JPS63259413A - 磁気スケ−ルの製造方法 - Google Patents
磁気スケ−ルの製造方法Info
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- JPS63259413A JPS63259413A JP9263187A JP9263187A JPS63259413A JP S63259413 A JPS63259413 A JP S63259413A JP 9263187 A JP9263187 A JP 9263187A JP 9263187 A JP9263187 A JP 9263187A JP S63259413 A JPS63259413 A JP S63259413A
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Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は例えば油圧シリンダ等のストローク位置を検出
するための磁気スケールの製造方法に関する。
するための磁気スケールの製造方法に関する。
（従来の技術）
油圧シリンダ等のストローク位置を検出するために、ピ
ストンロッドに等間隔で帯状の非磁性部を設けて磁気ス
ケールを構成し、シリンダ側に設置した磁気センサによ
りビストンストロークに対応したパルス信号を検出でき
るようにして、例えば油圧シリンダの作動をフィードバ
ック制御すること等が行なわれている。
ストンロッドに等間隔で帯状の非磁性部を設けて磁気ス
ケールを構成し、シリンダ側に設置した磁気センサによ
りビストンストロークに対応したパルス信号を検出でき
るようにして、例えば油圧シリンダの作動をフィードバ
ック制御すること等が行なわれている。
作られたピストンロッド１の表面に、機械加工またはエ
ツチング加工により、軸方向に等間隔に帯状溝２を形成
し、この帯状溝２に非磁性材３であるクローム、ゼラミ
ック、オーステナイト鋼、合成樹脂等を埋め込んで非磁
性部を作るようになっている。
ツチング加工により、軸方向に等間隔に帯状溝２を形成
し、この帯状溝２に非磁性材３であるクローム、ゼラミ
ック、オーステナイト鋼、合成樹脂等を埋め込んで非磁
性部を作るようになっている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながらこのようにして磁気スケールを製造する場
合に次ぎのような問題があった。
合に次ぎのような問題があった。
まずピストンロッドに多数の溝を形成するのに８１械加
工によると、加工時間がかかり、能率的でなく、また、
エツチング加工ではエツチング前のパターンマスク作成
が複雑で、設備費用も高価になる。
工によると、加工時間がかかり、能率的でなく、また、
エツチング加工ではエツチング前のパターンマスク作成
が複雑で、設備費用も高価になる。
ついで加工した溝を非磁性材で埋めるのに、クロームメ
ッキを施す場合は処理時間が長く、セラミック溶射では
表面がポーラスになり、オーステナイト鋼を□肉盛溶接
するのは母材が変形する等あ欠点がそれぞれあった。
ッキを施す場合は処理時間が長く、セラミック溶射では
表面がポーラスになり、オーステナイト鋼を□肉盛溶接
するのは母材が変形する等あ欠点がそれぞれあった。
本発明はこれらの問題に対して、能率的に短詩・間に精
度よく磁気スケールを製造することができる方法を提供
することを目的とする。
度よく磁気スケールを製造することができる方法を提供
することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
そこで本発明は、磁性体で形成した母材に所定の間隔で
帯状の非磁性部を配列した磁気スケールを製造する方法
であって、鉄系母材の表面にニッケルを含む金属箔を密
着し、レーザビーム等の高エネルギ密度の熱源を用いて
金属箔、母材の一部を溶融し、ニッケルを母材中に拡散
してオーステナイト相からなる非磁性部を形成する６（
作用） 本発明では金属箔の表面からレーザビーム等を照射して
母材の一部を溶融し、溶融母材中にニッケルを拡散して
オーステナイト相を形成するので、従来のように溝加工
の必要がなく、かつ溝を埋め戻す必要もない。また、レ
ーザビーム等により正確に非磁性部を形成することがで
きる。
帯状の非磁性部を配列した磁気スケールを製造する方法
であって、鉄系母材の表面にニッケルを含む金属箔を密
着し、レーザビーム等の高エネルギ密度の熱源を用いて
金属箔、母材の一部を溶融し、ニッケルを母材中に拡散
してオーステナイト相からなる非磁性部を形成する６（
作用） 本発明では金属箔の表面からレーザビーム等を照射して
母材の一部を溶融し、溶融母材中にニッケルを拡散して
オーステナイト相を形成するので、従来のように溝加工
の必要がなく、かつ溝を埋め戻す必要もない。また、レ
ーザビーム等により正確に非磁性部を形成することがで
きる。
（実施例）
本発明方法の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に示すように、磁気スケールの母材１０（この実
施例ではピストンロッド）を鉄系の磁性材で形成すると
共に、その表面にニッケル（Ｎ ｉ）とクローム（Ｃ「
）等を含む薄い金属Ｍ１１を密着する。なお、金属ｆｆ
ｆｌｌの表面にはレーザビーム照射のため吸収剤の被膜
を形成する。
施例ではピストンロッド）を鉄系の磁性材で形成すると
共に、その表面にニッケル（Ｎ ｉ）とクローム（Ｃ「
）等を含む薄い金属Ｍ１１を密着する。なお、金属ｆｆ
ｆｌｌの表面にはレーザビーム照射のため吸収剤の被膜
を形成する。
そして、これらの表面からノズル２６により炭酸がスレ
ーザビームを照射して金属箔１１及び母材１０の一部を
溶融させる。
ーザビームを照射して金属箔１１及び母材１０の一部を
溶融させる。
ニッケルとクロームは溶融した鉄系母材中に拡散し、金
属組織的には、非磁性材であるオーステナイト相１５を
構成する。
属組織的には、非磁性材であるオーステナイト相１５を
構成する。
ピストンロッドの表面に軸方向に等間隔で磁気スケール
を形成するには、レーザビームを照射しながらピストン
ロッドを回転させて円周方向に所定の長さを溶融し、次
ぎに軸方向に一定量だけピストンロッドを移動させ、再
びレーザビームを照射しながらピストンロッドを所定の
角度だけ回転させるという動作を繰り返す６ したがって、金属箔はピストンロッドの全周に形成する
必要はなく、オーステナイト相の非磁性部の幅と同程度
の幅に設定すれば良い。レーザビームの照射終了後にピ
ストンロッドの表面を所定量だけ研摩して金属箔の非溶
融部を除去する。
を形成するには、レーザビームを照射しながらピストン
ロッドを回転させて円周方向に所定の長さを溶融し、次
ぎに軸方向に一定量だけピストンロッドを移動させ、再
びレーザビームを照射しながらピストンロッドを所定の
角度だけ回転させるという動作を繰り返す６ したがって、金属箔はピストンロッドの全周に形成する
必要はなく、オーステナイト相の非磁性部の幅と同程度
の幅に設定すれば良い。レーザビームの照射終了後にピ
ストンロッドの表面を所定量だけ研摩して金属箔の非溶
融部を除去する。
なお、必要に応じて最終仕上面として、クロームメッキ
を施す。
を施す。
第２図はレーザビームを照射するための加工装置を示す
もので、スライド基台２０にはスライドテーブル２１が
摺動自由に載置され、このスライドテーブル２１はモー
タ２２の回転に応じて軸方向の送りをかけられる。スラ
イドテーブル２１にはその送り方向と一致する回転軸心
をもつように、ピストンロッド１０を回転自由に支持す
る一対の支持台２３ａと２３ｂが備えられ、かつ支持台
２３ａにはピストンロッド１０を回転させるためのモー
タ２５が設けられる。
もので、スライド基台２０にはスライドテーブル２１が
摺動自由に載置され、このスライドテーブル２１はモー
タ２２の回転に応じて軸方向の送りをかけられる。スラ
イドテーブル２１にはその送り方向と一致する回転軸心
をもつように、ピストンロッド１０を回転自由に支持す
る一対の支持台２３ａと２３ｂが備えられ、かつ支持台
２３ａにはピストンロッド１０を回転させるためのモー
タ２５が設けられる。
支持台２３ａ、２３ｂに支持されるピストンロッド１０
の上方に位置してレーザビームを照射するためのノズル
２６が設けられ、このノズル２６にはレーザビーム発振
器２７で発生したレーザビームが送られる。ノズル２６
はレーザビームをレンズにより、ピストンロッド１０の
表面に集光させる。したがって、ノズル２６からレーザ
ビームを照射しながらピストンロッド１０をモータ２５
により所定の速度で所定角度だけ回転させ、帯状の非磁
性部を形成する。次いでモータ２５を元の角度位置まで
戻すと共に、スライドテーブル２１を磁気スケールのピ
ッチに相当する量だけモータ２２を回転させて送りをか
ける。この状態で再びノズル２６からレーザビームを照
射しながらピストンロッド１０を回転させる。なお、ノ
ズル２６からはレーザビームと同時に酸化防止、光学部
品保護のために不活性ガスを放射する。
の上方に位置してレーザビームを照射するためのノズル
２６が設けられ、このノズル２６にはレーザビーム発振
器２７で発生したレーザビームが送られる。ノズル２６
はレーザビームをレンズにより、ピストンロッド１０の
表面に集光させる。したがって、ノズル２６からレーザ
ビームを照射しながらピストンロッド１０をモータ２５
により所定の速度で所定角度だけ回転させ、帯状の非磁
性部を形成する。次いでモータ２５を元の角度位置まで
戻すと共に、スライドテーブル２１を磁気スケールのピ
ッチに相当する量だけモータ２２を回転させて送りをか
ける。この状態で再びノズル２６からレーザビームを照
射しながらピストンロッド１０を回転させる。なお、ノ
ズル２６からはレーザビームと同時に酸化防止、光学部
品保護のために不活性ガスを放射する。
このようにしてピストンロッドの表面に所定の範囲にわ
たり磁気スケールを形成することができる。
たり磁気スケールを形成することができる。
高エネルギ密度の熱源としては電子ビーム、ＴＩＧを利
用でき、また熱源からのビーム照射による磁気スケール
のパターン設定は任意に行えるので、ストロークセンサ
に限らず、角度センサや回転センサにも本発明方法を適
用することができる。
用でき、また熱源からのビーム照射による磁気スケール
のパターン設定は任意に行えるので、ストロークセンサ
に限らず、角度センサや回転センサにも本発明方法を適
用することができる。
なお、ビーム照射により溶融部を形成する場合、肉盛溶
接等に比較して熱エネルギの総量が小さいので、ピスト
ンロッドの熱変形は少ない。
接等に比較して熱エネルギの総量が小さいので、ピスト
ンロッドの熱変形は少ない。
また母材表面の金ＰＡＭはニッケルを含むものであれば
良い。
良い。
（発明の効果）
以上のように本発明によれば、母材の表面にニッケルを
含む／！ｒ属箔を密着し、レーザビームなどの高エネル
ギ密度の熱源を用いて母材の一部を溶融するだけでオー
ステナイト相からなる非磁性部を形成することができる
ので、従来のように溝加工とその後の溝埋加工が必要な
く、加工工程が短縮化でき、製造能率が大幅に向上する
。
含む／！ｒ属箔を密着し、レーザビームなどの高エネル
ギ密度の熱源を用いて母材の一部を溶融するだけでオー
ステナイト相からなる非磁性部を形成することができる
ので、従来のように溝加工とその後の溝埋加工が必要な
く、加工工程が短縮化でき、製造能率が大幅に向上する
。
加工する母材には金属箔を張り付けるだけなので、加工
が簡単で加工時間が短縮できる。また金１４箔は組成や
膜厚のバラツキが少ないので、均質なオーステナイト相
が形成でき、磁気スケールとしての品質、性能が安定す
る。
が簡単で加工時間が短縮できる。また金１４箔は組成や
膜厚のバラツキが少ないので、均質なオーステナイト相
が形成でき、磁気スケールとしての品質、性能が安定す
る。
図面のｉｌ！星な説明
ｆｊＳ１図は本発明方法の実施例の加工状態を示す断面
間、第２図は本発明方法を実施するための加工装置の構
成斜視図、第３図はピストンロッド磁気スケールの一部
切欠側面図、第４図はその断面図である。
間、第２図は本発明方法を実施するための加工装置の構
成斜視図、第３図はピストンロッド磁気スケールの一部
切欠側面図、第４図はその断面図である。
１０・・・Ｉｔ（ピストンロッド）、１１・・・ニッケ
ルを含む金属箔、１５・・・オーステナイト相、２６・
・・ノズル。
ルを含む金属箔、１５・・・オーステナイト相、２６・
・・ノズル。
第２図
第３図 第。図
Claims (1)
- 磁性体で形成した母材に所定の間隔で帯状の非磁性部を
配列した磁気スケールを製造する方法であって、鉄系母
材の表面にニッケルを含む金属箔を密着し、レーザビー
ム等の高エネルギ密度の熱源を用いて金属箔、母材の一
部を溶融し、ニッケルを母材中に拡散してオーステナイ
ト相からなる非磁性部を形成することを特徴とする磁気
スケールの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9263187A JPS63259413A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | 磁気スケ−ルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9263187A JPS63259413A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | 磁気スケ−ルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63259413A true JPS63259413A (ja) | 1988-10-26 |
Family
ID=14059789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9263187A Pending JPS63259413A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | 磁気スケ−ルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63259413A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH059562A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-19 | Toyota Motor Corp | 磁気特性変化を利用した信号パターンの形成方法 |
| JP2011022108A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-03 | Ribekkusu:Kk | 変位検出用部材 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS587517A (ja) * | 1981-07-07 | 1983-01-17 | Toshiba Mach Co Ltd | 磁気スケ−ルの製作方法 |
| JPS6242003A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-24 | Toshiba Mach Co Ltd | 磁気スケ−ル |
-
1987
- 1987-04-15 JP JP9263187A patent/JPS63259413A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS587517A (ja) * | 1981-07-07 | 1983-01-17 | Toshiba Mach Co Ltd | 磁気スケ−ルの製作方法 |
| JPS6242003A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-24 | Toshiba Mach Co Ltd | 磁気スケ−ル |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH059562A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-19 | Toyota Motor Corp | 磁気特性変化を利用した信号パターンの形成方法 |
| JP2011022108A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-03 | Ribekkusu:Kk | 変位検出用部材 |
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