用センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63261150A true JPS63261150A (ja) | 1988-10-27 |
Family
ID=14144104
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62095676A Pending JPS63261150A (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 燃焼制御用センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63261150A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0599892A (ja) * | 1991-10-04 | 1993-04-23 | Fujikura Ltd | 薄膜型ガスセンサ |
-
1987
- 1987-04-17 JP JP62095676A patent/JPS63261150A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0599892A (ja) * | 1991-10-04 | 1993-04-23 | Fujikura Ltd | 薄膜型ガスセンサ |
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