JP2011022108A - 変位検出用部材 - Google Patents
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Abstract
【課題】機械的強度を向上させる。
【解決手段】磁性金属部材(11)の表面に一定間隔おきに溝(11a)を形成し、溝(11a)に銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材と銅よりも硬い溶射材料を混合した導電性混合材(12)を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により表面強化材(13)で覆う。
【効果】溝(11a)の部分と溝(11a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサ(D)で検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。溶射により銅よりも硬い導電性混合材(12)で溝(11a)を埋めるため、機械的強度を向上できる。溶射により銅よりも硬い表面強化材(13)で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上できる。
【選択図】図2
【解決手段】磁性金属部材(11)の表面に一定間隔おきに溝(11a)を形成し、溝(11a)に銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材と銅よりも硬い溶射材料を混合した導電性混合材(12)を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により表面強化材(13)で覆う。
【効果】溝(11a)の部分と溝(11a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサ(D)で検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。溶射により銅よりも硬い導電性混合材(12)で溝(11a)を埋めるため、機械的強度を向上できる。溶射により銅よりも硬い表面強化材(13)で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上できる。
【選択図】図2
Description
本発明は、変位検出用部材に関し、さらに詳しくは、機械的強度を向上させた変位検出用部材に関する。
従来、磁気センサと組み合わせて磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、強磁性材製のロッドに一定間隔おきに溝を形成し、その溝に非磁性材を埋め込んで、磁性材部と非磁性材部とが交互に並ぶようにした変位検出用部材が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
他方、可動体を支持する磁性材製ガイドの表面に凹凸を設けると共に溶射により表面をセラミックで覆った磁性材製ガイドが知られている(例えば、特許文献2参照。)。
他方、可動体を支持する磁性材製ガイドの表面に凹凸を設けると共に溶射により表面をセラミックで覆った磁性材製ガイドが知られている(例えば、特許文献2参照。)。
上記従来の変位検出用部材の具体例としては、例えば炭素鋼製の円柱状のロッドに一定間隔おきに円環状に形成した溝をそれぞれめっきにより銅で埋め、磁性材部と導電材部が交互に並ぶようにしたものがある。磁性材部と導電材部における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサ(例えば励磁コイルと出力コイル、あるいは、磁気抵抗素子)で検出することにより、磁気センサに対するロッドの相対変位を検出できる。
しかし、銅は柔らかいため、銅の部分が摩耗してしまう問題点がある。
これに対して、表面にクロム層をめっきして機械的強度を改善することが行われている。
しかし、パッキンなどから外力が加わると、銅の部分の変形によりクロム層が割れたり剥がれたりする問題点がある。
そこで、本発明の目的は、機械的強度を向上させた変位検出用部材を提供することにある。
しかし、銅は柔らかいため、銅の部分が摩耗してしまう問題点がある。
これに対して、表面にクロム層をめっきして機械的強度を改善することが行われている。
しかし、パッキンなどから外力が加わると、銅の部分の変形によりクロム層が割れたり剥がれたりする問題点がある。
そこで、本発明の目的は、機械的強度を向上させた変位検出用部材を提供することにある。
第1の観点では、本発明は、磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、磁性金属部材(11)の表面に一定間隔おきに溝(11a)を形成し、前記溝(11a)に銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材と銅よりも硬い溶射材料を混合した導電性混合材(12)を溶射により埋め込んだことを特徴とする変位検出用部材(10)を提供する。
第2の観点では、本発明は、前記第1の観点による変位検出用部材(10)において、前記磁性金属部材(11)が炭素鋼であり、前記銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかであり、前記銅よりも硬い溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであることを特徴とする変位検出用部材(10)を提供する。
上記第1および第2の観点による変位検出用部材(10)では、溝(11a)の部分と溝(11a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサで検出することにより、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、溶射により銅よりも硬い混合材(12)で溝(11a)を埋めるため、機械的強度を向上させることが出来る。
第2の観点では、本発明は、前記第1の観点による変位検出用部材(10)において、前記磁性金属部材(11)が炭素鋼であり、前記銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかであり、前記銅よりも硬い溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであることを特徴とする変位検出用部材(10)を提供する。
上記第1および第2の観点による変位検出用部材(10)では、溝(11a)の部分と溝(11a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサで検出することにより、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、溶射により銅よりも硬い混合材(12)で溝(11a)を埋めるため、機械的強度を向上させることが出来る。
第3の観点では、本発明は、磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、銅または銅と同等以上の導電率を有する導電性金属部材(21)の表面に一定間隔おきに溝(21a)を形成し、前記溝(21a)に磁性材と溶射材料の混合材(22)を溶射により埋め込み、溶射により銅よりも硬い表面強化材(23)で全体表面を覆ったことを特徴とする変位検出用部材(20)を提供する。
第4の観点では、本発明は、前記第3の観点による変位検出用部材(20)において、前記銅または銅と同等以上の導電率を有する導電性金属部材(21)が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかであり、前記磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであり、前記表面強化材(23)が前記混合材(22)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(20)を提供する。
上記第3および第4の観点による変位検出用部材(20)では、溝(21a)の部分と溝(21a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサで検出することにより、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、溶射により銅よりも硬い表面強化材(23)で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
第4の観点では、本発明は、前記第3の観点による変位検出用部材(20)において、前記銅または銅と同等以上の導電率を有する導電性金属部材(21)が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかであり、前記磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであり、前記表面強化材(23)が前記混合材(22)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(20)を提供する。
上記第3および第4の観点による変位検出用部材(20)では、溝(21a)の部分と溝(21a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサで検出することにより、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、溶射により銅よりも硬い表面強化材(23)で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
第5の観点では、本発明は、磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、磁性金属部材(11)の表面に一定間隔おきに溝(11a)を形成し、前記溝(11a)に前記磁性金属部材(11)とは透磁率が異なる磁性材と銅よりも硬い溶射材料の混合材(32)を溶射により埋め込んだことを特徴とする変位検出用部材(30)を提供する。
第6の観点では、本発明は、前記第5の観点による変位検出用部材(30)において、前記磁性金属部材(11)が炭素鋼であり、前記磁性金属部材(11)とは透磁率が異なる磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記銅よりも硬い溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであることを特徴とする変位検出用部材(30)を提供する。
上記第5および第6の観点による変位検出用部材(30)では、溝(11a)の部分と溝(11a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサで検出することにより、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、溶射により銅よりも硬い混合材(12)で溝(11a)を埋めるため、機械的強度を向上させることが出来る。
第6の観点では、本発明は、前記第5の観点による変位検出用部材(30)において、前記磁性金属部材(11)が炭素鋼であり、前記磁性金属部材(11)とは透磁率が異なる磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記銅よりも硬い溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであることを特徴とする変位検出用部材(30)を提供する。
上記第5および第6の観点による変位検出用部材(30)では、溝(11a)の部分と溝(11a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサで検出することにより、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、溶射により銅よりも硬い混合材(12)で溝(11a)を埋めるため、機械的強度を向上させることが出来る。
第7の観点では、本発明は、前記第1、前記第2、前記第5、前記第6のいずれかの観点による変位検出用部材(10,30)の表面を溶射により表面強化材(13,33)で覆ったことを特徴とする変位検出用部材(10,30)を提供する。
第8の観点では、本発明は、前記第7の観点による変位検出用部材(10,30)において、前記表面強化材(13,33)が前記混合材(12,32)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(10,30)を提供する。
上記第7および第8の観点による変位検出用部材(10,30)では、溶射により銅よりも硬い表面強化材(13,33)で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
第8の観点では、本発明は、前記第7の観点による変位検出用部材(10,30)において、前記表面強化材(13,33)が前記混合材(12,32)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(10,30)を提供する。
上記第7および第8の観点による変位検出用部材(10,30)では、溶射により銅よりも硬い表面強化材(13,33)で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
第9の観点では、本発明は、磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、非磁性金属部材(41)の表面に一定間隔おきに溝(41a)を形成し、前記溝(41a)に磁性材と溶射材料を混合した磁性混合材(42)を溶射により埋め込み、溶射により銅よりも硬い表面強化材(43)で全体表面を覆ったことを特徴とする変位検出用部材(40)を提供する。
第10の観点では、本発明は、前記第9の観点による変位検出用部材(40)において、前記非磁性金属部材(41)が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金、SUSのいずれかであり、前記磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであり、前記表面強化材(43)が前記混合材(42)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(40)を提供する。
上記第9および第10の観点による変位検出用部材(40)では、溝(41a)の部分と溝(41a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサで検出することにより、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、溶射により銅よりも硬い表面強化材(43)で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
第10の観点では、本発明は、前記第9の観点による変位検出用部材(40)において、前記非磁性金属部材(41)が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金、SUSのいずれかであり、前記磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであり、前記表面強化材(43)が前記混合材(42)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(40)を提供する。
上記第9および第10の観点による変位検出用部材(40)では、溝(41a)の部分と溝(41a)でない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサで検出することにより、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、溶射により銅よりも硬い表面強化材(43)で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
第11の観点では、本発明は、前記第1から第10のいずれかの観点による変位検出用部材(10,20,30,40)において、溶射により溝(11a,21a,41a)を埋める混合材(12,22,32,42)の混合比が少なくとも2段階あり、溝(11a,21a,41a)の底に近い部分の混合比は溝(11a,21a,41a)への密着性を重視した混合比であり、溝(11a,21a,41a)の底から遠い部分の混合比は磁気センサ(D)による検出性を重視した混合比であることを特徴とする変位検出用部材を提供する。
上記第11の観点による変位検出用部材では、溝(11a,21a,41a)への密着性および磁気センサ(D)による検出性のバランスを最適化することが出来る。
上記第11の観点による変位検出用部材では、溝(11a,21a,41a)への密着性および磁気センサ(D)による検出性のバランスを最適化することが出来る。
本発明の変位検出用部材によれば、磁気センサに対する相対変位を検出できる。また、機械的強度を向上させることが出来る。
以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
−実施例1−
図1は、実施例1に係る変位検出用部材10を示す正面図である。図2は、変位検出用部材10の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。
この変位検出用部材10は、磁性金属部材11の表面に一定間隔Pおきに溝11aを形成し、溝11aに導電性混合材12を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により表面強化材13で覆った構成である。
図1は、実施例1に係る変位検出用部材10を示す正面図である。図2は、変位検出用部材10の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。
この変位検出用部材10は、磁性金属部材11の表面に一定間隔Pおきに溝11aを形成し、溝11aに導電性混合材12を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により表面強化材13で覆った構成である。
磁性金属部材11はダイカスト用ロッドであり、母材は炭素鋼S45Cの焼入れ材である。直径は55mm〜180mmであり、全長は700mm〜2200mmである。
溝11aは、磁性金属部材11の外周を取り巻く環状で、深さ0.3mmである。導電性混合材12の付着を良くするため、壁面は垂直面でなく傾斜面になっている。一定間隔Pは16mmであり、溝11aの開口幅は8mmである。
導電性混合材12は、銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材と銅よりも硬い溶射材料を混合した材料である。
銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材は、銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかである。
銅よりも硬い溶射材料は、炭化タングステン・ニッケルクロム、炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかである。
混合比の具体例を挙げると、Cu10〜30%重量、WC73〜20%重量、Ni7〜20%重量、Cr5〜20%重量、C5〜10%重量である。
銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材は、銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかである。
銅よりも硬い溶射材料は、炭化タングステン・ニッケルクロム、炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかである。
混合比の具体例を挙げると、Cu10〜30%重量、WC73〜20%重量、Ni7〜20%重量、Cr5〜20%重量、C5〜10%重量である。
表面強化材13は、溶射作業が容易になるため、導電性混合材12と同一材料である。ただし、銅よりも硬い溶射材料のみとしてもよい。
図2に示すように、磁気センサDは、励磁コイルS,−S,C,−Cと、出力コイル21,22,23,24からなり、変位検出用部材10の表面に近接して設置される。
図3は、変位検出用部材10の製造手順を示すフロー図である。
ステップS1では、図4に示すように表面に一定間隔Pおきに環状の溝11aを刻設した磁性金属部材11を製作する。
ステップS1では、図4に示すように表面に一定間隔Pおきに環状の溝11aを刻設した磁性金属部材11を製作する。
ステップS2では、溝11a以外の部分をカバーし(マスキング処理)、ブラスト材を吹き付けて溝11aを粗面化し(ブラスト処理)、密着性を向上するための軟質の金属(例えばNi−P合金)を薄く(例えば100μm)溶射し(アンダーコート処理)、導電性混合材12を溶射し(トップコート処理)、図5に示すように溝11aを導電性混合材12で埋める。
溶射方法は、緻密に溶射するため、HVOF(High Velocity Oxigen Fuel)法またはHVAF(High Velocity Air Fuel)法を用いる。HVOF法の溶射温度は2500℃〜3000℃とし、HVAF法の溶射温度は1400℃〜2000℃とする。導電性混合材12は、粉末を用いる。
溶射方法は、緻密に溶射するため、HVOF(High Velocity Oxigen Fuel)法またはHVAF(High Velocity Air Fuel)法を用いる。HVOF法の溶射温度は2500℃〜3000℃とし、HVAF法の溶射温度は1400℃〜2000℃とする。導電性混合材12は、粉末を用いる。
ステップS3では、カバーを外して全体表面を露出させ、導電性混合材12を溶射し、全体表面を表面強化層13で覆う。
ステップS4では、全体表面を研磨して外形寸法を整える。
ステップS5では、全体表面の空孔をエポキシ樹脂、フェノール樹脂、シリコン樹脂などで埋める(封孔処理)。
ステップS5では、全体表面の空孔をエポキシ樹脂、フェノール樹脂、シリコン樹脂などで埋める(封孔処理)。
実施例1に係る変位検出用部材10によれば次の効果が得られる。
(1)溝11aの部分と溝11aでない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサDで検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。
(2)溶射により銅よりも硬い導電性混合材12で溝11aを埋めるため、機械的強度を向上させることが出来る。
(3)溶射により銅よりも硬い表面強化材13で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
(1)溝11aの部分と溝11aでない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサDで検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。
(2)溶射により銅よりも硬い導電性混合材12で溝11aを埋めるため、機械的強度を向上させることが出来る。
(3)溶射により銅よりも硬い表面強化材13で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
−実施例2−
図6は、実施例2に係る変位検出用部材20を示す正面図である。図7は、変位検出用部材20の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。
この変位検出用部材20は、導電性金属部材21の表面に一定間隔Pおきに溝21aを形成し、溝21aに磁性混合材22を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により銅よりも硬い表面強化材23で覆った構成である。
図6は、実施例2に係る変位検出用部材20を示す正面図である。図7は、変位検出用部材20の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。
この変位検出用部材20は、導電性金属部材21の表面に一定間隔Pおきに溝21aを形成し、溝21aに磁性混合材22を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により銅よりも硬い表面強化材23で覆った構成である。
導電性金属部材21は、銅または銅と同等以上の導電率を有する金属である。
磁性混合材22は、磁性材と溶射材料を混合した材料である。
磁性材は、フェライトまたはパーマロイである。
溶射材料は、炭化タングステン・ニッケルクロム、炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかである。
磁性材は、フェライトまたはパーマロイである。
溶射材料は、炭化タングステン・ニッケルクロム、炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかである。
表面強化材23は、磁性混合材22が銅よりも硬いならば、溶射作業が容易になるため、磁性混合材22と同一材料としてよい。磁性混合材22が銅よりも柔らかいならば、銅よりも硬い溶射材料のみとする。
変位検出用部材20の製造手順は、図3に準じる。
実施例2に係る変位検出用部材20によれば次の効果が得られる。
(1)溝21aの部分と溝21aでない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサDで検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。
(2)溶射により銅よりも硬い表面強化材13で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
(1)溝21aの部分と溝21aでない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサDで検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。
(2)溶射により銅よりも硬い表面強化材13で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
−実施例3−
図8は、実施例3に係る変位検出用部材30を示す正面図である。図9は、変位検出用部材30の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。
この変位検出用部材30は、磁性金属部材11の表面に一定間隔Pおきに溝11aを形成し、溝11aに磁性混合材32を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により表面強化材33で覆った構成である。
図8は、実施例3に係る変位検出用部材30を示す正面図である。図9は、変位検出用部材30の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。
この変位検出用部材30は、磁性金属部材11の表面に一定間隔Pおきに溝11aを形成し、溝11aに磁性混合材32を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により表面強化材33で覆った構成である。
磁性金属部材11はダイカスト用ロッドであり、母材は炭素鋼S45Cの焼入れ材である。
磁性混合材32は、磁性金属部材11とは透磁率が異なる磁性材と銅よりも硬い溶射材料を混合した材料である。
磁性材は、フェライトまたはパーマロイである。
溶射材料は、炭化タングステン・ニッケルクロム、炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかである。
磁性材は、フェライトまたはパーマロイである。
溶射材料は、炭化タングステン・ニッケルクロム、炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかである。
表面強化材33は、溶射作業が容易になるため、磁性混合材32と同一材料としてよい。ただし、銅よりも硬い溶射材料のみとしてもよい。
変位検出用部材30の製造手順は、図3に準じる。
実施例3に係る変位検出用部材30によれば次の効果が得られる。
(1)溝11aの部分と溝11aでない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサDで検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。
(2)溶射により銅よりも硬い磁性混合材32で溝11aを埋めるため、機械的強度を向上させることが出来る。
(3)溶射により銅よりも硬い表面強化材33で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
(1)溝11aの部分と溝11aでない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサDで検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。
(2)溶射により銅よりも硬い磁性混合材32で溝11aを埋めるため、機械的強度を向上させることが出来る。
(3)溶射により銅よりも硬い表面強化材33で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
−実施例4−
図10は、実施例4に係る変位検出用部材40を示す正面図である。図11は、変位検出用部材40の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。
この変位検出用部材40は、非磁性金属部材41の表面に一定間隔Pおきに溝41aを形成し、溝41aに磁性混合材42を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により銅よりも硬い表面強化材43で覆った構成である。
図10は、実施例4に係る変位検出用部材40を示す正面図である。図11は、変位検出用部材40の表面部分の断面および磁気センサを示す模式図である。
この変位検出用部材40は、非磁性金属部材41の表面に一定間隔Pおきに溝41aを形成し、溝41aに磁性混合材42を溶射により埋め込み、全体表面を溶射により銅よりも硬い表面強化材43で覆った構成である。
非磁性金属部材41は、銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金、SUSのいずれかである。
磁性混合材42は、磁性材と溶射材料を混合した材料である。
磁性材は、フェライトまたはパーマロイである。
溶射材料は、炭化タングステン・ニッケルクロム、炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかである。
磁性材は、フェライトまたはパーマロイである。
溶射材料は、炭化タングステン・ニッケルクロム、炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかである。
表面強化材43は、磁性混合材42が銅よりも硬いならば、溶射作業が容易になるため、磁性混合材42と同一材料としてよい。磁性混合材42が銅よりも柔らかいならば、銅よりも硬い溶射材料のみとする。
変位検出用部材40の製造手順は、図3に準じる。
実施例4に係る変位検出用部材40によれば次の効果が得られる。
(1)溝41aの部分と溝41aでない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサDで検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。
(2)溶射により銅よりも硬い表面強化材43で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
(1)溝41aの部分と溝41aでない部分における渦電流損および磁気抵抗の違いを磁気センサDで検出することにより、磁気センサDに対する相対変位を検出できる。
(2)溶射により銅よりも硬い表面強化材43で全体表面を覆ったため、機械的強度を向上させることが出来る。
−実施例5−
溶射により溝11a,21a,41aを混合材12,22,32,42で埋める際、溶射を数段階に分けて、始めに近い段階では溝11a,21a,41aへの密着性を重視した混合比とし(溶射材料の混合比を高める)、終わりに近い段階では磁気センサDによる検出性を重視した混合比(導電材または磁性材の混合比を高める)としてもよい。
溶射により溝11a,21a,41aを混合材12,22,32,42で埋める際、溶射を数段階に分けて、始めに近い段階では溝11a,21a,41aへの密着性を重視した混合比とし(溶射材料の混合比を高める)、終わりに近い段階では磁気センサDによる検出性を重視した混合比(導電材または磁性材の混合比を高める)としてもよい。
本発明の変位検出用部材は、空圧シリンダや油圧シリンダ等の位置検出装置に利用できる。
10 変位検出用部材
11 磁性金属部材
11a 溝
12 導電性混合材
13 表面強化材
20 変位検出用部材
21 導電性金属部材
21a 溝
22 磁性混合材
23 表面強化材
30 変位検出用部材
32 磁性混合材
33 表面強化材
40 変位検出用部材
41 非磁性金属部材
41a 溝
42 磁性混合材
43 表面強化材
11 磁性金属部材
11a 溝
12 導電性混合材
13 表面強化材
20 変位検出用部材
21 導電性金属部材
21a 溝
22 磁性混合材
23 表面強化材
30 変位検出用部材
32 磁性混合材
33 表面強化材
40 変位検出用部材
41 非磁性金属部材
41a 溝
42 磁性混合材
43 表面強化材
Claims (11)
- 磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、磁性金属部材(11)の表面に一定間隔おきに溝(11a)を形成し、前記溝(11a)に銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材と銅よりも硬い溶射材料を混合した導電性混合材(12)を溶射により埋め込んだことを特徴とする変位検出用部材(10)。
- 請求項1に記載の変位検出用部材(10)において、前記磁性金属部材(11)が炭素鋼であり、前記銅または銅と同等以上の導電率を有する導電材が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかであり、前記銅よりも硬い溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであることを特徴とする変位検出用部材(10)。
- 磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、銅または銅と同等以上の導電率を有する導電性金属部材(21)の表面に一定間隔おきに溝(21a)を形成し、前記溝(21a)に磁性材と溶射材料を混合した磁性混合材(22)を溶射により埋め込み、溶射により銅よりも硬い表面強化材(23)で全体表面を覆ったことを特徴とする変位検出用部材(20)。
- 請求項3に記載の変位検出用部材(20)において、前記銅または銅と同等以上の導電率を有する導電性金属部材(21)が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金のいずれかであり、前記磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであり、前記表面強化材(23)が前記磁性混合材(22)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(20)。
- 磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、磁性金属部材(11)の表面に一定間隔おきに溝(11a)を形成し、前記溝(11a)に前記磁性金属部材(11)とは透磁率が異なる磁性材と銅よりも硬い溶射材料を混合した磁性混合材(32)を溶射により埋め込んだことを特徴とする変位検出用部材(30)。
- 請求項5に記載の変位検出用部材(30)において、前記磁性金属部材(11)が炭素鋼であり、前記磁性金属部材(11)とは透磁率が異なる磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記銅よりも硬い溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであることを特徴とする変位検出用部材(30)。
- 請求項1、請求項2、請求項5、請求項6のいずれかに記載の変位検出用部材(10,30)の表面を溶射により表面強化材(13,33)で覆ったことを特徴とする変位検出用部材(10,30)。
- 請求項7に記載の変位検出用部材(10,30)において、前記表面強化材(13,33)が前記混合材(12,32)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(10,30)。
- 磁気センサと組み合わせて前記磁気センサに対する相対変位を検出するための変位検出用部材であって、非磁性金属部材(41)の表面に一定間隔おきに溝(41a)を形成し、前記溝(41a)に磁性材と溶射材料を混合した磁性混合材(42)を溶射により埋め込み、溶射により銅よりも硬い表面強化材(43)で全体表面を覆ったことを特徴とする変位検出用部材(40)。
- 請求項9に記載の変位検出用部材(40)において、前記非磁性金属部材(41)が銅、アルミニウム、亜鉛、銀、金、SUSのいずれかであり、前記磁性材がフェライトまたはパーマロイであり、前記溶射材料が炭化タングステン・コバルト、炭化タングステン・ニッケル、炭化タングステン・コバルトクロム、炭化タングステン・ニッケルクロム、サーメット、セラミックのうちのいずれかであり、前記表面強化材(43)が前記磁性混合材(42)と同一材料であることを特徴とする変位検出用部材(40)。
- 請求項1から請求項10のいずれかに記載の変位検出用部材(10,20,30,40)において、溶射により溝(11a,21a,41a)を埋める混合材(12,22,32,42)の混合比が少なくとも2段階あり、溝(11a,21a,41a)の底に近い部分の混合比は溝(11a,21a,41a)への密着性を重視した混合比であり、溝(11a,21a,41a)の底から遠い部分の混合比は磁気センサ(D)による検出性を重視した混合比であることを特徴とする変位検出用部材。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6242003A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-24 | Toshiba Mach Co Ltd | 磁気スケ−ル |
JPS63259413A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-26 | Kayaba Ind Co Ltd | 磁気スケ−ルの製造方法 |
JPH04363635A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-12-16 | Mazda Motor Corp | 磁性皮膜を有するセンサ |
JPH0618209A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-01-25 | S G:Kk | 流体圧シリンダのピストンロッド位置検出装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6242003A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-24 | Toshiba Mach Co Ltd | 磁気スケ−ル |
JPS63259413A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-26 | Kayaba Ind Co Ltd | 磁気スケ−ルの製造方法 |
JPH04363635A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-12-16 | Mazda Motor Corp | 磁性皮膜を有するセンサ |
JPH0618209A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-01-25 | S G:Kk | 流体圧シリンダのピストンロッド位置検出装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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